JPH07320908A - 酸化亜鉛系バリスタの製造方法および酸化亜鉛系バリスタ - Google Patents

酸化亜鉛系バリスタの製造方法および酸化亜鉛系バリスタ

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JPH07320908A
JPH07320908A JP6129591A JP12959194A JPH07320908A JP H07320908 A JPH07320908 A JP H07320908A JP 6129591 A JP6129591 A JP 6129591A JP 12959194 A JP12959194 A JP 12959194A JP H07320908 A JPH07320908 A JP H07320908A
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zinc oxide
varistor
temperature
additive
voltage
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Masatada Yodogawa
正忠 淀川
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    • H01C7/10Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material voltage responsive, i.e. varistors
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    • H01C7/108Metal oxide
    • H01C7/112ZnO type
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    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/453Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zinc, tin, or bismuth oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. zincates, stannates or bismuthates

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、高いエネルギー耐量を有するとと
もに、非直線指数αも高く、また湿中負荷寿命等の負荷
寿命特性も良好な酸化亜鉛系バリスタの製造方法および
その製造方法によって得られた酸化亜鉛系バリスタを提
供することを目的とする。 【構成】 焼結体自体が電圧非直線性抵抗特性を持つ酸
化亜鉛系バリスタの製造方法において、60%以上の酸
素を含む雰囲気中で、添加物が液相を発生する温度以上
で焼成を行い、この焼成の後、焼結体を10%以上の酸
素を含む雰囲気中で、600〜1000℃の温度で熱処
理する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、酸化亜鉛系バリスタの
製造方法および酸化亜鉛系バリスタに関する。
【0002】
【従来の技術】近年サイリスタ、トランジスタ、集積回
路などの半導体素子および半導体回路とその反応の急速
な発展にともない計測、制御、通信機器および電力機器
における半導体素子、半導体回路の使用が普及し、これ
ら機器の小型化、高性能化が急速に進展している。しか
し、このような進歩の一方、これらの機器やその部品の
耐電圧、耐サージ、耐ノイズ性能は十分なものとはいえ
なかった。このためこれらの機器や部品を異常なサージ
やノイズから保護すること、あるいは回路電圧を安定化
することがきわめて重要な課題になってきている。これ
らの課題の解決のために電圧非直線性がきわめて大き
く、放電耐量の大きい、寿命特性の優れた、しかも安価
な電圧非直線性抵抗体磁器組成物の開発が要請されてき
ている。
【0003】これらの目的のため、シリコンカーバイド
(SiC)、セレン(Se)、シリコン(Si)又はZ
nOを主成分としたバリスタが利用されている。中でも
ZnOを主成分としたバリスタは、一般に制限電圧が低
く、電圧非直線指数が大きいなどの特徴を有している。
そのため半導体素子のような過電流耐量の小さなもので
構成される機器の過電圧に対する保護に適しているの
で、SiCを主成分とするバリスタなどに代って広く利
用されるようになった。
【0004】ところで、例えば、自動車搭載電子機器
は、その電源電圧が12V あるいは16V と低いため、
電子機器の保護用のバリスタも、バリスタ電圧が24〜
47Vと低いものが使用される。一方、自動車には、発
電機やディストリビュータ等が搭載されており、エネル
ギの極めて大きなサージが発生する。特に、発電機が作
動しているときに、バッテリの結線が外れると、数十J
を超える大きなエネルギを持つサージが発生し、搭載電
子機器を破損するおそれがある。このようなことから、
特に自動車においては、電子機器を保護するために取り
付けられるバリスタはエネルギー耐量が極めて大きくな
ければならない。上記エネルギー耐量とは、次のように
定義される。すなわち、試料に方形波の所定の電圧の電
圧パルスを印加し、この電圧パルスの印加を、電圧値を
大きくしながら数分間隔で繰り返すと、バリスタ電圧は
徐々に変化して行くが、その変化率が−10%に達した
(ΔV1mA /V1mA ×100=−10%)ときの、試料
に印加されたエネルギー(印加電圧×電流×印加時間
(単位:J))がエネルギー耐量である。
【0005】しかしながら、酸化亜鉛系バリスタのバリ
スタ電圧は、電圧印加方向の結晶粒界の数に比例して大
きくなるので、低電圧用のバリスタは結晶の数が少なく
通常厚みが薄くなる。バリスタのエネルギー耐量は素子
の熱容量に比例するため、厚みが薄くなると、体積が小
さくなり、従って熱容量も小さくなる。従って、一般
に、低電圧用のバリスタは、エネルギー耐量が小さい。
【0006】そこで、従来は、低電圧用のバリスタに大
きなエネルギー耐量を持たせるため、結晶を数十μm 以
上に大きく成長させて、結晶の数が少なくても大きな体
積すなわち熱容量のものとする方法が採られている。
【0007】酸化亜鉛系バリスタの結晶を数十μm 以上
に大きくするには、従来、特開平2−219203号公
報、特開平5−74608号公報に開示されているよう
に、40%以上の酸素を含む酸化性雰囲気中で焼成を行
なう方法が提案されていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
40%以上の酸素を含む酸化性雰囲気中で焼成を行なう
方法では、本願発明の発明者らの実験によれば、例え
ば、酸素80%の場合、酸化亜鉛系バリスタの平均結晶
粒径が数十μm 以上となり、エネルギー耐量も増大する
が、非直線指数αが20以下となり、電圧印加時の漏洩
電流が大きくなり、湿中負荷寿命等の負荷寿命特性が悪
化してしまうという欠点がある。
【0009】そこで、本発明は、高いエネルギー耐量を
有するとともに、非直線指数αも高く、また湿中負荷寿
命等の負荷寿命特性も良好な酸化亜鉛系バリスタの製造
方法およびその製造方法によって得られた酸化亜鉛系バ
リスタを提供することを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(7)の本発明により達成される。 (1)焼結体自体が電圧非直線性抵抗特性を持つ酸化亜
鉛系バリスタの製造方法において、60%以上の酸素を
含む雰囲気中で、添加物が液相を発生する温度以上で焼
成を行い、この焼成の後、焼結体を10%以上の酸素を
含む雰囲気中で、600〜1000℃の温度で熱処理す
ることを特徴とする酸化亜鉛系バリスタの製造方法。 (2)前記焼成の温度が、1150〜1500℃の範囲
である上記(1)の酸化亜鉛系バリスタの製造方法。 (3)上記(1)または(2)の製造方法によって製造
された酸化亜鉛系バリスタであって、添加物として、希
土類元素のうち少なくとも一種と、コバルトと、B、A
l、GaおよびInのうち少なくとも一種とを含む酸化
亜鉛系バリスタ。 (4)添加物として、さらにSiを含む上記(3)の酸
化亜鉛系バリスタ。 (5)添加物として、さらにCrを含む上記(3)また
は(4)の酸化亜鉛系バリスタ。 (6)添加物として、さらにK、RbおよびCsのうち
少なくとも一種を含む上記(3)ないし(5)のいずれ
かの酸化亜鉛系バリスタ。 (7)添加物として、さらにMg、Ca、SrおよびB
aのうち少なくとも一種を含む上記(3)ないし(6)
のいずれかの酸化亜鉛系バリスタ。
【0011】
【作用・効果】本発明の製造方法においては、焼成温度
を添加物が液相になる温度以上とするとともに、焼成雰
囲気を酸素を60%以上含む雰囲気として焼成を行なう
ことにより、希土類等の添加物が反応生成物を作り液相
を発生し、液相焼結が進み、さらに高酸素分圧により、
結晶成長が促進される。本発明の酸化亜鉛系バリスタ
は、この酸化亜鉛の結晶の大径化により、大きな体積を
有するが、電圧印加方向に存在する結晶の数が少ない。
したがって、本発明の酸化亜鉛系バリスタは、低いバリ
スタ電圧を持ちながら、エネルギー耐量が大きい。さら
に、酸素を10%以上含む雰囲気中で、600〜100
0℃の温度で焼成後の焼結体を熱処理したことにより、
本発明の酸化亜鉛系バリスタは、非直線指数αも大き
く、負荷寿命等の信頼性も優れている。
【0012】
【具体的構成】本発明の酸化亜鉛系バリスタにおいて
は、酸化亜鉛を主成分とし、添加物として、La(ラン
タン),Ce(セリウム),Pr(プラセオジウム),
Nd(ネオジウム),Sm(サマリウム),Eu(ユウ
ロピウム),Gd(ガドリウム),Tb(テルビウ
ム),Dy(ディスプロシウム),Ho(ホルミウ
ム),Er(エルビウム),Tm(ツリウム),Yb
(イッテルビウム)およびLu(ルテチウム)である希
土類元素のうち少なくとも一種と、Co(コバルト)
と、B(ホウ素)、Al(アルミニウム)、Ga(ガリ
ウム)およびIn(インジウム)であるIII b族元素の
うち少なくとも一種とを少なくとも含有している。
【0013】上記酸化亜鉛の含有量は、Zn換算で、金
属または半金属元素中の80原子%以上、好ましくは8
5〜99原子%が好ましい。Zn量が少なすぎると、高
温高湿度中での負荷寿命試験において劣化しやすくなる
からである。
【0014】上記希土類の添加量は、0.02〜5原子
%であることが望ましい。0.02原子%未満である
と、非直線性が低下し、5原子%をこえるとエネルギー
耐量が減少するからである。
【0015】上記Coの添加量は、0.1〜10原子%
であることが望ましい。0.1原子%未満であると、非
直線性が低下し、10原子%をこえると、エネルギー耐
量が減少するからである。
【0016】上記III b族元素であるB、Al、Ga、
Inの添加量は、1×10-4〜1×10-1原子%である
ことが望ましい。1×10-4原子%未満であると、制限
電圧が増大し、1×10-1原子%をこえると、リーク電
流が増大する。
【0017】本発明の酸化亜鉛系バリスタにおいては、
さらに、Siを添加してもよい。Siの添加量は、0.
001〜0.5原子%の範囲とすることが望ましい。
【0018】本発明の酸化亜鉛系バリスタにおいては、
さらに、Crを添加してもよい。Crの添加量は、0.
01〜1原子%の範囲とすることが望ましい。
【0019】本発明の酸化亜鉛系バリスタにおいては、
更に、K、RbおよびCsであるIa族元素のうち少な
くとも一種を、0.005〜1原子%含有していてもよ
い。
【0020】本発明の酸化亜鉛系バリスタにおいては、
更に、Mg,Ca,SrおよびBaであるIIa族元素の
うち少なくとも一種を、0.005〜4原子%含有して
いてもよい。
【0021】本発明の酸化亜鉛系バリスタは、25〜2
00μm 程度の平均結晶粒径、6〜70V/mmのバリスタ
電圧、および直径14mm、厚さ1mmの円板状バリスタに
おいて40J 以上、特に50〜100J のエネルギー耐
量を有していることが望ましい。更に、本発明の酸化亜
鉛系バリスタは、10%以下の湿中負荷寿命特性(温度
60℃、相対湿度85%の条件で、バリスタ電圧の90
%の電圧を試料に印加し、1000時間経過後のバリス
タ電圧の変化率)を備えていることが望ましい。
【0022】本発明の酸化亜鉛系バリスタは、低電圧で
作動する電気・電子機器、特に自動車搭載電気・電子機
器用に用いられる。
【0023】次に、本発明による酸化亜鉛系バリスタの
焼成工程について説明する。
【0024】本発明により酸化亜鉛系バリスタを焼成す
るには、焼成工程に先だって、脱バインダ処理が行なわ
れる。この脱バインダ処理は、空気中において、温度1
00〜800℃で熱処理することにより行なわれる。
【0025】焼成工程は、加熱昇温工程、温度保持工程
および冷却工程からなる一連の工程からなる。上記温度
保持工程における温度は、添加物により液相が発生する
温度以上に設定される。本発明の酸化亜鉛系バリスタ
は、特に希土類元素の少なくとも一種と、Coとを添加
物として含んでいることが好ましいので、それらの反応
生成物の融点を勘案して、1300℃以上、例えば13
00〜1500℃の範囲に設定することが好ましい。し
かし、SiO2 (シリカ)、CaO(酸化カルシウ
ム)、B2 3 (酸化硼素)等を添加すると、液相が発
生する温度が低下するので、その場合には、1150〜
1500℃の範囲に設定することが望ましい。保持時間
は通常1時間〜10時間の範囲に設定される。また、焼
成工程の少なくともこの温度保持工程において、雰囲気
を大気圧下、酸素60%以上の雰囲気とする。雰囲気の
酸素が60%未満であると、酸化亜鉛の結晶粒の成長が
充分に行なわれないばかりか、特性のバラツキが大き
い。雰囲気における酸素濃度は、高ければ高いほど望ま
しく、最も好ましくは酸素100%すなわち酸素雰囲気
である。昇降温速度は、通常、毎時50〜400℃程度
に設定される。なお、昇温工程の全部または前半部の雰
囲気を空気として、ここで脱バインダ処理を行なっても
よい。
【0026】焼成の後には、熱処理を行なう。この熱処
理は大気圧下、酸素10%以上、特に20〜50%の雰
囲気中で、600〜1000℃、特に700〜800℃
の範囲の温度で行なうことが好ましい。600℃未満の
処理温度かつ、10%未満の酸素濃度では、十分な熱処
理効果が得られず、また、1000℃を超える温度で
は、50%以下の酸素濃度で素子が還元される傾向がで
てくる。
【0027】なお、原料としては、ZnO等の酸化物
や、焼成により酸化物となる化合物、例えば、炭酸塩、
シュウ酸塩、硝酸塩、塩化物等を用いればよい。原料Z
nOの粒径は0.1〜5μm 程度とし、添加物の原料粉
の粒径は0.1〜3μm 程度とすればよい。
【0028】
【実施例】以下、実施例により、本発明の酸化亜鉛系バ
リスタの製造方法について具体的に説明する。
【0029】実施例1 主成分となるZnO粉末(98.419モル%)、添加
剤となるPr6 11(0.03モル%)、La2
3 (0.03モル%)、CoO(1.5モル%)、Al
2 3 (0.001モル%)およびSiO2 (0.02
モル%)となるように原料を秤量調合し、これにイオン
交換水を加え、ボールミルで16時間混合後、その全量
を磁器製バットにあけて、熱風乾燥した。乾燥した原料
にバインダであるPVA水溶液をを添加しながら造粒
し、顆粒にしたのち乾燥した。これを、直径17.0m
m、厚み1.2mmの円板状に加圧成形(成形密度3〜4g
/cm3 )した。成形体を電気炉に入れ、空気中で400
℃で2時間保持し、PVAを除去した。、その後、炉内
雰囲気が表1に示す酸素含有量となるように、酸素を炉
内に流し、表1に示す温度で2時間焼成し、試料1〜9
を得た。試料は、直径14mm、厚さ1mmの円板状であっ
た。
【0030】
【表1】
【0031】試料5〜9については、さらに表1に示す
酸素含有量の雰囲気中で、表1に示す温度で2時間熱処
理した。そして、これら試料1〜9について、平均結晶
粒径、液相発生の有無、電気的特性を測定した。
【0032】平均結晶粒径は、試料の断面を鏡面研磨
し、光学顕微鏡写真をとり、その写真に基づいて測定
し、液相発生の有無は、試料の自然面を光学顕微鏡で観
察することにより判断した。
【0033】電気的特性としては、1mmあたりのバリス
タ電圧(V)、1mA〜10mAでの非直線指数α、上記形
状でのエネルギー耐量(J)、および湿中負荷寿命特性
を測定した。これらの電気的特性の測定は、上記の各試
料の両面に直径11.5mmの銀電極を焼付けて行い、エ
ネルギー耐量の測定には、20msecの方形波を用いた。
また、湿中負荷寿命特性は、温度60℃、相対湿度85
%の条件で、バリスタ電圧の90%の電圧を試料に印加
し、1000時間経過後のバリスタ電圧の変化率で調べ
た。以上の結果も表1に示した。非直線指数αは次式に
よって示される。
【0034】 α=log(10/1)/log(V10mA/V1mA ) ここで、V10mA、V1mA は、それぞれ10mA、1mAにお
けるバリスタ電圧を示す。
【0035】表1から分かるように、添加物により液相
が発生する温度以上で、60%以上の酸素雰囲気で焼成
した試料4〜9においては、平均結晶粒径が70μm 以
上となり、15〜34V と低いバリスタ電圧、35J 以
上のエネルギー耐量が得られた。しかし、焼成後の熱処
理を行なわなかった試料4、および上記熱処理は行なっ
たが、本発明の条件に従わなかった試料5、6について
は、非直線指数αが20以下、湿中負荷寿命特性が10
%以上と十分に向上しなかった。
【0036】これに対し、本発明の条件に従い焼成を行
い、焼成の後に熱処理を行なった試料7〜9について
は、非直線指数αが35以上に向上するとともに、エネ
ルギー耐量も50J 以上、湿中負荷寿命特性が2%以下
に向上した。
【0037】なお、希土類元素として、上記Pr、La
以外の希土類Ce、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、D
y、Ho、Er、Tm、Yb、LuをR2 3 (Rは希
土類)の形で用いた場合も、上記と同様良好なエネルギ
ー耐量が得られた。なお、焼成条件は、試料7と同様に
した。以下、同じ。また、Alの替わりに、B、Ga、
InをM2 3 (M:B、Ga、In)の形で用いた
り、さらにCrを添加した場合にも上記と同様の傾向が
得られた。さらに、実施例1の組成に、K、Rb、およ
びCsのうち少なくとも一種をM'2Oの形で、および/
またはMg、Ca、SrおよびBaのうち少なくとも一
種をM" O(M" :Mg、Ca、Sr、Ba)の形で添
加した場合にも上記と同様の傾向が得られた。以上の結
果を表2に示した。
【0038】
【表2】
【0039】以上、詳細に説明したように、本発明に従
い製造された酸化亜鉛系バリスタは、バリスタ電圧が低
いにもかかわらず、エネルギー耐量が大きく、しかも非
直線指数αが大きく、湿中負荷寿命特性等の負荷寿命特
性が良好である。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 焼結体自体が電圧非直線性抵抗特性を持
    つ酸化亜鉛系バリスタの製造方法において、60%以上
    の酸素を含む雰囲気中で、添加物が液相を発生する温度
    以上で焼成を行い、この焼成の後、焼結体を10%以上
    の酸素を含む雰囲気中で、600〜1000℃の温度で
    熱処理することを特徴とする酸化亜鉛系バリスタの製造
    方法。
  2. 【請求項2】 前記焼成の温度が、1150〜1500
    ℃の範囲である請求項1の酸化亜鉛系バリスタの製造方
    法。
  3. 【請求項3】 請求項1または2の製造方法によって製
    造された酸化亜鉛系バリスタであって、添加物として、
    希土類元素のうち少なくとも一種と、コバルトと、B、
    Al、GaおよびInのうち少なくとも一種とを含む酸
    化亜鉛系バリスタ。
  4. 【請求項4】 添加物として、さらにSiを含む請求項
    3の酸化亜鉛系バリスタ。
  5. 【請求項5】 添加物として、さらにCrを含む請求項
    3または4の酸化亜鉛系バリスタ。
  6. 【請求項6】 添加物として、さらにK、RbおよびC
    sのうち少なくとも一種を含む請求項3ないし5のいず
    れかの酸化亜鉛系バリスタ。
  7. 【請求項7】 添加物として、さらにMg、Ca、Sr
    およびBaのうち少なくとも一種を含む請求項3ないし
    6のいずれかの酸化亜鉛系バリスタ。
JP6129591A 1994-05-19 1994-05-19 酸化亜鉛系バリスタの製造方法および酸化亜鉛系バリスタ Pending JPH07320908A (ja)

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