JPH07337097A - Ｉｃテストハンドラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置 - Google Patents
Ｉｃテストハンドラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置Info
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- JPH07337097A JPH07337097A JP6143947A JP14394794A JPH07337097A JP H07337097 A JPH07337097 A JP H07337097A JP 6143947 A JP6143947 A JP 6143947A JP 14394794 A JP14394794 A JP 14394794A JP H07337097 A JPH07337097 A JP H07337097A
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Control Of Velocity Or Acceleration (AREA)
- Control Of Stepping Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、脱調検出機能を有するモータの回
転制御手段において、パルスモータの脱調点を測定し
て、脱調することが無く、最も高速にデバイス６０を搬
送する速度制御手段を実現して搬送のスループットを向
上する事を目的とする。 【構成】 モータ２２を複数の加速／減速条件で駆動
し、このときのエンコーダ２０からの信号を受けて、脱
調の有無を検出し、脱調点を求め、この脱調点の加速／
減速条件値を基に以後のモータ２２の加速／減速の駆動
条件を制御する脱調測定部１２を設ける構成手段。
転制御手段において、パルスモータの脱調点を測定し
て、脱調することが無く、最も高速にデバイス６０を搬
送する速度制御手段を実現して搬送のスループットを向
上する事を目的とする。 【構成】 モータ２２を複数の加速／減速条件で駆動
し、このときのエンコーダ２０からの信号を受けて、脱
調の有無を検出し、脱調点を求め、この脱調点の加速／
減速条件値を基に以後のモータ２２の加速／減速の駆動
条件を制御する脱調測定部１２を設ける構成手段。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣテストハンドラ
内で、デバイスやデバイスを収納したトレイを搬送移動
する駆動源としてのモータの速度制御を高速化して搬送
時間を短縮するモータ速度制御装置に関する。
内で、デバイスやデバイスを収納したトレイを搬送移動
する駆動源としてのモータの速度制御を高速化して搬送
時間を短縮するモータ速度制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣテストハンドラでは、デバイス供給
側からデバイス６０を受け取って、１個あるいは複数個
を順次内部の恒温槽部に搬送して、高温／低温の所望の
温度に印加する。その後、このデバイス６０を電気試験
を行う為に測定部に搬送する。このデバイス６０は、測
定部で電気試験された結果、良品／不良品／特性ランク
別に識別される。その後、デバイス６０は、測定結果に
対応した収納側のトレイに振り分けられて格納される。
これらの搬送の為に、内部に多数のモータ駆動手段を設
けて、デバイス６０の供給、搬送、電気試験、良否分
類、収容する工程がある。
側からデバイス６０を受け取って、１個あるいは複数個
を順次内部の恒温槽部に搬送して、高温／低温の所望の
温度に印加する。その後、このデバイス６０を電気試験
を行う為に測定部に搬送する。このデバイス６０は、測
定部で電気試験された結果、良品／不良品／特性ランク
別に識別される。その後、デバイス６０は、測定結果に
対応した収納側のトレイに振り分けられて格納される。
これらの搬送の為に、内部に多数のモータ駆動手段を設
けて、デバイス６０の供給、搬送、電気試験、良否分
類、収容する工程がある。
【０００３】一方、試験コストを低減する為に無人運転
等で運用されたり、また、設備の稼働率を向上する為
に、昼夜連続運転される場合が多い。試験コストの低減
の為に、ＩＣテストハンドラでは、デバイスの試験／搬
送時間を短縮してスループットを向上することは重要な
課題となっている。他方では、デバイスやマガジン等の
搬送不良によってＩＣハンドラの動作を停止状態にする
ようなジャムの発生があり、当然ながら、このような装
置の稼働率低下となるトラブルの発生は、極力低減する
ことも重要な課題となっている。
等で運用されたり、また、設備の稼働率を向上する為
に、昼夜連続運転される場合が多い。試験コストの低減
の為に、ＩＣテストハンドラでは、デバイスの試験／搬
送時間を短縮してスループットを向上することは重要な
課題となっている。他方では、デバイスやマガジン等の
搬送不良によってＩＣハンドラの動作を停止状態にする
ようなジャムの発生があり、当然ながら、このような装
置の稼働率低下となるトラブルの発生は、極力低減する
ことも重要な課題となっている。
【０００４】従来技術のモータによる回転制御の例につ
いて、図２と図３を示して説明する。本装置の構成は、
図２に示すように、パルスモータ２２と、変速機構２４
と、ロータリエンコーダ２０と、回転テーブル３０と、
供給アーム４０と、収容アーム５０と、原点センサ３２
と、速度制御部７０と、ＣＰＵ８０と、パラメータメモ
リ８２とで構成している。
いて、図２と図３を示して説明する。本装置の構成は、
図２に示すように、パルスモータ２２と、変速機構２４
と、ロータリエンコーダ２０と、回転テーブル３０と、
供給アーム４０と、収容アーム５０と、原点センサ３２
と、速度制御部７０と、ＣＰＵ８０と、パラメータメモ
リ８２とで構成している。
【０００５】パルスモータ２２は、速度制御部７０のド
ライブ部７１からの駆動信号を受けて、モータの回転軸
を正方向あるいは逆方向に加速／減速／定速ドライブ
し、変速機構２４により、減速して回転テーブル３０を
所定の位置まで回転移動させる。ロータリエンコーダ２
０は、モータの回転軸が実際に回転した回転角度信号を
検出して脱調検出部７４に供給する。
ライブ部７１からの駆動信号を受けて、モータの回転軸
を正方向あるいは逆方向に加速／減速／定速ドライブ
し、変速機構２４により、減速して回転テーブル３０を
所定の位置まで回転移動させる。ロータリエンコーダ２
０は、モータの回転軸が実際に回転した回転角度信号を
検出して脱調検出部７４に供給する。
【０００６】速度制御部７０は、ドライブ部７１と、ス
テップカウンタ７２と、エンコーダカウンタ７３と脱調
検出部７４とで構成している。ドライブ部７１は、ＣＰ
Ｕ８０からの回転方向やパルス周波数やスローアップ・
スローダウンのパラメータ情報を受けて、パルスモータ
２２を加速／減速／定速駆動する。ステップカウンタ７
２は、パルスモータ２２に印加した全ステップパルス数
をカウントしている。エンコーダカウンタ７３は、ロー
タリエンコーダ２０からの回転軸の正／逆回転パルス信
号を受けて、実際のパルスモータ２２が回転した回転角
度数をカウントしている。脱調検出部７４は、脱調が一
度でも脱調したか否かを検出するものである。ステップ
カウンタ７２とエンコーダカウンタ７３との信号を受け
て、両者の比較を行い脱調したかを監視していて、この
脱調信号をＣＰＵ８０に供給している。ＣＰＵ８０は、
この脱調信号を受けて、搬送装置の安全停止等を行う。
テップカウンタ７２と、エンコーダカウンタ７３と脱調
検出部７４とで構成している。ドライブ部７１は、ＣＰ
Ｕ８０からの回転方向やパルス周波数やスローアップ・
スローダウンのパラメータ情報を受けて、パルスモータ
２２を加速／減速／定速駆動する。ステップカウンタ７
２は、パルスモータ２２に印加した全ステップパルス数
をカウントしている。エンコーダカウンタ７３は、ロー
タリエンコーダ２０からの回転軸の正／逆回転パルス信
号を受けて、実際のパルスモータ２２が回転した回転角
度数をカウントしている。脱調検出部７４は、脱調が一
度でも脱調したか否かを検出するものである。ステップ
カウンタ７２とエンコーダカウンタ７３との信号を受け
て、両者の比較を行い脱調したかを監視していて、この
脱調信号をＣＰＵ８０に供給している。ＣＰＵ８０は、
この脱調信号を受けて、搬送装置の安全停止等を行う。
【０００７】ここで、脱調（Step out）とは、パルスモ
ータ２２にステップパルスを印加してドライブしても、
このステップパルスに対応できずに一度でも同期外れの
回転を起こした状態を脱調と称す。この脱調には２つの
パターンがあり、急激な加速時にはステップ回転不足を
起こす脱調であり、急激な減速時にはオーバーランを起
こす脱調である。また、脱調信号は、脱調が一度でも脱
調したときに発生する検出信号である。また、脱調点と
は、加速／減速条件を小さくして脱調が無い状態からス
タートし、順次加減速条件を大きくしていったときに、
やがて、脱調が生じて脱調信号が発生する状態となる。
この時点の加速／減速の条件を脱調点と称す。この脱調
点は、印加するパルス周波数や、負荷側の慣性力に依存
して変化する。
ータ２２にステップパルスを印加してドライブしても、
このステップパルスに対応できずに一度でも同期外れの
回転を起こした状態を脱調と称す。この脱調には２つの
パターンがあり、急激な加速時にはステップ回転不足を
起こす脱調であり、急激な減速時にはオーバーランを起
こす脱調である。また、脱調信号は、脱調が一度でも脱
調したときに発生する検出信号である。また、脱調点と
は、加速／減速条件を小さくして脱調が無い状態からス
タートし、順次加減速条件を大きくしていったときに、
やがて、脱調が生じて脱調信号が発生する状態となる。
この時点の加速／減速の条件を脱調点と称す。この脱調
点は、印加するパルス周波数や、負荷側の慣性力に依存
して変化する。
【０００８】パラメータメモリ８２は、不揮発性のメモ
リであり、パルスモータ２２を加速／減速ドライブする
ときのパルス周波数に対応した加減速の傾きをパラメー
タ値としてメモリに格納する。このパラメータ値は、負
荷である回転テーブル３０の慣性力に対して、安全係数
を掛けた値が格納してある。このパラメータ値は、製造
調整時に予め求め格納しておく。そして、パルスモータ
の回転制御するときに、ＣＰＵ８０は、このパラメータ
メモリ８２からのパラメータ値を読み出して、移動距
離、移動速度に対応した加速／減速条件を計算した値
を、速度制御部７０に供給することで、脱調することの
ない回転制御を行っている。
リであり、パルスモータ２２を加速／減速ドライブする
ときのパルス周波数に対応した加減速の傾きをパラメー
タ値としてメモリに格納する。このパラメータ値は、負
荷である回転テーブル３０の慣性力に対して、安全係数
を掛けた値が格納してある。このパラメータ値は、製造
調整時に予め求め格納しておく。そして、パルスモータ
の回転制御するときに、ＣＰＵ８０は、このパラメータ
メモリ８２からのパラメータ値を読み出して、移動距
離、移動速度に対応した加速／減速条件を計算した値
を、速度制御部７０に供給することで、脱調することの
ない回転制御を行っている。
【０００９】供給アーム４０は、前工程場所から１個
（あるいは複数個）のデバイス６０を吸着部４２で吸着
して、回転テーブル３０まで搬送してきて、直下のポケ
ット３４に置くものである。収容アーム５０は、吸着部
５２直下にあるポケット３４にある１個（あるいは複数
個）のデバイス６０を吸着部５２で吸着して持ち上げ、
次工程場所に搬送出力する。
（あるいは複数個）のデバイス６０を吸着部４２で吸着
して、回転テーブル３０まで搬送してきて、直下のポケ
ット３４に置くものである。収容アーム５０は、吸着部
５２直下にあるポケット３４にある１個（あるいは複数
個）のデバイス６０を吸着部５２で吸着して持ち上げ、
次工程場所に搬送出力する。
【００１０】原点センサ３２は、回転テーブル３０を原
点復帰させるものであり、光学的な反射センサあるいは
透過センサを使用している。そして、電源投入時に初期
位置に回転テーブル３０をセットする場合や、脱調した
場合の原点復帰に使用する為のセンサであり、回転テー
ブル３０の１カ所にマークを付けて原点位置を識別す
る。この原点センサ３２の信号を速度制御部７０に供給
している。
点復帰させるものであり、光学的な反射センサあるいは
透過センサを使用している。そして、電源投入時に初期
位置に回転テーブル３０をセットする場合や、脱調した
場合の原点復帰に使用する為のセンサであり、回転テー
ブル３０の１カ所にマークを付けて原点位置を識別す
る。この原点センサ３２の信号を速度制御部７０に供給
している。
【００１１】回転テーブル３０は、例えば、デバイスを
電気試験させる為の、一時バッファであったり、デバイ
スを加熱／冷却時間を与える為のバッファ等である。こ
の為に、回転テーブル３０の上には多数のくぼみ状のポ
ケット３４を形成している。回転テーブル３０の搬送動
作には、複数の搬送動作パターンがある。即ち、単純
に、１ポケット単位の角度で回転移動させる場合や、
ｎポケット単位の角度で回転移動させる跳び越し動作の
場合や、供給アーム４０、収容アーム５０に複数の吸
着部４２ｎ、５２ｎを有して、回転テーブル３０を正転
／逆転させながら回転移動させる往復動配置の場合や、
供給側と収容側の搬送能力のばらつきを吸収する為に
非同期に供給／収容する為に、任意のポケット位置に回
転位置に移動させて吸着／開放動作を実施する場合、等
である。
電気試験させる為の、一時バッファであったり、デバイ
スを加熱／冷却時間を与える為のバッファ等である。こ
の為に、回転テーブル３０の上には多数のくぼみ状のポ
ケット３４を形成している。回転テーブル３０の搬送動
作には、複数の搬送動作パターンがある。即ち、単純
に、１ポケット単位の角度で回転移動させる場合や、
ｎポケット単位の角度で回転移動させる跳び越し動作の
場合や、供給アーム４０、収容アーム５０に複数の吸
着部４２ｎ、５２ｎを有して、回転テーブル３０を正転
／逆転させながら回転移動させる往復動配置の場合や、
供給側と収容側の搬送能力のばらつきを吸収する為に
非同期に供給／収容する為に、任意のポケット位置に回
転位置に移動させて吸着／開放動作を実施する場合、等
である。
【００１２】次に、パルスモータ２２の脱調に付いて図
３を示して説明する。パルスモータに負荷を接続して、
回転トルクの限度を超えた加速／減速を行うと脱調を起
こす。即ち、モータの回転トルク性能と負荷の慣性力の
関係で限度以上の慣性モーメントとなると、ステップミ
スをして、加速時はモータがステップ回転しなかった
り、逆に減速時ではスリップ回転してオーバーステップ
してしまう。モータの回転トルクは、パルス周波数によ
っても変わる為、パルス周波数に対応した加速／減速の
傾きで制御する必要がある。
３を示して説明する。パルスモータに負荷を接続して、
回転トルクの限度を超えた加速／減速を行うと脱調を起
こす。即ち、モータの回転トルク性能と負荷の慣性力の
関係で限度以上の慣性モーメントとなると、ステップミ
スをして、加速時はモータがステップ回転しなかった
り、逆に減速時ではスリップ回転してオーバーステップ
してしまう。モータの回転トルクは、パルス周波数によ
っても変わる為、パルス周波数に対応した加速／減速の
傾きで制御する必要がある。
【００１３】上記回転テーブル上を１ポケット単位の角
度で回転制御する場合の加速／減速速度の推移を図３に
示す。脱調を防止する為に、スローアップ／スローダウ
ンとなるようにパルス周波数を制御している。このスロ
ーアップ／スローダウンの傾きは、脱調限界値から十分
マージンを持たせて行なう。例えば、速度制御を、加速
１０１と定速１０２と減速１０３のシーケンスで行う。
また、長い移動距離の場合は、加速１１１と加速１１２
と定速１１３と減速１１４と減速１１５のシーケンスで
行う。何れにしても、速度の傾きを急激に変えるような
屈曲点ならないようにする。
度で回転制御する場合の加速／減速速度の推移を図３に
示す。脱調を防止する為に、スローアップ／スローダウ
ンとなるようにパルス周波数を制御している。このスロ
ーアップ／スローダウンの傾きは、脱調限界値から十分
マージンを持たせて行なう。例えば、速度制御を、加速
１０１と定速１０２と減速１０３のシーケンスで行う。
また、長い移動距離の場合は、加速１１１と加速１１２
と定速１１３と減速１１４と減速１１５のシーケンスで
行う。何れにしても、速度の傾きを急激に変えるような
屈曲点ならないようにする。
【００１４】一方では、負荷側の慣性力は、経時変化に
より変わってくる場合や、また、組み立て上のばらつき
から製品毎に必要トルクが大きく変わる場合や、装置の
修理／メンテナンスにより変動する場合がある。この
為、これらの各種変動やばらつき条件を加味して十分余
裕のあるマージンを持った低い加速／減速の傾きでパル
スモータ２２を制御するようにしている。また、パルス
モータ自体も、強いトルク特性を有するモータを使用す
る場合がある。
より変わってくる場合や、また、組み立て上のばらつき
から製品毎に必要トルクが大きく変わる場合や、装置の
修理／メンテナンスにより変動する場合がある。この
為、これらの各種変動やばらつき条件を加味して十分余
裕のあるマージンを持った低い加速／減速の傾きでパル
スモータ２２を制御するようにしている。また、パルス
モータ自体も、強いトルク特性を有するモータを使用す
る場合がある。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、脱
調を防止する為に、負荷側の加減速による慣性力が、パ
ルスモータの出力トルク以下を保つように速度制御する
が、負荷側の必要トルクは、経時変化や、製造組み立て
時のばらつきや、修理／メンテナンスにより変わる場合
ある。これら各種ばらつき条件を加味して十分余裕のあ
るマージンを持った低い加速／減速の傾きでパルスモー
タ２２を制御するパラメータ値をパラメータメモリ８２
に記憶させている。しかし、裕度があり過ぎる場合もあ
り、スループットの向上の制限要因となっていて、必ず
しも有効な速度制御とはなっていなかった。
調を防止する為に、負荷側の加減速による慣性力が、パ
ルスモータの出力トルク以下を保つように速度制御する
が、負荷側の必要トルクは、経時変化や、製造組み立て
時のばらつきや、修理／メンテナンスにより変わる場合
ある。これら各種ばらつき条件を加味して十分余裕のあ
るマージンを持った低い加速／減速の傾きでパルスモー
タ２２を制御するパラメータ値をパラメータメモリ８２
に記憶させている。しかし、裕度があり過ぎる場合もあ
り、スループットの向上の制限要因となっていて、必ず
しも有効な速度制御とはなっていなかった。
【００１６】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、パルスモータ２２の脱調点を測定して、脱調するこ
と無く、かつ、パルスモータの出力トルクを測定して、
最も高速にデバイス６０を搬送する速度制御手段を実現
して搬送のスループットを向上する事を目的とする。
は、パルスモータ２２の脱調点を測定して、脱調するこ
と無く、かつ、パルスモータの出力トルクを測定して、
最も高速にデバイス６０を搬送する速度制御手段を実現
して搬送のスループットを向上する事を目的とする。
【００１７】
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、第１に、ステップモータ２２を
複数の加速／減速条件で駆動し、このときのエンコーダ
２０からの信号を受けて、脱調の有無を検出し、脱調点
を求め、この脱調点値を基に以後のステップモータ２２
の加速／減速の駆動条件をＣＰＵ８０に供給する脱調測
定部１２を設ける構成手段にする。これにより、モータ
の回転軸の回転角度を検出するエンコーダを有し、モー
タ駆動ステップパルス数信号と、エンコーダからの信号
を受けて脱調検出機能を有するモータ速度制御装置を脱
調することなく、ＩＣテストハンドラにおけるデバイス
搬送用モータ速度制御を高速に駆動することができる。
に、本発明の構成では、第１に、ステップモータ２２を
複数の加速／減速条件で駆動し、このときのエンコーダ
２０からの信号を受けて、脱調の有無を検出し、脱調点
を求め、この脱調点値を基に以後のステップモータ２２
の加速／減速の駆動条件をＣＰＵ８０に供給する脱調測
定部１２を設ける構成手段にする。これにより、モータ
の回転軸の回転角度を検出するエンコーダを有し、モー
タ駆動ステップパルス数信号と、エンコーダからの信号
を受けて脱調検出機能を有するモータ速度制御装置を脱
調することなく、ＩＣテストハンドラにおけるデバイス
搬送用モータ速度制御を高速に駆動することができる。
【００１８】また、第２に、ステップモータ２２を複数
の加速／減速条件で駆動し、このときのエンコーダ２０
からの信号を受けて、脱調の有無を検出し、脱調点を求
め、この脱調点の加速／減速条件値をパラメータメモリ
８２に保存する脱調測定部１２を設ける構成手段にす
る。これにより、同様にして、脱調することなく、ＩＣ
テストハンドラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御
を高速に駆動することができる。
の加速／減速条件で駆動し、このときのエンコーダ２０
からの信号を受けて、脱調の有無を検出し、脱調点を求
め、この脱調点の加速／減速条件値をパラメータメモリ
８２に保存する脱調測定部１２を設ける構成手段にす
る。これにより、同様にして、脱調することなく、ＩＣ
テストハンドラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御
を高速に駆動することができる。
【００１９】また、第３に、上記手段によって得た脱調
点の加速／減速の測定データを、ログメモリ１３に追加
記録して経時変化の推移を記録するログメモリ１３を設
ける構成手段がある。また、第４に、上記手段によって
得た脱調点の加速／減速の測定データを、上位管理マシ
ンに通信する通信手段１４を設ける構成手段がある。こ
れにより、脱調点の経時変化の推移を比較し管理でき
る。
点の加速／減速の測定データを、ログメモリ１３に追加
記録して経時変化の推移を記録するログメモリ１３を設
ける構成手段がある。また、第４に、上記手段によって
得た脱調点の加速／減速の測定データを、上位管理マシ
ンに通信する通信手段１４を設ける構成手段がある。こ
れにより、脱調点の経時変化の推移を比較し管理でき
る。
【００２０】
【作用】本装置は、回転テーブル３０等の負荷側の必要
トルクが、経時変化や、組み立て時のばらつきで変動し
ても、脱調することが無く、最も高速にデバイス６０を
搬送する速度制御手段を実現できる働きを持ち、搬送装
置全体のスループット向上できる。脱調測定部１２は、
各種加速／減速パターン毎の状態を実際にパルスモータ
２２に与えて、現時点の回転テーブル３０の脱調限界点
を測定できる機能を持つ。
トルクが、経時変化や、組み立て時のばらつきで変動し
ても、脱調することが無く、最も高速にデバイス６０を
搬送する速度制御手段を実現できる働きを持ち、搬送装
置全体のスループット向上できる。脱調測定部１２は、
各種加速／減速パターン毎の状態を実際にパルスモータ
２２に与えて、現時点の回転テーブル３０の脱調限界点
を測定できる機能を持つ。
【００２１】
【実施例】本発明の実施例は、脱調点を測定して、この
データを基にパラメータメモリ８２に格納する手段を設
けた場合の例である。これについて、図１を参照して説
明する。本装置の構成は、パルスモータ２２と、変速機
構２４と、ロータリエンコーダ２０と、回転テーブル３
０と、供給アーム４０と、収容アーム５０と、原点セン
サ３２と、速度制御部７０と、ＣＰＵ８０と、パラメー
タメモリ８２と、脱調測定部１２とで構成している。従
来の構成に脱調測定部１２を追加した構成になってい
る。
データを基にパラメータメモリ８２に格納する手段を設
けた場合の例である。これについて、図１を参照して説
明する。本装置の構成は、パルスモータ２２と、変速機
構２４と、ロータリエンコーダ２０と、回転テーブル３
０と、供給アーム４０と、収容アーム５０と、原点セン
サ３２と、速度制御部７０と、ＣＰＵ８０と、パラメー
タメモリ８２と、脱調測定部１２とで構成している。従
来の構成に脱調測定部１２を追加した構成になってい
る。
【００２２】脱調測定部１２とパラメータメモリ８２に
ついて説明する。パラメータメモリ８２は、書き込み／
読みだし可能な不揮発性メモリである。脱調測定部１２
は、パルスモータ２２が使用するパルス周波数毎につい
ての脱調限界点を測定し、そのパラメータ値をパラメー
タメモリ８２に格納する。この為に、各種加速／減速パ
ターン毎の状態を実際にパルスモータ２２に与えて、そ
の状態から別の変速状態に変え、そのときの脱調限界を
測定する。脱調点を求める為に、最初は、加速／減速条
件を小さくして脱調が無い状態からスタートし、脱調検
出部７４からの脱調信号を確認しながら順次加速条件を
大きくして繰り返し行う。やがて、脱調信号を検出する
状態となるので、この加速／減速条件が脱調点であるこ
とが求まる。この動作を他のパターン条件についても同
様にして実施して、全ての加速／減速パターン毎の脱調
点を測定する。これら求まった脱調点値から裕度係数を
掛けた値をパラメータメモリ８２に格納して測定は完了
する。以後は、本来の搬送動作を開始する。この更新動
作は、電源投入時か、あるいは一定日数毎か、あるいは
搬送条件を変えたとき、あるいは修理やメンテナンス時
に実施する。これにより、各装置個別に、最もスループ
ットのある条件で搬送できることとなる。
ついて説明する。パラメータメモリ８２は、書き込み／
読みだし可能な不揮発性メモリである。脱調測定部１２
は、パルスモータ２２が使用するパルス周波数毎につい
ての脱調限界点を測定し、そのパラメータ値をパラメー
タメモリ８２に格納する。この為に、各種加速／減速パ
ターン毎の状態を実際にパルスモータ２２に与えて、そ
の状態から別の変速状態に変え、そのときの脱調限界を
測定する。脱調点を求める為に、最初は、加速／減速条
件を小さくして脱調が無い状態からスタートし、脱調検
出部７４からの脱調信号を確認しながら順次加速条件を
大きくして繰り返し行う。やがて、脱調信号を検出する
状態となるので、この加速／減速条件が脱調点であるこ
とが求まる。この動作を他のパターン条件についても同
様にして実施して、全ての加速／減速パターン毎の脱調
点を測定する。これら求まった脱調点値から裕度係数を
掛けた値をパラメータメモリ８２に格納して測定は完了
する。以後は、本来の搬送動作を開始する。この更新動
作は、電源投入時か、あるいは一定日数毎か、あるいは
搬送条件を変えたとき、あるいは修理やメンテナンス時
に実施する。これにより、各装置個別に、最もスループ
ットのある条件で搬送できることとなる。
【００２３】また、上記で得た脱調点値の情報をパラメ
ータメモリ８２に格納と同時に、ログメモリ１３を設け
て追加記録する手段がある。この場合は、ＣＰＵ８０が
脱調点値の経時変化の推移を統計比較することで、搬送
機構のトラブルを事前に察知できる場合があり、自己診
断機能として有効に利用できる。また、上記で得た脱調
点値の情報をパラメータメモリ８２から読み出して通信
手段１４を設けて上位管理マシンに供給して、複数台の
ＩＣハンドラの脱調点情報を一括管理する手段がある。
この場合も同様に、経時変化の推移を統計比較すること
で、搬送機構のトラブルを事前に察知できる場合があ
り、診断機能として有効に利用できる。
ータメモリ８２に格納と同時に、ログメモリ１３を設け
て追加記録する手段がある。この場合は、ＣＰＵ８０が
脱調点値の経時変化の推移を統計比較することで、搬送
機構のトラブルを事前に察知できる場合があり、自己診
断機能として有効に利用できる。また、上記で得た脱調
点値の情報をパラメータメモリ８２から読み出して通信
手段１４を設けて上位管理マシンに供給して、複数台の
ＩＣハンドラの脱調点情報を一括管理する手段がある。
この場合も同様に、経時変化の推移を統計比較すること
で、搬送機構のトラブルを事前に察知できる場合があ
り、診断機能として有効に利用できる。
【００２４】上記実施例の説明では、全ての加速／減速
パターン毎の脱調点を測定する場合で説明したが、必要
により１点あるいは代表的な脱調点のみを測定し、他
は、これから計算により類推値を計算して、パラメータ
メモリ８２に格納するようにしても良い。
パターン毎の脱調点を測定する場合で説明したが、必要
により１点あるいは代表的な脱調点のみを測定し、他
は、これから計算により類推値を計算して、パラメータ
メモリ８２に格納するようにしても良い。
【００２５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。脱
調測定部１２により、現時点での脱調点を測定した結果
の加速／減速パラメータを使って、パルスモータ２２を
駆動することが可能となる。この結果、負荷側の必要ト
ルクの経時変化や組み立て時のばらつき変動があって
も、脱調することが無く、かつ、最も高速にデバイス６
０を搬送する速度制御手段を実現でき、搬送装置全体の
スループットを向上する効果が得られる。ログメモリ１
３を設けた場合は、脱調点値の情報を、このログメモリ
１３に追加記録する。これにより、脱調点値の経時変化
の推移を統計比較する情報を保存でき、搬送機構のトラ
ブルを事前に察知したり、自己診断機能として利用でき
る効果がある。また、通信手段１４を設けた場合は、上
記で得た脱調点値の情報を、上位管理マシンに通信し
て、複数台のＩＣハンドラの脱調点情報を一括管理でき
る。この結果、同様に搬送機構のトラブルを事前に察知
したり、ＩＣハンドラの診断機能として利用できる効果
がある。
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。脱
調測定部１２により、現時点での脱調点を測定した結果
の加速／減速パラメータを使って、パルスモータ２２を
駆動することが可能となる。この結果、負荷側の必要ト
ルクの経時変化や組み立て時のばらつき変動があって
も、脱調することが無く、かつ、最も高速にデバイス６
０を搬送する速度制御手段を実現でき、搬送装置全体の
スループットを向上する効果が得られる。ログメモリ１
３を設けた場合は、脱調点値の情報を、このログメモリ
１３に追加記録する。これにより、脱調点値の経時変化
の推移を統計比較する情報を保存でき、搬送機構のトラ
ブルを事前に察知したり、自己診断機能として利用でき
る効果がある。また、通信手段１４を設けた場合は、上
記で得た脱調点値の情報を、上位管理マシンに通信し
て、複数台のＩＣハンドラの脱調点情報を一括管理でき
る。この結果、同様に搬送機構のトラブルを事前に察知
したり、ＩＣハンドラの診断機能として利用できる効果
がある。
【００２６】
【図１】本発明のモータの脱調点を測定して、加速／減
速パラメータをパラメータメモリ８２に格納する手段を
設けた構成図である。
速パラメータをパラメータメモリ８２に格納する手段を
設けた構成図である。
【図２】従来のモータの回転制御の構成図である。
【図３】パルスモータの加速／減速速度の推移を説明す
る図である。
る図である。
１２ 脱調測定部 １３ ログメモリ １４ 通信手段 ２０ エンコーダ（ロータリエンコーダ） ２２ パルスモータ（ステップモータ） ２４ 変速機構 ３０ 回転テーブル ３２ 原点センサ ３４ ポケット ４０ 供給アーム ４２、４２ｎ、５２、５２ｎ 吸着部 ５０ 収容アーム ６０ デバイス ７０ 速度制御部 ７１ ドライブ部 ７２ ステップカウンタ ７３ エンコーダカウンタ ７４ 脱調検出部 ８０ ＣＰＵ ８２ パラメータメモリ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｄ 13/62 Ｐ
Claims (4)
- 【請求項１】 ステップモータの回転軸の回転角度を検
出するエンコーダ（２０）を有し、ステップモータを駆
動するステップパルス数の計数器（７２）信号と、エン
コーダ（２０）からの信号を受けて脱調検出機能を有す
るモータ速度制御装置において、 ステップモータ（２２）を複数の加速／減速条件で駆動
し、このときのエンコーダ（２０）からの信号を受け
て、脱調の有無を検出し、脱調点を求め、この脱調点値
を基に以後のステップモータ（２２）の加速／減速の駆
動条件をＣＰＵ（８０）に供給する脱調測定部（１２）
を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストハンド
ラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置。 - 【請求項２】 ステップモータの回転軸の回転角度を検
出するエンコーダ（２０）を有し、ステップモータを駆
動するステップパルス数の計数器（７２）信号と、エン
コーダ（２０）からの信号を受けて脱調検出機能を有
し、加速／減速の駆動条件をパラメータメモリ（８２）
から読み出して制御するモータ速度制御装置において、 ステップモータ（２２）を複数の加速／減速条件で駆動
し、このときのエンコーダ（２０）からの信号を受け
て、脱調の有無を検出し、脱調点を求め、この脱調点の
加速／減速条件値をパラメータメモリ（８２）に保存す
る脱調測定部（１２）を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストハンド
ラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置。 - 【請求項３】 請求項１あるいは請求項２記載の脱調測
定部（１２）に、 脱調点の測定データを受けて、ログメモリ（１３）に追
加記録するログメモリ（１３）を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストハンド
ラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置。 - 【請求項４】 請求項１あるいは請求項２記載の脱調測
定部（１２）に、 脱調点の測定データを受けて、上位管理マシンに通信す
る通信手段（１４）を設け、 以上を具備していることを特徴としたＩＣテストハンド
ラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6143947A JPH07337097A (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Ｉｃテストハンドラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6143947A JPH07337097A (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Ｉｃテストハンドラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07337097A true JPH07337097A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=15350756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6143947A Pending JPH07337097A (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Ｉｃテストハンドラにおけるデバイス搬送用モータ速度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07337097A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008127128A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Ckd Corp | 検査方法及び検査装置 |
| JP2009083984A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Saxa Inc | ワーク供給装置およびその供給方法 |
| JP2016141566A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 株式会社三龍社 | 駆動ローラおよびローラコンベア |
| JP2016187823A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 蛇の目ミシン工業株式会社 | サーボプレス、制御方法およびプログラム |
-
1994
- 1994-06-02 JP JP6143947A patent/JPH07337097A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008127128A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Ckd Corp | 検査方法及び検査装置 |
| JP2009083984A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Saxa Inc | ワーク供給装置およびその供給方法 |
| JP2016141566A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 株式会社三龍社 | 駆動ローラおよびローラコンベア |
| JP2016187823A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 蛇の目ミシン工業株式会社 | サーボプレス、制御方法およびプログラム |
| US10391730B2 (en) | 2015-03-30 | 2019-08-27 | Janome Sewing Machine Co., Ltd. | Pulse motor system, pulse motor system controller, and a non-transitory computer-readable recording medium recording a program |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020903 |