JPH0737308Y2 - 拡散炉断熱カラー - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体、集積回路等の拡散炉の断熱カラーに
関するものである。

［従来の技術］ 上記拡散炉の断熱材として、従来からウール状あるいは
あらかじめリング状に成形された無機質繊維が使用され
ている。

［発明の解決しようとする問題点］ しかしながら、一般に耐熱性を有する無機繊維は耐折、
耐摩耗性が乏しく、あらかじめ成形した断熱材を従来の
ごとく拡散炉と拡散チューブ間に密に挿入する方法で用
いると、拡散チューブの出し入れによる擦れにより容易
に繊維の破損がおこり、長時間の使用に耐えられなくな
るか、あるいは上記破損の結果として微細な破折繊維が
飛散し、雰囲気汚染の原因となる欠点を有していた。ま
た上記欠点を回避するため、断熱材の挿入密度を粗にす
ると十分な断熱効果が得られず、本来の目的を達し得な
い等の問題があった。

［問題点を解決するための手段］ 本考案は前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、半導体或いは集積回路等の製造される炉内に拡散チ
ューブを支持し該炉の両端を断熱する断熱カラーであっ
て、前記炉内の高い作動温度に耐え得る無機繊維の帯状
の複合体をリング状に巻くことにより形成され、炉内に
挿入される部分と、該部分と連続しかつ炉の外壁に密着
する部分とを有する二段構造を有することを特徴とする
拡散炉断熱カラーを提供するものである。

断熱カラーは、炉の高い作動温度に耐えうることが出来
る素材で構成する必要があり、高純度石英ガラス繊維を
用いるのが適当である。本発明において、通常コア部に
はクッション性を持たせるため石英繊維から成るマット
やストランド、ウールを用いる。コア部を包被するカバ
ーとして数100本の石英繊維から成るストランドに撚り
をかけたヤーンを用いて織布化したクロス、スリーブ等
を用いる。さらに、本考案の断熱カラーは、耐摩耗性等
の機械的物性を保持するため少くとも外側の表面がシリ
コーンオイル及びシランカップリング剤（エポキシ，ア
クリル，アミノ，ビニルシラン等）で処理してあること
が好ましく、この付着量として0.1〜0.5％（シリコーン
オイル／シランカップリング剤比＝1.0wt）にするのが
適当である。付着量がこれより少ないと表面保護材とし
ての効果がなくなり、又多すぎると使用時に発煙が起き
るので好ましくない。また、本考案の断熱カラーの外側
の表面以外の無機繊維が上記処理を施したものであるこ
とはさらに好ましい。

本考案において、断熱カラーは帯状のものをリング状に
巻いて用いられる。

第１図（ａ），（ｂ）は本考案の実施例の一つを示した
ものである。炉内に挿入される部分の厚さt₁は、炉内壁
と拡散チューブ間の外壁との間隙と同等か、好ましくは
該間隙よりやゝ小さくするのが良く、使用される条件に
よっても異なるが、その値として上記間隙より0.05〜2m
m、特に好ましくは0.5〜1mm小さめにするのが適当であ
る。t₁と上記間隙の差が0.05mmより小さいと断熱リング
の挿出入時の接触によりケバ等の発生原因となり、又上
記の差が2mmより大きいと断熱効率が低下するので好ま
しくない。炉内への挿入長さr₁は、通常拡散チューブの
径の1/5〜1/2の範囲内で定めるのが好ましいが、特に限
定されるものではない。

本考案の断熱カラーの炉の外壁に密着する部分の厚さt₂
は、通常t₁と同等又はt₁の１〜２倍程度にするのが好ま
しく、これ以上薄くするとすると断熱効果が不十分とな
るので適当でない。全体の幅ｒは特に限定されるもので
はないが、通常r₁の２倍程度にするが適当である。

本発明の断熱カラーは、例えば弾性体のコアと該コアを
包被する外側のカバーとからなる厚さt₁、幅ｒの帯状体
と、同じく厚さt₂、幅r₂の帯状体を二段重ねしてリング
状に巻くことにより得られ（第１図（ａ），（ｂ））、
この場合必要に応じ前記二つの帯状体をバインダー等に
より一体化してもよい。

第２図は拡散チューブの軸を含む断面図であって、本考
案の断熱カラーの使用状況を示す。

［考案の効果］ 本考案による断熱カラーを用いることにより、拡散チュ
ーブ装・脱着時の断熱材の取付作業が容易になる。また
本考案の断熱カラーは炉の外壁に密着する部分を有する
ため、炉とチューブ間のクリアランス部に断熱材を密に
挿入しなくても十分な断熱効果が得られるので、断熱材
取付、取外し時のケバの発生や飛散が抑止でき、使用雰
囲気の汚染が防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す斜視図であり、（ａ）
は帯状体、（ｂ）はリング状体のものである。第２図は
本考案の断熱カラーの使用状況を示す断面図である。 １……断熱カラー、２……拡散炉、３……拡散チュー
ブ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−161612（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−111212（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−43422（ＪＰ，Ｕ) 作花、境野、高橋編「ガラスハンドブッ ク」初版（1975−９−30）朝倉書店、Ｐ. 233

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体或いは集積回路等の製造される炉内
   に拡散チューブを支持し該炉の両端を断熱する断熱カラ
   ーであって、前記炉内の高い作動温度に耐え得る無機繊
   維の帯状の複合体をリング状に巻くことにより形成さ
   れ、炉内に挿入される部分と、該部分と連続しかつ炉の
   外壁に密着する部分とを有する二段構造を有することを
   特徴とする拡散炉断熱カラー。
2. 【請求項２】上記二段構造において、上記炉内に挿入さ
   れる部分の厚さが拡散チューブの外壁と炉内壁との間隙
   と同等又は若干小さく、上記炉の外壁に密着する部分の
   厚さが上記炉内に挿入される部分の厚さの１〜２倍であ
   ることを特徴とする請求項１記載の拡散炉断熱カラー。
3. 【請求項３】前記無機繊維の複合体が、高純度な石英ガ
   ラス繊維の集合体をコア材として、その外周部を高純度
   な石英ガラス繊維の織布で包被した構造であることを特
   徴とする請求項１または請求項２記載の拡散炉断熱カラ
   ー。