JPH0739046U

JPH0739046U - ペリクルケース

Info

Publication number: JPH0739046U
Application number: JP6966693U
Authority: JP
Inventors: 史倫早野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1993-12-27
Filing date: 1993-12-27
Publication date: 1995-07-14

Abstract

(57)【要約】【目的】ペリクルを載置するためのペリクル載置部と
ペリクルを覆うための蓋部とを容易に引き離すことがで
きるペリクルケースを提供する。【構成】ペリクルを載置するためのペリクル載置部２
と、ペリクルを覆うための蓋部３との少なくとも一方
に、異物の通過を阻止するためのフィルタ５を取り付け
た通気孔４を設けて、通気孔４から空気が流入できるよ
うにし、ペリクル載置部２と蓋部３とを容易に引き離せ
るようにした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、集積回路の製造工程などで使用されるマスク、レチクル（以下、マスクと総称する）に異物付着防止の目的で装着されるペリクルを収納するためのペリクルケースに関するものである。

【０００２】

【従来技術】

従来のペリクルケースの一例を図６、図７に示す。図６はペリクルケース１００の斜視図である。ペリクルケース１００は、ペリクルを載置するためのトレイ部１０１とトレイ部１０１に載置されたペリクルを覆うための上蓋１０２とを備えている。トレイ部１０１は矩形の平面板である。また、上蓋１０２は、トレイ部１０１と合わせたときに内部にペリクルを収納するための空間をなす矩形の凸部１０２ａと、この凸部１０２ａの周囲に一体形成され、トレイ部１０１と重なり合う平面部１０２ｂとから構成されている。

【０００３】図７はペリクルを収納した状態でのペリクルケースの断面図を示す。ペリクル１０３は、矩形形状のフレーム１０３ａの一面にペリクル膜１０３ｂを張設したもので、ペリクル膜１０３ｂが上蓋側になるようにトレイ部１０１に載置されている。トレイ部１０１と上蓋１０２とを重ね合わせたときに形成される凸部１０２ａ内部の空間（ペリクルケース内）は、ペリクル１０３が接触しない程度に、必要最小限の大きさとなっている。これは、ペリクルケース内の空気の量が少ない程、ペリクルケース内の空気の洗浄度を保ことができ、また、ペリクルケース内壁（凸部１０２ａ内壁）の表面積が小さい程、ペリクルケース内壁に付着していた異物によるペリクル膜１０５の汚染を防ぐことができるからである。

【０００４】また、上蓋１０２の凸部１０２ａ内壁四隅には傾斜部が形成されており、ペリクル１０３を収納したときに、ペリクル１０３の上部四隅が凸部１０２ａ内壁四隅の傾斜部に点接触して、ペリクル１０３がペリクルケース内で位置ずれを起こさないようになっている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

上記の如き従来のペリクルケースにおいては、収納されたペリクル１０３のペリクル膜１０３ｂが汚染されないように、トレイ部１０１と上蓋１０２の平面部１０２ａとが密着しているためにトレイ部１０１と上蓋１０２とを引き離すのが困難であった。

【０００６】また、トレイ部１０１と上蓋１０２とを引き離しに手間取ると、摩擦によりトレイ部１０１と上蓋１０２の平面部１０２ａとの接触部分に異物が生じ、その異物がペリクルケース内に入り込んでペリクル膜１０３ｂを汚染してしまう場合があった。本考案はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもので、ペリクルを載置するためのペリクル載置部（トレイ部）と、ペリクルを覆うための蓋部（上蓋）とを容易に引き離すことができるペリクルケースを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記問題点の解決の為に本考案は、ペリクル１０を載置するためのペリクル載置部２と、ペリクル載置部２に載置されたペリクル１０を覆うための蓋部３とを具備し、ペリクル載置部２と蓋部３との間に形成された空間内に、ペリクル１０をほぼ密閉状態で収納するペリクルケースにおいて、ペリクル載置部２と蓋部３のうちの少なくとも一方に通気孔４を設けると共に、該通気孔４に異物の通過を阻止するためのフィルタ５を取り付けることした。

【０００８】

【作用】

本考案においては、ペリクル載置部２と蓋部３とを引き離すときに、通気孔４からペリクル載置部２と蓋部３との接触部分の隙間に空気が流入するので、ペリクル載置部２と蓋部３とを容易に引き離すことができる。また、通気孔４には異物を除去するためのフィルタが取り付けられているので、通気孔４から空気が流入したとしても、ペリクル１０のペリクル膜１０ｂが汚染されることがない。

【０００９】

【実施例】

図１は本考案に係るペリクルケースの第１実施例の斜視図を示す。図２は、ペリクルを収納した状態を示すペリクルケースの断面図である。ペリクルケース１は、ペリクルを載置するためのトレイ部２とトレイ部２に載置されたペリクルを覆うための上蓋３とを備えている。ペリクル１０は、矩形形状のフレーム１０ａの一面にペリクル膜１０ｂを張設したもので、ペリクル膜１０ｂが上蓋側になるようにトレイ部２に載置されている。トレイ部２は矩形の平面板である。また、上蓋３は、トレイ部２と合わせたときに内部にペリクル１０を収納するための空間をなす矩形の凸部３ａと、この凸部３ａの周囲に一体形成され、トレイ部２と重なり合う平面部３ｂとから構成されている。上蓋３の凸部３ａの上面中央には、数１０ｍｍ四方程度の大きさ通気孔４が設けられている。この通気孔４にはフィルタ５が取り付けられている。フィルタ５は通気孔４の大きさに比べて一回り大きいサイズのもので、上蓋３の凸部３ａの上面に接着固定されている。また、フィルタ５は通気性の異物除去フィルタで、φ１０μｍ程度の大きさの異物を除去できるものである。このフィルタ５には、例えばセルロース混合エステルを材料とした市販のＭＦミリポアフィルタ（商品名）を用いることができる。

【００１０】図３はトレイ部２と上蓋３とを引き離すときの空気の流れを示すもので、図中の矢印が空気の流れる方向を示している。トレイ部２と上蓋３とを引き離すときに、通気孔４からペリクルケース内に空気が流入する。通気孔４から流入した空気は、ペリクル膜１０ｂの表面を通ってトレイ部２と上蓋３との隙間からペリクルケースの外へ排出される。このように、トレイ部２と上蓋３とを引き離すときに、通気孔４からトレイ部２と上蓋３の平面部３ａとの隙間に空気が流入するので、トレイ部２と上蓋３を容易に引き離すことができる。また、トレイ部２と上蓋３との隙間にペリクルケース内からペリクルケース外に向かって空気の流れが発生し、トレイ部２と上蓋３との接触部分に付着していた異物をペリクルケース外へ排出することができるので、ペリクル載置部２と蓋部３との接触部分に生じた異物によるペリクル膜の汚染を防ぐことができる。

【００１１】図４は本考案に係るペリクルケースの第２実施例の上蓋を示す上面図である。なお、図１と同一部分には同一符号を付し詳細説明は省略する。第１実施例のペリクルケースとの相違は、上蓋３の平面部３ｂに通気孔４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが形成した点である。通気孔４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの大きさは通気孔４に比べて小さくなっている。通気孔４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄには、フィルタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄが取り付けられている。フィルタ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄは、通気孔４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄのサイズよりも大きく、上蓋３の平面部３ｂ上面に接着固定されている。

【００１２】このように、上蓋３の平面部３ｂにフィルタを取り付けた通気孔を設けると、トレイ部２（図２参照）と上蓋３とを引き離すときに、通気孔４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄから、トレイ部２と上蓋３との接触部分の隙間に僅かながら空気が流入し、トレイ部２と上蓋３との密着性は直ちに解除されるので、第１実施例のペリクルケースに比べてトレイ部２と上蓋３との引き離しがさらに容易になる。

【００１３】図５は第３の実施例のペリクルケースのペリクルを収納した状態を示す断面図である。なお、図１と同一部分には同一の符号を付し、詳細説明は省略する。図２のペリクルケースと相違は、ペリクル１０を載置するためのトレイ部６の中央に通気孔７が形成されている点である。通気孔７にはフィルタ８が取り付けられている。通気孔７は通気孔４とほぼ同じ大きさである。フィルタ８は通気孔７のサイズに比べて大きく、トレイ部６の外側表面に接着固定されている。また、通気孔７はペリクルケース内に収納されたペリクル１０内とペリクルケースの外との通気を行うものなので、フィルタ８は、φ１μｍ程度の異物を除去できるフィルタが好ましい。

【００１４】このように、ペリクルケース内に収納されたペリクル１０内とペリクルケースの外との通気を行うための通気孔７をトレイ部６に設けると、トレイ部６に載置されたペリクル１０内の空間とペリクルケース１の外側とで気圧差が生じることがないので、ペリクル膜１０ｂがへこんだり、膨らんだりすることがなく、ペリクル膜１０ｂが膨らんで、ペリクル膜１０ｂがペリクルケース内壁（上蓋３の内面）に接触して汚染されてしまうのを防ぐこともできる。

【００１５】なお、上述の実施例においては、φ１０μｍ程度の異物を除去できるフィルタを用いているが、除去すべき異物の大きさは、その異物が付着したペリクル膜をマスクに装着して露光装置でマスク上のパターンをウエハ上に転写したときに、この転写に支障がない大きさであればよく、必要に応じた異物除去性能をもったフィルタを使用するようにすればよい。

【００１６】また、上述の実施例においては、フィルタを上蓋の外側あるいはトレイ部の外側表面に接着固定しているが、フィルタは上蓋の内側あるいはトレイ部の内側に接着固定してもよい。さらに、通気孔の位置は上記の実施例に限られず、上蓋の平面部にのみ、或いはトレイ部の上蓋との接触部分にのみ通気孔を設けるようにしてもよい。

【００１７】

【考案の効果】

以上のように本考案によれば、ペリクルを載置するためのペリクル載置部と、このペリクル載置部に載置されたペリクルを覆うための蓋部との少なくとも一方にフィルタを取り付けた通気孔を設けたので、ペリクル載置部と蓋部とを容易に引き離すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るペリクルケースの第１の実施例の
斜視図である。

【図２】本考案に係るペリクルケースの第１の実施例の
断面図である。

【図３】図２のペリクルケースにおいてトレイ部と上蓋
とを引き離すときの空気の流れを説明する図である。

【図４】本考案に係るペリクルケースの第２の実施例の
上蓋の上面図である。

【図５】本考案に係るペリクルケースの第３の実施例の
断面図である。

【図６】従来のペリクルケースの斜視図である。

【図７】従来のペリクルケースの断面図である。

【符号の説明】

１ペリクルケース２、６トレイ部３上蓋４、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、７通気孔５、５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、８フィルタ１０ペリクル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｔ

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ペリクルを載置するためのペリクル載置部
と、該ペリクル載置部に載置された前記ペリクルを覆う
ための蓋部とを具備し、前記ペリクル載置部と前記蓋部
との間に形成された空間内に、前記ペリクルをほぼ密閉
状態で収納するペリクルケースにおいて、前記ペリクル載置部と前記蓋部のうちの少なくとも一方
に通気孔を設けると共に、該通気孔に異物の通過を阻止
するためのフィルタを取り付けたことを特徴とするペリ
クルケース。