JPH09178924A - カラーフイルタの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の段
差のない、テーパ状の画素断面（台形（上底＜下底）状
の画素断面；但し、断面はパターンを長さ方向に直交し
て切断した断面）をもつ多色の微細パターンの形成され
たカラーフイルタの製造法を提供する。 【解決手段】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
（１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程
及び（３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パター
ンを形成させるカラーフィルタの製造法において、
（ａ）前記（２）の工程に続いて加熱する工程、（ｂ）
（ａ）の工程に続いて前記（２）の工程でパターン状に
露光した部分の端部を除いて再露光する工程、（ｃ）
（ｂ）の工程に続いて加熱する工程を含むことを特徴と
するカラーフイルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフイルタの
製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラス等の光学的に
透明な基板の表面に、２種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて平行又は交差して並べた物である。これ
らのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をおい
て整然と配置し、厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法、染
色法等のカラーフイルタの製造法が提案されている。

【０００３】また、ベースフイルム及び感光性樹脂層を
有する感光性フイルムを使用した、多色の微細なストラ
イプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成
できるカラーフイルタの製造法が知られている。

【０００４】感光性フイルムを用いてカラーフイルタを
作成する方法としては、一色に着色された感光性樹脂組
成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの
感光性樹脂層を、透明な基板の上に転写して、所定パタ
ーンマスクを介して露光、現像してパターンを形成する
方法（特開昭６１−９９１０２号公報、特開平３−１６
０４５４号公報、特開平３−１１１８０２号公報、特開
平２−１５１８０５号公報、特開平４−２１２１６１号
公報、特開平４−３０１６０２号公報、特開平５−２１
０７号公報等）が知られている。

【０００５】感光性フイルムは、良好なパターンを得る
ために、基板への追従性を向上させることが必要であ
る。感光性フイルムの追従性を向上させる方法として
は、例えば、基板に段差があっても、その基板を正確に
微細加工できることを特徴とする三層レジスト法（J.Va
c.Sci.Technol.,16巻1620頁 1968年発行等）、現像前で
露光後に感光性レジスト層を５０〜１５０℃、３０〜６
０秒の条件で加熱して、ＵＶ光が充分に当たらない下層
部分の反応を促進させるアフタベーク法（特開平３−１
９６５９６号公報等）等が挙げられる。また、顔料分散
フォトポリマーを用いたカラーフイルタで、光開始剤の
ラジカルにより誘起したモノマーラジカルの発生とその
重合連鎖反応を促進し、スピンナーを用いて感光性レジ
スト層を塗布し、溶剤除去のためにプリベーク（例え
ば、８５℃で５分間）を行うプリベーク法（J.Photopol
ym.Sci.Technol.,Vol.No.2,1989年 244頁〜248頁）等が
挙げられる。

【０００６】従来のカラーフイルタの製造法ではピンホ
ールや白抜けの発生が問題となっており、各種の解決の
ための提案がなされている。印刷法として、特開平１−
２７９２０５号公報、特開平２−１２３３２９号公報に
は、印刷して画素を形成してから加熱してピンホールを
埋める方法、フィラー入りの透明樹脂層をフイルタ表面
に設けてピンホールを埋める方法が開示されており、特
開平３−１５６４０４号公報には、印刷して画素を形成
してからインキを加熱してピンホール部分にインキを流
動させてピンホールを消滅させる方法が開示されてい
る。また、フイルム法として、特開平５−３４１１１３
号公報には、画素形成後に剥離層を設けた画素を加熱し
てピンホールや白抜けを消滅させる方法が開示されてお
り、特開平５−３４１１１４号公報には、現像後ポスト
露光してピンホールや白抜けを消滅させる方法が開示さ
れている。

【０００７】従来のカラーフイルタの製造法（例えば、
染色法、顔料分散液状レジスト法、印刷法、ロールコー
タ法、顔料分散フイルムレジスト法等）では、二色目以
降の層を形成する際に、既に形成された着色層上の二色
目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着色層との
間に段差が生ずる。この段差は、最大で１．０μｍを超
え、この上に直接ＩＴＯをスパッタリングするとＩＴＯ
の断線や液晶を挾む電極間の距離が不均一になり、良好
なカラーデスプレイが得られないために、一般には、保
護膜又はオーバーコート膜と称する２〜５μｍの膜を形
成し、表面を均一化することが行われており、例えば、
特開平２−１２１０３号公報、特開平２−７９００２号
公報等に開示されている。また、染色法による画素内段
差であるＭ状、Ｊ状も開示されている。

【０００８】フイルム法では、この段差は既に形成され
た着色層の厚さ（１〜５μｍ）により決まり、この段差
があるために新着色層が下地（透明ガラス）に接触しに
くく、また、接着圧力が不充分であることにより、新着
色層が下地に密着せず、ベースフイルムを剥離すると、
ベースフイルムとともに剥離されて、下地に新着色層が
付着しない部分が発生し、そのまま、露光現像すると、
新着色層が存在しない部分を露光する等の不都合が生
じ、所望のカラーフイルタが得られない欠点がある。ま
た、二色目以降の画素上では、一色目の画素上に乗って
いた着色感光性樹脂層の一部が流れ込んできて、二色目
では、一色目の画素に近い端が持ち上がり、画素表面が
斜めになる（Ｊ状（ｎ状ともいう）の断面となる）。三
色目の画素上では、両隣の画素からの着色感光性樹脂層
の流れ込みがあるため画素の両端が持ち上がる（Ｍ状の
断面となる）。図３にＪ状、ｎ状及びＭ状の画素の断面
の模式図を示す。

【０００９】Ｊ状やＭ状の持ち上がりがあると、三色の
画素の表面の不均一を招き、所望の平坦性が得られず、
持ち上がった端が対極と接触して、画像不良を生じ、色
ムラを発生させる等の欠点があった。さらに画素の端が
Ｍ状やＪ状では、かどが鋭くなり、ＩＴＯの切断（断
線）の原因となるので画素の両端をテーパ状にする（画
素を台形（上底＜下底）にする）ことが提案されている
（フラットパネルディスプレイ １９９５、Ｐ１８０−
１８６、日経Ｂｐ社発行）。画素の端にテーパをつける
（テーパ状にする）提案としては、特開平７−８４２４
８が開示されている。いずれも、Ｍ状、Ｊ状などの画素
端の鋭角化（かどの持ち上がり）があることは記載され
てはおらず、Ｍ状やＪ状の現像の解決はない。また、現
像時にいわゆるオーバ現像を行い画素端を溶解してテー
パ状とする提案もあるが、画素端がぎざぎざになる不都
合がある。ぎざぎざが発生すると端部に凹凸が発生し、
画像不良を生じる原因となる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の段差のな
い、テーパ状の画素断面（台形（上底＜下底）状の画素
断面；但し、断面はパターンを長さ方向に直交して切断
した断面（図１及び図２参照））をもつ多色の微細パタ
ーンの形成されたカラーフイルタの製造法を提供するも
のである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層と
からなる感光性フイルムを、（１）着色された感光性樹
脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、
（２）パターン状に露光する工程及び（３）現像工程を
含む工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラー
フィルタの製造法において、 （ａ）前記（２）の工程に続いて加熱する工程 （ｂ）（ａ）の工程に続いて前記（２）の工程でパター
ン状に露光した部分の端部を除いて再露光する工程 （ｃ）（ｂ）の工程に続いて加熱する工程 を含むことを特徴とするカラーフイルタの製造法に関す
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明のテーパ状の画素断面をも
つパターンの形成は、前記（ａ）の工程に次いで、前記
（ｂ）と（ｃ）の工程を行うことにより達成される。こ
れは次の理由による。露光後現像前には露光工程後には
露光部ではバインダの架橋と高分子の生成がある。モノ
マは反応して高分子となるので露光部ではモノマの濃度
が低下する。充分な温度と時間が与えられると未露光部
から未反応モノマが露光部に移動して来る。すなわち、
モノマのマイグレーションが起こる。モノマの移動は高
温ほどすみやかに行われる。この現象はモノマが均一化
されるまで続く。それによって露光部の密度が増大しさ
らには膜厚の増大を招く。ところで、露光後移動してき
たモノマは光開始剤が露光によって発生したラジカルが
生きている間は反応し高分子化するが、ラジカルがなく
なるとモノマのままで露光部に存在する。この未反応の
モノマは現像時に溶解する。

【００１３】本発明では露光後で前記ラジカルが活性な
間に加熱を行いモノマの移動と反応を促進する。移動し
たモノマが反応すれば、その分だけのモノマの濃度が低
下するのでさらなるモノマの移動が起こる。さらに再露
光を行い、加熱する。その後、ベースフイルムを剥離す
ると、酸素阻害が起るため前記ラジカルが失活してモノ
マの反応が停止する。以上の理由から、画素の両端がテ
ーパ状になる。画素の両端をテーパ状にするには、露光
後の加熱の時間と温度を最適に選ぶことと、加熱後のす
みやかなベースフイルムの剥離が肝要である。通常、前
記ラジカルが活性を保つ時間は１５分前後であることが
知られている。再露光後加熱しベースフイルムを剥離し
て、感光層の表面の粗さを測定すると未露光部と露光部
では露光部が凸隣、未露光部より高くなる。また、露光
部では中央が高く両端が低い形状を示し、両端にテーパ
状になっていることがわかる。即ち、露光部の中央部で
よりモノマの集まりが多く凸となることを表している。

【００１４】本発明では上記のモノマの移動を利用し
て、Ｍ状、Ｊ状の解消を行い、同時に画素両端をテーパ
状とすることができる。第一の露光は前記（２）の工程
であるが、このとき第二色目と第三色目ではＪ状、Ｍ状
の画素形状となっており、そのまま現像すると、画素形
状はＪ状、Ｍ状となる。前記（ｂ）の再露光の工程を行
うことにより、未露光となった部分では移動してきたモ
ノマは反応しないが、再露光部では移動してきたモノマ
は反応して高分子となり、さらなるモノマの移動をまね
く、結果として画素中央部は凸となり、再露光時未露光
部となった画素端は凸にならない。その結果、第二色目
ではＪ状が解消される。第三色目ではＭ状が解消され
る。

【００１５】（ｂ）再露光時する工程では、前記（２）
の工程でパターン状に露光した部分の端部を除いて露光
するが、この時に使用するネガパターン（ネガマスクと
もいう）について詳しく説明する。通常のカラーフイル
タではネガパターンは、その開口部（光透過部）が、ス
トライプであって、画素幅（開口部幅）は８０μｍ〜８
７．５μｍである。三色並置するので各色は１００μｍ
ピッチで並列してある。単色では３００μｍ周期となっ
ている。端部を除いて露光するために、ネガパターンの
画素幅を７０〜７７．５μｍ等の小さいネガパターンと
する。例えば、（２）の工程で８０μｍのネガパターン
を用いた場合、（ｂ）の工程でネガパターンは７０μ
ｍ、７５μｍ、６５μｍ等を選択する。画素は前記
（２）の露光工程で使用したネガパターンによってその
画素幅はきまっているので、（ｂ）再露光で使用するネ
ガパターンは、画素の厚さと断面形状に寄与するのみで
ある。

【００１６】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明なベースフイルム、例えば、ポリエチレンテレフタレ
ート等のフイルム上に、一色に着色された感光性樹脂組
成物を塗布し、乾燥させて一色に着色された感光性樹脂
層を形成させたものである。この着色感光性樹脂層は未
硬化であり、柔軟で、粘着性を有するため、この上にさ
らにポリエチレンフイルム等の保護フイルムを貼り合わ
せて外部からの損傷、異物の付着等を防止することが望
ましい。感光性フイルムに形成された着色感光性樹脂層
は、保護フイルムを剥がしながら透明基板上に貼り合わ
され、また、該着色感光性樹脂層表面のベースフイルム
は、所定パターンのネガパターンを通じて露光した後に
除去される。

【００１７】感光性樹脂組成物としては、特に制限なく
公知のものを使用できるが、例えば、（Ａ）エチレン性
不飽和化合物、（Ｂ）カルボキシル基含有フイルム付与
性ポリマ、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料
を含むものが好ましい。

【００１８】（Ａ）エチレン性不飽和化合物としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物（トリメチロールプロパンジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、テトラメチロールメタントリアクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート等）、グリシジル基含有化
合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化
合物（トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル
トリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエー
テルジアクリレート等）、多価カルボン酸（無水フタル
酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物
（β−ヒドロキシエチルアクリレート等）とのエステル
化物、アクリル酸のアルキルエステル（アクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸
２−エチルヘキシル等）、トリメチルヘキサメチレンジ
イソシアナートと２価アルコールと２価のアクリル酸モ
ノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレ
ート化合物、これらに対応するメタクリレートなどが挙
げられる。これらの化合物は単独で又は２種類以上を組
み合わせて使用される。光感度、現像性の点から、
（Ａ）成分の配合量は（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量を
１００重量部として９０〜５０重量部とされることが好
ましい。

【００１９】（Ｂ）カルボキシル基含有フイルム性付与
ポリマーとしては、例えば、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸との共重合体、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーと
の共重合体等が挙げられる。

【００２０】アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル
酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられ
る。また、メタクリル酸アルキルエステルとしては、前
記アクリル酸アルキルエステルに対応するものが挙げら
れる。共重合し得るビニルモノマーとしては、例えば、
アクリル酸ジメチルアミノエチルアクリレート、テトラ
ヒドロフルフリルアクリレート、アミノエチルアクリレ
ート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート、
２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレー
ト、これらに対応するメタクリレート、アクリルアミ
ド、メタクリルアミドジアセトンアクリルアミド、スチ
レン、ビニルトルエン等が挙げられる。

【００２１】（Ｂ）カルボキシル基含有フイルム性付与
ポリノマーとして、例えば、テレフタル酸、イソフタル
酸、セバシン酸等のポリエステル、ブタジエンとアクリ
ロニトリルとの共重合体、セルロースアセテート、セル
ロースアセテートブチレート、メチルセルロース、エチ
ルセルロース等も併用することができる。（Ｂ）成分の
使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が向上し、その
配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量を１００重
量部として、１０〜５０重量部が好ましい。配合量が１
０重量部未満では、エチレン性不飽和化合物が多くなる
ため光感度が低下する傾向があり、５０重量部を超える
と、光硬化物が脆くなる傾向がある。また、（Ｂ）成分
の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強度の点から１
０，０００〜５００，０００であることが好ましい。な
お、重量平均分子量は、ゲルパーミェーションクロマト
グラフィ測定により、ポリスチレン換算した値である。

【００２２】光重合開始剤（Ｃ）としては、例えば、芳
香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル
−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーのケト
ン）、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェ
ノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−
エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベ
ンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル
等）、ベンゾイン（メチルベンゾイン、エチルベンゾイ
ン等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量
体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メ
トキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、
２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプト
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
等）などが用いられる。

【００２３】（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜１０
重量部が好ましい。この配合量が、０．１重量部未満で
は、光感度が不充分となる傾向があり、１０重量部を超
えると、露光の際に組成物の表面での光吸収が増大し、
内部の光硬化が不充分となる傾向がある。

【００２４】（Ｄ）前記顔料又は染料としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透
過性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用で
きる顔料としては、各種の化合物が使用でき、例えば、
硫酸バリウム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガ
ラ、カーボンブラック、グラファイト、酸化クロムなど
の無機顔料、下記の有機顔料（カラーインデックス番
号）などがある。

【００２５】黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、
２４、８３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１
２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５
３、１５４、１６６、１６８ オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１ 赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１ バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０ 青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４ 緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６ 黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７

【００２６】（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）及びの総量１００重量部に対して、１〜５０重量
部とすることが好ましい。この配合量が、１重量部未満
では、着色が不充分となる傾向があり、５０重量部を超
えると、光透過率が低下する傾向がある。

【００２７】前記着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を
高めるためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び／又
はエポキシ樹脂を、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して、１〜２０重量部添加し、加熱するこ
とが好ましい。加熱温度は、１３０〜２００℃とするこ
とが好ましく、加熱時間は、３０〜６０分とすることが
着色層の架橋密度向上、耐熱性向上等の点から好まし
い。

【００２８】このようにして得られる本発明におけるカ
ラーフィルタのパターンの平面の模式図を図１に、図１
におけるＡ−Ａ′断面の模式図を図２に示す。なお、図
１及び図２において、１は透明基板、２は一色目の画
素、３は二色目の画素、４は三色目の画素である。

【００２９】

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。 実施例１ （１）着色感光性樹脂層用の塗工液の製造 表１の材料を均一に溶解した溶液２００重量部に表２の
いずれかの顔料ペースト１３５重量部、メラミン樹脂５
重量部及びシランカップリング剤５重量部をそれぞれ添
加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用の塗工液を得
た。

【００３０】

【表１】

【００３１】

【表２】

【００３２】メラミン樹脂 サイメル３００（三井東圧化学(株)製、ヘキサメトキシ
メチルメラミンの商品名） シランカップリング剤 ＫＢＭ５０３（信越化学工業(株)製） 塗工液の調整 塗工液を使用直前に超音波で２．５時間分散して調整し
た。

【００３３】（２）感光性フイルムの製造 得られた塗工液を、厚さ６μｍのポリエチレンテレフタ
レートフイルム（テイジン社製テトロンフイルムＭ５
Ｒ）上に均一な厚さにキスタッチリバース方式の塗工機
を用いて塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥した。
保護フイルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイル
ムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光
性樹脂層の厚さは、赤、青及び緑はすべて２．０μｍで
あった。

【００３４】（３）カラーフイルタの製造 画素の形状の順番は赤、青及び緑である。 （ａ）基板加熱工程 カラーフイルタ用の下地基板（コーニング７０５４、コ
ーニング社製）を８０℃で１０分間加熱した。 （ｂ）貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
下記条件でラミネートした。二色目、三色目は前置画素
のストライプに平行にラミネートした。 ロール温度 ８０℃ ロール圧 ４．０kgf/cm² 速度 １．５ｍ／分

【００３５】（ｃ）露光工程 所定のパターン（通常のストライプ状のパターン。幅が
８７．５μｍ、長さ１５０mmの仕上がりで、赤、緑及び
青の順に繰り返しているように３００μｍ周期で設計さ
れたストライプ状のパターン）のネガパターン（ネガマ
スク）を通して露光機ＨＭＷ−２０１Ｂ（３kW、超高圧
水銀灯、オーク製作所製）で露光した。 （ｄ）加熱工程 ８０℃で１５分間乾燥機で加熱した。 （ｅ）再露光工程 （ｃ）と同様であるが、ストライプの幅は８０μｍであ
る。 （ｆ）加熱工程 ８０℃で１５分間乾燥機で加熱した。

【００３６】（ｇ）剥離工程 ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去した。 （ｈ）現像工程 すべての色について現像液として、３０℃の０．０８重
量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液を用いた。赤は１５秒間スプレ
ーにより現像し、未露光部を除去し一色目の赤の着色パ
ターンを形成した。青と緑は各々５秒間スプレーにより
予備的に現像して純水で洗浄することにより現像面の現
像液を除去し、エアークリーニングを行い、その後、８
０℃で５分間乾燥し、次いで、青と緑についてスプレー
２０秒の現像を行い、二色目の青と三色目の緑の着色パ
ターンを形成した。

【００３７】この（ａ）から（ｈ）の着色パターンの形
成工程を、赤、青及び緑の順に各色の感光性フイルムを
用いて繰り返し行い、多色のパターンを形成した。二色
目の青のラミネートの時に、フイルムの送り方向を前置
画素の赤のストライプ状のパターンに平行させてフイル
ムを送った。なお、露光量は赤、青及び緑色の感光性樹
脂層に対しては５０mJ/cm²とした。得られた多色パター
ンに紫外線照射機（ランプＨ５６００Ｌ／２、東芝電材
社製）を用いて３J/cm²で照射した後、１５０℃で４５
分間加熱してカラーフイルタを得た。得られたカラーフ
イルタは赤、青及び緑色のパターンが整然と並んでお
り、緑のＭ状、青のＪ状はなかった。三色とも画素両端
にテーパ状が認められた。

【００３８】実施例２ 表１の材料に代えて、次の表３の材料を使用した以外は
実施例１と同様に行った。

【００３９】

【表３】

【００４０】実施例３ 表１の材料に代えて、次の表４の材料を使用した以外は
実施例１と同様に行った。

【００４１】

【表４】

【００４２】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターンが整然と並び、画素端はテーパ状を示してい
た。

【００４３】実施例４ （３）カラーフイルタの製造の工程を下記とした以外は
実施例１と同様に行った。

【００４４】（３）本実施例のカラーフイルタの製造の
工程 （ａ）基板加熱工程 前記カラーフイルタ用の下地基板を８０℃で１０分間加
熱した。 （ｂ）貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
下記条件でラミネートした。 ロール温度 ５０℃ ロール圧 ４．０kgf/cm² 速度 １．５ｍ／分 （ｃ）露光工程 所定のパターンのネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２
０１Ｂ（３ｋＷ、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露
光した。

【００４５】（ｄ）〜（ｆ）は実施例１と同様である。 （ｇ）剥離工程 ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去した。 （ｈ）現像工程 すべての色について現像液として、３０℃の０．０５重
量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液を用いた。赤は１５秒間スプレ
ーにより現像し、未露光部を除去し、一色目の赤の着色
パターンを形成した。青と緑は各々１０秒間浸漬により
予備的に現像して純水で洗浄することにより現像面の現
像液を除去し、エアクリーニングを行い、その後８０℃
で１０分間加熱し次いで現像液で３０秒のスプレーによ
り現像して二色目の青と三色目の緑の着色パターンを形
成した。

【００４６】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターンが整然と並び、画素端はテーパ状を示してい
た。

【００４７】比較例１ 実施例１において（ｄ）〜（ｆ）の工程を行わず、
（ｃ）の露光後剥離、現像を行った。得られたカラーフ
イルタでは画素形状は赤はテーパがなかった。青はＪ状
を示し、０．６μｍの片端の持ち上りがあった。緑はＭ
状を示し、両端が０．４μｍの持ち上りがあった。

【００４８】

【発明の効果】請求項１記載のカラーフイルタの製造法
によれば、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の段
差のない、テーパ状の画素断面（台形（上底＜下底）状
の画素断面；但し、断面はパターンを長さ方向に直交し
て切断した断面（図１及び図２参照））をもつ多色の微
細パターンの形成されたカラーフイルタを製造すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフイルタの製造法により得られ
るパターンの平面の模式図である。

【図２】図１におけるパターンのＡ−Ａ′断面の模式図
である。

【図３】従来のカラーフイルタのパターンの断面の摸式
図である。

【符号の説明】

１ 透明基板 ２ 一色目の画素 ３ 二色目の画素 ４ 三色目の画素

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
   着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
   （１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
   に貼り合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程
   及び（３）現像工程を含む工程を繰り返して多色パター
   ンを形成させるカラーフィルタの製造法において、
   （ａ）前記（２）の工程に続いて加熱する工程、（ｂ）
   （ａ）の工程に続いて前記（２）の工程でパターン状に
   露光した部分の端部を除いて再露光する工程、（ｃ）
   （ｂ）の工程に続いて加熱する工程を含むことを特徴と
   するカラーフイルタの製造法。