KR0163097B1 - 컬러 필터의 제조법 - Google Patents

Abstract

투명 기판상에 베이스 필름과 1색으로 착색된 감광성 수지층으로 이루어진 감광성 필름을, (i) 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 접합시키는 공정, (ii) 패턴상으로 노광시키는 공정, 및 (iii) 현상 공정을 적어도 포함하는 공정을 반복하여 다색 패턴을 형성시키는 컬러 필터의 제조법에 있어서 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록, 화소 사이에 공간을 형성하여 접합시키는 공정을 실시하고, 필요에 따라 그 공정에 있어서, 접합후의 베이스 필름 표면이 평탄하게 되도록 접합시키는 것을 실시하고 상기 (i)과 (iii)의 공정의 사이에, 가열에 의해 필요에 따라 가압을 실시하여, 2색째 이후의 감광성 수지층의 베이스 필름으로부터 화소 사이 공간에의 이행 공정을 실시함으로써, 제조된 컬러 필터는 감광성 필름의 추종성이 뛰어나고, 작업성이 좋게 기판상에 균일한 두께의 다색의 미세패턴을 고 정밀도로 형성할 수 있고, 또한 단차, 백발이 없고, 내열성이 뛰어나다.

Description

컬러 필터의 제조법

제1도는 본 발명의 제조법의 일예를 나타내는 약도이다.

제2도는 종래의 컬러 필터의 화소(畵素)의 단면의 모식도이다.

제3도는 본 발명의 제조법의 다른예를 나타내는 약도이다.

제4도는 종래의 컬러 필터의 화소의 단면의 모식도이다.

본 발명은 컬러 필터의 제조법에 관한 것이다.

컬러 필터는 유리등과 같은 광학적으로 투명기판의 표면에 2종 이상의 색상을 달리하는 극히 미세한 줄무늬(stripe) 상 또는 모자이크상의 패턴을 일정한 간격을 두고 평행 또는 교차하여 병렬시킨 것이다.

이것들의 패턴은 색상을 소정의 순서로 소정의 간격을 두고 정연하게 배치하고 게다가 두께의 불균일이 적은 균일한 층으로 할 필요가 있어, 여러가지의 컬러 필터의 제조법이 제안되어 왔다. 예컨대 스크린 인쇄법에서는 저 비용의 컬러 필터의 형성이 가능하다. 또 사진평판(photolithography) 기술을 사용하는 방법, 즉 컬러필터용 기판상에 형성된 투명막에 소정의 네가티브 마스크를 통하여 자외선 조사하고, 미노광부를 제거한후, 방염층을 형성하면서 염색하는 방법이 있다.

베이스 필름(base film) 및 감광성 수지층으로 이루어진 감광성 필름을 사용한 다색(多色)의 미세한 줄무늬상, 또는 모자이크상의 패턴을 간단히 고정밀도로 형성할 수 있는 컬러 필터의 제조법이 알려져 있다.

투명기판상에 베이스 필름과 한색으로 착색된 감광성 수지층으로 이루어진 감광성 필름을 착색된 감광성 수지층이 기판에 면하도록 접합시키는 공정, 노광시켜 소정의 패턴을 형성시키는 공정 및 상기 베이스 필름을 벗겨서 현상하는 공정을 반복하여 다색 패턴을 형성시켜서 컬러 필터가 제조된다. 감광성 필름(photosensitive film)은 공지이며, 기본적인 조성 및 구성과 그 작용은 일본국 특공소 45-25231호 공보에 표시되어 있다.

예컨대 한색으로 착색된 감광성 수지층을 베이스 필름에 도포 건조시킨 감광성 필름의 감광성 수지층을 투명한 기판상에 전사하여 소정의 패턴의 마스크를 통하여 노광, 현상하여 패턴을 형성시키는 방법(특개소 61-99102호 공보), 알칼리 현상을 하는 방법(특개평 2-239205호 공보), 수용성 베이스 필름을 사용하는 방법(특개평 2-271301호 공보), 이 필름을 투명한 판의 위에 가열 압착시켜 소정의 패턴의 마스크를 통하여 노광시켜 베이스 필름을 박리하고 현상시켜 투명착색의 화상패턴을 형성시키는 방법(특개소 63-187203호 공보, 특개평 2-244005호 공보등)이 알려져 있다.

더 나아가서는 감광성 필름을 사용하여 컬러 필터를 작성하는 방법으로서는, 특개평 3-160454호 공보, 특개평 3-111802호 공보, 특개평 2-151805호 공보, 특개평 4-212161호 공보, 특개평 4-301602호 공보, 특개평 5-2107호 공보등이 알려져 있다.

감광성 필름의 추종성에 관해서는 양호한 패턴을 얻기 위해서는 그 해결이 필요하며, 양호한 감광성 필름의 추종성을 얻는 연구가 오래전부터 실시되어 왔다. 기판에 단차(높이의 차)가 있더라도 그 기판을 정확히 미세가공할 수 있는 것을 특징으로 하는 3층 레지스트법이 벨연구소의 연구자에 의해서 개발되었다(예컨대 J. Vac. Sci. Tecnol., 16 권 1620면 1968년 발행). 또 프린트 회로판의 기판 요철 추종성에 관해서도 상세한 연구가 실시되어 있고, 실용화되고 있다. 감광성 필름은 반고체상이기 때문에, 추종성의 향상에는 액체에 가까운(액상 레지스트에 가까움)상태를 만들기 위하여 적층(열압착)이 중요하다고 되어 있다. 요철에 추종하는데는 충분히 저점도로 되는 적층의 온도 설정이 필요하다고 되어 있다. 유동성이 크면 실온의 보존 안정성이 떨어지는 경향이 있어, 콜드플로우를 일으키므로 너무 저점도로는 할수 없다고 되어 있다. 오목부를 끼어넣는데는 막두께는 두꺼운편이 유리하다고 되어 있다(예컨대 솔리드 스테이트 테크놀로지(Solid State Technology) 29권, 6호 153면 1986년 발행, 프린트 회로학회 학술 강연 대회 강연 논문집 83면 1989년).

노광 공정후 가열하는 것이 일반적으로 실시되고 있고, 애프터 베이킹(after-bake)이라고 말하고 있다. 예컨대 안료분산 포토폴리머를 사용한 컬러 필터(J. Photopolym. Sci. Technol, Vol. 2, No. 2, 1989년 244∼248면)에서는 애프터 베이킹에 의해서 광개시제의 라디칼에 의해 유기한 단량체 라디칼의 발생과 그의 중합연쇄 반응을 촉진시키고, 스피너(spiner)를 사용하여 감광성 레지스트층을 도포하나, 용제 제거를 위하여 프리베이킹(prebake)(예컨대 85℃에서 5분간)을 실시하는 것도 일반적이다. 필름법에서는 필름 형성시에 용제 제거를 실시하므로 일반적으로는 이와 같은 프리베이킹은 실시하지 않는다. 또 현상전에 노광후에 감광성 레지스트층을 50∼150℃, 30초∼60초의 조건으로 가열하여 UV 광이 충분히 닿지 않는 하층부분의 반응을 촉진시키는 것(특개평 3-196596호 공보)도 행하여지고 있다.

종래의 컬러 필터의 제조법에서는 2색째 이후의 층을 형성할때에 이미 형성된 착색층(전치화소)상의 2색째 이후의 착색층과 상기 기판상에 직접 접촉하는 착색층과의 사이에 단차가 생긴다. 이 단차는 이미 형성된 착색층의 두께(1∼5μm)에 의해서 정해진다. 이 단차가 있기 때문에 신착색층이 하지(투명유리)에 접촉되지 않고, 또 불충분한 접착압력 때문에, 접착력이 불충분해지고, 착색층이 하지에 밀착되지 않고, 베이스 필름을 박리하면 베이스 필름과 함께 박리되어서, 하지에 착색층이 부착하지 않는 부분이 생긴다. 또 그대로, 노광현상하면 착색상이 존재하지 않는 부분을 노광하는 등의 폐단이 생겨 소망의 컬러 필터를 얻을 수가 없는 결점이 있다.

더 상세히 설명하면, 특히 컬러 필터가 줄무늬 모양의 삼원색(적, 녹, 청)의 화소로 구성되어 있는 경우에는 1색째의 줄무늬 모양의 화소가 예컨대 두께 2.0μm, 폭 70μm, 간격 300μm로 투명기판상에 구성되어 있는 위에 2색째의 착색층을 접착시키면 전치화소에 의해 2.0μ전후의 요철이 있기 때문에, 투명기판과 착색층의 사이에 접촉이 불충분한 부분이 생기고, 2색째의 착색층이 이 요철에 충분히 추종하지 않는 결점이 있었다.

또 2색째 이후의 화소상에는 1색째의 화소상에 얹혀 있던 착색 감광성 수지층의 일부가 유입되어서 2색째에서는 1색째의 화소에 가까운 끝이 들어올려지고 화소 화면이 기울어지고 그 단면은 이른바 J 상, n상으로 된다. 3색째의 화소는 양쪽에 인접한 화소로부터의 착색감광성 수지층의 유입이 있기 때문에 화소의 양쪽에 인접한 면이 들어 올려져서, 이른바, M상의 단면으로 된다. 제2도에 J상, n상 및 M상의 화소의 단면의 모식도를 나타낸다. J상등의 들어올려짐이 있으면 3색의 화소의 표면의 불균일을 초래하고 소망의 평탄성을 얻지 못하며, 들어올려진 끝이 쌍극과 접촉하여 화상 불량을 일으키고, 더나아가서는 색의 불균일을 발생시키는등의 결점이 있었다.

특히 컬러 필터의 경우는 모자이크, 줄무늬등의 형상을 취하지만 두께가 2μm로 극히 얇고 폭도 100μm 전후의 미세한 화소로 구성되어 있으므로, 착색 감광성 수지층도 극히 약하고, 착색 감광성 수지층이 적층에 의해서 기판에 접촉하면 수지층에 변형이 일어나고 균일한 층이 파괴되기 쉽게 된다. 또 화소 공간내에 착색 감광성 수지층이 눌려서 침입하면, 착색 감광성 수지층에는 불균일한 힘이 가해지고, 비틀림, 상처, 금, 단차가 형성되기 쉽다.

수 μm 밖에 없는 극히 작은 이상에서도 현상에 의해서 그 상처는 확대되어서, 핀 호울, 힌줄, 막두께의 불균일등의 10∼100μm의 결함으로 된다. 또 화소내의 비틀림, 상처는 그 대부분이 적층시에 발생되는 결점이었다. 그러나, 기판을 가열후, 상기한 감광성 필름의 보호 필름을 벗기면서, 착색 감광성 수지층을 기판과 접착시켜서 가압롤을 통과(적층하는)시키는 것 만으로는 필름 추종성은 개선할 수 없다.

한편 종래의 컬러 필터의 제조법(예컨대, 염색법, 안료분산액상 레지스트법, 인쇄법, 롤 피복법, 안료 분산 필름 레지스트법등)에서는 2색째 이후의 층을 형성할때에, 이미 형성된 착색층상의 2색째 이후의 착색층과 상기 기판상에 직접 접촉하는 착색층과의 사이에 단차가 생긴다. 이단차는 최대로 1.0μm를 초과하고, 이 위에 직접 ITO를 스패터링 하면 ITO의 단선이나 액정을 끼우는 전극간의 거리가 불균일하게 되고, 양호한 컬러 디스플레이가 얻어지지 않기 때문에, 일반적으로는 보호막 또는 오버코드막이라고 칭하는 2∼5μm의 막을 형성하고, 표면을 균일화 하는 것이 실시되고 있다.

필름법에서는 이 단차는 이미 형성된 착색층의 두께(1∼5μm)에 의해서 정해지고 이 단차가 있기 때문에, 신착색층이 하지(투명유리)에 접촉하기 어렵고, 또 접착압력이 불충분함으로써, 신착색층이 하지에 밀착되지 않고 베이스 필름을 박리하면, 베이스 필름과 함께 박리되어서, 하지에 신착색층이 부착되지 않는 부분이 발생하고, 그대로 노광현상하면 신착색층이 존재하지 않는 부분을 노광하는등의 폐단이 생겨, 소망하는 컬러필터를 얻지 못하는 결점이 있다.

또 2색째 이후의 화소상에서는 1색째의 화소상에 얹혀 있던 착색 감광성 수지층의 일부가 유입되어서, 2색째에서는 1색째의 화소에 가까운 끝이 올라가고 화소표면이 경사지게 된다(J상, n상의 단면으로 된다). 3색째의 화소상에서는, 양쪽에 인접한 화소로부터 착색 감광성 수지층의 유입이 있기 때문에 화소의 양단이 올라간다(M상의 단면으로 된다). 제4도에 J상, n상 및 M상의 화소의 단면의 도식도를 나타낸다.

J상이나 M상의 올라감이 있으면 3색의 화소의 표면의 불균일을 초래하여 소망하는 평탄성을 얻을 수 없고 올라간 끝이 쌍극과 접촉하여 화상 불량이 생기고, 색의 불균일을 발생시키는 등의 결점이 있었다.

기판을 가열후, 상기한 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서 착색 감광성 수지층을 기판과 접착시켜서 가압롤을 통과 시키는(적층시키는)것만으로는 필름의 추종성은 개선할 수 없다.

본 발명은 상기한 결점을 없애고, 유리판등의 투명기판상에 작업성이 양호하고 게다가 고정밀도로 다색의 미세 패턴을 형성할 수가 있는 컬러 필터의 제조법에 관한 것이다.

본 발명은 투명기판상에 베이스 필름과 1색으로 착색된 감광성 수지층으로 이루어지는 감광성 필름을 (i) 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 접합시키는 공정, (ii) 패턴상으로 노광시키는 공정 및 (iii) 현상 공정을 적어도 포함하는 공정을 반복하여 다색 패턴을 형성시키는 컬러 필터의 제조법에 있어서, 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 화소 사이에 공간을 형성하여 접합시키는 공정을 실시하고, 상기 (i)과 (iii)의 공정의 사이에, 가열에 의한 2색째 이후의 감광성 수지층의 베이스 필름으로부터 화소 사이의 공간으로의 이행 공정을 포함하는 컬러 필터의 제조법을 제공한다.

또 본 발명에 있어서는 상기 화소 사이에 공간을 형성시켜 접합시키는 공정에 있어서, 화소 사이에 공간을 형성시켜, 접합한 후의 베이스 필름 표면이 평탄으로 되도록 접합시키는 공정을 실시함으로써 화소 표면의 요철이 없어지고, 실용상 뛰어난 화소를 제공할 수가 있다.

또한 본 발명에 있어서는 상기 (i)와 (iii)의 공정 사이에 베이스 필름이 박리된 후, 현상전에 착색된 감광성 수지층에 압력을 인가하여 2색째 이후의 감광성 수지층을 화소간 공간에 이행하는 공정을 포함함으로써 상기 한 결점을 해소시키고, 감광성 필름의 기판에의 추종성, 적층의 작업성을 향상시키고, 기판상에 균일한 두께의 고정밀도인, 단차, 백발이 없는 다색의 미세 패턴이 형성된 뛰어난 내열성을 갖는 컬러 필터를 제조할 수가 있다.

본 발명에 의하면 투명기판상에 베이스 필름과 1색으로 착색된 감광성 수지층으로 이루어지는 감광성 필름을 (i) 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 접합시키는 공정, (ii) 패턴상으로 노광시키는 공정 및 (iii) 현상 공정을 적어도 포함하는 공정을 반복하여 다색 패턴을 형성시키는 컬러 필터의 제조법에 있어서, 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 화소 사이에 공간을 형성하여 접합시키는 공정을 실시하고, 상기 (i)과 (iii)의 공정 사이에, 가열에 의한 2색째 이후의 감광성 수지층의 베이스 필름으로부터 화소 사이의 공간으로의 이행 공정을 포함함으로써 뛰어난 컬러 필터를 제조할 수가 있다.

2색째 이후의 컬러 필름의 화소의 표면을 평탄화하기 위하여, 상기 (i)와 (iii)의 공정의 사이에서, 2색째 이후의 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면상의 공간에 이행시키는 이행 공정의 태양에 관하여 더 상세히 제1도를 사용하여 설명한다.

제1도는 본 발명의 제조법을 나타내는 약도로서, 베이스 필름(1)이 PET(폴리에틸렌테레프탈레이트 필름)이며, 착색 감광성 수지층을 적(R), 녹(G)의 순으로 형성해가는 경우를 예로들어 설명한다.

(a)는 베이스 필름(1)(PET 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름)과 착색 감광성 수지층(녹)(2)으로 이루어지는 감광성 필름의 착색 감광성 수지층과 전치화소(적)(3)이 정연하게 배열되어 있는 투명기판(4)이 면하고 있는 상태를 나타낸다.

(b)는 감광성 필름의 착색 감광성 수지층과 적어도 1색의 전치화소가 정연하게 배열되어 있는 기판과의 화소사이에, 공간을 형성한 접합을 나타내고 있다. 이때, 착색 감광성 수지층은 전치화소 및 기판에 충족시키면 주름이나 금이 생기기 때문에, 추종시키지 않고, 완전히 평탄한 채로 전치의 화소표면에 접촉되어 있는 것이 긴요하다. 종래의 감광성 필름의 적층 기술에서는 착색 감광성 수지층이 전치화소 및 기판에 추종하지 않는 본 발명의 접합법은 상기할 수 없는 것이다. (b)에서는 녹(G)의 착색 감광성 수지층이 전치화소인 적(R)에 밀착된 양상을 나타내는 것이다. 여기서 공간이라고 표시되어 있는 부분은 녹착색 감광성 수지층도 적착색 감광성 수지층도 존재되어 있지 않는 공간의 부분으로서 진공중에서 적층한 경우는 진공의 부분이고, 질소 기류중에서 적층하였을때는, 질소가 충만된 부분이고, 공기중에서 적층하였을때는 공기가 충만된 부분으로 된다.

(c)는 본 발명의 이행 공정으로서 상기한 (i)∼(iii)의 공정의 (i)∼(iii)의 사이에 들어가 착색 감광성 수지층(G)과 공간을 치환시키는 공정이다. 착색 감광성 수지층(G)의 공간 부분에의 이행은 가열에 의해서 실시한다. (b)의 상태에서 접합 직후는 녹색의 착색 감광성 수지층은 베이스 필름에 밀착되어 있으나, 가열에 의해, 유동성이 증대하고, 중력에 의해서 기판 표면상의 공간내로 이행을 시작한다. 녹색의 착색 감광성 수지층은 베이스 필름 보다도 기판에 대한 밀착력이 크다.

즉, 녹색의 착색 감광성 수지층의 접촉감이 PET(폴리에틸렌테리프탈레이트)의 접촉각 보다도 기판에 대하여 크다고 추찰(推察)할 수 있으므로, 적색의 전치(前置)화소의 벽을 타고, 흘러떨어질 경우, 베이스 필름면에서 액적을 만들어 증대시켜 기판과 접촉한 후, 기판상에 확대되어 이행을 완료하는 경우가 있다. (c)의 이행 공정이 완료하면 녹색의 착색 감광성 수지층은 기판 표면상의 공간으로 이행을 완료하고, 그의 표면상에 공간이 출현하고, 착색 감광성 수지층과 공간이 교체된다. 이때, 착색 감광성 수지층은 그의 표면 장력에 의해서 균일화되어 있으므로, 표면의 평탄성은 뛰어난 것이며, 현상후의 화소는 1색째와 거의 동일한 단면 현상을 지닌다. 이상으로 1색째가 적색, 2색째가 녹색인 경우를 예로하여 설명하였으나, 색의 순서는 이것에 제한되지 않는다. 적, 녹, 청, 흑의 순서 이외에, 흑 청 녹 적, 흑 적 청 녹등 본 발명에서는 어떤 색순서라도 가능하다.

착색 감광성 수지층(2)(G)의 공간 부분에의 이행은 가열에 의해서 실시한다. 가열은 실온이상에서, 착색 감광성 수지층이 열경화 반응을 개시하는 온도 이하에서 실시한다. 저온에서는 장시간, 고온에서는 단시간에서 이행은 완료하고, 이행한 착색 감광성 수지층 표면은 고도의 평탄성을 갖는다. 가열에는 열판 가열, 오븐 가열, 초음파 가열, 적외선 가열, 전자유도 가열, 온수침지, 유중 가온, 마찰열가열, 압력 오븐내에서 가온, 진공 용기중에서의 가온등이 있으며, 이것들로 한정되지 않는다.

본 발명의 이행 공정은 상기한 (i)∼(iii)의 사이에서 실시되고, (ii)의 노광 공정의 전이든 후이든 좋고, 노광 공정의 전과후의 2회 실시하여도 좋고, 또 노광 공정에 있어서 실시하는 것도 가능하다.

(d)는 착색 감광성 수지층(녹)의 노광후에 현상한 후의 컬러 필터의 화소의 단면의 형상을 나타낸다. 베이스 필름의 박리는 노광 공정후 현상 공정전 또는 노광 공정전에 실시된다.

본 발명의 제조법에 의하면 화소에 의한 요철에 2색째 이후의 감광성 필름이 양호하게 추종된다. 예컨대 상기(ii)의 공정후, 상기(iii)의 공정전에 가열을 실시하는 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면에 이행시키는 이행 공정에 의해 상기 결점인 화소 표면의 요철이 감소한다. 감광성 필름을 전치화소를 표면에 갖는 투명기판에 접합시키고 나서, 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면에 상기(ii)의 공정후 상기(iii)의 공정전에 가열하여 이행시키면 상기한 결점인 화소 표면의 요철이 감소한다. 종래의 방법에서는 전치화소상의 감광성 수지층이 퍼져서 2색째 및 3색째의 화소의 위에 얹혀지므로써 화소 표면에 요철이 발생하는 현상이 생겼으나, 본 발명의 제조법에 의해 요철이 없는 화소 표면이 제조된다. 화소 표면의 요철을 없애는데는 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층을 전치화소상에 접합시킬때의 전치화소가 없는 부분에 공간을 남겨서 평탄하게 접합시킬 필요가 있다. 즉, 전치화소가 없는 부분을 전치화소의 막두께와 같은 높이로 유지하는 것이 필요하다. 기판 표면으로부터 1색째의 화소의 막두께와 같은 높이 만큼 부상시킴으로써, 2색째의 착색 감광성 수지층은 기판과는 접촉하지 않는다. 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층을 기판에 접촉시키는데는 상기 (ii)의 공정후 상기 (iii)의 공정전에 가열이 실시된다.

가열에 의해 착색된 감광성 수지층은 연화 용융하여 유동성을 발현하고, 유동에 의해 기판 표면상에 이행하여 밀착한다.

노광후에 가열하는 공정을 애프터 베이킹이라고 말하고, 공지의 레지스트 기술이나 감광성 필름 기술에서는 이 공정이 일반적으로 실시되고 있으나, 이것들의 기술에서는 애프터 베이킹은 레지스터 도액을 스피너로 도포한 후, 노광시켜, 감광성의 향상을 위한 베이킹이며, 또 감광성 수지층의 기판에의 밀착력을 높이기 위하여 실시하는 것으로서, 공간부에 유동성이 있는 수지층을 이동시키는 본 발명의 가열과는 상이한 것이다. 2색째 이후의 컬러 필터의 화소 단면 형상은 평탄한 장방형(예컨대, 높이 2μm, 폭 75μm등)으로 하기 위하여 상기 (ii)의 공정후 (iii)의 공전전에 2색째 이후의 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 투명기판의 표면에 이행시키는 가열의 태양에 관해서는 상기에 설명한 바와 같다.

이 경우, 제1도의 (c)는 본 발명의 가열 공정후의 상태를 나타내고, 가열공정은 공정(ii)의 공정후 (iii)의 공정전에 실시되고, 착색 감광성 수지층(G)과 공간이 치환되어 있다.

한편, 상기 (i)의 공정후, 상기 (ii)의 공정전에 가열을 하는 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면에 이행시키는 이행 공정에 의해서도 상기 결점인 화소 표면의 요철이 감소한다.

감광성 필름을 전치 화소를 표면에 갖는 투명기판에 접합시키고 나서 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면에 상기 (i)의 공정후 상기 (ii)의 공정전에 가열하여, 이행시키면, 상기한 결점인 화소표면의 요철이 감소된다. 종래의 방법에서는 전치 화소상의 감광성 수지층이 퍼져서 2색째 및 3색째의 화소의 위에 얹어지므로써 화소 표면에 요철이 발생하는 현상이 생겼으나, 본 발명의 제조법에 의해 요철이 없는 화소 표면이 제조된다. 화소표면의 요철을 없애는데는, 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 전치화소상에 접합할때에 전치화소가 없는 부분에 공간을 남겨서 평탄하게 접합시킬 필요가 있다. 즉, 전치화소가 없는 부분을 전치화소의 막두께와 같은 높이로 유지하는 것이 필요하다. 기판표면으로부터 1색째의 화소의 막두께와 같은 높이만 부상시킴으로써 2색째의 착색 감광성 수지층은 기판과는 접촉하지 않는다. 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층을 기판에 접촉시키는데는 상기 (i)의 공정후, 상기 (ii)의 공정전에 가열이 실시된다.

가열에 의해 착색된 감광성 수지층은 연화 용융하여 유동성을 발현하고 유동에 의해 이행하여 밀착한다.

노광전에 가열하는 공정을 예비 베이킹이라고 하고 공지의 레지스트 기술이나 감광성 필름 기술에서는 이 공정이 일반적으로 실시되고 있으나, 이것들의 기술로는 예비 베이킹은 레지스트 도액을 스피너로 도포한 후, 잔존용제를 증발시켜서, 또 흡착용제를 배제하기 위하여 실시하는 것이다. 또한, 이 예비 베이킹은 감광성의 향상을 위한 베이킹이며, 또 감광성 수지층의 기판에의 밀착력을 높이기 위하여 실시하는 것으로서, 공간부에 유동성이 있는 수지층을 이동시키는 본 발명의 가열과는 상이한 것이다.

착색 감광성 수지층으로서는, 20∼90℃, 바람직하게는 40∼90℃에서 이행이 가능한 저온 융해성이 요망된다. 착색 감광성 수지층은 광경화 반응 뿐만아니라, 열경화 반응의 성질을 지녔음으로 고온에서 이행공정에 실시하는 것은 바람직하지 않다.

종래의 방법에서는 전치 화소상의 감광성 수지층이 퍼져서 2색째 및 3색째의 화소의 위에 얹어짐으로써 화소 표면에 요철이 발생하였으나, 본 발명에 의하면 화소에 의한 요철에 2색째 이후의 착색 감광성 수지층이 양호하게 추종된다. 2색째 이후의 착색 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면상의 공간에 이행시키는 공정에 의해, 상기 결점인 화소 표면의 요철이 감소한다. 2색째 이후의 컬러 필터의 화소 단면 형상을 평탄한 장방형(예컨대, 높이 2μm, 폭 75μm 등)으로하기 위하여 상기 (i)의 공정후 (ii)의 공정전에 2색째 이후의 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 투명기판의 표면에 이행시키는 가열의 태양에 관해서는 상기에 설명한 바와 같다.

또한 제1도의 (b)는 감광성 필름의 착색 감광성 수지층의 1색의 전치화소(적)가 정연히 배열되어 있는 기판과의 화소 사이에 공간을 형성한 접합을 나타내고 있다. 이 공정은 상기 공정(i)후의 상태를 나타내고 있다.

또 제1도의 (c)의 본 발명의 가열 공정후의 상태를 나타내고, 가열공정은 공정(i)의 공정후(ii)의 공정전에 실시되고, 착색 감광성 수지층(G)과 공간이 치환되어 있다.

본 발명의 다른 태양에 의하면 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록, 화소 사이에 공간을 형성하고, 접합후의 베이스 필름 표면이 평탄하게 되도록 접합시키는 공정을 실시하고, 상기 (i)과 (iii)의 공정의 사이에 가열에 의한 2색째 이후의 감광성 수지층의 베이스 필름으로부터 화소간 공간에의 이행 공정을 실시함으로써, 선행 기술의 결점인 화소표면의 요철이 감소한다.

본 발명에 의하면 화소에 의한 요철에 2색째 이후의 감광성 필름이 양호하게 추종된다. 즉 2색째 이후의 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면에 이행시키는 이행 공정에 의해, 상기 결점인 화소표면의 요철이 감소한다. 적층기 로울에 의해서 감광성 필름은 1색째 내지는 다색의 컬러 필터 화소를 표면에 갖는 투명기판에 접합시키고 나서, 2색째 이후의 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면에 이행시키면, 상기 결점인 화소표면의 요철이 감소한다.

종래의 방법으로는 전치 화소상의 감광성 수지층이 퍼져서 2색째 및 그 이후의 화소의 위에 얹히므로써 화소 표면에 요철이 발생하나, 본 발명에 의하면 화소표면의 요철이 얹어져서 실용상 뛰어난 화소를 제공할 수가 있다.

이 경우, 제1도의 (b)는 감광성 필름의 착색 감광성 수지층과 적어도 1색의 전치화소가 정연히 배열되어 있는 기판을 접촉(적층)시켰을때를 나타내고 있다. 이때 베이스 필름 및 착색 감광성 수지층은 전치 화소 및 기판상에 추종해서는 안되고 완전히 평탄한 채로 전치화소 표면에 접촉하고 있는 것이 필요하다. 평탄이란 요철의 정도가 적은 것이며, 요철은 전치 화소의 막두께 이하인 것이 바람직하다.

착색 감광성 수지층이 화소간의 투명기판 표면에 접촉하지 않는 것이 필수적인 점 때문에 0.2μm 이하인 것이 바람직하고, 0.1μm 이하인 것이 보다 바람직하다. 0.2μm를 초과하는 요철이 생기면 결과적으로 단차가 발생하는 경향이 있고, 조금이라도 하지(下地)기판과 착색 감광성 수지층이 접촉하면 착색 감광성 수지층에 상처가 생기고 화소의 균일성이 손상될 뿐만아니라 노광되어서 광경화된 화소 부분의 착색 감광성 수지층에 현상시에 현상액이 내부로 스며들어서, 착색 감광성 수지층이 일부 용해되고, 핀 호울, 백반, 흰얼룩등의 불량 화소가 생기는 경향이 있다.

이와 같은 요철의 유무, 그 정도는 목시(目視), 지촉(指觸), 타리사아프등의 표면 조도계에 의해서 확인할 수가 있다.

본 발명의 방법에 의하면, 착색 감광성 수지층이 극히 약하게 적층되어서 기판에 접촉할때에 수지층에 변형이 일어난 균일한 층이 파괴되는 결점이 없어진다.

또, 화소 공간내의 착색 감광성 수지층이 적층등의 기계적인 힘으로 눌려서 침입하면, 착색 감광성 수지층에는 불균일한 힘이 가해지고, 비틀림, 상처, 금, 단차가 생기기 쉬운등의 결점이 생기므로, 완전히 평탄한채로 전치화소 표면에 접촉하고, 화소간의 생기는 경향이 있다.

이와 같은 요철의 유무, 그 정도는 목시(目視), 지촉(指觸), 타리사아프등의 표면 조도계에 의해서 확인할 수가 있다.

본 발명의 방법에 의하면, 착색 감광성 수지층이 극히 약하게 적층되어서 기판에 접촉할때에 수지층에 변형이 일어나 균일한 층이 파괴되는 결점이 없어진다.

또 화소 공간내에 착색 감광성 수지층이 적층등의 기계적인 힘으로 눌려서 침입하면, 착색 감광성 수지층에는 불균일한 힘이 가해지고, 비틀림, 상처, 금, 단차가 생기기 쉬운등의 결점이 생기므로, 완전히 평탄한채로 전치화소 표면에 접촉하고, 화소간의 기판 표면에는 접촉하지 않는 본 발명에서는 불균일한 힘이 가해지지 않으므로, 그와 같은 일은 없고, 핀 호울등의 결점이 없는 양호한 화소가 수득된다.

본 발명에서는 극히 작은 이상에서도 현상이 의해서 그 상처가 확대되어서 핀 호울, 힌줄, 막두께의 불균일등의 결함이 생기는 일이 제거된다. 본 발명에서는 (1)의 접합시키는 공정에서 접합후의 베이스 필름 표면이 평탄한(매낀매낀하다) 것으로 인해, 착색 감광성 수지층이 극히 약하기 때문에 생기는 화소내의 비틀림, 상처가 생기는 등의 결점, 극히 작은 이상에서도 현상에 의해서 그 상처는 확대되어서 결함이 생기는 결점을 해소하는 것이다.

화소내의 비틀림, 상처는 그대부분이 적층시에 발생하지만, 이것들의 결점을 해소할 수 있는 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 화소 사이에 공간을 형성하여 접합시키는 공정에 있어서, 감광성 수지층과 화소 표면은 접촉하나, 화소 사이는 화소간 공간을 통하여 기판과 감광성 수지층이 접촉되어 있지 않는 상태를 접합후의 베이스 필름 표면이 평탄하다고(매낀매낀하다) 정의하여 이후 접합후의 베이스 필름 표면이 평탄하게 되도록 하는 방법에 관하여 상세히 설명한다.

적층 방법은, 종래의 가압롤 방식을 사용할 수 있다.

가압롤 방식에서는 감광성 수지층을 가열 연화시켜 화소를 갖는 기판 표면에 밀착시키는 것이 좋다. 이때 롤도 가열되고, 기판도 가열된다. 롤의 이송 속도를 빨리하면, 감광성 수지층은 가열 연화가 적고, 느리게하면 가열연화가 더 진행한다. 여하간에 롤 온도, 롤 속도, 기판온도의 3가지 변수가 최적한 조합으로 감광성 수지층의 최적한 연화가 가능케된다. 즉 표면이 평탄하고 화소 표면과 감광성 수지층이 밀착하고, 감광성 수지층이 화소 사이에 박히는 일도 없고, 상처, 단차를 발생시키지 않는 적층이 가능하다. 또 종래 일반적으로 실시되어 화소간의 기판에 강하게 밀착시키는 적층의 조건에 비하면 약한 적층 조건을 선택할 필요가 있다.

착색 감광성 수지층의 가열 용융 연화의 특성이 다르면 상기한 롤온도, 롤속도, 기판온도의 세가지의 변수의 최적한 조합은 상이하다.

적층 방법으로서는 가열롤을 사용하는 것이 일반적이나 이 방법에 한정되지 않는다. 예컨대, 손으로 눌러서 접합시키는 것도 가능하고, 대주걱으로 훑으므로써 접합시킬 수도 있고, 상기 접합후의 베이스 필름 표면이 평탄한(매낀매낀하다) 상태를 용이하게 실현할 수 있다.

상기 베이스 필름 표면을 평탄하게 하는데는, 칼로 누를수도 있고, 밀방망이등의 목제의 둥근 막대기를 굴려서 접합시키는 것도 유력하며, 가열이 용이한 진공(감압)장치를 사용하여 압착시키는 것도 유력하다. 이것들의 방법은 상기한 각종의 적층방법과 조합시키는 것도 가능하다.

느린 압력과 균일한 가열로 접합시키는 것이 바람직하나, 바아코터로 눌러서 접합시키는 롤솔로 눌러서 접합시킨다. 보통의 가열기구가 없는 금속롤, 고무롤등의 사이를 통하여 접합시키는 것도 가능하며, 착색 감광성 수지층의 성질에 따라서는 실온에서 접합시키는 것도 용이하다.

결국 착색 감광성 수지층과 그 성질에 대응한 적층 조건을 조합시키는 것이 중요하고, 그렇게 함으로써, 접합후의 베이스 필름의 표면이 평탄하게 되도록 할 수가 있다.

본 발명의 또다른 태양에 의하면, 상기 (i)과 (iii)의 공정 사이에서 베이스 필름이 박리된 후 현상전에 착색된 감광성 수지층에 압력을 인가하고, 필요하다면 가열하여 2색째 이후의 감광성 수지층을 화소간 공간에 이행시키는 공정을 포함시킴으로써 기판상에 균일한 두께의 고정밀도의 단차, 백발이 없는 다색의 미세패턴이 형성된 뛰어난 내열성을 갖는 컬러 필터를 제조할 수가 있다.

2색째 이후의 컬러 필터의 화소의 표면을 평탄화하기 위하여 상기 (i)와 (iii)의 공정의 사이에서, 2색째 이후의 감광성 수지층을 기판 표면상의 공간에 이행시키는 이행 공정의 태양에 관하여 제3도를 사용하여 설명한다.

제3도는 본 발명의 제조법을 나타내는 필름 및 필터의 단면도이며, 베이스 필름(1)이 PET(폴리에틸렌테레프탈레이트 필름)이며, 착색 감광성 수지층은 적(R), 녹(G)의 순으로 형성시켜가는 경우를 예로 들어서 설명한다.

(a)은 베이스 필름(1)(PET(폴리에틸렌테레프탈레이트 필름))과 착색 감광성 수지층(녹)(2)으로 이루어지는 감광성 필름의 착색 감광성 수지층과 전치화소(적)(3)가 정연하게 배열되어 있는 투명기판(4)이 면하고 있는 상태를 나타낸다.

(b)는 감광성 필름의 착색 감광성 수지층(녹)(2)과 전치화소(적)(3)가 정연하게 배열되어 있는 기판과의 화소간에 공간을 형성한 접합을 나타내고 있다. 이때 착색 감광성 수지층(2)은 전치화소(3) 및 투명기판(4)에 추종하고 있을 필요는 없고 완전히 평탄한채로, 전치화소(4)표면에 접촉하고 있는 것이 바람직하다. (b)에서는 녹(G)의 착색 감광성 수지층(녹)(2)이 전치화소(적)(3)에 밀착된 양상을 나타내는 것이다. 여기서, 공간(5)이라고 표시되어 있는 부분은 녹착색 감광성 수지층(녹)(2)도 전치화소(적)(3)도 존재하고 있지 않은 공간의 부분으로서, 진공중에서 적층한 경우는 진공의 부분, 질소기류중에서 적층하였을때는 질소가 충만한 부분, 공기중에서 적층하였을때는 공기가 충만된 부분으로 된다.

(c)는 노광 공정이 종료된 후의 양상을 나타낸 것이다. 제3도에서는 노광후에 박리 공정, 이행 공정을 설치한 경우를 예를 들어서 설명한다. 노광후, 착색 감광성 수지층(녹)(2)의 대략 1/3이 노광되고, 노광에 의해서 광경화된 착색 감광성 수지층(녹, 제3도에서는 G라고 표시)(2′)와 미경화의 착색 감광성 수지층(녹, 제3도에서는 g라고 표시)(2)으로 된다.

(d)는 박리 공정으로서, (1)∼(3)의 사이에서 실시할 수 있다. 본 발명에 있어서의 압력을 인가하는 것에 의한 2색째 이후의 감광성 수지층의 화소간 공간에의 이행의 공정(이하 단순히 이행 공정이라고 하는 일이 있다)은 박리 공정후에만 실시할 수 있다. 공정의 조합(순서)의 예를 들면

(No. 1) 접합공정, 노광 공정, 박리 공정, 이행 공정, 현상 공정

(No. 2) 접합공정, 박리 공정, 노광 공정, 이행 공정, 현상 공정

(No. 3) 접합공정, 박리 공정, 이행 공정, 노광 공정, 현상 공정

등이 가능하다.

베이스 필름(1)과 착색 감광성 수지층(2)의 밀착력(A)과 착색 감광성 수지층(2)과 전치화소(3)와의 밀착력(B)과 착색 감광성 수지층(2)의 파단응력(C)에 관하여, AC에서 AB일때에 착색 감광성 수지층(2)은 베이스 필름(1)으로부터 박리되어서 전치화소(3)의 표면에서 밀착한다.

(C)는 착색 감광성 수지층(2)의 재질에 의존하고, 착색 감광성 수지층(2)의 저장탄성율이 높을수록 큰 값을 나타낸다. 또, (C)의 값은 온도에 반비례하므로 저온에서는 크고 고온으로 될수록 작아진다.

따라서, 박리 공정은 저온에서 실시하는 것이 바람직하다.

이행 공정은 착색 감광성 수지층(2)이 표면 장력에 의해 기판 표면에 밀착하는 현상이 있기 때문에, (C)의 값은 작을수록 좋고, 착색 감광성 수지층(2)이 용융 연화할때까지 고온으로 유지하는 것이 바람직하다. 즉 일반적으로 표면 장력은 고온일수록 낮은 값을 나타내므로 젖기 쉽게 되고, 보다 기판 표면에 이행 밀착한다.

상기한 착색 감광성 수지층(2)의 파단 응력(C)이 약한 경우는 양호한 박리가 수행되기 어렵고, 화소의 결함이 대향으로 나타나는 등의 폐단이 생긴다.

충분한 파단응력(C)을 얻는데는 박리 공정을 저온에서 실시하고, 착색 감광성 수지층(2)의 중합체 성분을 중략하고, 중합체 성분의 수평균 분자량과 중량 평균 분자량의 비를 크게 하는등이 바람직하다.

착색 감광성 수지층(2)의 베이스 필름(1)과 착색 감광성 수지층(2)의 밀착력(A), 착색 감광성 수지층(2)과 전치화소(3)와의 밀착력(B), 착색 감광성 수지층(2)의 파단응력(C)의 관계를, 박리 공정에 의해서, 베이스 필름(1)에 착색 감광성 수지층(2)이 남는지 아닌지로 판정할 수 있다. 즉 (A)(C) 및 (A)(B)의 경우는 착색 감광성 수지층이 남지 않으며, (A)(C) 및 (A)(B)의 경우는 착색 감광성 수지층이 남는다.

본 발명에서는 착색 감광성 수지층에서는 베이스 필름과 착색 감광성 수지층의 밀착력(A), 착색 감광성 수지층과 전치화소와의 밀착력(B), 착색 감광성 수지층의 파단응력(C)의 관계는 (A)(C) 및 (A)(B)인 것이 바람직하다. 상기와 같은 관계로 함으로써, 착색 감광성 수지층은 베이스 필름으로부터 박리되고, 전치화소의 표면에 밀착한다.

(C)는 착색 감광성 수지층의 재질에 의존하고, 저장 탄성율이 높을수록 큰 값을 나타내는 경향이 있다. 또 (A)(B) 이며, (A)(C)의 경우는 제3도의 공간부분에 접해있는 착색 감광성 수지층은 베이스 필름에 부착하고 컬러 필터용의 투명기판에의 이행은 곤란케되는 경향이 있다.

(e)는 착색 감광성 수지층(G)과 공간을 치환하는 이행 공정이다. 착색 감광성 수지층(G)의 공간부분에의 이행은 압력을 인가함으로써 수행한다.

(b)의 상태에서는 접합 직후의 녹색의 착색 감광성 수지층은 베이스 필름에 밀착되어 있으나 베이스 필름 박리후는 전치화소에 밀착한 부분과 공간을 통하여 기판(4)에 면하고 있는 부분이 존재한다. 이것에 압력을 인간함으로써, 기판 표면상에 이행이 시작된다.

이행 공정이 완료하면 녹색의 착색 감광성 수지층은 기판 표면상의 공간에 이행하고 그의 표면상에 공간이 생기고, 착색 감광성 수지층과 공간이 교체된다. 이때, 착색 감광성 수지층은 이행롤(7)에 의해서 균일화되어 있으므로 표면의 평탄성은 뛰어난 것이며, 현상후의 화소는 1색째와 거의 동일한 단면 형상을 지닌다.

제3도에서는 베이스 필름의 박리후(즉, 박리 공정후)에 상기 이행 공정을 실시하는 경우를 예로서 설명하였으나, 베이스 필름의 존재가 없더라고 착색 감광성 수지층(2)의 화소간의 공간(5)에의 이동은 가능하고, 기판(4)표면에 최종적으로 밀착시킬 수가 있다.

구체적으로는 베이스 필름이 박리되어 존재하지 않고, 현상전의 착색 감광성 수지층이 표면에 노광된 기판을 박리성이 양호한, 표면의 평활성이 0.1μm이하의 경면 마무리한 고무롤(7)과 배면롤의 사이를 투명기판면을 배면롤측으로 하여 미는 것이 바람직하다.

이와 같은 고무롤(7)로서는 재질이 실리콘이며 이형제를 그의 내부에 함유하고, 표면 연마 가공을 충분히 하여서 형상 추종성을 양호하게 한 것이 바람직하고 배면롤도 동일한 것이 바람직하다.

재질이 실리콘 고무인 상기 고무롤(7)은, 고무 경도가 15∼80의 범위로 하는 것이 바람직하다. 고무 경도가 15미만에서는 압입 압력이 불충분하게 되는 경향이 있고 고무경도가 80을 초과하면 그의 막두께가 1.0∼3.0μm의 착색 감광성 수지층을 이행시키기 위하여서는 그 정밀도가 불충분하며, 이행 공정의 효과가 작아지는 경향이 있다.

상기 고무롤(7)의 고무에는 실리콘계의 이형제를 함유시키는 것이 바람직하다. 또 고무롤, 배면롤의 직경에는 특별히 제한은 없으나, 원활하게 이행이 진행되는 점에서 직경은 10∼500mm로 하는 것이 바람직하고 50∼200mm로 하는 것이 보다 바람직하다.

압력을 인가하는 방법으로서는 상기한 롤을 사용하는 방법외에 수압이 있는 수류(水流)에서 노즐로부터 물을 빼내서 착색 감광성 수지층을 이행시키는 방법, 커튼상의 수류를 실시하여 착색 감광성 수지층을 이행시키는 방법, 공기총을 사용하여 이행 불충분한 부분을 압착시키는 방법, 손가락 바닥으로 누르는 방법등이 있고, 복수의 방법을 조합하여 사용할 수가 있다.

인가하는 압력에 특별히 제한은 없으나 원활하게 이행이 진행되는 점에서 압력은 0.1∼10kgf/㎠로 하는 것이 바람직하고, 0.5∼4kgf/㎠로 하는 것이 보다 바람직하다.

(f)는 상기 (e)이행 공정의 종료후 현상 공정을 경유한 후의 컬러 필터의 화소의 단면의 형상을 나타낸다.

이상으로 1색째가 적, 2색째가 녹색의 경우를 예로서 설명하였으나, 색의 순서는 이것에 한정되지 않는다. 적, 녹, 청, 흑의 순서 이외에 흑, 청, 녹, 적 또는 흑, 적, 청, 녹등 본 발명에서는 어떠한 색순서도 가능하다.

본 발명에 사용되는 감광성 필름은 투명한 베이스 필름, 예컨대 폴리에틸렌테레프탈레이트등의 필름상에 1색으로 착색된 감광성 수지 조성물을 도포하고, 건조시켜서 1색으로 착색된 감광성 수지층을 형성시킨 것이다. 이 착색 감광성 수지층은 미경화이며, 유연하고, 점착성을 갖기 때문에 이위에 또 폴리에틸렌 필름등의 보호필름을 접합시켜서 외부로부터의 손상, 이물의 부착등을 방지하는 것이 바람직하다. 감광성 필름에 형성된 착색 감광성 수지층은 보호 필름을 박리하면서 투명기판상에 접합되고, 또 이 착색 감광성 수지층 표면의 베이스 필름은 소정 패턴의 네가티브 마스크를 통하여 노광시킨 후에 제거된다.

1색으로 착색된 감광성 수지층은 에틸렌성 불포화 화합물(a), 카르복실기 함유 필름성 부여 중합체(b), 광중합 개시제 또는 광중합 개시제계 화합물(c) 및 안료 또는 연료(d)를 함유하는 것이 바람직하고, 층의 두께는 0.5∼15μm인 것이 바람직하다.

에틸렌성 불포화 화합물(a)로서는 예컨대 다가 알콜에 α,β-불포화카르복실산을 부가하여 얻어지는 화합물, 예컨대 트리메티롤프로판디(메타)아크릴레이트(메타아크릴레이트 또는 아크릴레이트를 의미한다. 이하 같음), 트리메티롤프로판트리(메타)아크릴레이트, 테트라메티롤메탄트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트등; 글리시딜기 함유화합물에 α,β-불포화카르복실산을 부가하여 수득되는 화합물, 예컨대 트리메티롤프로판트리글리시딜에테르트리아크릴레이트, 비스페놀 A 디글리시딜에테르디(메타)아크릴레이트등; 다가 카르복실산, 예컨대 무수 프탈산등과 수산기 및 에틸렌성불포화기를 갖는 화합물, 예컨대 β-히드록시에틸(메타)아크릴레이트등의 에스테르화물; (메타)아크릴산(메타아크릴산 또는 아크릴산을 의미한다. 이하 같음)의 알킬에스테르, 예컨대 (메타)아크릴산메틸, (메타)아크릴산에틸, (메타)아크릴산부틸, (메타)아크릴산2-에틸헥실등을 들수 있고, 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트와 2가 알콜과 2가의 (메타)아크릴산모노에스테르를 반응시켜서 수득되는 우레탄디아크릴레이트 화합물등도 사용된다. 이것들의 화합물은 2종 이상 사용하여도 좋다. (a)성분의 배합량은 (a)성분과 (b)성분의 총량을 100중량부로하여 바람직하게는 90∼50중량부로 된다.

카르복실기 함유 필름성 부여 중합체(b)로서는 예컨대 (메타)아크릴산알킬에스테르와 (메타)아크릴산과의 공중합체, (메타)아크릴산알킬에스테르와 (메타)아크릴산과 이것들과 공중합 할수 있는 비닐 단량체와의 공중합체등을 들수 있다. (메타)알킬산알킬에스테르로서는 예컨대 (메타)아크릴산메틸, (메타)아크릴산에틸, (메타)아크릴산부틸, (메타)아크릴산2-에틸헥실등을 들수 있다. 또는 (메타)아크릴산알킬에스테르, (메타)아크릴산 및 이것들과 공중합할 수 있는 비닐단량체로서는 (메타)아크릴산디메틸에틸, (메타)아크릴산테트라히드로푸르푸릴, (메타)아크릴산디에틸, 2,2,2-트리플루오로에틸(메타)아크릴레이트, 2,2,3,3-테트라플루오로프로필(메타)아크릴레이트, 아크릴아미드, 디아세톤아크릴아미드, 스티렌, 비닐톨루엔등을 들수 있다. 또 코폴리에스테르, 예컨대 테레프탈산, 이소프탈산, 세바신산등의 폴리에스테르, 부타디엔과 아크릴로니트릴과의 공중합체, 셀룰로오스아세테이트, 셀룰로오스 아세테이트 부틸레이트, 메틸셀룰로오스, 에틸셀룰로오스등도 사용할 수가 있다.

(b)성분의 사용에 의해서, 도막성이나 경화물의 막특성이 향상되고, 그 배합량은 (a)성분과 (b)성분의 총량을 100중량부로하여 바람직하게는 10∼50중량부이다. 이 배합량이 10중량부 미만에서는 에틸렌성 불포화 화합물이 많아지기 때문에 광감도가 저하하고, 50중량부를 초과하면 광경화물이 연약해지는 경향이 있다. 또 (b)성분의 중량 평균 분자량은, 상기 도막성이나 막강도의 점에서 10,000이상이 바람직하다.

광중합개시제 또는 광중합개시제계 화합물(c)로서는 예컨대 벤조페논, N,N′- 테트라메틸- 4,4′- 디아미노벤조페논(미히라의 케톤), N,N′- 테트라메틸 - 4,4′- 디아미노벤조페논, 4 - 메톡시 - 4′- 디메틸아미노벤조페논, 4,4′ - 디에틸아미노벤조페논, 2 - 에틸안트라퀴논, 페난트렌퀴논등의 방향족 케톤 : 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인페닐에테르등의 벤조인에테르, 메틸벤조인, 에틸벤조인등의 벤조인 : 2 - (o - 클로로페닐) - 4,5 - 디페닐이미다졸이량체, 2 - (o - 클로로페닐) - 4,5 - 디 - (m - 메톡시페닐) - 4,5 - 디페닐이미다졸이량체, 2 - (o - 플루오로페닐) - 4,5 - 디페닐이미다졸이량체, 2 - (o - 메톡시페닐) - 4,5 - 디페닐이미다졸이량체, 2 - (p - 메톡시페닐) - 4,5 - 디페닐이미다졸이량체, 2.4 - 디 (p - 메톡시페닐) - 5 - 페닐이미다졸이량체, 2 - (2,4 - 디메톡시페닐) - 4,5 - 디페닐이미다졸이량체, 2 - (p - 메틸메르캅토페닐) - 4,5 - 디페닐이미다졸이량체등의 2,4,5 - 트리아릴이미다졸이량체등이 사용된다.

(c)의 배합량은 (a)와 (b)의 총량 100중량부에 대하여 바람직하게는 0.1∼10중량부이다. 이 배합량이 0.1중량부 미만에서는 광감도가 불충분하게 되고, 10중량부를 초과하면 노광시에 조성물의 광흡수가 증대하고 내부의 광경화가 불충분하게 되는 경향이 있다.

안료 또는 염료 (d)로서는 일반적으로 알려져 있는 착색제를 사용할 수 있고, 감광성 수지층, 특히 에틸렌성 불포화 화합물 또는 카르복실기 함유 필름성 부여 중합체에 대한 상용성, 목표로 하는 색상, 광투과성등을 고려하여 선택된다.

컬러 필터에 사용할 수 있는 안료는 각종의 화합물을 사용할 수 있고, 예컨대, 황산바륨, 산화아연, 황산연, 산화티탄, 산화철(Ⅲ)으로 이루어진 안료, 카아본블랙, 그라파이트, 산화크롬등의 무기안료, 하기의 유기안료(컬러 인덱스번호)등이 있다.

황색안료 : C.I. 피그멘트옐로우 20, 24, 83, 86, 93, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 139, 147, 148, 153, 154, 166, 168

오렌지 안료 : C.I. 피그멘트오렌지 36, 43, 51, 55, 59, 61

적색안료 : C.I. 피그멘트레드 9, 97, 122, 123, 149, 168, 177, 180, 192, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 48 : 1

바이올렛 안료 : C.I. 피그멘트 바이올렛 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50

청색 안료 : C.I. 피그멘트 블루우 15, 15 : 6, 22, 60, 64

녹색 안료 : C.I. 피그멘트 그린 7, 36

흑색 안료 : C.I. 피그멘트블랙 7

(d)의 배합량은 (a)와 (b)의 총량 100중량부에 대하여 바람직하기는 1∼50중량부이다. 이 배합량이 1중량부 미만에서는 착색이 불충분하고 50중량부를 초과하면 광투과율이 저하하는 경향이 있다.

착색 감광성 수지층에는 가열경화성을 높이기 위하여 카르복실기 함유 필름성 부여 중합체의 카르복실기와 열반응하는 멜라민수지 및/또는 에폭시수지를 (a)성분과 (b)성분의 총량 100중량부에 대하여 1∼20중량부 첨가하는 것이 바람직하다. 이것들을 첨가하여 130∼200℃에서 30∼60분 가열함으로써 착색층의 가교밀도가 향상하고 내열성이 현저하게 향상한다.

본 발명에 있어서는 컬러 필터는 다음과 같이 해서 제조된다.

먼저 투명기판상에 감광성 필름에 형성된 착색 감광성 수지가 접합되고, 이 착색 감광성 수지층 표면의 베이스 필름상에 소정 패턴의 네가티브 마스크를 얹혀서 노광시킨 후, 베이스 필름이 제거된다. 이어서 미노광 부분이 현상액으로 현상되고 착색패턴이 형성된다. 이 착색 패턴 형성공정을 색이 다른 감광성 필름을 사용하여 소정 회수를 반복하여 실시하고, 다색의 패턴을 형성시켜서 컬러 필터가 얻어진다.

투명기판상에 접합된 착색 감광성 수지층으로 세선(細線)을 형성하는 경우는 현상액에 견딜 수 있는 최소의 노광량으로 노광하기 때문에, 현상 후의 착색층이 유연한 일이 있고, 현상후에 또한 자외선 조사나 열처리에 의해서, 또 전자선 조사에 의해서 완전히 착색층을 경화시켜서 강도 및 내열성을 부여한다.

본 발명에 있어서는 특히 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 화소 사이에 공간을 형성하여 접합시키는 공정을 실시하고 상기한 (i)와 (iii)의 공정 사이에, 예컨대 상기한 (i)의 공정후 상기 (ii)의 공정전 또는 상기 (ii)의 공정후 상기 (iii)의 공정전에 가열에 의한 2색째 이후의 감광성 수지층의 베이스 필름으로부터 화소 사이의 공간에의 이행 공정이 실시된다.

이하, 실시예에 의해 본 발명을 설명한다.

[실시예 1]

(1) 착색 감광성 수지층 도공액의 제조

표1의 재료를 균일하게 용해시킨 용액 200중량부에 표 2의 어느 하나의 안료 페이스트 135중량부, 멜라민수지 5중량부 및 실란커플링제 5중량부를 각각 첨가하고, 용해 분산시켜 착색 감광성 수지층 도공액을 수득하였다.

[멜라민수지]

사이멜 300 (헥사메톡시메틸멜라민의 상품명, 미쓰이도오아쓰사제)

[실란 커플링제]

KBM503(신에쓰화학사제)

[도공액의 조정]

도공액을 사용직전에 초음파로 2.5시간 분산시켜 사용하였다.

(2) 감광성 필름의 제조

수득된 도공액을 두께 6μm의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(데이진사(제) 테트론필름 S6)상에 균일한 두께로 도포하고, 100℃의 건조기로 2분간 건조시켰다. 보호 필름으로서 두께 30μm의 폴리에틸렌필름을 접합하여 감광성 필름을 수득하였다. 건조후의 감광성 수지층의 두께는 2.01μm였다.

(3) 필터의 제조

(a) 기판가열

컬러 필터용의 하지 기판(두께 1.1mm의 유리기판, 코닝사제, 코닝7074)을 80℃에서 10분간 가열하였다.

(b) 접합공정

상기한 감광성 필름의 보호필름을 박리하면서 착색 감광성 수지층을 상기한 조건으로 가열된 컬러 필터용의 하지 기판상에 하기 조건으로 적층하였다.

롤온도 : 120℃

롤압 : 1.0kg/㎠

속도 : 1.5m/분

(c) 노광 공정

소정의 패턴(70μm × 270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니며, 길이 150mm로서, 평행 방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm주기의 줄무늬상의 패턴)의 네가티브 마스크를 통하여 노광기 HMW-201B(3kW의 초고압수은등, 오크제작소제)를 사용하여 소정의 노광량으로 조정하여 노광시켰다.

(d) 박리 공정

폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 제거하였다.

(e) 현상공정

30℃에서 0.08중량%의 NaCO수용액으로 10 ∼ 20초 스프레이현상을 시켜 미노광부를 제거하여 1색의 착색 패턴을 형성하였다.

상기 (a)부터 (e)의 착색패턴의 형성 공정을 적, 청, 녹의 순서로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복 실시하였다. 2색째의 청의 적층시에 필름의 이송방향을 전치화소의 적색의 줄무늬상의 패턴으로 직교시켜서 필름을 이송하고, 그후 (c)의 노광 공정 전에 60℃에서 15분간 가열을 하고, 3색째의 녹색에 관해서도 동일하게 실시하여, 다색의 패턴을 형성하였다. 이때의 노광량은 적, 청, 녹색의 감광성 수지층에 대하여서는 50mJ/㎠로 하였다. 사용한 마스크의 패턴은 줄무늬가 화소마다 독립한 장방향을 형성하여 줄무늬의 길이 방향으로 빈틈을 둔 것이다. 수득된 다색 패턴에 자외선 조사기(램프 H5600L/2, 도오시바전재사제)를 사용하여 3J/㎠로 조사한후, 150℃에서 45분간 가열하여 컬러 필터를 수득하였다. 수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm × 270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니며, 길이 150mm로서, 평행방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼 수 없고, 상기한 60℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

[실시예 2]

(1) 착색 감광성 수지층 도공액의 제조

표 3의 재료를 균일하게 용해시킨 용액 200중량부에 표 2의 어느 하나의 안료 페이스트 145중량부, 멜라민 수지 5중량부 및 실란커플링제 5중량부를 각각 첨가하여 용해 분산시켜 착색 감광성 수지층 도공액을 수득하였다.

[멜라민수지]

사이멜 300 (헥사메톡시메틸멜라민의 상품명, 미쓰이도오아쓰사제)

[실란 커플링제]

KBM503(신에쓰화학사제)

[도공액의 조정]

도공액의 조정은 상기한 재료를 안료 페이스트에 서서히 첨가하면서 통상의 방법으로 볼밀로 8시간 혼련 분산시켜 조정하였다.

(2) 감광성 필름의 제조

수득된 도공액을 두께 23μm의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(데이진사제 테트론필름 S6)상에 키스터치리버어스롤 코우터를 사용하여 도공하였다. 100℃의 건조기로 2분간 건조시켰다. 보호 필름으로서 두께 30μm의 폴리에틸렌 필름을 접합하여 감광성 필름을 수득하였다. 건조후의 감광성 수지층의 두께는 1.95μm이었다.

(3) 필터의 제조

(a) 기판가열

실시예 1에서 사용한 컬러 필터용의 하지기판을 80℃에서 10분간 가열하였다.

(b) 접합공정

상기한 감광성 필름의 보호필름을 박리하면서 착색 감광성 수지층을 상기한 조건으로 가열된 컬러 필터용의 하지 기판상에 하기 조건으로 적층하였다.

롤온도 80℃

롤압 1.0kg/㎠

속도 2.5m/분

(c) 노광 공정

소정의 패턴(줄무늬상의 화소로 이루어지는 통상의 컬러 필터용의 것)의 네가티브 마스크를 통하여 노광기 HMW-201B(3kw의 초고압수은등, 오크제작소제)를 사용하여 소정의 노광량으로 밀착 노광시켰다.

(d) 박리 공정

폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 제거하였다.

(e) 현상공정

30℃에서 0.08중량%의 NaCO수용액으로 10 ∼ 20초 스프레이현상을 하여 미노광부를 제거하여 1색의 착색 패턴을 형성하였다.

상기한 (a)로부터 (e)의 착색 패턴의 형성공정을 적, 청, 녹의 순으로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복하여 실시하였다. 2색째의 청의 적층시에 필름의 이송방향을 전치화소의 적의 줄무늬상의 패턴에 직교시켜서 필름을 이송하고, 그후 (c)의 노광 공정의 후에 60℃에서 15분간 가열을 행하여 3색째의 녹색에 관해서도 동일하게 실시하고 다색의 패턴을 형성하였다. 이때의 노광량은 적, 청, 녹색의 감광성 수지층에 대하여서는 50mJ/㎠로 하였다. 수득된 다색 패턴에 자외선 조사기(램프 H5600L/2, 도오시바전재사제)를 사용하여 3J/㎠로 조사한후, 150℃에서 45분간 가열하여 컬러 필터를 수득하였다. 수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 가지며, 길이 150mm로서, 평행방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼 수 없고, 상기한 60℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

[실시예 3]

하기 표 4의 재료를 표 1의 재료로 치환한 것 이외는 실시예 1과 동일하게 실시하였다.

수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니고, 길이 150mm로서, 평행방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 배열되고, 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼 수 없고, 상기한 60℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

[비교예 1]

실시예 1과 동일하게 하여 적색의 착색 패턴을 형성하고, 이어서 이 패턴의 형성공정을 실시예 1과 동일하게 청, 녹의 순서로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복해서 실시하였으나, (c)의 노광전에 60℃에서 15분간의 베이킹을 하였다. 이때, 줄무늬 패턴은 폭 70μm이며, 길이 150mm이며, 간격이 300μm주기의 줄무늬상이었다. 필름의 추종성이 불충분하고, 필름에 주름이 일부 발생하고, 추종성이 불균일하게 되었다. 또 화소의 표면은 청에서는 그의 단면은 J상으로 되고 양단의 막두께의 차는 0.3μm였다. 녹색에서는 그의 단면은 M상으로 되고 양단과 중앙에서는 0.5μm의 막두께의 차가 생기고 있었다. 이것은 (c)의 노광전에 60℃에서 15분간의 가열 공정을 실시하지 않았기 때문이며, 장방형의 화소단면이 수득되지 않았다.

[실시예 4]

실시예 1에 있어서, 가열공정을 (c)의 노광 공정전에 60℃에서 15분간 가열을 실시하는 대신에 (c)의 노광 공정후에 80℃에서 15분간 가열을 하는 것 이외는, 실시예 1의 방법을 반복하였다.

수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니며, 길이 150mm로서, 평행방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고, 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼수 없고, 상기한 80℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

상기한 (a)부터 (e)의 착색패턴의 형성공정을 적, 청, 녹색의 순서로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복하여 실시하였다. 2색째의 청색의 적층시에 필름의 이송방향을 전치화소인 적색의 줄무늬상의 패턴으로 직교시켜서 필름을 이송하고 그후, (c)의 노광 공정전에 80℃에서 15분간 가열을 실시하고, 3색째의 녹색에 관해서도 동일하게 실시하고, 다색의 패턴을 형성하였다. 이때의 노광량은 적, 청, 녹색의 감광성 수지층에 대하여서는 50mJ/㎠로 하였다. 사용한 마스크의 패턴은 줄무늬가 화소마다 독립된 장방향을 형성하여 줄무늬의 길이 방향으로 빈틈을 둔 것이다. 수득된 다색 패턴에 자외선 조사기(램프 H5600L/2, 도오시바 전재사제)를 사용하여 3J/㎠로 조사한 후, 150℃에서 45분간 가열하여 컬러 필터를 수득하였다. 수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니며, 길이 150mm로서, 평행 방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 추종성은 양호하였다.

또 화소의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼 수 없고, 상기한 80℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

[실시예 5]

가열공정을 (c)의 노광 공정후 60℃에서 15분간 실시하는 대신에 80℃에서 15분간 실시한 것이외는 실시예 2의 방법을 반복하였다.

수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니며, 길이 150μm로서, 평행 방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼 수 없었다. 상기한 80℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

[실시예 6]

가열공정을 (c)의 노광전 60℃에서 15분간 실시하는 대신에 (c)의 노광후 80℃에서 15분간 실시한 것 이외는 실시예 3의 방법을 반복하였다.

수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 길이 150mm로서, 평행 방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼 수 없고, 상기한 80℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

[실시예 7]

가열공정을 (c)의 노광 공정전 60℃에서 15분간 실시하는 대신에 80℃에서 15분간 실시한 것 이외는 실시예 1의 방법을 반복하였다.

수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니며, 길이 150mm로서, 평행 방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고, 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼 수 없고, 상기한 80℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

[실시예 8]

가열공정을 (c)의 노광 공정후 60℃에서 15분간 실시하는 대신에 80℃에서 (c)의 노광 공정전 80℃에서 15분간 실시한 것 이외는 실시예 2의 방법을 반복하였다.

수득된 컬터필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니고, 길이 150μm로서, 평행 방향으로 30μm의 빈틈이 있고, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼수 없었다. 상기의 80℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

[실시예 9]

가열공정을 (c)의 노광 공정전, 60℃에서 15분간 실시하는 대신에, 80℃에서 15분간 실시한 것 이외는 실시예 3의 방법을 반복하였다.

수득된 컬터필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(70μm×270μm의 장방형이 길이 방향으로 30μm의 빈틈을 지니며, 길이 150mm로서, 평행 방향으로 30μm의 빈틈을 지니며, 평행 방향의 간격이 300μm 주기의 줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고, 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼수 없고, 상기한 80℃에서 15분간의 가열의 효과가 인정되었다.

종래의 방법에서는 전치화소상의 감광성 수지층이 퍼져서 2색째 및 3색째의 화소의 위에 없어지므로써 화소 표면에 요철이 발생하였으나, 본 발명의 실시예 1∼9제법에 의하면, 화소에 의한 요철에 2색째 이후의 감광성 필름이 양호하게 추종되고 2색째 이후의 감광성 수지층을 베이스 필름으로부터 기판 표면상의 공간에 이행시키는 공정에 의해, 상기 결점인 화소의 표면의 요철이 감소한다.

본 발명의 제조법에 의하면 감광성 필름의 추종성, 작업성이 양호하게 기판상에 균일한 두께의 고정밀도의 다색의 미세패턴이 형성된 뛰어난 내열성을 갖는 컬러 필터를 제조할 수가 있다.

[실시예 10]

(1) 착색 감광성 수지층용의 도공액

표 5의 재료를 균일하게 용해시킨 용액 200중량부에 표 6의 어느 하나의 안료 페이스트 135중량부, 멜라민 수지 5중량부 및 실란커플링제 5중량부를 각각 첨가하고 용해 분산하여 착색 감광성 수지층용의 도공액을 수득하였다.

[멜라민수지]

사이멜 300(헥사메톡시메틸멜라민의 상품명, 미쓰이도오아쓰사제)

[실란 커플링제]

KBM503(신에쓰 화학사제)

[도공액의 조정]

도공액의 조정은 각각의 재료를 사용직전에 초음파로 2.5시간 분산시켜 조정하였다.

(2) 감광성 필름의 제조

수득된 도공액을 두께 6μm의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(데이진사제 테트론필름 S6) 상에 균일한 두께로 도포하고 100℃의 건조기로 2분간 건조시켰다. 보호 필름으로서 두께 30μm의 폴리에틸렌 필름을 접합시켜서 감광성 필름을 수득하였다. 건조후의 감광성 수지층의 두께는 적, 청, 녹색 2.0μm였다.

(3) 필터의 제조

(a) 기판가열공정

컬러 필터용의 하지 기판(코닝7074, 코닝사제)를 80℃에서 10분간 가열하였다.

(b) 접합공정

상기한 감광성 필름의 보호필름을 박리하면서 착색 감광성 수지층을 상기 컬러 필터용의 하지 기판상에 하기 조건으로 적층하였다.

롤온도 60℃

롤압 1.0kg/㎠

속도 2.5m/분

(c) 노광 공정

소정의 패턴(통상의 줄무늬상의 패턴으로 폭 70μm이며 길이 150mm, 간격이 300μm주기의 줄무늬상의 패턴)의 네가티브 마스크를 통하여 노광기 HMW-201B(3kW, 초고압수은등, 오크 제작소제)로 노광시켰다.

(d) 박리 공정

폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 제거하였다.

(e) 현상공정

30℃에서 0.08중량%의 Na2CO3수용액으로 10∼20초 스프레이현상을 하여 미노광부를 제거하고 1색의 착색 패턴을 형성하였다.

이 (a)부터 (e)의 착색패턴의 형성 공정을 적, 청 및 녹색의 순서로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복 실시하였다. 2색째의 청의 적층시에 필름의 이송방향을 전치화소의 적색의 줄무늬 상의 패턴에 직교시켜서 필름을 이송하였다. 수득된 청 필름이 있는 기판의 표면에는 평탄하고, 비스듬이 틈새를 만들어도 광의 산란은 없고 평탄하였다. 표면의 조도를 측정한 바 필름 표면의 평탄성은 접합을 하기전과 동일하고 전치화소로 인한 변형은 볼수 없었다.

(d)는 박리 공정후에 60℃에서 15분간 가열을 실시하여(이행 공정이며, 공간을 통하고 있던 착색 감광성 수지층이 적색의 기판 표면에 이행하는 공정이다), 3색째의 녹색에 관해서는 (c)의 노광 공정후에 60℃에서 15분간 가열을 실시하고(이행 공정이며, 공간을 통하고 있던 착색 감광성 수지층이 기판 표면상의 공간에 이행하는 공정이다). 다색의 패턴을 형성하였다. 이때의 노광량은 적, 청, 녹색의 감광성 수지층에 대해서는 50mJ/㎠로 하였다. 사용한 마스크의 패턴은 줄무늬가 화소마다 독립한 장방형을 형성하여 줄무늬의 길이 방향으로 빈틈을 둔 것이다. 수득된 다색 패턴에 자외선 조사기(램프 H5600L/2, 도오시바전재사제)를 사용하여 3J/㎠로 조사한후, 150℃에서 45분간 가열하여 컬러 필터를 수득하였다.

수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 있었다. 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼 수 없었다.

[비교예 2]

실시예 10과 동일하게 하여 적, 청 및 녹색의 순서로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복 실시하였으나 (3)(b)의 접합공정에서, 줄무늬의 패턴은 폭 70μm이며 길이 150mm이며 간격이 300μm주기의 줄무늬상이며, 접합의 방향은 줄무늬와 평행으로 하였다. 수득된 청 필름이 부착된 기판의 표면은 평탄치 않고 경사지게 틈새를 만든바, 광의 산란이 발생하고 있는 것을 관찰할 수 있었다. 표면의 조도를 측정한 바, 필름 표면에는 전치화소의 주기에 대응한 1.5∼2.0μm의 산을 가진 요철이 발생하고 있었다. 접합을 실시하기전의 필름 표면에는 보이지 않았던 요철이 있다. 전치화소에 의한 변형이라고 인정되었다. 필름의 추종성이 불충분하고 청녹모두 화소에 결함이 일부 발생하여 추종성이 불량하게 되었다.

또 화소의 표면은, 청에서는 그 단면은 J상으로되고 양단의 막두께의 차는 0.3μm였다. 녹색에서는 그의 단면은 M상으로 되고 양단과 중앙에서는 0.5μm의 막두께의 차가 생기고 있었다.

[실시예 11]

표 5의 재료에 대신해서 표 7의 재료를 사용하고 청 및 녹색에 관해서는 (b)의 접합공정을 하기와 같이 한 것 이외는 실시예 10과 동일하게 하였다.

본 실시예의 접합 공정

상기 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서, 착색 감광성 수지층을 상기 컬러 필터용의 하지 기판상에 하기 조건으로 적층하였다.

롤온도 80℃

롤압 4.0kg/㎠

속도 1.5m/분

수득된 청 필름이 부착된 기판의 표면은 평탄하며, 경사져서 틈새가 형성되어도 광의 산란은 없고 평탄하였다. 표면의 조도(거침도)를 측정한바, 필름 표면의 평탄성은 접합을 하기전과 동일하고 실시예 10과 동일하게 전치화소에 의한 변형을 볼수 없었다. 수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴이 정연하게 병렬되고 있었다. 추종성은 양호하고 화소의 단차는 없고 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼수 없었다.

[실시예 12]

표 5의 재료에 대신하여 표 8의 재료를 사용하여, 청 및 녹색에 관해서는 (b)의 접합공정을 하기와 같이한 것 이외는 실시예 10과 동일하게 하였다.

본 실시예의 접합 공정

상기 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서 착색 감광성 수지층을 상기 컬러 필터용의 하지 기판상에 하기 조건으로 적층하였다.

롤온도 100℃

롤압 4.0kg/㎠

속도 1.0m/분

수득된 청 필름이 부착된 기판의 표면 및 녹색 필름이 부착된 기판의 표면은 평탄하고 경사지게 틈새를 형성하여도 광의 산란은 없고 평탄하였다. 표면의 조도를 측정한바 필름 표면의 평탄성은 접합을 하기전과 동일하며, 실시예 10과 동일하게 전치화소에 의한 변형을 볼수 없었다. 수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고, 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼수 없었다.

[실시예 13]

표 5의 재료에 대신하여 표 9의 재료를 사용한 것 이외는 실시예 10과 동일하게 하였다.

수득된 청 필름이 부착된 기판의 표면 및 녹색 필름이 부착된 기판의 표면은 평탄하며, 경사지게 틈새를 형성시켜도 광의 산란은 없고, 평탄하였다. 표면의 조도를 측정한 바 필름 표면의 평탄성은 접합을 하기전과 동일하며, 실시예 10과 동일하게 전치화소에 의한 변형은 볼수 없었다. 수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬하고, 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼수 없었다.

[실시예 14]

청 및 녹색에 관해서는 하기의 (a) 기판 가열공정과 (b) 접합공정으로 한 것 이외는 실시예 10과 동일하게 하였다.

(a) 기판가열 공정

상기 컬러 필터용의 하지기판을 40℃에서 10분간 가열하였다.

(b) 접합공정

상기 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서, 착색 감광성 수지층을 엄지 손가락 바닥으로 누르면서 접합하였다.

수득된 청 필름이 부착된 기판의 표면 및 녹색 필름이 부착된 기판의 표면은 평탄하며, 경사져서 틈새를 형성하여도 광의 산란은 없고 평탄하였다. 표면의 조도를 측정한바 필름 표면의 평탄성은 접합을 하기전과 동일하며, 실시예 10과 동일하게 전치화소에 의한 변형은 볼수 없었다.

수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 추종성은 양호하였다. 또 화소의 단차는 없고 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼수 없었다.

[실시예 15]

청 및 녹색에 관해서는 하기의 (a) 기판 가열공정과 (b) 접합공정으로 한 것 이외는 실시예 10과 동일하게 하였다.

(a) 기판가열 공정

상기 컬러 필터용의 하지기판을 40℃에서 10분간 가열하였다.

(b) 접합공정

상기 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서, 착색 감광성 수지층을 엄지손가락 바닥으로 누르면서 접합시켰다. 실시예 10과 동일한 효과를 얻었다.

[실시예 16]

청과 녹색에 관해서는 하기의 (a) 기판가열 공정과 (b) 접합공정으로 한것 이외는 실시예 10과 동일하게 하였다.

(a) 기판가열 공정

상기 컬러 필터용의 하지 기판을 40℃에서 10분간 가열하였다.

(b) 접합공정

상기 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서, 착색 감광성 수지층을 전치화소 부착기판에 폭 100mm의 대주걱으로 누르면서의 접합하였다.

실시예 10과 동일한 결과를 얻었다.

[실시예 17]

청 및 녹색에 관해서는 하기의 (a) 기판 가열 공정과 (b) 접합 공정으로 한것 이외는 실시예 10과 동일하게 하였다.

(a) 기판 가열 공정

상기한 컬러 필터용의 하지 기판을 40℃에서 10분간 가열하였다.

(b) 접합공정

상기 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서 착색 감광성 수지층을 바아코터(스테인레스의 선을 감은 봉)으로 누르면서 접합하였다. 실시예 10과 동일한 결과를 얻었다.

[비교예 3]

실시예 10과 동일하게 하여 적, 청 및 녹색의 순으로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복실시하였으나, 청 및 녹색에 관해서는 (b)의 접합 공정을 하기와 같이 하였다.

본 비교예의 접합 공정

상기 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서, 착색 감광성 수지층을 상기 컬러 필터용의 하지 기판상에 하기 조건으로 적층하였다.

롤온도 120℃

롤압 6.0kg/㎠

속도 1.0m/분

수득된 청 필름이 부착된 기판의 표면은 평탄치않고 비스듬이 틈새를 형성시킨바 광의 산란이 발생되고 있는 것을 관찰할 수 있었다. 청의 화소에 상당하는 부분을 확대한바 2열의 상처를 관찰할 수 있었다. 화소 상당부의 중앙부분이 전치화소간의 기판 표면에 접촉되고 있었다. 표면의 조도를 측정한바, 필름 표면에는 전치화소의 주기에 대응한 0.5∼1.0μm의 산을 갖는 요철이 발생하고 있었다. 접합을 하기전의 필름 표면에는 볼수 없었던 요철이었다. 전치화소에 의한 변형이라고 인정되었다.

화소의 표면은 청에서는 그의 단면은 J상으로되고 양단의 막두께의 차는 0.3μm였다. 녹색에서는 그의 단면은 M상으로 되고 양단과 중앙에서는 0.5μm의 막두께의 차가 생기고 있었다. 이 화소의 상태를 모식적으로 제2도로서 표시하였다. 수득된 컬러 필터는 불량하였다.

[비교예 4]

실시예 10과 동일하게 해서 적, 청 및 녹색의 순서로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복실시하였으나, 청 및 녹색에 관해서는 (b)의 접합 공정을 하기와 같이 하였다.

본 비교예의 접합 공정

상기 감광성 필름의 보호 필름을 박리하면서, 착색 감광성 수지층을 상기 컬러 필터용의 하지 기판상에 하기 조건으로 적층하였다.

롤온도 105℃

롤압 4.0kg/㎠

속도 1.0m/분

수득된 청 필름이 부착된 기판의 표면은 평탄치않고 비스듬이 틈새를 형성시키지만, 광의 산란이 발생되고 있는 것을 관찰할 수 있었다. 청의 화소에 상당하는 부분을 확대한 바 2열의 상처를 관찰할 수 있었다. 화소 상당부의 중앙부분이 전치화소간의 기판 표면에 접촉되고 있었다. 핀 호울의 발생이 있고, 화소는 불량하였다.

이상의 실시예 10∼17에 의하면 감광성 필름의 추종성, 작업성이 좋고, 기판상에 균일한 두께의 고정밀도의 다색의 미세패턴이 형성된 뛰어난 내열성을 갖는 컬러 필터를 제조할 수 있다.

[실시예 18]

(1) 착색 감광성 수지층용 도공액의 제조

표 10의 재료를 균일하게 용해시킨 용액 200중량부에 표 11의 어느 하나의 안료 페이스트 135중량부, 멜라민 수지 5중량부 및 실란 커플링제 5중량부를 각각 첨가하고 용해 분산시켜 착색 감광성 수지층용 도공액을 수득하였다.

[멜라민수지]

사이멜 300(헥사메톡시메틸멜라민의 상품명, 미쓰이도오아쓰사제)

[실란 커플링제]

KBM503(신에스 화학사제)

[공액의 조정]

도공액의 조정은 각각의 재료를 사용직전에 초음파로 2.5시간 분산하여 조정하였다.

(2) 감광성 필름의 제조

수득된 용액을 두께 23μm의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름(데이진사제 테트론 필름 F23) 상에 키스터치리버어스 방식의 도공기를 사용하여 균일한 두께로 도포하고, 100℃의 건조기로 2분간 건조시켰다. 보호 필름으로서 두께 30μm의 폴리에틸렌 필름을 접합하여 감광성 필름을 수득하였다. 건조후의 감광성 수지층의 두께는 적, 청, 녹색 모두 각각 2.0μm였다.

(3) 컬러 필터의 제조

(a) 기판가열 공정

상기 컬러 필터용의 하지기판을 80℃에서 10분간 가열하였다.

(b) 접합공정

상기 컬러 필터용의 감광성 필름의 보호필름을 박리하면서, 착색 감광성 수지층을 상기 컬러 필터용의 하지 기판상에 하기 조건으로 적층하였다.

롤온도 60℃

롤압 1.0kg/㎠ (에어실린더 압력)

속도 2.5m/분

(c) 노광 공정

소정의 패턴(통상의 줄무늬상의 패턴으로 70μm(백)/230μm(흑)으로 길이 150mm의 줄무늬상)의 네가티브 마스크를 통하여 노광기 HMW-201B(3kW, 초고압수은등, 오크제작소제)에 노광시켰다.

(d) 박리 공정

실온에서 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 제거하였다. 자동박리장치(자가제 시작품, 양면테이프를 접합시킨 롤로 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 박리하는 장치)로 박리하였다.

(e) 이행 공정

2색째와 3색째의 화소 형성시에는 박리 공정의 후에 이행롤에 의한 압력의 인간에 의해 이행을 하고, 공간을 통하고 있던 착색 감광성 수지층을 적의 기판 표면에 이행시켰다.

즉, 표면의 평활성이 0.1μm이하의 경면마무리 되었다. 재질이 실리콘고무이며, 고무 경도가 50, 고무 두께가 4mm, 직경이 100mm의 고무롤(에어 실린더 압력 1.0kgf/㎠)과 경면 마무리없이 고무경도가 100인 것 이외에는 고무롤과 동일한 방법인 배면롤(고정되어 있다)과의 사이를 하지 기판면을 배면롤측으로하여 통과시켜서 압착시키는 방법으로 이행을 하였다.

(f) 현상공정

30℃에서 0.08중량%의 NaCO수용액으로 10∼20초 스프레이현상을 하여 미노광부를 제거하고, 현상후 수세하고 오븐 가열 건조시켜, 착색 패턴을 형성하였다.

이 (a)부터 (f)의 착색 패턴의 형성공정을 적, 청 및 녹색의 순으로 각색의 감광성 필름을 사용하여, 반복하여 실시하였다. 2색째인 청색의 적층시에 필름의 이송방향을 전치화소인 적색의 줄무늬 상의 패턴에 직교시켜서 필름을 이송하였다.

3색째인 녹색에 관해서도 동일하게 하고, 다색의 패턴을 형성시켰다. 이때의 노광량은 적, 청 및 녹색의 각각의 감광성 수지층에 대하여서는 50mJ/㎠로 하였다. 사용한 마스크의 패턴은 줄무늬가 화소마다 독립된 장방형을 형성하여 줄무늬의 길이 방향으로 빈틈을 둔 것이다.

수득된 다색 패턴에 자외선 조사기(램프 H5600L/2, 도시바전재사제)를 사용하여 3J/㎠의 조사를 한 후, 150℃에서 45분간 가열하여 컬러 필터를 수득하였다. 수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되어 있고, 추종성은 양호하였다. 또 화소간의 단차는 없고, 화소의 단면에서는 M상도 J상도 볼수 없었다.

[실시예 19]

표 12의 재료로 한 것이외는 실시예 18과 동일하게 하고 실시예 18과 동일하게 양호한 결과를 얻었다.

[실시예 20]

하기의 표 13의 재료를 표 10의 재료로 대치한 것 이외는 실시예 18과 동일하게 실시하고 실시예 18과 동일한 결과를 얻었다.

[실시예 21]

청 및 녹색에 관하여서는 하기의 (e) 이행 공정으로한 것 이외는 실시예 18과 동일하게 하여, 실시예 18과 동일하게 양호한 결과를 얻었다.

(e) 이행 공정

재질이 실리콘이며 이형제를 함유하는 고무이고, 고무 두께 1mm의 고무롤을 사용하여 이행을 하였다.

[실시예 22]

청 및 녹색에 관해서는 하기의 (e) 이행 공정으로 한것 이외는 실시예 18과 동일하게 실시하고, 실시예 18과 동일하게 양호한 결과를 얻었다.

(e) 이행 공정

고무롤의 고무경도를 15, 배면롤의 고무경도를 80으로 하였다.

[실시예 23]

청 및 녹색에 관해서는 하기의 (e) 이행 공정으로 한것 이외는 실시예 18과 동일하게 하고 실시예 18과 동일하게 양호한 결과를 얻었다.

(e) 이행 공정

베이스 필름을 박리하여, 공기총을 사용하여 이행불충분한 부분의 이행을 하였다.

[실시예 24]

청 및 녹색에 관해서는 하기의 (e) 이행 공정으로 한것 이외는 실시예 18과 동일하게하여 실시예 18과 동일하게 양호한 결과를 얻었다.

(e) 이행 공정

베이스 필름을 박리하여 현상전의 착색 감광성 수지층을 손가락의 바닥으로 눌러서 이행불충분한 부분의 이행을 하였다.

[비교예 5]

실시예 18과 동일하게 실시하나, (e) 이행 공정을 생략하여 컬러 필터를 만들었다. 착색 패턴의 형성 공정을 적, 청 및 녹색의 순서로 각색의 감광성 필름을 사용하여 반복하여 실시하였다.

2색째의 청색의 적층시에 필름의 이송방향을 전치화소의 적색의 줄무늬상의 패턴에 직교시켜서 필름을 이송하였다. 3색째의 녹색에 관해서도 동일하게 하고, 다색의 패턴을 형성하였다. 이때의 노광량은 적, 청 및 녹색의 감광성 수지층에 대하여 50mJ/㎠로 하였다. 사용한 마스크의 패턴은 줄무늬가 화소마다 독립된 장방형을 형성하여 줄무늬의 길이 방향으로 빈틈을 둔 것이다.

수득된 다색 패턴에 자외선 조사기(램프 H5600L/2, 도오시바전재사제)를 사용하여 3J/㎠의 조사를 한후, 150℃에서 45분간 가열하여 컬러 필터를 수득하였다. 수득된 컬러 필터는 적, 청 및 녹색의 패턴(줄무늬상의 패턴)이 정연하게 병렬되고 있었다. 추종성은 불량하며, 녹, 청에서 백발이 다수 관찰되었다. 또 화소내의 단차는 녹은 0.8μm, 청에서는 0.5μm이며, 화소의 단면은 M상, J상을 나타내고 있었다.

이상의 실시예 18∼24의 본 발명의 제조법에 의하면, 감광성 필름의 추종성, 작업성이 좋게 기판상에 균일한 두께의 고정밀도의 단차, 백발이 없는 다색의 미세패턴이 형성된 뛰어난 내열성을 갖는 컬러 필터를 제조할 수가 있다.

Claims (7)

1. 투명 기판상에 베이스 필름과 1색으로 착색된 감광성 수지층으로 이루어진 감광성 필름을, (i) 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 접합시키는 공정, (ii) 패턴상으로 노광시키는 공정, 및 (iii) 현상 공정을 적어도 포함하는 공정을 반복하여 다색 패턴을 형성시키는 컬러 필터의 제조법에 있어서, 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록, 화소(畵素) 사이에 공간을 형성하여 접합시키는 공정을 실시하고, 상기 (i)과 (iii)의 공정의 사이에 가열에 의한 2색째 이후의 감광성 수지층의 베이스 필름으로부터 화소 사이 의 공간에의 이행 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조법.
2. 제1항에 있어서, 가열에 의한 이행 공정을 상기 (ii)의 공정후, 상기 (iii)의 공정후, 상기 (iii)의 공정전에 실시하는 것을 특징으로 하는 방법.
3. 제1항에 있어서, 가열에 의한 이행 공정을 상기 (i)의 공정후, 상기 (ii)의 공정전에 실시하는 것을 특징으로 하는 방법.
4. 제1항에 있어서, 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 기판에 면하도록 화소사이에 공간을 형성하여 접합시키는 공정을, 화소사이에 공간을 형성하고, 접합시킨후의 베이스 필름 표면이 평탄하게 되도록 접합시키는 것을 특징으로 하는 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 (i)과 (iii)의 공정의 사이에서 베이스 필름이 박리된 후, 현상전에 착색된 감광성 수지층에 압력을 인가하는 것을 특징으로 하는 방법.
6. 투명기판상에 베이스 필름과 1색으로 착색된 감광성 수지층으로 이루어진 감광성 필름을 (i) 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 접합시키는 공정, (ii) 패턴상으로 노광시키는 공정 및 (iii) 현상 공정을 적어도 포함하는 공정을 반복하여 다색 패턴을 형성시키는 컬러 필터의 제조법에 있어서, 2색째 이후의 착색된 감광성 수지층이 상기 기판에 면하도록 화소 사이에 공간을 형성하여 접합시키는 공정을 실시하고 상기 (i)과 (iii)의 공정의 사이에서 베이스 필름이 박리된 후 현상전에 착색된 감광성 수지층에 압력을 인가함으로써, 2색째 이후의 감광성 수지층을 화소 사이 공간에 이행하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조법.
7. 제6항에 있어서, 압력을 인가하는 것을 박리성이 양호하고 표면의 평활성이 0.1μm이하의 경면 마무리하는 고무롤과 배면롤과의 사이를 투명기판을 배면롤측으로 하여 통과시킴으로써 실시하는 것을 특징으로 하는 방법.