JPH0943411A - カラーフイルタの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上
に均一な厚さの段差、追随性不良のない、画素の欠落の
ない、高精度の多色の微細パターンの形成された優れた
耐熱性を有するカラーフイルタの製造法を提供する。 【解決手段】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
（１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程
及び（３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パター
ンを形成させるカラーフイルタの製造法において、二色
目以降の前記着色された感光性樹脂層が前記基板に面す
るように、画素間に空間を形成して貼り合わせ、前記
（１）と（３）の工程の間に、高圧下で加熱により二色
目以降の感光性樹脂層をベースフイルムから画素間空間
へ移行する移行工程を含むことを特徴とするカラーフイ
ルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフイルタの
製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラス等の光学的に
透明な基板の表面に、２種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて平行又は交差して並べた物である。これ
らのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をおい
て整然と配置し、厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法、染
色法等のカラーフイルタの製造法が提案されている。

【０００３】また、ベースフイルム及び感光性樹脂層を
有する感光性フイルムを使用した、多色の微細なストラ
イプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成
できるカラーフイルタの製造法が知られている。

【０００４】感光性フイルムを用いてカラーフイルタを
作成する方法としては、一色に着色された感光性樹脂組
成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの
感光性樹脂層を、透明な基板の上に転写して、所定のパ
ターンマスクを介して露光、現像してパターンを形成す
る方法（特開昭６１−９９１０２号公報、特開平３−１
６０４５４号公報、特開平３−１１１８０２号公報、特
開平２−１５１８０５号公報、特開平４−２１２１６１
号公報、特開平４−３０１６０２号公報、特開平５−２
１０７号公報等）が知られている。

【０００５】感光性フイルムは、良好なパターンを得る
ために、その追従性を向上させることが必要である。感
光性フイルムの追従性を向上させる方法としては、例え
ば、基板に段差があっても、その基板を正確に微細加工
できることを特徴とする三層レジスト法（J.Vac.Sci.Te
chnol.,16巻1620頁 1968年発行等）、現像前で露光後に
感光性レジスト層を５０〜１５０℃、３０秒〜６０秒の
条件で加熱して、ＵＶ光が十分に当たらない下層部分の
反応を促進させるアフタベーク法（特開平３−１９６５
９６号公報等）等が挙げられる。また、顔料分散フォト
ポリマーを用いたカラーフイルタで、光開始剤のラジカ
ルによる誘起したモノマーラジカルの発生とその重合連
鎖反応を促進し、スピンナーを用いて感光性レジスト層
を塗布し、溶剤除去のためにプリベーク（例えば、８５
℃で５分間）を行うプリベーク法（J.Photopolym.Sci.T
echnol.,Vol.2,No.2,1989年 244頁〜248頁）等が挙げら
れる。

【０００６】従来のカラーフイルタの製造法（例えば、
染色法、顔料分散液状レジスト法、印刷法、ロールコー
タ法、顔料分散フイルムレジスト法等）では、二色目以
降の層を形成する際に、既に形成された着色層上の二色
目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着色層との
間に段差が生ずる。この段差は、最大で１．０μｍを超
え、この上に直接ＩＴＯをスパッタリングするとＩＴＯ
の断線や液晶を挾む電極間の距離が不均一になり、良好
なカラーデスプレイが得られないために、一般には、保
護膜又はオーバコート膜と称する２〜５μｍの膜を形成
し、表面を均一化することが行われている。例えば特開
平２−１２１０３号公報と特開平２−７９００２号公報
に開示されている。また染色法による画素内段差である
Ｍ状、Ｊ状も開示されている。

【０００７】フイルム法では、この段差は既に形成され
た着色層の厚さ（１〜５μｍ）により決まり、この段差
があるために新着色層が下地（透明ガラス）に接触しに
くく、また、接着圧力が不充分であることにより、新着
色層が下地に密着せず、ベースフイルムを剥離すると、
ベースフイルムとともに剥離されて、下地に新着色層が
付着しない部分が発生し、そのまま、露光現像すると、
新着色層が存在しない部分を露光する等の不都合が生
じ、所望のカラーフイルタが得られない欠点がある。

【０００８】また、二色目以降の画素上では、一色目の
画素上に乗っていた着色感光性樹脂層の一部が流れ込ん
できて、二色目では、一色目の画素に近い端が持ち上が
り、画素表面が斜めになる（Ｊ状、ｎ状の断面とな
る）。三色目の画素上では、両隣の画素からの着色感光
性樹脂層の流れ込みがあるため画素の両端が持ち上がる
（Ｍ状の断面となる）。図２にＪ状、ｎ状及びＭ状の画
素の断面の模式図を示す。Ｊ状やＭ状の持ち上がりがあ
ると、三色目の画素の表面の不均一を招き、所望の平坦
性が得られず、持ち上がった端が対極と接触して、画像
不良を生じ、色ムラを発生させる等の欠点があった。基
板を加熱後、前記の感光性フイルムの保護フイルムを剥
がしながら、着色感光性樹脂層を基板と接着させて加圧
ロールを通す（ラミネートする）だけでは、フイルム追
随性は改善できない。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、ガラス板等の透明基板上に作業性が良く、しかも高
精度で多色の微細パターンを形成することができるカラ
ーフイルタの製造法を提供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層と
からなる感光性フイルムを、（１）着色された感光性樹
脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、
（２）パターン状に露光する工程及び（３）現像工程を
含む工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラー
フイルタの製造法において、二色目以降の前記着色され
た感光性樹脂層が前記基板に面するように、画素間に空
間を形成して減圧下で貼り合わせ、前記（１）と（３）
の工程の間に、加圧下で加熱により二色目以降の感光性
樹脂層をベースフイルムから画素間空間へ移行する移行
工程を含むことを特徴とするカラーフイルタの製造法に
関する。

【００１１】

【発明の実施の形態】二色目以降のカラーフイルタの画
素の表面を平坦化するために前記（１）と（３）の工程
の間で、高圧下で加熱により二色目以降の感光性樹脂層
をベースフイルムから基板表面上の画素間の空間に移行
する移行工程の態様について詳細に図１を用いて説明す
る。図１は本発明の製造法を示すフイルム及びフイルタ
の断面図であり、ベースフイルム１がＰＥＴ（ポリエチ
レンテレフタレートフイルム）で、着色感光性樹脂層は
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）の順に形成していく場合を例にとっ
て説明する。

【００１２】（ａ）は、ベースフイルム１（ＰＥＴ（ポ
リエチレンテレフタレートフイルム））と着色感光性樹
脂層（緑）２からなる感光性フイルムの着色感光性樹脂
層（緑）２と前置画素（赤）３が整然と配列されている
透明基板４が面している状態を示す。（ｂ）は、感光性
フイルムの着色感光性樹脂層（緑）２と少なくとも一色
の前置画素（赤）３が整然と配列されている透明基板４
との画素間に、空間５を形成した貼り合わせを示してい
る。貼り合わせは、市販のラミネーター等によって行う
ことができる。貼り合わせ時の送り速度は、段差抑制、
追随性向上の点から、０．１〜１５ｍ／分とすることが
好ましく、貼り合わせ時のロール圧力は、１〜１０kgf/
cm²とすることが好ましく、貼り合わせ時のロール温度
は、４０〜１４０℃とすることが好ましい。

【００１３】着色感光性樹脂層（緑）２は、前置画素
（赤）３及び透明基板４に追随している必要はなく、完
全に平坦なままで、前置画素（赤）３の表面に接触して
いることが好ましい。平坦性が悪いと、着色感光性樹脂
層（緑）２にキズがつき、光を散乱する等の不都合が生
ずることがある。（ｂ）では、着色感光性樹脂層（緑）
２が前置画素（赤）３に密着しており、空間５と表示し
てある部分は、着色感光性樹脂層（緑）２も前置画素
（赤）３も存在していない部分であり、空気が充満した
空間である。

【００１４】（ｃ）は、本発明の移行工程の終了後の状
態を示しており、移行工程は、上記の（１）〜（３）の
工程の間に入り、着色感光性樹脂層（緑）２と空間５を
置換する工程であり、着色感光性樹脂層（緑）２の空間
５部分への移行は、加圧下で加熱により行う。移行工程
を加圧下で加熱により行うことで、段差、追随性不良が
改善される。加圧は、例えば、オートクレーブを用いる
ことにより行えるが、オートクレーブ以外でも加圧容器
であればよく、移行工程時に、サンプルを投入できれば
よい。オートクレーブとしては、例えば、アイラオート
クレーブ（型式ＭＡＣ−６０１ 東京理化器機(株)製）
等がある。

【００１５】このときベースフイルムを剥離して、Ｎ₂
ガス等を封入して、加圧下で加熱することが好ましい。
圧力を高くすることによって、着色感光性樹脂層と基板
との間に存在する気泡は、表面張力のみならず、圧力に
よっても排除されるので、着色感光性樹脂層と基板との
密着は強固なものとなる。加圧の程度は、段差抑制、追
随性向上、接着性向上等の点からゲージ圧で０．５kgf/
cm²以上が好ましく、１．０kgf/cm²以上がより好まし
く、１．５kgf/cm²以上が特に好ましく、１．６７kgf/c
m²以上が極めて好ましい。上限は、通常、２０kgf/cm²
であり、これ以上加圧しても特に利点はない。

【００１６】（ｂ）の状態で貼り合わせ直後は、着色感
光性樹脂層（緑）２はベースフイルム１に密着している
が、加熱により、流動性が増大し、重力によって透明基
板４の表面上の空間５内に移行を始める。加圧下のため
着色感光性樹脂層（緑）２と透明基板４の間の残存気泡
がおし出される効果があり、残存気泡を無くすことがで
きる。加熱は、室温以上で、着色感光性樹脂層が熱硬化
反応を開始する温度以下で行い、低温では長時間、高温
では短時間で移行は終了し、移行した着色感光性樹脂層
表面は高度の平坦性を有する。加熱には、熱板加熱、オ
ーブン加熱、超音波加熱、赤外線加熱、電磁誘導加熱、
摩擦熱加熱等があるが、これらに制限されない。加圧雰
囲気は、オートクレーブ等により達成できるが、これに
制限されない。加圧下での加熱は、作業性等の点から、
オートクレーブを用いることが好ましい。加圧下で加熱
する本発明における移行工程は、上記の（１）〜（３）
の間で実施されるが、（２）の露光工程の前でも後でも
よく、露光工程の前と後の二回実施してもよく、また、
露光工程において行うことも可能である。

【００１７】着色感光性樹脂層（緑）２は、ベースフイ
ルム１よりも透明基板４に対する密着力が大きく、着色
感光性樹脂層（緑）２の接触角がＰＥＴ（ポリエチレン
テレフタレート）の接触角よりも透明基板４に対して大
きいので、前置画素（赤）３の壁を伝って流れ落ちる場
合、ベースフイルム１面で液滴を作って増大し、透明基
板４と接触した後、透明基板４上に広がって移行を終了
する。

【００１８】移行工程が終了すると、着色感光性樹脂層
（緑）２は、透明基板４の表面上の空間５に移行を終了
し、その表面上に空間が出現し、着色感光性樹脂層
（緑）２と空間５が入れ変る。このとき、着色感光性樹
脂層（緑）２は、その表面張力によって均一化している
ので、表面の平坦性は優れたものであり、現像後の画素
は一色目とほとんど同一の断面形状を持つ。以上に、一
色目が赤、二色目が緑の場合を例として説明したが、色
の順序はこれに限定されず、赤、緑、青、黒の順序以外
に、黒、青、緑、赤又は黒、赤、青、緑等どのような色
順序も可能である。

【００１９】移行工程は、上記ではベースフイルム１が
存在する状態での移行工程を説明したがベースフイルム
１の剥離後に前記移行工程を実施することができる。す
なわち、ベースフイルム１の存在が無くても、着色感光
性樹脂層の画素間の空間への移動は可能で、基板表面に
最終的に密着させることができる。

【００２０】（ｄ）は、着色感光性樹脂層（緑）２の露
光後に現像した後のカラーフイルタの画素の断面の形状
を示す。なお、ベースフイルムの剥離は、露光工程後現
像工程前又は露光工程前に行われる。

【００２１】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明なベースフイルム、例えば、ポリエチレンテレフタレ
ート等のフイルム上に、一色に着色された感光性樹脂組
成物を塗布し、乾燥させて一色に着色された感光性樹脂
層を形成させたものである。この着色感光性樹脂層は未
硬化であり、柔軟で、粘着性を有するため、この上にさ
らにポリエチレンフイルム等の保護フイルムを貼り合わ
せて、外部からの損傷、異物の付着等を防止することが
望ましい。感光性フイルムに形成された着色感光性樹脂
層は、保護フイルムを剥がしながら透明基板上に貼り合
わされ、また、前記着色感光性樹脂層表面のベースフイ
ルムは、所定パターンのネガマスクを通じて露光した後
に除去される。

【００２２】一色に着色された感光性樹脂組成物は、エ
チレン性不飽和化合物（ａ）、カルボキシル基含有フイ
ルム性付与ポリマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）及び顔
料又は染料（ｄ）を含有することが環境保全、作業性等
の点から好ましく、この感光性樹脂組成物を用いた感光
性フイルムの感光性樹脂組成物層の厚さは０．５〜１５
μｍであることが好ましい。

【００２３】エチレン性不飽和化合物（ａ）としては、
例えば、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリ
メチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロー
ルメタントリアクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアク
リレート等の多価アルコールにα，β−不飽和カルボン
酸を付加して得られる化合物、トリメチロールプロパン
トリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノ
ールＡジグリシジルエーテルジアクリレート等のグリシ
ジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加し
て得られる化合物、多価カルボン酸（無水フタル酸等）
と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物（β−
ヒドロキシエチルアクリレート等）とのエステル化物、
アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチ
ル、アクリル酸２−エチルヘキシル等のアクリル酸のア
ルキルエステル、トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ナートと２価アルコールと２価のアクリル酸モノエステ
ルとを反応させて得られるウレタンジアクリレート化合
物、これらに対応するメタクリレートなどが挙げられ
る。これらの化合物は単独で又は２種以上を組み合わせ
て使用される。（ａ）成分の配合量は、（ａ）成分と
（ｂ）成分の総量を１００重量部として９０〜５０重量
部とすることが好ましい。

【００２４】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー（ｂ）としては、例えば、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸との共重合体、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーと
の共重合体等が挙げられる。アクリル酸アルキルエステ
ルとしては、例えばアクリル酸メチル、アクリル酸エチ
ル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル
等が挙げられる。また、上記共重合し得るビニルモノマ
ーとしては、ジメチルアミノエチルアクリレート、テト
ラヒドロフルフリルアクリレート、２，２，２−トリフ
ルオロエチルアクリレート、２，２，３，３−テトラフ
ルオロプロピルアクリレート、これらに対応するメタク
リレート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミ
ド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。（ｂ）
成分には、ポリエステル、ブタジエンとアクリロニトリ
ルとの共重合体、セルロースアセテート、セルロースア
セテートブチレート、メチルセルロース、エチルセルロ
ース等を添加して用いてもよい。

【００２５】（ｂ）成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、その配合量は、（ａ）成分と
（ｂ）成分の総量を１００重量部として１０〜５０重量
部とすることが好ましい。この配合量が１０重量部未満
では、エチレン性不飽和化合物が多くなるため光感度が
低下する傾向があり、５０重量部を超えると、光硬化物
が脆くなる傾向がある。また、（ｂ）成分の重量平均分
子量は、前記塗膜性や膜強度の点から１０，０００以上
とすることが好ましい。

【００２６】光重合開始剤（ｃ）としては、例えば、ベ
ンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジ
アミノベンゾフェノン（ミヒラーのケトン）、４−メト
キシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４′
−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラ
キノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、ベン
ゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等）、
メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５
−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メ
トキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二
量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフ
ェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−
（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の
２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、アクリ
ジン誘導体（１，７−ビス（９−アクリニジル）ヘプタ
ン等）などが用いられる。これらは、単独で又は２種類
以上を組み合わせて使用される。

【００２７】（ｃ）成分の配合量は、（ａ）成分と
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．１〜１０重
量部とすることが好ましい。この配合量が０．１重量部
未満では、光感度が不充分となる傾向があり、１０重量
部を超えると、露光の際に組成物の表面での光吸収が増
大し、内部の光硬化が不充分となる傾向がある。

【００２８】前記顔料又は染料（ｄ）としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透
過性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用で
きる顔料としては、各種の化合物が使用でき、例えば、
硫酸バリウム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガ
ラ、カーボンブラック、グラファイト、酸化クロムなど
の無機顔料、下記の有機顔料（カラーインデックス番
号）などがある。

【００２９】黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、
２４、８３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１
２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５
３、１５４、１６６、１６８ オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１ 赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１ バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０ 青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４ 緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６ 黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７

【００３０】（ｄ）の配合量は、（ａ）と（ｂ）の総量
１００重量部に対して１〜５０重量部とすることが好ま
しい。この配合量が１重量部未満では、着色が不充分と
なる傾向があり、５０重量部を超えると光透過率が低下
する傾向がある。

【００３１】前記着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を
高めるためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び／又
はエポキシ樹脂を、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して、１〜２０重量部添加し、加熱するこ
とが好ましい。加熱温度は１３０〜２００℃とすること
が好ましく、加熱温度は３０〜６０分とすることが着色
層の架橋密度向上、耐熱性向上等の点から好ましい。

【００３２】

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。 実施例１ （１）着色感光性樹脂層用の塗工液の製造 表１の材料を均一に溶解した溶液２００重量部に表２の
いずれかの顔料ペースト１３５重量部、メラミン樹脂５
重量部及びシランカップリング剤５重量部をそれぞれ添
加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用の塗工液を得
た。

【００３３】

【表１】

【００３４】

【表２】

【００３５】メラミン樹脂 サイメル３００（三井東圧化学(株)製、ヘキサメトキシ
メチルメラミンの商品名） シランカップリング剤 ＫＢＭ５０３（信越化学工業(株)製） 塗工液の調整 塗工液を使用直前に超音波で２．５時間分散して調整し
た。

【００３６】（２）感光性フイルムの製造 得られた塗工液を、厚さ６μｍのポリエチレンテレフタ
レートフイルム（テイジン社製テトロンフイルムＳ６）
上に均一な厚さにキスタッチリバース方式の塗工機を用
いて塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥した。保護
フイルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイルムを
貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光性樹
脂層の厚さは、赤、青及び緑ともに２．０μｍであっ
た。

【００３７】（３）カラーフイルタの製造 （ａ）基板加熱工程 カラーフイルタ用の下地基板を８０℃で１０分間加熱し
た。 （ｂ）貼り合わせ工程 ラミネータを用いて前記感光性フイルムの保護フイルム
を剥がしながら、着色感光性樹脂層をロール温度８０
℃、ロール圧４kgf/cm²、速度１．５ｍ／分で前記カラ
ーフイルタ用の下地基板上にラミネートした。

【００３８】（ｃ）露光工程 所定のパターン（通常のストライプ状のパターンで、７
０μｍ（白）／２３０μｍ（黒）で長さ１５０mmのスト
ライプ状）のネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２０１
Ｂ（３kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露光し
た。 （ｄ）剥離工程 室温でポリエチレンテレフタレートフイルムを除去し
た。自動剥離装置（自家製試作品、両面テープを貼り合
わせたロールでポリエチレンテレフタレートフイルムを
剥離する装置）で剥離した。

【００３９】（ｅ）移行工程 二色目と三色目の画素形成時には、剥離工程の後にオー
トクレーブを用いてゲージ圧を１．６７kgf/cm²とし
て、加熱を６０℃で１５分間行い、着色感光性樹脂層を
基板表面に移行させた。オートクレーブはアイラオート
クレーブ（型式ＭＡＣ−６０１、缶体有効面積、３１６
mm（直径）×６７０mm（深さ）、東京理化器機(株)製）
を用いた。加圧をすることにより、着色感光性樹脂層と
ガラス基板の間の気泡が圧力に押されて移動し、ストラ
イプの両端から排出された。 （ｆ）現像工程 ３０℃で０．０８重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で１５秒ス
プレー現像をして未露光部を除去し、現像後水洗し、オ
ーブン加熱乾燥し、着色パターンを形成した。

【００４０】この（ａ）から（ｆ）の着色パターンの形
成工程を、赤、青及び緑の順に各色の感光性フイルムを
用いて繰り返し行った。二色目の青のラミネートの時に
フイルムの送り方向を、前置画素の赤のストライプ状の
パターンに直交させてフイルムを送った。得られた青フ
イルム付きの基板の表面は平坦であり、斜めに透かして
も光の散乱はなく平坦であった。また、表面の粗さを測
定したところフイルム表面の平坦性は、貼り合わせを行
う前と同一で、前置画素による変形は認められなかっ
た。三色目の緑についても同様とし、多色のパターンを
形成した。この際の露光量は、赤、青及び緑色の感光性
樹脂層に対しては、５０mJ/cm²とした。使用したマスク
のパターンは、ストライプが画素ごとに独立した長方形
を形成し、ストライプの長手方向に隙間を設けたもので
ある。

【００４１】得られた多色パターンに紫外線照射機（ラ
ンプＨ５６００Ｌ／２、東芝電材社製）を用いて３J/cm
²の照射を行った後、１５０℃で４５分間加熱してカラ
ーフイルタを得た。得られたカラーフイルタは、赤、青
及び緑色のパターン（ストライプ状のパターン）が整然
と並んでおり、追随性は良好であった。また、画素の段
差はなく、画素の断面では、Ｍ状もＪ状も認められなか
った。

【００４２】実施例２ 表１の材料を表３の材料に変更し、青及び緑については
（ｅ）の移行工程で、ゲージ圧を１．５kgf/cm²に変更
した以外は実施例１と同様に行った。

【００４３】

【表３】

【００４４】得られた青フイルム付きの基板の表面は、
平坦であり、斜めに透かしても光の散乱はなく平坦であ
った。表面の粗さを測定したところ、フイルム表面の平
坦性は、貼り合わせを行う前と同一で、実施例１と同様
に前置画素による変形は認められなかった。得られたカ
ラーフイルタは、赤、青及び緑色のパターンが整然と並
んでおり、追随性は良好であり、画素の段差はなく、画
素の断面では、Ｍ状もＪ状も認められなかった。

【００４５】実施例３ 表１の材料を表４の材料に変更し、青及び緑については
（ｅ）の移行工程でゲージ圧を１．３kgf/cm²に変更し
た以外は実施例１と同様に行った。

【００４６】

【表４】

【００４７】得られた青フイルム付きの基板の表面及び
緑フイルム付きの基板の表面は平坦であり、斜めに透か
しても光の散乱はなく平坦であった。表面の粗さを測定
したところ、フイルム表面の平坦性は、貼り合わせを行
う前と同一で、実施例１と同様に前置画素による変形は
認められなかった。得られたカラーフイルタは、赤、青
及び緑色のパターン（ストライプ状のパターン）が整然
と並び、追随性は良好であった。また、画素の段差はな
く、画素の断面では、Ｍ状もＪ状も認められなかった。

【００４８】実施例４ 表１の材料を表５の材料に変更した以外は、実施例１と
同様に行った。

【００４９】

【表５】

【００５０】得られた青フイルム付きの基板の表面及び
緑フイルム付きの基板の表面は平坦であり、斜めに透か
しても光の散乱はなく平坦であった。表面の粗さを測定
したところ、フイルム表面の平坦性は、貼り合わせを行
う前と同一で、実施例１と同様に前置画素による変形は
認められなかった。得られたカラーフイルタは、赤、青
及び緑色のパターン（ストライプ状のパターン）が整然
と並び、追随性は良好であった。また、画素の段差はな
く、画素の断面では、Ｍ状もＪ状も認められなかった。

【００５１】比較例１ 青及び緑の（ｅ）の移行工程を下記とした以外は実施例
１と同様に行った。 （ｅ）移行工程 オートクレーブを使用せず、通常の乾燥機で常圧下で６
０℃で１５分間加熱し、移行させた。得られた三色のス
トライプのカラーフイルタには、一部、移行不充分によ
る密着不良のための画素の欠落が観察できた。

【００５２】比較例２ 青及び緑の（ｅ）の移行工程を下記とした以外は、実施
例１と同様にして行った。 （ｅ）移行工程 オートクレーブを使用せず、通常の乾燥機で、常圧下
で、７０℃で１５分加熱し移行させた。得られた三色の
ストライプのカラーフイルタには、一部、移行不充分に
よる密着不良のための画素の欠落が観察できた。

【００５３】

【発明の効果】請求項１記載のカラーフイルタの製造法
は、感光性フイルムの追随性、作業性よく、基板上に均
一な厚さの段差、追随性不良のない、画素の欠落のな
い、高精度の多色の微細パターンの形成することがで
き、優れた耐熱性を有するカラーフイルタの製造に好適
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造法を示す略図である。

【図２】従来のカラーフイルタの画素の断面の摸式図で
ある。

【符号の説明】

１ ベースフイルム ２ 着色感光性樹脂層（緑） ３ 前置画素（赤） ４ 透明基板 ５ 空間 ６ 一色目の画素 ７ 二色目の画素 ８ 三色目の画素

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
   着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
   （１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
   に貼り合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程
   及び（３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パター
   ンを形成させるカラーフイルタの製造法において、二色
   目以降の前記着色された感光性樹脂層が前記基板に面す
   るように、画素間に空間を形成して貼り合わせ、前記
   （１）と（３）の工程の間に、加圧下で加熱により二色
   目以降の感光性樹脂層のベースフイルムから画素間空間
   へ移行する移行工程を含むことを特徴とするカラーフイ
   ルタの製造法。