JPH0736450U - 基板収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 作業者に頼ることなく、カセットからの基板
の突き出しを確実に防止することができるようにした基
板収納装置を提供する。 【構成】 カセット台６上に装着されたカセット１０の
前方の両横の部分に位置するように、基板押し込み機構
３０をそれぞれ設けた。各基板押し込み機構３０は、カ
セット台６上に装着されたカセット１０の前方横の部分
に位置するように立てて配置された回転軸３４と、この
回転軸に結合されていてそれを矢印Ｃのように往復回転
させるアクチュエータ３２と、回転軸３４にその軸方向
に沿って上下方向に延びるように取り付けられたフラッ
プ板３６と、このフラップ板３６の先端部にその高さ方
向に沿って取り付けられた樹脂製のパッド３８とを備え
ている。このフラップ板３６の回転によってそのパッド
３８の部分で、カセット１０から前方に突き出している
基板４をカセット１０内に押し込むことができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばイオン注入装置、薄膜形成装置、ドライエッチング装置等 のように、基板を処理する装置に用いられるものであって、カセット台の上部に 、複数枚の基板を複数段に収納可能なカセットを装着するよう構成された基板収 納装置に関し、より具体的には、カセットからの基板の突き出しを防止する手段 に関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種の基板収納装置の従来例を図３および図４に示す。

【０００３】 この基板収納装置は、カセット台６の上部に、複数枚の基板４を複数段に収納 可能なカセット１０を装着するよう構成されている。

【０００４】 基板４は、例えば、ガラス基板、より具体的には液晶ディスプレイ用の角型の ガラス基板である。

【０００５】 カセット１０は、図４に示すように、その左右の側面内側に、基板４を支持す る基板支持部１２を一組ずつ複数段に有している。またこの例では、カセット１ ０の内側奥の部分に、収納された基板４を止めるストッパー１６が設けられてい る。１４は底板である。

【０００６】 このようなカセット１０に、例えば、基板４を載せるアーム２を矢印Ａのよう に上下および矢印Ｂのように前後させることができる基板搬送ロボット（図示省 略）によって、その前方（図１ないし図３における左側）から基板４を１枚ずつ 出し入れすることができる。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】 上記のような基板収納装置において、カセット１０内における基板４の横方向 および後方へのずれは、基板支持部１２およびストッパー１６によってそれぞれ 防止することができるけれども、前方については、基板４の搬出入を行う必要上 、基板４の突き出しを防止する手段を講じることができない。そのため、何らか の原因によって、例えば図３中に２点鎖線で示すように、基板４がカセット１０ から前方に突き出していることが起こり得る。

【０００８】 このようなことを放置しておくと、カセット１０から当該基板４をアーム２に よって搬出して別の場所へ搬送する場合に、アーム２上に基板４が正規の位置か らずれたまま載せられ、かつ別の場所へずれたまま渡されるため、基板４が搬送 途中でアーム２から落下したり、別の場所へ正しく渡すことができない等の事態 が生じ、基板搬送の信頼性が低下する。

【０００９】 これを防止するため、従来は、作業者が基板４の突き出しの有無を目視で確認 し、突き出している場合は作業者が手作業によってその基板４をカセット１０内 へ正しく納めるようにしていた。

【００１０】 しかし、このような手段では、目視による良否の判断に個人差があり、全て の基板４が正しくカセット１０内に収納されているとは限らないので、基板搬送 の信頼性の低下をもたらす、目視確認に手間がかかるだけでなく突き出してい る基板４をカセット１０内に正しく納めるのに手間がかかり、この基板収納装置 を用いたイオン注入装置等の装置を停止させなければならない時間が長くなり同 装置の稼働率を低下させる、という問題がある。

【００１１】 また、カセット台６上のカセット１０の前方の上下に位置するように、上下方 向に光２４を発する発光器２２とその光２４を受ける受光器２６との組み合わせ から成る光センサー２０を配置し、この光センサー２０によって、カセット１０ から突き出している基板４の存在を検出し、それを作業者に知らせるようにする 場合もあるが、その場合でも、突き出している基板４をカセット１０内に正しく 納めるのは作業者に頼っているため、この基板収納装置を用いた装置の稼働率を 低下させるという問題は残っている。

【００１２】 そこでこの考案は、作業者に頼ることなく、カセットからの基板の突き出しを 確実に防止することができるようにした基板収納装置を提供することを主たる目 的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の基板収納装置は、前記カセット台上に装 着されたカセットの前方横の部分に位置するように立てて配置された回転軸と、 この回転軸に結合されていてそれを往復回転するアクチュエータと、前記回転軸 にその軸方向に沿って取り付けられたフラップ板と、このフラップ板の先端部に その高さ方向に沿って取り付けられた樹脂製のパッドとを備え、前記フラップ板 の回転によってそのパッドの部分で、カセットから前方に突き出している基板を カセット内へ押し込む基板押し込み機構を設けたことを特徴とする。

【００１４】

【作用】

上記構成によれば、基板押し込み機構のアクチュエータを動作させることによ って、フラップ板を回転させてそれに取り付けたパッドの部分で、カセットから 前方に突き出している基板をカセット内へ押し込むことができる。その結果、作 業者に頼ることなく、カセットからの基板の突き出しを確実に防止することがで きる。

【００１５】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係る基板収納装置を示す側面図である。図２は 、図１の線Ｄ−Ｄに沿う断面図である。図３および図４の従来例と同一または相 当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に説 明する。

【００１６】 この実施例においては、前述したようなカセット台６上に装着されたカセット １０の前方の両横の部分に位置するように、次のような構成の基板押し込み機構 ３０をそれぞれ設けている。

【００１７】 各基板押し込み機構３０は、カセット台６上に装着されたカセット１０の前方 横の部分に位置するように立てて配置された回転軸３４と、この回転軸３４の下 端部に結合されていてそれを矢印Ｃのように左右に往復回転させるアクチュエー タ３２と、回転軸３４の上端部に、同回転軸３４の軸方向に沿って上下方向に延 びるように取り付けられたフラップ板３６と、このフラップ板３６の先端部にそ の高さ方向に沿って取り付けられた樹脂製のパッド３８とを備えている。

【００１８】 アクチュエータ３２としては、例えば電気モータ、油空圧モータ等が挙げられ る。このアクチュエータ３２は、３６０度回転する必要はなく、９０度程度の角 度内を揺動する揺動モータで良い。

【００１９】 フラップ板３６は、少なくとも、カセット１０の最下段の基板収納位置から最 上段の基板収納位置までの上下方向の長さを有している。このようにすれば、カ セット１０内の全段の基板４を押し込むことができる。また、このフラップ板３ ６の水平方向の長さは、カセット１０内の基板４の前端部に届く程度であれば良 い。

【００２０】 パッド３８は、例えばポリアセタール等の樹脂で作られている。これは、それ が基板４に当接するので、基板４を傷付けない上から好ましいからである。この パッド３８は、この実施例では円柱の半割り構造をしている。

【００２１】 このような構造の両基板押し込み機構３０は、この例では互いに同期してフラ ップ板３６を矢印Ｃのように回転させるようにしている。このようにすれば、基 板４をまっすぐにカセット１０内へ押し込むことができる。この同期を取るため には、例えば、アクチュエータ３２が電気モータの場合は両電気モータを電気的 に同期させれば良く、アクチュエータ３２が油空圧モータの場合は両油空圧モー タに共通の油空圧を供給するようにすれば良い。

【００２２】 上記のような基板押し込み機構３０を設けることにより、例えばカセット台６ 上に複数枚の基板４を収納したカセット１０を装着した後に、またはカセット台 ６上に装着したカセット１０内に基板搬送ロボットのアーム２等によって所定枚 数の基板４を収納した後に、各アクチュエータ３２を動作させることによって、 両フラップ板３６を矢印Ｃのように回転させてそれに取り付けられたパッド３８ の部分で、例えば図２中に２点鎖線で示すようなカセット１０から前方に突き出 している基板４をカセット１０内へ当該基板４がストッパー１６に当接するまで 押し込むことができる。その結果、作業者に頼ることなく、カセット１０からの 基板４の突き出しを確実に防止することができる。

【００２３】 その結果、作業者の個人差に影響されず、全ての基板４が正しくカセット１０ 内に収納されることになるので、カセット１０から基板４をアーム２等によって 搬出して別の場所へ搬送する場合に、アーム２上に基板４が正規の位置からずれ たまま載せられたり、別の場所へずれたまま渡されることが無くなり、基板搬送 の信頼性を高めることができる。

【００２４】 また、突き出している基板４をカセット１０内に正しく納めることも人手を要 することなく基板押し込み機構３０によって極めて短時間で行うことができるの で、この基板収納装置を用いたイオン注入装置等の装置を基板４の突き出し修正 に伴って停止させなければならない時間を無くすることができ、同装置の稼働率 を高めることができる。

【００２５】 なお、基板押し込み機構３０は、必ずしもこの実施例のように２台設ける必要 はなく、１台でも基板４をカセット１０内に押し込むことができる。その場合、 基板４が斜めに押し込まれるのを防止するために、そのフラップ板３６の水平方 向の長さを長くしてそのパッド３８が基板４のほぼ中央部を押すようにするのが 好ましい。

【００２６】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、上記のような基板押し込み機構を設けたので 、それによって、カセットから前方へ突き出している基板をカセット内へ押し込 むことができる。従って、作業者に頼ることなく、カセットからの基板の突き出 しを確実に防止することができる。

【００２７】 その結果、作業者の個人差に影響されず、全ての基板が正しくカセット内に収 納されることになるので、基板搬送の信頼性を高めることができる。また、突き 出している基板をカセット内に正しく納めることも人手を要することなく基板押 し込み機構によって極めて短時間で行うことができるので、この基板収納装置を 用いたイオン注入装置等の装置を基板の突き出し修正に伴って停止させなければ ならない時間を無くすることができ、同装置の稼働率を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例に係る基板収納装置を示す
側面図である。

【図２】図１の線Ｄ−Ｄに沿う断面図である。

【図３】従来の基板収納装置の一例を示す側面図であ
る。

【図４】図３の基板収納装置の正面図である。

【符号の説明】

４ 基板 ６ カセット台 １０ カセット ３０ 基板押し込み機構 ３２ アクチュエータ ３４ 回転軸 ３６ フラップ板 ３８ パッド

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｌ 21/3065

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセット台の上部に、複数枚の基板を複
   数段に収納可能なカセットを装着するよう構成された基
   板収納装置において、前記カセット台上に装着されたカ
   セットの前方横の部分に位置するように立てて配置され
   た回転軸と、この回転軸に結合されていてそれを往復回
   転するアクチュエータと、前記回転軸にその軸方向に沿
   って取り付けられたフラップ板と、このフラップ板の先
   端部にその高さ方向に沿って取り付けられた樹脂製のパ
   ッドとを備え、前記フラップ板の回転によってそのパッ
   ドの部分で、カセットから前方に突き出している基板を
   カセット内へ押し込む基板押し込み機構を設けたことを
   特徴とする基板収納装置。