JPH07333417A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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- JPH07333417A JPH07333417A JP14411494A JP14411494A JPH07333417A JP H07333417 A JPH07333417 A JP H07333417A JP 14411494 A JP14411494 A JP 14411494A JP 14411494 A JP14411494 A JP 14411494A JP H07333417 A JPH07333417 A JP H07333417A
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- Japan
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- film
- transparent
- photosensitive resin
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィルム転写法によるカラーフィルターの製
造方法において、白抜けの発生を防止する。 【構成】 フィルム転写法によりカラーフィルターを製
造するに際し、ベースフィルム3に厚さ5μm未満の薄
いPETフィルムを用いる。基板1上に先に形成された
透明着色パターン2の上から2色目以降の転写材料5を
加熱圧着する際に、PETフィルム3が薄いので熱ロー
ルで転写材料5を押圧した時に透明着色パターン2の段
差部分に転写材料5が追従して隙間を生じない。
造方法において、白抜けの発生を防止する。 【構成】 フィルム転写法によりカラーフィルターを製
造するに際し、ベースフィルム3に厚さ5μm未満の薄
いPETフィルムを用いる。基板1上に先に形成された
透明着色パターン2の上から2色目以降の転写材料5を
加熱圧着する際に、PETフィルム3が薄いので熱ロー
ルで転写材料5を押圧した時に透明着色パターン2の段
差部分に転写材料5が追従して隙間を生じない。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルター、特
に液晶カラーディスプレイ用のカラーフィルターの製造
方法に関するものである。
に液晶カラーディスプレイ用のカラーフィルターの製造
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のカラーフィルターの製造
方法の一つとしていわゆるフィルム転写法が知られてい
る(例えば、特開昭63−187203号公報参照)。
この方法は、ベースフィルム上に形成された透明着色感
光性樹脂の層をベースフィルムとともに基板上に加熱圧
着する工程と、フォトマスクを介して前記透明着色感光
性樹脂の層を露光した後、ベースフィルムを剥離し、現
像して透明着色のパターンを形成する工程とを含み、色
相の異なる透明着色感光性樹脂の層について前記の各工
程を繰り返すことによってカラーフィルターを製造する
ものであり、通常の場合、ベースフィルムとして厚さ2
0〜100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム
(以下、PETフィルムという。)を用い、このベース
フィルムの上に1〜2μmの厚さで透明着色感光性樹脂
の層を形成してなる転写材料を使用している。
方法の一つとしていわゆるフィルム転写法が知られてい
る(例えば、特開昭63−187203号公報参照)。
この方法は、ベースフィルム上に形成された透明着色感
光性樹脂の層をベースフィルムとともに基板上に加熱圧
着する工程と、フォトマスクを介して前記透明着色感光
性樹脂の層を露光した後、ベースフィルムを剥離し、現
像して透明着色のパターンを形成する工程とを含み、色
相の異なる透明着色感光性樹脂の層について前記の各工
程を繰り返すことによってカラーフィルターを製造する
ものであり、通常の場合、ベースフィルムとして厚さ2
0〜100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム
(以下、PETフィルムという。)を用い、このベース
フィルムの上に1〜2μmの厚さで透明着色感光性樹脂
の層を形成してなる転写材料を使用している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたフ
ィルム転写法は、例えばフォトリソグラフィ法と比べる
と生産性が高いという利点を有してはいるが、2色目以
降の転写材料を転写する際に、図1に示す如く、基板1
上に先に形成された透明着色パターン2によって生じた
段差部分にPETフィルム3と透明着色感光性樹脂の層
4とからなる転写材料5が追従せずに隙間6を生じ、従
って転写できない部分を生じてしまい、このため作製さ
れたカラーフィルターに白抜けによる欠陥が発生すると
いう問題点があった。
ィルム転写法は、例えばフォトリソグラフィ法と比べる
と生産性が高いという利点を有してはいるが、2色目以
降の転写材料を転写する際に、図1に示す如く、基板1
上に先に形成された透明着色パターン2によって生じた
段差部分にPETフィルム3と透明着色感光性樹脂の層
4とからなる転写材料5が追従せずに隙間6を生じ、従
って転写できない部分を生じてしまい、このため作製さ
れたカラーフィルターに白抜けによる欠陥が発生すると
いう問題点があった。
【0004】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたものであり、白抜けの発生を防止するように
したフィルム転写法によるカラーフィルターの製造方法
を提供することにある。
てなされたものであり、白抜けの発生を防止するように
したフィルム転写法によるカラーフィルターの製造方法
を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、ベースフィルム上に透明着色感光性樹
脂の層を形成した転写材料を用い、当該転写材料をその
透明着色感光性樹脂の層が基板と向かい合うようにして
基板上に加熱圧着する工程と、フォトマスクを介して前
記透明着色感光性樹脂の層を露光した後、ベースフィル
ムを剥離し、現像して透明着色のパターンを形成する工
程とを含み、色相の異なる透明着色感光性樹脂の層につ
いて前記の各工程を繰り返すことからなるカラーフィル
ターの製造方法において、前記ベースフィルムに厚さ5
μm未満の薄いPETフィルムを用いることで構成され
る。
めに、本発明は、ベースフィルム上に透明着色感光性樹
脂の層を形成した転写材料を用い、当該転写材料をその
透明着色感光性樹脂の層が基板と向かい合うようにして
基板上に加熱圧着する工程と、フォトマスクを介して前
記透明着色感光性樹脂の層を露光した後、ベースフィル
ムを剥離し、現像して透明着色のパターンを形成する工
程とを含み、色相の異なる透明着色感光性樹脂の層につ
いて前記の各工程を繰り返すことからなるカラーフィル
ターの製造方法において、前記ベースフィルムに厚さ5
μm未満の薄いPETフィルムを用いることで構成され
る。
【0006】
【作用】上述の構成からなる本発明のカラーフィルター
の製造方法では、図2に示すように、基板1上に先に形
成された透明着色パターン2の上から2色目以降の転写
材料5を加熱圧着する際に、PETフィルム3が薄く全
体が曲がりやすくなっているため、熱ロールで転写材料
を押圧した時に透明着色パターン2の段差部分に転写材
料が追従して隙間を発生しないようになる。
の製造方法では、図2に示すように、基板1上に先に形
成された透明着色パターン2の上から2色目以降の転写
材料5を加熱圧着する際に、PETフィルム3が薄く全
体が曲がりやすくなっているため、熱ロールで転写材料
を押圧した時に透明着色パターン2の段差部分に転写材
料が追従して隙間を発生しないようになる。
【0007】
(実施例1)下記組成の透明赤色感光性樹脂を調製し
た。 感光性ポリマー: メタクリル酸メチル/アクリロニトリル/アクリル化グリシジルアクリル酸エ ステル共重合体(モル比=65:10:25) 1196重量部 ベースポリマー: メタクリル酸メチル/β−ヒドロキシエチルメタクリル酸エステル共重合体( モル比=90:10) 557重量部 可塑剤: トリエチレングリコールジ酢酸エステル 262重量部 光重合開始剤: 第三級ブチルアントラキノン 142重量部 熱重合防止剤: 2,2’−メチレン−ビス−(4−エチル−6−第三級ブチルフェノール) 34.5重量部 顔料(赤色顔料): バルカンファストレッドB(ヘキスト) 300重量部 希釈溶剤: メチルエチルケトン 1000重量部
た。 感光性ポリマー: メタクリル酸メチル/アクリロニトリル/アクリル化グリシジルアクリル酸エ ステル共重合体(モル比=65:10:25) 1196重量部 ベースポリマー: メタクリル酸メチル/β−ヒドロキシエチルメタクリル酸エステル共重合体( モル比=90:10) 557重量部 可塑剤: トリエチレングリコールジ酢酸エステル 262重量部 光重合開始剤: 第三級ブチルアントラキノン 142重量部 熱重合防止剤: 2,2’−メチレン−ビス−(4−エチル−6−第三級ブチルフェノール) 34.5重量部 顔料(赤色顔料): バルカンファストレッドB(ヘキスト) 300重量部 希釈溶剤: メチルエチルケトン 1000重量部
【0008】顔料として、それぞれ緑色顔料:ヘリオゲ
ングリーンG(BASF)350重量部、青色顔料:イ
ンダースレンブルーBC(BASF)200重量部を使
用した以外は同様にして透明緑色感光性樹脂、透明青色
感光性樹脂も調製した。
ングリーンG(BASF)350重量部、青色顔料:イ
ンダースレンブルーBC(BASF)200重量部を使
用した以外は同様にして透明緑色感光性樹脂、透明青色
感光性樹脂も調製した。
【0009】厚さ3.5μmの透明なPETフィルム
(東レ(株)製「ルミラー、4A−F53」)を用い、
その上に上記の透明赤色感光性樹脂をダイコート法で塗
布し、温度70℃、時間1分間の条件で乾燥させ、2μ
mの厚さの透明赤色感光性樹脂の層を形成した。この層
の上に、厚さ100μmのポリエチレンフィルム(PE
フィルムという。)を積層して巻き取った。
(東レ(株)製「ルミラー、4A−F53」)を用い、
その上に上記の透明赤色感光性樹脂をダイコート法で塗
布し、温度70℃、時間1分間の条件で乾燥させ、2μ
mの厚さの透明赤色感光性樹脂の層を形成した。この層
の上に、厚さ100μmのポリエチレンフィルム(PE
フィルムという。)を積層して巻き取った。
【0010】上記PEフィルムを剥離しながら、透明赤
色感光性樹脂の層を、寸法200×300mmで厚さ
1.1mmのガラス基板「♯7059」(コーニング
社)に、ドライフィルム専用ラミネーター(デュポン
社)を用い、ヒーター温度170℃、ローラー圧力1.
5kg/リニアcm、ラミネーションスピード0.47
m/minの条件で加熱圧着した。
色感光性樹脂の層を、寸法200×300mmで厚さ
1.1mmのガラス基板「♯7059」(コーニング
社)に、ドライフィルム専用ラミネーター(デュポン
社)を用い、ヒーター温度170℃、ローラー圧力1.
5kg/リニアcm、ラミネーションスピード0.47
m/minの条件で加熱圧着した。
【0011】次に、形成する画素パターンに対応して、
モザイク状に規則正しく並んだパターンが形成されてい
るフォトマスクを介して、透明赤色感光性樹脂の層を露
光(00mJ/cm2 した後、PETフィルムを剥離
し、1,1,1−トリクロロエタンを1分間スプレーす
ることにより現像し、塩化メチレンを用いて30秒間リ
ンスして透明赤色のパターンを形成した。
モザイク状に規則正しく並んだパターンが形成されてい
るフォトマスクを介して、透明赤色感光性樹脂の層を露
光(00mJ/cm2 した後、PETフィルムを剥離
し、1,1,1−トリクロロエタンを1分間スプレーす
ることにより現像し、塩化メチレンを用いて30秒間リ
ンスして透明赤色のパターンを形成した。
【0012】上記の透明赤色のパターンを有する基板上
に、同様の方法で形成した透明緑色感光性樹脂の層を加
熱圧着した。そして、1ピッチ分ずらして位置合わせし
た前記フォトマスクを介して露光した後、現像及びリン
スして透明緑色のパターンを形成した。
に、同様の方法で形成した透明緑色感光性樹脂の層を加
熱圧着した。そして、1ピッチ分ずらして位置合わせし
た前記フォトマスクを介して露光した後、現像及びリン
スして透明緑色のパターンを形成した。
【0013】さらに、同様の方法で形成した透明青色感
光性樹脂の層を加熱圧着し、2ピッチ分ずらして位置合
わせした前記フォトマスクを介して露光した後、現像及
びリンスして透明青色のパターンを形成しカラーフィル
ターを得た。
光性樹脂の層を加熱圧着し、2ピッチ分ずらして位置合
わせした前記フォトマスクを介して露光した後、現像及
びリンスして透明青色のパターンを形成しカラーフィル
ターを得た。
【0014】(実施例2)ベースフィルムであるPET
フィルムとして、厚さ4.5μmのもの(東レ(株)製
「ルミラー、5A−F53」)を用いた以外は、実施例
1と同様にしてカラーフィルターを作製した。
フィルムとして、厚さ4.5μmのもの(東レ(株)製
「ルミラー、5A−F53」)を用いた以外は、実施例
1と同様にしてカラーフィルターを作製した。
【0015】(比較例1〜3)ベースフィルムであるP
ETフィルムとして、以下のものを用いた以外は、それ
ぞれ実施例1と同様にしてカラーフィルターを作製し
た。 比較例1:厚さ 5.7μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、6C−F53」) 比較例2:厚さ12.0μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、12−W10」) 比較例3:厚さ23.0μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、25−S10」)
ETフィルムとして、以下のものを用いた以外は、それ
ぞれ実施例1と同様にしてカラーフィルターを作製し
た。 比較例1:厚さ 5.7μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、6C−F53」) 比較例2:厚さ12.0μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、12−W10」) 比較例3:厚さ23.0μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、25−S10」)
【0016】上記実施例1,2及び比較例1〜3で得ら
れたカラーフィルターについてそれぞれ目視で白抜けを
チェックした結果を表1に示す。
れたカラーフィルターについてそれぞれ目視で白抜けを
チェックした結果を表1に示す。
【0017】
【表1】
【0018】(実施例3)下記組成の透明赤色感光性樹
脂を調製した。 重合性オリゴマー: ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比=73:27) 60重量部 多官能モノマー: ペンタエリスリトールテトラアクリレート 43.2重量部 光重合開始剤: ミヒラーズケトン 2.4重量部 熱重合防止剤: 2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体 2.5重量部 顔料(赤色顔料): イルガジン・レッドBPT 5.4重量部 希釈溶剤: メチルセロソルブアセテート 560重量部 メチルエチルケトン 280重量部
脂を調製した。 重合性オリゴマー: ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比=73:27) 60重量部 多官能モノマー: ペンタエリスリトールテトラアクリレート 43.2重量部 光重合開始剤: ミヒラーズケトン 2.4重量部 熱重合防止剤: 2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体 2.5重量部 顔料(赤色顔料): イルガジン・レッドBPT 5.4重量部 希釈溶剤: メチルセロソルブアセテート 560重量部 メチルエチルケトン 280重量部
【0019】顔料として、それぞれ緑色顔料:銅フタロ
シアニン5.6重量部、青色顔料:スーダンブルー5.
2重量部を使用した以外は上記と同様にして透明緑色感
光性樹脂、透明青色感光性樹脂も調製した。
シアニン5.6重量部、青色顔料:スーダンブルー5.
2重量部を使用した以外は上記と同様にして透明緑色感
光性樹脂、透明青色感光性樹脂も調製した。
【0020】厚さ3.5μmの透明なPETフィルム
(東レ(株)製「ルミラー、4A−F53」)を用い、
その上に上記の透明赤色感光性樹脂をダイコート法で塗
布し、温度70℃、時間1分間の条件で乾燥させ、2μ
mの厚さの透明赤色感光性樹脂の層を形成した。この層
の上に、厚さ100μmのPEフィルムを積層して巻き
取った。
(東レ(株)製「ルミラー、4A−F53」)を用い、
その上に上記の透明赤色感光性樹脂をダイコート法で塗
布し、温度70℃、時間1分間の条件で乾燥させ、2μ
mの厚さの透明赤色感光性樹脂の層を形成した。この層
の上に、厚さ100μmのPEフィルムを積層して巻き
取った。
【0021】上記PEフィルムを剥離しながら、透明赤
色感光性樹脂の層を、寸法200×300mmで厚さ
1.1mmのガラス基板「♯7059」(コーニング
社)に、ドライフィルム専用ラミネーター(デュポン
社)を用い、ヒーター温度170℃、ローラー圧力1.
5kg/リニアcm、ラミネーションスピード0.47
m/minの条件で加熱圧着した。
色感光性樹脂の層を、寸法200×300mmで厚さ
1.1mmのガラス基板「♯7059」(コーニング
社)に、ドライフィルム専用ラミネーター(デュポン
社)を用い、ヒーター温度170℃、ローラー圧力1.
5kg/リニアcm、ラミネーションスピード0.47
m/minの条件で加熱圧着した。
【0022】次に、形成する画素パターンに対応して、
モザイク状に規則正しく並んだパターンが形成されてい
るフォトマスクを介して、透明赤色感光性樹脂の層を露
光(20mJ/cm2 )した後、PETフィルムを剥離
し、アルカリ現像液を約35秒間スプレーすることによ
り現像し、水を用いて30秒間リンスをし、乾燥して透
明赤色のパターンを形成した。
モザイク状に規則正しく並んだパターンが形成されてい
るフォトマスクを介して、透明赤色感光性樹脂の層を露
光(20mJ/cm2 )した後、PETフィルムを剥離
し、アルカリ現像液を約35秒間スプレーすることによ
り現像し、水を用いて30秒間リンスをし、乾燥して透
明赤色のパターンを形成した。
【0023】上記の透明赤色のパターンを有する基板上
に、同様の方法で形成した透明緑色感光性樹脂の層を加
熱圧着した。そして、1ピッチ分ずらして位置合わせし
た前記フォトマスクを介して露光した後、現像及びリン
スして透明緑色のパターンを形成した。
に、同様の方法で形成した透明緑色感光性樹脂の層を加
熱圧着した。そして、1ピッチ分ずらして位置合わせし
た前記フォトマスクを介して露光した後、現像及びリン
スして透明緑色のパターンを形成した。
【0024】さらに、同様の方法で形成した透明青色感
光性樹脂の層を加熱圧着し、2ピッチ分ずらして位置合
わせした前記フォトマスクを介して露光した後、現像及
びリンスして透明青色のパターンを形成しカラーフィル
ターを得た。
光性樹脂の層を加熱圧着し、2ピッチ分ずらして位置合
わせした前記フォトマスクを介して露光した後、現像及
びリンスして透明青色のパターンを形成しカラーフィル
ターを得た。
【0025】(実施例4)ベースフィルムであるPET
フィルムとして、厚さ4.5μmのもの(東レ(株)製
「ルミラー、5A−F53」)を用いた以外は、実施例
3と同様にしてカラーフィルターを作製した。
フィルムとして、厚さ4.5μmのもの(東レ(株)製
「ルミラー、5A−F53」)を用いた以外は、実施例
3と同様にしてカラーフィルターを作製した。
【0026】(比較例4〜6)ベースフィルムであるP
ETフィルムとして、以下のものを用いた以外は、それ
ぞれ実施例3と同様にしてカラーフィルターを作製し
た。 比較例4:厚さ 5.7μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、6C−F53」) 比較例5:厚さ12.0μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、12−W10」) 比較例6:厚さ23.0μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、25−S10」)
ETフィルムとして、以下のものを用いた以外は、それ
ぞれ実施例3と同様にしてカラーフィルターを作製し
た。 比較例4:厚さ 5.7μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、6C−F53」) 比較例5:厚さ12.0μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、12−W10」) 比較例6:厚さ23.0μm(東レ(株)製「ルミラ
ー、25−S10」)
【0027】上記実施例3,4及び比較例4〜6で得ら
れたカラーフィルターについてそれぞれ目視で白抜けを
チェックした結果を表2に示す。
れたカラーフィルターについてそれぞれ目視で白抜けを
チェックした結果を表2に示す。
【0028】
【表2】
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造方法
は、ベースフィルムに厚さ5μm未満の薄いPETフィ
ルムを用い、このPETフィルムの上に透明着色感光性
樹脂の層を形成した転写材料を使用してフィルム転写法
によりカラーフィルターを作製するようにしたので、2
色目以降の転写材料を基板上に加熱圧着する際に、透明
着色感光性樹脂の層を先に形成された透明着色パターン
の段差に沿った状態で転写されることから、白抜けによ
る欠陥のないカラーフィルターを製造することができ
る。
は、ベースフィルムに厚さ5μm未満の薄いPETフィ
ルムを用い、このPETフィルムの上に透明着色感光性
樹脂の層を形成した転写材料を使用してフィルム転写法
によりカラーフィルターを作製するようにしたので、2
色目以降の転写材料を基板上に加熱圧着する際に、透明
着色感光性樹脂の層を先に形成された透明着色パターン
の段差に沿った状態で転写されることから、白抜けによ
る欠陥のないカラーフィルターを製造することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のフィルム転写法による製造方法において
2色目以降の転写材料を転写する様子を示す断面図であ
る。
2色目以降の転写材料を転写する様子を示す断面図であ
る。
【図2】本発明の製造方法において2色目以降の転写材
料を転写する様子を示す断面図である。
料を転写する様子を示す断面図である。
1 基板 2 透明着色パターン 3 PETフィルム 4 透明着色感光性樹脂の層 5 転写材料
Claims (1)
- 【請求項1】 ベースフィルム上に透明着色感光性樹脂
の層を形成した転写材料を用い、当該転写材料をその透
明着色感光性樹脂の層が基板と向かい合うようにして基
板上に加熱圧着する工程と、フォトマスクを介して前記
透明着色感光性樹脂の層を露光した後、ベースフィルム
を剥離し、現像して透明着色のパターンを形成する工程
とを含み、色相の異なる透明着色感光性樹脂の層につい
て前記の各工程を繰り返すことからなるカラーフィルタ
ーの製造方法において、前記ベースフィルムに厚さ5μ
m未満の薄いポリエチレンテレフタレートフィルムを用
いたことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14411494A JPH07333417A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14411494A JPH07333417A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07333417A true JPH07333417A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=15354517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14411494A Pending JPH07333417A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07333417A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003064138A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Mitsubishi Chemicals Corp | 硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置 |
JP2003073431A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-12 | Mitsubishi Chemicals Corp | 硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置 |
-
1994
- 1994-06-03 JP JP14411494A patent/JPH07333417A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003064138A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Mitsubishi Chemicals Corp | 硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置 |
JP2003073431A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-12 | Mitsubishi Chemicals Corp | 硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置 |
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