JPH09258018A - カラーフイルタの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上
に均一な厚さの高精度の段差、追随性不良のない、画素
の欠落のない多色の微細パターンの形成された優れた耐
熱性を有するカラーフイルタの製造法を提供する。 【解決手段】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、 （１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程 （２）パターン状に露光する工程及び （３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パターンを
形成させるカラーフイルタの製造法において、（ａ）二
色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板に面する
ように画素間に空間を形成して貼り合わせる工程及び
（ｂ）前記（１）の工程と前記（３）の工程の間に二色
目以降の着色された感光性樹脂層を加熱を行うことによ
りベースフイルムから画素間の空間へ移行させる移行工
程を含み、少なくとも二色の重ね合わせにより、青、緑
及び赤の画素を構成することを特徴とするカラーフイル
タの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフイルタの
製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラス等の光学的に
透明な基板の表面に、２種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて平行又は交差して並べた物である。これ
らのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をおい
て整然と配置し、厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法、染
色法等のカラーフイルタの製造法が提案されている。

【０００３】また、ベースフイルム及び感光性樹脂層を
有する感光性フイルムを使用した、多色の微細なストラ
イプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成
できるカラーフイルタの製造法が知られている。

【０００４】感光性フイルムを用いてカラーフイルタを
作成する方法としては、一色に着色された感光性樹脂組
成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの
感光性樹脂層を、透明な基板の上に転写して、所定のパ
ターンマスクを介して露光、現像してパターンを形成す
る方法（特開昭６１−９９１０２号公報、特開平３−１
６０４５４号公報、特開平３−１１１８０２号公報、特
開平２−１５１８０５号公報、特開平４−２１２１６１
号公報、特開平４−３０１６０２号公報、特開平５−２
１０７号公報等）が知られている。

【０００５】感光性フイルムは、良好なパターンを得る
ために、その追従性を向上させることが必要である。感
光性フイルムの追従性を向上させる方法としては、例え
ば、基板に段差があっても、その基板を正確に微細加工
できることを特徴とする三層レジスト法（J.Vac.Sci.Te
chnol.,16巻1620頁 1968年発行等）、現像前で露光後に
感光性レジスト層を５０〜１５０℃、３０〜６０秒の条
件で加熱して、ＵＶ光が充分に当たらない下層部分の反
応を促進させるアフタベーク法（特開平３−１９６５９
６号公報等）等が挙げられる。また、顔料分散フォトポ
リマーを用いたカラーフイルタで、光開始剤のラジカル
により誘起したモノマーラジカルの発生とその重合連鎖
反応を促進し、スピンナーを用いて感光性レジスト層を
塗布し、溶剤除去のためにプリベーク（例えば、８５℃
で５分間）を行うプリベーク法（J.Photopolym.Sci.Tec
hnol.,Vol.2,No.2,1989年 244頁〜248頁）等が挙げられ
る。

【０００６】従来のカラーフイルタの製造法ではピンホ
ールや白抜けの発生が問題となっており、各種の解決の
ための発明がなされている。印刷法として、特開平１−
２７９２０５号公報、特開平２−１２３３２９号公報の
には、印刷して画素を形成してから加熱してピンホール
を埋める方法、フイラー入りの透明樹脂層をフイルタ表
面に設けてピンホールを埋める方法が開示されており、
特開平３−１５６４０４号公報には、印刷して画素を形
成してからインキを加熱してピンホール部分にインキを
流動させてピンホールを消滅させる方法が開示されてい
る。また、フイルム法として、特開平５−３４１１１３
号公報には、画素形成後に剥離層を設けた画素を加熱し
てピンホールや白抜けを消滅させる方法が開示されてお
り、特開平５−３４１１１４号公報には、現像後ポスト
露光してピンホールや白抜けを消滅させる方法が開示さ
れている。

【０００７】従来のカラーフイルタの製造法（例えば、
染色法、顔料分散液状レジスト法、印刷法、ロールコー
タ法、顔料分散フイルムレジスト法等）では、二色目以
降の層を形成する際に、既に形成された着色層上の二色
目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着色層との
間に段差が生ずる。この段差は、最大で１．０μｍを超
え、この上に直接ＩＴＯをスパッタリングするとＩＴＯ
の断線や液晶を挾む電極間の距離が不均一になり、良好
なカラーデスプレイが得られないために、一般には、保
護膜又はオーバコート膜と称する２〜５μｍの膜を形成
し、表面を均一化することが行われている。たとえば特
開平２−１２１０３号公報と特開平２−７９００２号公
報に開示されている。また、染色法による画素内段差で
あるＭ状、Ｊ状も開示されている。

【０００８】フイルム法では、この段差は既に形成され
た着色層の厚さ（１〜５μｍ）により決まり、この段差
があるために新着色層が下地（透明ガラス）に接触しに
くく、また、接着圧力が不充分であることにより、新着
色層が下地に密着せず、ベースフイルムを剥離すると、
ベースフイルムとともに剥離されて、下地に新着色層が
付着しない部分が発生し、そのまま、露光現像すると、
新着色像が存在しない部分を露光する等の不都合が生
じ、所望のカラーフイルタが得られない欠点がある。

【０００９】また、二色目以降の画素上では、一色目の
画素上に乗っていた着色感光性樹脂層の一部が流れ込ん
できて、二色目では、一色目の画素に近い端が持ち上が
り、画素表面が斜めになる（Ｊ状、ｎ状の断面とな
る）。三色目の画素上では、両隣の画素からの着色感光
性樹脂層の流れ込みがあるため画素の両端が持ち上がる
（Ｍ状の断面となる）。図２は従来のカラーフイルタの
画素の断面の模式図であり、Ｊ状、ｎ状及びＭ状の画素
の断面を示す。Ｊ状やＭ状の持ち上がりがあると、三色
の画素の表面の不均一を招き、所望の平坦性が得られ
ず、持ち上がった端が対極と接触して、画像不良を生
じ、色ムラを発生させる等の問題がある。基板を加熱
後、前記の感光性フイルムの保護フイルムを剥がしなが
ら、着色感光性樹脂層を基板と接着させて加圧ロールを
通す（ラミネートする）だけでは、フイルム追随性は改
善できない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上に均一
な厚さの高精度の段差、追随性不良のない、画素の欠落
のない多色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を
有するカラーフイルタの製造法を提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層と
からなる感光性フイルムを、 （１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程 （２）パターン状に露光する工程及び （３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パターンを
形成させるカラーフイルタの製造法において、（ａ）二
色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板に面する
ように画素間に空間を形成して貼り合わせる工程及び
（ｂ）前記（１）の工程と前記（３）の工程の間に二色
目以降の着色された感光性樹脂層を加熱を行うことによ
りベースフイルムから画素間の空間へ移行させる移行工
程を含み、少なくとも二色の重ね合わせにより、青、緑
及び赤の画素を構成することを特徴とするカラーフイル
タの製造法に関する。

【００１２】

【発明の実施の形態】二色目以降のカラーフイルタの画
素の表面を平坦化するために前記（１）と（３）の工程
の間で、加熱により二色目以降の感光性樹脂層をベース
フイルムから基板表面上の空間に移行する移行工程の態
様についてさらに詳細に図１を用いて説明する。図１は
本発明の製造法を示す模式図であり、ベースフイルム１
がＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレートフイルム）で、
着色感光性樹脂層はシアン（Ｃｙ）、マゼンタ（Ｍ）、
イエロー（Ｙ）の順に形成していく場合を例にとって説
明する。図１の（ａ）は、ベースフイルム１（ＰＥＴ
（ポリエチレンテレフタレートフイルム））と着色感光
性樹脂層（マゼンタ）２からなる感光性フイルムの着色
感光性樹脂層（マゼンタ）２と前置画素（シアン）３が
整然と配列されている透明基板４が面している状態を示
す。

【００１３】図１の（ｂ）は、感光性フイルムの着色感
光性樹脂層（マゼンタ）２と前置画素（シアン）３が整
然と配列されている透明基板４との画素間に、空間５を
形成した貼り合わせを示している。着色感光性樹脂層
（シアン）２は、前置画素（シアン）３及び透明基板４
に追随している必要はなく、完全に平坦なままで、前置
画素（シアン）３の表面に接触していることが好まし
い。着色感光性樹脂層（シアン）２が透明基板４にすこ
しでも接触すると画素にキズが生じ、玉、あわ、すじ、
割れ目、切れ目、白ピンホール（円状またはおよびだ円
状）などが接触境界領域に発生する傾向がある。空間５
と表示してある部分は、着色感光性樹脂層（マゼンタ）
２も前置画素（シアン）３も存在していない部分であ
る。

【００１４】図１の（ｃ）は、本発明の移行工程後の状
態を示す図であり、移行工程は、上記の（１）〜（３）
の工程の間に入り、着色感光性樹脂層（マゼンタ）２と
空間５を置換する工程であり、着色感光性樹脂層（マゼ
ンタ）２の空間５への移行は、加熱により行う。図１の
（ｂ）の状態で貼り合わせ直後は、着色感光性樹脂層
（マゼンタ）２はベースフイルム１に密着しているが、
加熱により流動性が増大し、重力又は表面張力の働きに
よって透明基板４の表面上の空間５内に移行を始める。
着色感光性樹脂層（マゼンタ）２は、ベースフイルム１
よりも透明基板４に対する密着力が大きく、着色感光性
樹脂層（マゼンタ）２の接触角がベースフイルム１の接
触角よりも透明基板４に対して大きいので、前置画素
（シアン）３の壁を伝って流れ落ちる場合、ベースフイ
ルム１の面で液滴を作って増大し、透明基板４と接触し
た後、その上に広がって移行を終了する。

【００１５】移行工程が終了すると、着色感光性樹脂層
（マゼンタ）２は、透明基板４の表面上の空間５に移行
を終了し、その表面上に空間が出現し、着色感光性樹脂
層（マゼンタ）２と空間５が入れ変わる。このとき、着
色感光性樹脂層（マゼンタ）２は、その表面張力によっ
て均一化しているので、表面の平坦性は優れたものであ
り、現像後の画素は一色目とほとんど同一の断面形状を
持つ。

【００１６】加熱は室温以上で、着色感光性樹脂層が熱
硬化反応を開始する温度以下で行い、低温では長時間、
高温では短時間で移行は終了し、移行した着色感光性樹
脂層表面は高度の平坦性を有する。移行は感光層が低粘
度であれば行うことができるので、低粘度感光層では室
温以下で移行が行われる。加熱には、熱板加熱、オーブ
ン加熱、超音波加熱、赤外線加熱、電磁誘導加熱、摩擦
熱加熱等があるが、これらに制限されない。本発明にお
ける移行工程は、上記の（１）〜（３）の間で実施され
るが、（２）の露光工程の前でも後でも良く、露光工程
の前と後の二回実施してもよく、また、露光工程におい
て行うことも可能である。移行工程は、上記ではベース
フイルムが存在する状態での移行工程を説明したがベー
スフイルムの剥離後に前記移行工程を実施することもで
きる。すなわち、ベースフイルムの存在が無くても、着
色感光性樹脂層の画素間の空間への移動は可能で、基板
表面に最終的に密着させることができる。

【００１７】図１の（ｄ）は、着色感光性樹脂層（マゼ
ンタ）露光後に現像した後のカラーフイルタの画素の断
面の形状を示す。なお、ベースフイルムの剥離は、露光
工程後現像工程前又は露光工程前に行われる。

【００１８】次に、図１の（ｄ）で二色目の着色感光性
樹脂層（マゼンタ）２のうち前置画素（シアン）３の上
にある部分を前置画素として、三色目の着色感光性樹脂
層（イエロー）について二色目について行ったのと同様
の貼り合わせ工程と加熱による移行工程を含む工程を行
うと最終的には図１（ｅ）に示す形状を示すカラーフイ
ルタを得ることができる。以上に、一色目がシアン、二
色目がマゼンタ、三色目がイエローの場合を例として説
明したが、色の順序はこれに限定されず、シアン、マゼ
ンタ及びイエローの順序以外に、イエロー、マゼンタ及
びシアン、シアン、イエロー及びマゼンタ等どのような
色順序も可能である。シアン（Ｃｙ）とマゼンタ（Ｍ）
との重なり合せで青の画素が構成され、シアン（Ｃｙ）
とイエロー（Ｙ）との重なり合せで緑の画素が構成さ
れ、マゼンタ（Ｍ）とイエロー（Ｙ）との重なり合せで
赤の画素が構成される。

【００１９】本発明における現像とは、一般にフォトレ
ジスト分野でいう現像と同じ意味であり、ネガ型の感光
性樹脂組成物においては、未露光部を除去し、露光部の
像を形成することであり、一方、ポジ型の感光性樹脂組
成物においては、逆に、露光部を除去し、未露光部の像
を形成することである。本発明において現像は、現像液
への浸漬、現像液のスプレー噴射（単にスプレーともい
う）等によって行うことができる。本発明において現像
液の除去は、現像後、現像面を水洗いすること等によっ
て行うことができる。水としては、水道水、イオン交換
水、純水等が使用される。

【００２０】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明なベースフイルム、例えば、ポリエチレンテレフタレ
ート等のフイルム上に、一色に着色された感光性樹脂組
成物を塗布し、乾燥させて一色に着色された感光性樹脂
層を形成させたものである。この着色感光性樹脂層は未
硬化であり、柔軟で、粘着性を有するため、この上にさ
らにポリエチレンフイルム等の保護フイルムを貼り合わ
せて外部からの損傷、異物の付着等を防止することが望
ましい。感光性フイルムに形成された着色感光性樹脂層
は、保護フイルムを剥がしながら透明基板上に貼り合わ
され、また、この着色感光性樹脂層表面のベースフイル
ムは、所定パターンのネガパターンを通じて露光した後
に除去される。

【００２１】感光性樹脂組成物としては、特に制限なく
公知のものを使用できるが、例えば、エチレン性不飽和
化合物（ａ）、カルボキシル基含有フイルム付与性ポリ
マ（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）及び顔料又は染料（ｄ）
を含むものが好ましい。

【００２２】エチレン性不飽和化合物（ａ）としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物（トリメチロールプロパンジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、テトラメチロールメタントリアクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート等）、グリシジル基含有化
合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化
合物（トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル
トリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエー
テルジアクリレート等）、多価カルボン酸（無水フタル
酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物
（β−ヒドロキシエチルアクリレート等）とのエステル
化物、アクリル酸のアルキルエステル（アクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸
２−エチルヘキシル等）、トリメチルヘキサメチレンジ
イソシアナートと２価アルコールと２価のアクリル酸モ
ノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレ
ート化合物、これらに対応するメタクリレートなどが挙
げられる。これらの化合物は単独で又は２種類以上を組
み合わせて使用される。光感度、現像性の点から、
（ａ）成分の配合量は（ａ）成分と（ｂ）成分の総量を
１００重量部として９０〜５０重量部とされることが好
ましい。

【００２３】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー（ｂ）としては、例えば、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸との共重合体、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーと
の共重合体等が挙げられる。

【００２４】アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル
酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられ
る。また、メタクリル酸アルキルエステルとしては、前
記アクリル酸アルキルエステルに対応するものが挙げら
れる。共重合し得るビニルモノマーとしては、例えば、
アクリル酸ジメチルアミノエチルアクリレート、テトラ
ヒドロフルフリルアクリレート、アミノエチルアクリレ
ート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート、
２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレー
ト、これらに対応するメタクリレート、アクリルアミ
ド、メタクリルアミドジアセトンアクリルアミド、スチ
レン、ビニルトルエン等が挙げられる。

【００２５】（ｂ）カルボキシル基含有フイルム性付与
ポリマーとして、例えば、テレフタル酸、イソフタル
酸、セバシン酸等を用いたポリエステル、ブタジエンと
アクリロニトリルとの共重合体、セルロースアセテー
ト、セルロースアセテートブチレート、メチルセルロー
ス、エチルセルロース等も併用することができる。
（ｂ）成分の使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が
向上し、その配合量は、（ａ）成分及び（ｂ）成分の総
量を１００重量部として、１０〜５０重量部が好まし
い。配合量が１０重量部未満では、エチレン性不飽和化
合物が多くなるため光感度が低下する傾向があり、５０
重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。ま
た、（ｂ）成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強
度の点から１０，０００〜５００，０００であることが
好ましい。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミェーシ
ョンクロマトグラフィ測定により、ポリスチレン換算し
た値である。

【００２６】光重合開始剤（ｃ）としては、例えば、芳
香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル
−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーのケト
ン）、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェ
ノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−
エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベ
ンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル
等）、ベンゾイン（メチルベンゾイン、エチルベンゾイ
ン等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量
体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メ
トキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、
２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプト
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
等）、アクリジン誘導体（１，７−ビス（９−アクリジ
ニル）ヘプタン等）などが用いられる。これらの化合物
は単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２７】（ｃ）成分の配合量は、（ａ）成分及び
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜１０
重量部が好ましい。この配合量が、０．１重量部未満で
は、光感度が不充分となる傾向があり、１０重量部を超
えると、露光の際に組成物の表面での光吸収が増大し、
内部の光硬化が不充分となる傾向がある。

【００２８】前記顔料又は染料（ｄ）としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透
過性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用で
きる顔料としては、各種の化合物が使用でき、例えば、
硫酸バリウム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガ
ラ、カーボンブラック、グラファイト、酸化クロムなど
の無機顔料、下記の有機顔料（カラーインデックス番
号）などがある。

【００２９】黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、
２４、８３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１
２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５
３、１５４、１６６、１６８ オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１ 赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１ バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０ 青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４ 緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６ 黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７

【００３０】（ｄ）成分の配合量は、（ａ）成分及び
（ｂ）及びの総量１００重量部に対して、１〜５０重量
部とすることが好ましい。この配合量が、１重量部未満
では、着色が不充分となる傾向があり、５０重量部を超
えると、光透過率が低下する傾向がある。

【００３１】前記着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を
高めるためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び／又
はエポキシ樹脂を、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して、１〜２０重量部添加し、加熱するこ
とが好ましい。加熱温度は、１３０〜２００℃とするこ
とが好ましく、加熱時間は、３０〜６０分とすることが
着色層の架橋密度向上、耐熱性向上等の点から好まし
い。

【００３２】

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。 実施例１ （１）着色感光性樹脂層用の塗工液の製造 表１の材料を均一に溶解した溶液２００重量部に表２の
いずれかの顔料ペースト１３５重量部、メラミン樹脂５
重量部及びシランカップリング剤５重量部をそれぞれ添
加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用の塗工液を得
た。

【００３３】

【表１】

【００３４】

【表２】

【００３５】メラミン樹脂 サイメル３００（三井東圧化学(株)製、ヘキサメトキシ
メチルメラミンの商品名） シランカップリング剤 ＫＢＭ５０３（信越化学工業(株)製） 塗工液の調整 塗工液を使用直前に超音波で２．５時間分散して調整し
た。

【００３６】（２）感光性フイルムの製造 得られた塗工液を、厚さ２３μｍのポリエチレンテレフ
タレートフイルム（テイジン社製テトロンフイルムＳ２
３）上に均一な厚さにキスタッチリバース方式の塗工機
を用いて塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥した。
保護フイルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイル
ムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光
性樹脂層の厚さは、シアン、マゼンタ及びイエローにつ
いてすべて２．０μｍであった。

【００３７】（３）カラーフイルタの製造 （ａ）基板加熱工程 カラーフイルタ用の下地基板（コーニング７０７４ コ
ーニング社製）を８０℃で１０分間加熱した。 （ｂ）貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
下記条件でラミネートした。 ロール温度 ８０℃ ロール圧 ４．０kgf/cm² 速度 １．５ｍ／分

【００３８】（ｃ）露光工程 所定のパターン（通常のストライプ状のパターン。幅が
露光部２００μｍ、未露光部１００μｍ、長さ１５０mm
の仕上がりで、シアン、マゼンタ及びイエローの順に繰
り返しているように３００μｍ周期で設計されたストラ
イプ状のパターン）のネガマスクを通して露光機ＨＭＷ
−２０１Ｂ（３kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で
露光した。 （ｄ）剥離工程 ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去した。

【００３９】（ｅ）現像工程 すべての色について現像液として、３０℃の０．０８重
量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液を用いた。シアンは１５秒間ス
プレーにより現像し、未露光部を除去し一色目のシアン
の着色パターンを形成した。マゼンタとイエローは現像
前の前処理として前記現像液を各々５秒間スプレーして
純水で洗浄し、エアクリーニングを行った。その後、移
行工程として８０℃で５分間加熱した。次いで、各々２
０秒間スプレーにより現像し、二色目のマゼンタと三色
目のイエローの着色パターンを形成した。

【００４０】この（ａ）から（ｅ）の着色パターンの形
成工程を、シアン、マゼンタ及びイエローの順に各色の
感光性フイルムを用いて繰り返し行ない、多色のパター
ンを形成した。二色目のマゼンタのラミネートの時に、
フイルムの送り方向を前置画素のシアンのストライプ状
のパターンに平行させてフイルムを送った。なお、露光
量はシアン、イエロー及びマゼンタ色の感光性樹脂層に
対しては３００mJ/cm²とした。得られた多色パターンに
紫外線照射機（ランプＨ５６００Ｌ／２、東芝電材社
製）を用いて３J/cm²で照射した後、１５０℃で４５分
間加熱してカラーフイルタを得た。得られたカラーフイ
ルタは赤、青及び緑色のパターンが整然と並んでおり、
追随性は良好であり、ピンホールの発生はなかった。

【００４１】実施例２ 表１の材料に代えて、次の表３の材料を使用した以外は
実施例１と同様に行った。

【００４２】

【表３】

【００４３】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターンが整然と並び、追随性は良好であり、ピンホ
ールは認められなかった。

【００４４】実施例３ 表１の材料に代えて、次の表４の材料を使用した以外は
実施例１と同様に行った。

【００４５】

【表４】

【００４６】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターンが整然と並び、追随性は良好であり、ピンホ
ールの発生はなかった。

【００４７】実施例４ （３）カラーフイルタの製造の工程を下記とした以外は
実施例１と同様に行った。 （３）本実施例のカラーフイルタの製造の工程 （ａ）基板加熱工程 前記カラーフイルタ用の下地基板を８０℃で１０分間加
熱した。 （ｂ）貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
下記条件でラミネートした。 ロール温度 ８０℃ ロール圧 ４．０ｋｇｆ／ｃｍ^２ 速度 １．５ｍ／分

【００４８】（ｃ）移行工程 本工程は一色目のシアンについては行わず、二色目以降
のマゼンタ、イエローについて各々８０℃で１０分加熱
して移行工程とした。 （ｄ）露光工程 所定のパターンのネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２
０１Ｂ（３ｋＷ、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露
光した。 （ｅ）剥離工程 ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去した。 （ｆ）現像工程 すべての色について現像液として、３０℃の０．０５重
量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液を用いた。シアンは１５秒間ス
プレーにより現像し、未露光部を除去し、一色目のシア
ンの着色パターンを形成した。マゼンタとイエローは各
々３０秒間スプレーにより現像し、二色目のマゼンタと
三色目のイエローの着色パターンを形成した。

【００４９】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターンが整然と並び、追随性は良好であり、ピンホ
ールの発生はなかった。

【００５０】実施例５ （３）カラーフイルタの製造の工程を下記とした以外は
実施例１と同様に行った。 （３）本実施例のカラーフイルタの製造の工程 （ａ）基板加熱工程 前記カラーフイルタ用の下地基板を８０℃で１０分間加
熱した。 （ｂ）貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
下記条件でラミネートした。 ロール温度 ８０℃ ロール圧 ４．０kgf/cm² 速度 １．５ｍ／分

【００５１】（ｃ）剥離工程 ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去した。 （ｄ）露光工程 所定のパターンのネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２
０１Ｂ（３kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露光
した。この時の露光量は、シアンは５０mJ/cm²とし、マ
ゼンタとイエローは８９０mJ/cm²とした。 （ｅ）移行工程 本工程は一色目のシアンについては行わず、二色目以降
のマゼンタ、イエローについて各々露光後４５℃で３０
分加熱して移行工程とした。 （ｆ）現像工程 シアンは３０℃の０．０８重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で
１５秒間スプレーにより現像し、未露光部を除去し、一
色目のシアンの着色パターンを形成した。マゼンタとイ
エローは各々３０℃の０．０４重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶
液で２０秒間スプレーにより現像し、二色目のマゼンタ
と三色目のイエローの着色パターンを形成した。

【００５２】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターンが整然と並び、追随性は良好で、ピンホール
の発生はなかった。

【００５３】実施例６ （ｅ）現像工程を下記とした以外は実施例１と同様に行
った。 （ｅ）現像工程 シアンは３０℃の０．０８重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で
１５秒間スプレーにより現像し、未露光部を除去し、一
色目の赤の着色パターンを形成した。マゼンタとイエロ
ーは現像前の前処理として各々３０℃の０．０２重量％
のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で１０秒間スプレーして純水で洗浄
することにより現像面の現像液を除去し、エアクリーニ
ングを行った。その後、移行工程として８０℃で１０分
間加熱した。次いで、各々３０℃の０．０８重量％のＮ
ａ₂ＣＯ₃水溶液で１５秒間スプレーにより現像し、二色
目のマゼンタと三色目のイエローの着色パターンを形成
した。

【００５４】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターンが整然と並び、追随性は良好で、ピンホール
の発生はなかった。

【００５５】

【発明の効果】請求項１記載のカラーフイルタの製造法
によれば、感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上
に均一な厚さの高精度の多色の微細パターンの形成され
た優れた耐熱性を有するカラーフイルタを製造すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造法を示す模式図である。

【図２】従来のカラーフイルタの画素の断面の模式図で
ある。

【符号の説明】

１ ベースフイルム ２ 着色感光性樹脂層（マゼンタ） ３ 前置画素（シアン） ４ 透明基板 ５ 空間 ６ 着色感光性樹脂層（イエロー） ７ 一色目の画素 ８ 二色目の画素 ９ 三色目の画素

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
   着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、 （１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
   に貼り合わせる工程、 （２）パターン状に露光する工程及び （３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パターンを
   形成させるカラーフイルタの製造法において、（ａ）二
   色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板に面する
   ように画素間に空間を形成して貼り合わせる工程及び
   （ｂ）前記（１）の工程と前記（３）の工程の間に二色
   目以降の着色された感光性樹脂層を加熱を行うことによ
   りベースフイルムから画素間の空間へ移行させる移行工
   程を含み、少なくとも二色の重ね合わせにより、青、緑
   及び赤の画素を構成することを特徴とするカラーフイル
   タの製造法。