JPH0736915B2 - 有機樹脂のアルカリ溶液を中和するための方法 - Google Patents
有機樹脂のアルカリ溶液を中和するための方法Info
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- JPH0736915B2 JPH0736915B2 JP4062281A JP6228192A JPH0736915B2 JP H0736915 B2 JPH0736915 B2 JP H0736915B2 JP 4062281 A JP4062281 A JP 4062281A JP 6228192 A JP6228192 A JP 6228192A JP H0736915 B2 JPH0736915 B2 JP H0736915B2
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- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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- C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
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- Separation Of Suspended Particles By Flocculating Agents (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)
- Separation, Recovery Or Treatment Of Waste Materials Containing Plastics (AREA)
Description
【０００１】発明の背景 本発明は、印刷回路板及び同様のものの製造の間、現像
及び剥離の後、酸性フォトレジスト樹脂の処理及び廃棄
に関する。より詳しくは、それは、そのような操作に起
因する樹脂のアルカリ水溶液の中和に関する。さらによ
り詳しくは、それは中和により創造された多量のスラッ
ジの濾過に関する。
及び剥離の後、酸性フォトレジスト樹脂の処理及び廃棄
に関する。より詳しくは、それは、そのような操作に起
因する樹脂のアルカリ水溶液の中和に関する。さらによ
り詳しくは、それは中和により創造された多量のスラッ
ジの濾過に関する。
【０００２】印刷回路板の調整においては、銅張り支持
体がフォトレジストと呼ばれるアルカリ可溶性光感性ポ
リマーにより被覆され、そしてそのフォトレジストが、
露出部分をさらに重合し、そしてそれらをより低い可溶
性にするために化学線に像のように暴露される。このネ
ガ型像は、暴露されていない部分を溶解することによっ
て支持体上で現像され、そして前記低い可溶性の樹脂を
適切な場所に残す。従って、被覆されていない銅はエッ
チング剤により除去され、そして次に、残るフォトレジ
ストが適切に熱い他のアルカリ溶液により支持体から剥
離される。ポジ型フォトレジストの現像及び剥離は、同
様の態様でアルカリ水溶液において行なわれる。
体がフォトレジストと呼ばれるアルカリ可溶性光感性ポ
リマーにより被覆され、そしてそのフォトレジストが、
露出部分をさらに重合し、そしてそれらをより低い可溶
性にするために化学線に像のように暴露される。このネ
ガ型像は、暴露されていない部分を溶解することによっ
て支持体上で現像され、そして前記低い可溶性の樹脂を
適切な場所に残す。従って、被覆されていない銅はエッ
チング剤により除去され、そして次に、残るフォトレジ
ストが適切に熱い他のアルカリ溶液により支持体から剥
離される。ポジ型フォトレジストの現像及び剥離は、同
様の態様でアルカリ水溶液において行なわれる。
【０００３】有機溶媒の必要性なしに水性システムにお
いて現像され得る樹脂性光重合性組成物を形成すること
の利点は、１９５６以来認識されて来た。フォトレジス
ト化学の分野における多くの研究者による長年の試みの
後、Ｇｉｌａｎｏなどは、アメリカ特許第３，９５３，
３０９号において、スチレン又は他のビニルモノマー及
び不飽和カルボキシル含有モノマーのＪポリマーを含ん
で成るバインダーを有するアルカリ可溶性フォトレジス
トを開示した。その特許におけるＧｉｌａｎｏなどの教
授は引用により本明細書に組込まれる。しかしながら、
この技術的進歩から生じる問題の１つは、アルカリ廃棄
材料が下水処理プラント又は陸地に導入される前、中和
されるべき多量のそのような廃棄物の除去である。酸に
よる中和は最っとも自然で且つ最っとも簡単な手段であ
ると思われるが、しかし樹脂は、水性相から粘着性沈澱
物を分離するように企画されたシステムを絶えず妨害す
る粘着性沈澱物になる。この問題を克服し、そして中性
スラワーから濾過されるフォトレジスト樹脂及び水酸化
アルミニウムを含む粒状非粘着性沈澱物を生成するため
への硫酸アルミニウムの使用は、アメリカ特許第４，５
８７，２０６号（これはまた、引用により本明細書に組
込まれる）に教授される。濾過速度は、これまでのもの
よりもより良好であるが、フィルターケークの量がひじ
ょうに多いので、フィルタープレスは、不経済的な頻度
で、ゲークの除のために開かれるべきである。この体積
のほとんどの部分は、固体樹脂の粒子を取り囲む粗大水
酸化アルミニウムマトリックスのせいである。
いて現像され得る樹脂性光重合性組成物を形成すること
の利点は、１９５６以来認識されて来た。フォトレジス
ト化学の分野における多くの研究者による長年の試みの
後、Ｇｉｌａｎｏなどは、アメリカ特許第３，９５３，
３０９号において、スチレン又は他のビニルモノマー及
び不飽和カルボキシル含有モノマーのＪポリマーを含ん
で成るバインダーを有するアルカリ可溶性フォトレジス
トを開示した。その特許におけるＧｉｌａｎｏなどの教
授は引用により本明細書に組込まれる。しかしながら、
この技術的進歩から生じる問題の１つは、アルカリ廃棄
材料が下水処理プラント又は陸地に導入される前、中和
されるべき多量のそのような廃棄物の除去である。酸に
よる中和は最っとも自然で且つ最っとも簡単な手段であ
ると思われるが、しかし樹脂は、水性相から粘着性沈澱
物を分離するように企画されたシステムを絶えず妨害す
る粘着性沈澱物になる。この問題を克服し、そして中性
スラワーから濾過されるフォトレジスト樹脂及び水酸化
アルミニウムを含む粒状非粘着性沈澱物を生成するため
への硫酸アルミニウムの使用は、アメリカ特許第４，５
８７，２０６号（これはまた、引用により本明細書に組
込まれる）に教授される。濾過速度は、これまでのもの
よりもより良好であるが、フィルターケークの量がひじ
ょうに多いので、フィルタープレスは、不経済的な頻度
で、ゲークの除のために開かれるべきである。この体積
のほとんどの部分は、固体樹脂の粒子を取り囲む粗大水
酸化アルミニウムマトリックスのせいである。
【０００４】古い現像液及びストリッパー混合物から油
状のガム状スラッジの形成を伴わないでの感光性ポリマ
ー樹脂の除去は、アメリカ特許第４，７６０，０１４号
によれば、前記混合物に酸、多価塩及び凝固助剤の添加
により達成され得る。酸：多価カオチンの比は重量によ
り５：１〜３５：１である。
状のガム状スラッジの形成を伴わないでの感光性ポリマ
ー樹脂の除去は、アメリカ特許第４，７６０，０１４号
によれば、前記混合物に酸、多価塩及び凝固助剤の添加
により達成され得る。酸：多価カオチンの比は重量によ
り５：１〜３５：１である。
【０００５】硫酸アルミニウムはまた、アメリカ特許第
４，０２８，２３８号によれば、市営廃棄水の処理にお
いてスラッジのための凝固剤として教授される。濾過に
よるそのようなスラッジの脱水はここではひじょうに困
難であると教授されており、そして濾過の後、スラッジ
の固形含有率は１５重量％以下であると言われる。前記
特許によれば、その問題の解決策は、みょうばん処理、
及び上清水のデカントの後、スラッジに水酸化カルシウ
ムを添加することである。濾過の速度は、７倍早めら
れ、そして団体含有率は著しく高められた。
４，０２８，２３８号によれば、市営廃棄水の処理にお
いてスラッジのための凝固剤として教授される。濾過に
よるそのようなスラッジの脱水はここではひじょうに困
難であると教授されており、そして濾過の後、スラッジ
の固形含有率は１５重量％以下であると言われる。前記
特許によれば、その問題の解決策は、みょうばん処理、
及び上清水のデカントの後、スラッジに水酸化カルシウ
ムを添加することである。濾過の速度は、７倍早めら
れ、そして団体含有率は著しく高められた。
【０００６】アメリカ特許第１，１７３，６９８号にお
いては、硫酸チタンは、硫酸アルミニウムがある水供給
に凝固剤として添加される場合に生じる水酸化アルミニ
ウムの沈澱を促進するために使用される。水酸化チタン
がまた形成され、そして特許権所有者は、それが水酸化
アルミニウムのより急速で且つより細かく分離された沈
澱を誘発することを教授する。
いては、硫酸チタンは、硫酸アルミニウムがある水供給
に凝固剤として添加される場合に生じる水酸化アルミニ
ウムの沈澱を促進するために使用される。水酸化チタン
がまた形成され、そして特許権所有者は、それが水酸化
アルミニウムのより急速で且つより細かく分離された沈
澱を誘発することを教授する。
【０００７】発明の要約 従って、有機樹脂のアルカリ水溶液からの有機樹脂の沈
澱及び前記水溶液から沈澱物の早い濾過のための方法を
提供することが本発明の目的である。
澱及び前記水溶液から沈澱物の早い濾過のための方法を
提供することが本発明の目的である。
【０００８】不溶性水酸化物及び沈澱された樹脂を含ん
で成るスラッジの形成により、フォトレジスト樹脂の古
いアルカリストリッパー／現像溶液を中和し、それによ
ってスラッジの濾過を早くする改良された方法を提供す
ることが本発明の関連する目的である。
で成るスラッジの形成により、フォトレジスト樹脂の古
いアルカリストリッパー／現像溶液を中和し、それによ
ってスラッジの濾過を早くする改良された方法を提供す
ることが本発明の関連する目的である。
【０００９】好ましい態様の記載 次の記載から明らかになのであろう本発明のこれらの及
び他の目的は、樹脂のアルカリ溶液中にアルミニウム及
びマグネシウムの可溶性塩の混合物を導入し、そして得
られたスラッジを濾過するこによって達成される。
び他の目的は、樹脂のアルカリ溶液中にアルミニウム及
びマグネシウムの可溶性塩の混合物を導入し、そして得
られたスラッジを濾過するこによって達成される。
【００１０】アルミニウム及びマグネシウムの可溶性塩
は、当業者に良く知られており、そして硫酸塩、硝酸
塩、塩酸塩、酢酸塩、蟻酸塩及びグルコネートにより例
示される。Ａｔｏｃｈｅｍ ＵＫ Ｌｔｄ．により売ら
れている塩基性ポリクロロ−アルミニウムスルフェート
もまた適切である。個々の塩のアニオンは、いづれかの
所定の場所、同じであっても又は異なっていても良い。
は、当業者に良く知られており、そして硫酸塩、硝酸
塩、塩酸塩、酢酸塩、蟻酸塩及びグルコネートにより例
示される。Ａｔｏｃｈｅｍ ＵＫ Ｌｔｄ．により売ら
れている塩基性ポリクロロ−アルミニウムスルフェート
もまた適切である。個々の塩のアニオンは、いづれかの
所定の場所、同じであっても又は異なっていても良い。
【００１１】本発明の方法は、古いストリッパー溶液又
は同様のものに上記塩を添加することから実質的にな
る。混合された水酸化物のより容易に濾過できる沈澱物
は、前記アルカリ特許第４，７６０，０１４号に教授さ
れるように凝固助剤なしに得られが、しかし不溶性水酸
化物を有する他の金属の塩、たとえば硫酸第一鉄のアル
ミニウム及びマグネシウム塩の混合物における添加剤と
しての存在がまた、その方法に適切である。個々のこれ
らの塩の水和物、たとえばＭｇＳＯ4 ・７Ｈ2 Ｏ及びＡ
ＬＣｌ3 ・６Ｈ2 Ｏも使用され得る。
は同様のものに上記塩を添加することから実質的にな
る。混合された水酸化物のより容易に濾過できる沈澱物
は、前記アルカリ特許第４，７６０，０１４号に教授さ
れるように凝固助剤なしに得られが、しかし不溶性水酸
化物を有する他の金属の塩、たとえば硫酸第一鉄のアル
ミニウム及びマグネシウム塩の混合物における添加剤と
しての存在がまた、その方法に適切である。個々のこれ
らの塩の水和物、たとえばＭｇＳＯ4 ・７Ｈ2 Ｏ及びＡ
ＬＣｌ3 ・６Ｈ2 Ｏも使用され得る。
【００１２】マグネシウム塩：アルミニウム塩の比は、
重量により約１：１００〜約１００：１、好ましくは約
１：１０〜約５：１である。特に好ましい比は約１：４
〜約１：１である。この組合せの中和力は好ましくは、
樹脂溶液のpHを実質的に中性の溶液のpHに、すなわち約
６．０〜約７．０の範囲でのpHに減じるのに十分であ
る。マグネシウム塩：アルミニウム塩の比がひじょうに
高い場合、所望する低下を達成するために少量の酸を添
加することが必要である。酸性塩、たとえば硫酸水素ナ
トリウムのアルミニウム及びマグネシウム塩の合計重量
に等しいか又はそれ以下の重量での使用は、これらの塩
の中和力を増強し、そして不溶性水酸化物の量を減じる
ように企画される。
重量により約１：１００〜約１００：１、好ましくは約
１：１０〜約５：１である。特に好ましい比は約１：４
〜約１：１である。この組合せの中和力は好ましくは、
樹脂溶液のpHを実質的に中性の溶液のpHに、すなわち約
６．０〜約７．０の範囲でのpHに減じるのに十分であ
る。マグネシウム塩：アルミニウム塩の比がひじょうに
高い場合、所望する低下を達成するために少量の酸を添
加することが必要である。酸性塩、たとえば硫酸水素ナ
トリウムのアルミニウム及びマグネシウム塩の合計重量
に等しいか又はそれ以下の重量での使用は、これらの塩
の中和力を増強し、そして不溶性水酸化物の量を減じる
ように企画される。
【００１３】本発明をより詳しく例示する次の例におい
ては、１ガロン当たりＤｙｎａｃｈｅｍのＬＡＭＩＮＡ
Ｒ（Ｒ）ＨＧドライフィルムの４０ミル−フィーバを含
むフォトレジスト樹脂の３％水酸化ナトリウム溶液の１
００mlサンプルを、ＭｇＳＯ 4 ・７Ｈ2 Ｏ及び水和の水
平均１４モル及び硫酸第一鉄約２重量％を有する技術的
グレードの硫酸アルミニウムの混合物の一定割合での添
加により中和する。前記塩は水に溶解され、言及された
濃度を有する混合された塩の溶液が得られた。処理され
たストリッパ−１００mlアリコートが、個々の場合、真
空の助けにより濾過される。
ては、１ガロン当たりＤｙｎａｃｈｅｍのＬＡＭＩＮＡ
Ｒ（Ｒ）ＨＧドライフィルムの４０ミル−フィーバを含
むフォトレジスト樹脂の３％水酸化ナトリウム溶液の１
００mlサンプルを、ＭｇＳＯ 4 ・７Ｈ2 Ｏ及び水和の水
平均１４モル及び硫酸第一鉄約２重量％を有する技術的
グレードの硫酸アルミニウムの混合物の一定割合での添
加により中和する。前記塩は水に溶解され、言及された
濃度を有する混合された塩の溶液が得られた。処理され
たストリッパ−１００mlアリコートが、個々の場合、真
空の助けにより濾過される。
【００１４】
【実施例】例１ マグネシウム塩：アルミニウム塩の重量による比は１：
１００であり、そして塩の合計濃度は２４０ｇ／ｌであ
った。その塩液をストリッパー溶液に添加し、pHを６．
５±０．５に感じた。０．４５の開口部を有するＮａｌ
ｇｅｎｅ ＴｙｐｅＡフイルターキット中に前記中和さ
れた溶液及びそこに懸濁される固形物を注いだ後、４８
mlの濾液を１０分間回収した。
１００であり、そして塩の合計濃度は２４０ｇ／ｌであ
った。その塩液をストリッパー溶液に添加し、pHを６．
５±０．５に感じた。０．４５の開口部を有するＮａｌ
ｇｅｎｅ ＴｙｐｅＡフイルターキット中に前記中和さ
れた溶液及びそこに懸濁される固形物を注いだ後、４８
mlの濾液を１０分間回収した。
【００１５】例２ マグネシウム塩：アルミニウム塩の比は３：１であり、
そして塩の合計濃度は１２０ｇ／ｌであった。６．５±
０．５のpHを、塩溶液の添加により得た。１１cmの直径
のフィルター漏斗を用い、そして８６mlの濾液を５分間
そのフィルターに通した。
そして塩の合計濃度は１２０ｇ／ｌであった。６．５±
０．５のpHを、塩溶液の添加により得た。１１cmの直径
のフィルター漏斗を用い、そして８６mlの濾液を５分間
そのフィルターに通した。
【００１６】例３ マグネシウム塩：アルミニウム塩の比は１：３であり、
として塩の合計濃度は１２０ｇ／ｌであった。６．５±
０．５のpHを、塩溶液の添加により得た。１１cmの漏斗
を通しての中和されたストリッパーの濾過は、実質的に
２．５分で完結し、そして濾液９２mlの回収を伴った。
として塩の合計濃度は１２０ｇ／ｌであった。６．５±
０．５のpHを、塩溶液の添加により得た。１１cmの漏斗
を通しての中和されたストリッパーの濾過は、実質的に
２．５分で完結し、そして濾液９２mlの回収を伴った。
【００１７】例４ アルミニウム塩１部に対するマグネシウム塩１００部の
割合でのマグネシウム及びアルミニウムの硫酸塩２４０
ｇ／ｌを含む混合物が使用され、そしてストッパー溶液
の初期pHが１２．５ｇである場合、pHをたった９．６に
減じることができた。硫酸５０％の溶液を添加し、pHを
６．６５にさらに減じた。中和された溶液が０．４５ミ
クロンの開口部を有するＴｙｐｅＡフィルターキット中
に注がれる場合、１０分での溶液の量は３０mlであっ
た。
割合でのマグネシウム及びアルミニウムの硫酸塩２４０
ｇ／ｌを含む混合物が使用され、そしてストッパー溶液
の初期pHが１２．５ｇである場合、pHをたった９．６に
減じることができた。硫酸５０％の溶液を添加し、pHを
６．６５にさらに減じた。中和された溶液が０．４５ミ
クロンの開口部を有するＴｙｐｅＡフィルターキット中
に注がれる場合、１０分での溶液の量は３０mlであっ
た。
【００１８】例５ 試験グレードの硫酸アルミニウムオクタデカ水和物及び
硫酸マグネシウムセプタ水和物を水に溶解し、それぞれ
９０ｇ／ｌ及び３０ｇ／ｌの塩を含む溶液を生成した。
pH１３．９２を有するＬａｍｉｎａｒ ＨＧ感光性樹脂
の２％水酸化ナトリウストッパー溶液７５mlを中和する
ために、前記混合された塩溶液５４mlを用いた。固体樹
脂及び混合された水酸化物のスラリーの濾過はひじょう
に早かった。
硫酸マグネシウムセプタ水和物を水に溶解し、それぞれ
９０ｇ／ｌ及び３０ｇ／ｌの塩を含む溶液を生成した。
pH１３．９２を有するＬａｍｉｎａｒ ＨＧ感光性樹脂
の２％水酸化ナトリウストッパー溶液７５mlを中和する
ために、前記混合された塩溶液５４mlを用いた。固体樹
脂及び混合された水酸化物のスラリーの濾過はひじょう
に早かった。
【００１９】例６ 例２の一般的方法に従った。但し、ポリマーバインダー
及び光重合性モノマーを含むアルカリ現像溶液がストリ
ッパー溶液の代わりに処理される。満足のいく結果が得
られる。
及び光重合性モノマーを含むアルカリ現像溶液がストリ
ッパー溶液の代わりに処理される。満足のいく結果が得
られる。
【００２０】比較例Ａ １ガロン当たり塩１ポンドを含む硫酸アルミニウム溶液
７１mlが上記例１〜４におけるのと同じストリッパー溶
液を中和するために使用され、そして１００mlのアリコ
ートがＴｙｐｅＡの０．４５ミクロンフィルター中に注
がれる場合、濾液４３mlが１０分でフィルターを通過し
た。
７１mlが上記例１〜４におけるのと同じストリッパー溶
液を中和するために使用され、そして１００mlのアリコ
ートがＴｙｐｅＡの０．４５ミクロンフィルター中に注
がれる場合、濾液４３mlが１０分でフィルターを通過し
た。
【００２１】比較例Ｂ １２０ｇ／ｌの濃度でのＭｇＳＯ4 ・７Ｈ2 Ｏ溶液を用
いて、同じストリッパー溶液１００mlを処理した。この
溶液４００mlの添加の後、pHをたった９．８７に減じ
た。３００ｇ／ｌのその塩の第２溶液は、５００mlの添
加に基づいて、ストリッパー１００mlのpHをたった９．
７７に減じることができる。ストリッパー１００mlへの
６００ｇ／ｌの塩を含む第３溶液９００mlの添加はその
pHを９．０７に減じ、そしてＴｙｐｅＡの０．４５ミク
ロンフィルターキットを用いての処理されたストリッパ
ー１０００mlの濾過が試みられたが、しかしそのフィル
ターキットは詰まった。
いて、同じストリッパー溶液１００mlを処理した。この
溶液４００mlの添加の後、pHをたった９．８７に減じ
た。３００ｇ／ｌのその塩の第２溶液は、５００mlの添
加に基づいて、ストリッパー１００mlのpHをたった９．
７７に減じることができる。ストリッパー１００mlへの
６００ｇ／ｌの塩を含む第３溶液９００mlの添加はその
pHを９．０７に減じ、そしてＴｙｐｅＡの０．４５ミク
ロンフィルターキットを用いての処理されたストリッパ
ー１０００mlの濾過が試みられたが、しかしそのフィル
ターキットは詰まった。
【００２２】比較例Ｃ 比較例Ｂの１２０ｇ／ｌ硫酸マグネシウム溶液への硫酸
の５％溶液５１．６ｇの添加及びpHを６．５に減じるた
めにストリッパー溶液への酸性化された硫酸塩溶液の添
加は、ＴｙｐｅＡフィルターキットを通しての１００ml
アリコートの１０分間の濾過後、たった４mlの濾液を生
成するスラリーを付与した。
の５％溶液５１．６ｇの添加及びpHを６．５に減じるた
めにストリッパー溶液への酸性化された硫酸塩溶液の添
加は、ＴｙｐｅＡフィルターキットを通しての１００ml
アリコートの１０分間の濾過後、たった４mlの濾液を生
成するスラリーを付与した。
【００２３】上記例は印刷回路板を製造することに使用
される樹脂に対するものであるが、アルカリ水溶液に溶
解性である他の有機樹脂がそのような溶液から沈澱せし
められ得る、そして本発明の方法により回収され得るこ
とは当業者により理解されるであろう。
される樹脂に対するものであるが、アルカリ水溶液に溶
解性である他の有機樹脂がそのような溶液から沈澱せし
められ得る、そして本発明の方法により回収され得るこ
とは当業者により理解されるであろう。
Claims (6)
- 【請求項１】 樹脂のアルカリ水溶液からの有機樹脂を
沈澱せしめるための方法であって、アルカリ溶液中にア
ルミニウム及びマグネシウムの水溶性塩の混合物を導入
し，それにより、不溶性水酸化物及び樹脂が同時沈澱せ
しめられ、そして沈澱物を前記水溶液から分離すること
から実質的になる方法。 - 【請求項２】 前記分離が濾過により達成される請求項
１記載の方法。 - 【請求項３】 前記マグネシウム塩：アルミニウム塩の
比が重量により約１：１００〜約１００：１である請求
項１記載の方法。 - 【請求項４】 前記アルミニウム及びマグネシウム塩の
重量が、約６．０〜７．０にアルカリ溶液のpHを下げる
ための理論量である請求項１記載の方法。 - 【請求項５】 前記比が約１：１０〜約５：１である請
求項３記載の方法。 - 【請求項６】 前記樹脂が酸性である請求項１記載の方
法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/692,101 US5194583A (en) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | Method for neutralizing an alkaline solution of an organic resin |
| US692101 | 1991-04-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0576874A JPH0576874A (ja) | 1993-03-30 |
| JPH0736915B2 true JPH0736915B2 (ja) | 1995-04-26 |
Family
ID=24779271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4062281A Expired - Lifetime JPH0736915B2 (ja) | 1991-04-26 | 1992-03-18 | 有機樹脂のアルカリ溶液を中和するための方法 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5194583A (ja) |
| EP (1) | EP0510794B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0736915B2 (ja) |
| KR (1) | KR950002542B1 (ja) |
| CA (1) | CA2059492C (ja) |
| DE (1) | DE69200886T2 (ja) |
| ES (1) | ES2068673T3 (ja) |
| HK (1) | HK157595A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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