JPH07322667A - 駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、駆動装置について、モータ手段の誤
動作を防ぐ。 【構成】モータ駆動手段（６）とモータ手段（７）との
間にスイツチ手段（８）を設け、制御手段（５）が初期
設定されるまでの間モータ駆動手段（６）とモータ手段
（７）との間の接続をオフする。これにより、制御手段
（５）が初期設定されるまでの間に制御手段（５）から
出力される不安定な制御信号を増幅してモータへ出力さ
れる制御信号を遮断することができるので、モータ手段
（７）の誤動作を防ぐことができ、従つて駆動装置（１
０）を最適に動作させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は駆動装置に関し、例えば
コンピユータプログラムにより制御されるモータを有す
る駆動装置に適用し得る。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばウエハを所定の場所に搬送
するウエハ搬送装置はモータを有する駆動装置によつて
駆動される。図２に示すように、駆動装置１において
は、電源スイツチ２によつて制御用電源３及びパワーア
ンプ用電源４が同時に通電され、これにより制御用電源
３を電源とする制御回路５及びパワーアンプ用電源４を
電源とするパワーアンプ６が作動し、制御回路５がパワ
ーアンプ６に制御信号を出力する。パワーアンプ６はこ
の制御信号を増幅してモータ７に出力し、モータ７によ
つてウエハ搬送装置を駆動する。すなわちモータ７は制
御回路５の出力に応じた命令により動作し、ウエハ搬送
装置を駆動するようになされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで駆動装置１に
おいて、電源スイツチ２によつて電源を投入すると、パ
ワーアンプ６は電源が投入されるとほぼ同時に作動する
が、制御回路５には通常コンピユータが使用されている
ため、電源が供給されてから実際に起動するまでの間、
すなわち制御回路５が初期設定されるまでには、数〔ms
ec〕〜数〔sec 〕の時間が必要となる。

【０００４】ところが制御回路５が初期設定されていな
い状態であると、制御回路５からパワーアンプ６に出力
される制御信号は不安定になるため、モータ７は一時的
に制御されていない状態となり、ウエハ搬送装置が誤動
作してウエハを破損させるおそれがあるという問題があ
つた。また制御部を制御するマイクロプロセツサの制御
用プログラムを、さらに上位のコンピユータからダウン
ロードするような装置が考案されているが、この場合制
御部に電源を投入しても、制御用プログラムがダウンロ
ードされるまで制御部は駆動されず、従つてこの期間中
モータ７は制御されていない状態となり、モータ７によ
つて駆動される装置が誤動作するという問題があつた。

【０００５】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、モータの誤動作を回避し得るようにした駆動装置を
提案しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、制御手段（２、３、４、５）と、
当該制御手段（５）より出力される制御信号をモータ駆
動電流に変換するモータ駆動手段（６）と、モータ駆動
電流によつて駆動されるモータ手段（７）とを有する駆
動装置（１０）において、モータ駆動手段（６）とモー
タ手段（７）との間に設けられ、制御手段（５）の状態
に応じてモータ駆動手段（６）とモータ手段（７）との
間の接続をオンオフするスイツチ手段（８）を設け、電
源投入後、制御手段（５）が初期設定されるまでの間モ
ータ駆動手段（６）とモータ手段（７）との間の接続を
オフするようにした。

【０００７】

【作用】モータ駆動手段（６）とモータ手段（７）との
間にスイツチ手段（８）を設け、電源投入後、制御手段
（５）が初期設定されるまでの間モータ駆動手段（６）
とモータ手段（７）との間の接続をオフする。これによ
り、制御手段（５）が初期設定されるまでの間に制御手
段（５）から出力される不安定な制御信号を増幅してモ
ータ（７）へ出力される制御信号を遮断することができ
るので、モータ手段（７）の誤動作を防ぐことができ、
従つて駆動装置（１０）を最適に動作させることができ
る。

【０００８】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【０００９】図２との対応部分に同一符号を付して示す
図１において、１０は全体として本発明の実施例による
駆動装置を示し、パワーアンプ６からモータ７に出力さ
れる制御信号を電源投入時から遮断する遮断回路８がパ
ワーアンプ６とモータ７との間に設けられていると共
に、制御用電源３を電源とし電源投入時から一定時間後
に遮断回路８の動作を解除するタイマ９が制御用電源３
と遮断回路８との間に外付けに設けられている。

【００１０】以上の構成において、電源スイツチ２によ
つて電源を投入すると、制御用電源３及びパワーアンプ
用電源４が同時に通電され、制御用電源３は制御回路５
に電源を供給し、パワーアンプ用電源４はパワーアンプ
６に電源を供給する。また制御用電源３からタイマ９に
電源が供給されると同時にタイマ９はカウントを開始
し、予め設定された時間が経過すると、タイマ９は遮断
回路８に信号を送出して遮断回路８の動作を解除する。
これによりパワーアンプ６とモータ７との間が接続され
てパワーアンプ６からモータ７に制御信号が出力され、
モータ７が駆動してウエハ搬送装置を駆動するようにな
されている。

【００１１】ここでタイマ９がカウントする時間は、電
源スイツチ２に電源が投入されてから制御回路５が初期
設定されるまでの時間に設定される。これにより、電源
スイツチ２によつて電源が投入されてから制御回路５が
初期設定されるまでは、パワーアンプ６とモータ７との
間の接続は遮断されるので、パワーアンプ６からモータ
７に不安定な制御信号は出力されず、従つてモータ７が
誤動作することを防ぐことができる。

【００１２】以上の構成によれば、パワーアンプ６とモ
ータ７との間に遮断回路８を設けると共に制御用電源３
を電源とするタイマ９を制御用電源３と遮断回路８との
間に外付けに設け、タイマ９のカウント時間を制御回路
５が初期設定されるまでの時間に設定し、タイマ９が当
該カウント時間をカウントし終わるまではパワーアンプ
６とモータ７との間を遮断し、カウント時間をカウント
し終わると、パワーアンプ６とモータ７との間が接続さ
れてモータ７を駆動させるようにしたことにより、制御
回路５が初期設定されるまでの間に制御回路５から出力
される不安定な制御信号を遮断することができるので、
モータ７の誤動作を防ぐことができ、従つて駆動装置１
０を最適に動作させることができる。

【００１３】なお上述の実施例においては、タイマ９を
制御用電源３と遮断回路８との間に外付けに設けた場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、制御回路５
が初期設定中やプログラム実行中でない等の判断を行う
判別回路を制御回路５と遮断回路８との間に外付けに設
けるようにしてもよい。すなわち電源投入後、制御回路
５が初期設定されたと判別回路が判断すると、判別回路
は遮断回路８に切換え信号を送出して遮断回路８の動作
を解除し、これによりパワーアンプ６とモータ７との間
を接続してモータ７を駆動する。

【００１４】また上述の実施例においては、制御回路５
とパワーアンプ６との双方が動作している場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、制御回路５が動作し
ていないときで、パワーアンプ６だけが動作中の場合に
おいても、遮断回路８によりパワーアンプ６とモータ７
との間の接続を制御することにより、モータ７の動作の
信頼性を一段と向上させることができ、誤動作を防ぐこ
とができる。

【００１５】また上述の実施例においては、遮断回路８
及びタイマ９を設けてパワーアンプ６とモータ７との接
続を制御する場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、パワーアンプ６にタイマ９を内蔵させて、電源投
入後、制御回路５が初期設定されるまでパワーアンプ６
からモータ７に制御信号を出力しないようにしてもよ
い。

【００１６】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、モータ駆
動手段とモータ手段との間にスイツチ手段を設け、電源
投入後、制御手段が初期設定されるまでの間モータ駆動
手段とモータ手段との間の接続をオフするようにしたこ
とにより、制御手段が初期設定されるまでの間に制御手
段から出力される不安定な制御信号を増幅してモータへ
出力される制御信号を遮断することができるので、モー
タ手段の誤動作を防ぐことができ、従つて駆動装置を最
適に動作させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による駆動装置を示すブロツク
図である。

【図２】従来の駆動装置を示すブロツク図である。

【符号の説明】

１、１０……駆動装置、２……電源スイツチ、３……制
御用電源、４……パワーアンプ用電源、５……制御回
路、６……パワーアンプ、７……モータ、８……遮断回
路、９……タイマ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】制御手段と、当該制御手段より出力される
   制御信号をモータ駆動電流に変換するモータ駆動手段
   と、上記モータ駆動電流によつて駆動されるモータ手段
   とを有する駆動装置において、 上記モータ駆動手段と上記モータ手段との間に設けら
   れ、上記制御手段の状態に応じて上記モータ駆動手段と
   上記モータ手段との間の接続をオンオフするスイツチ手
   段を具え、電源投入後、上記制御手段が初期設定される
   までの間上記モータ駆動手段と上記モータ手段との間の
   接続をオフするようにしたことを特徴とする駆動装置。
2. 【請求項２】上記制御手段と上記スイツチ手段との間に
   タイマを設け、当該タイマのカウント時間を上記制御手
   段が初期設定されるまでのカウント時間に設定し、上記
   タイマが上記カウント時間をカウントし終わると上記ス
   イツチ手段に切換え信号を送出し、上記スイツチ手段は
   当該切換え信号に基づいて上記モータ駆動手段と上記モ
   ータ手段との間の接続をオンするようにしたことを特徴
   とする請求項１に記載の駆動装置。
3. 【請求項３】上記制御手段と上記スイツチ手段との間に
   判別回路を設け、当該判別回路は上記制御手段が初期設
   定されたと判断すると上記スイツチ手段に切換え信号を
   送出し、上記スイツチ手段は当該切換え信号に基づいて
   上記モータ駆動手段と上記モータ手段との間の接続をオ
   ンするようにしたことを特徴とする請求項１に記載の駆
   動装置。
4. 【請求項４】上記スイツチ手段はリレー手段でなること
   を特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の
   駆動装置。