JPH0731970Y2 - 研削砥石 - Google Patents
研削砥石Info
- Publication number
- JPH0731970Y2 JPH0731970Y2 JP1989066045U JP6604589U JPH0731970Y2 JP H0731970 Y2 JPH0731970 Y2 JP H0731970Y2 JP 1989066045 U JP1989066045 U JP 1989066045U JP 6604589 U JP6604589 U JP 6604589U JP H0731970 Y2 JPH0731970 Y2 JP H0731970Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- pieces
- grinding wheel
- piece
- reinforcing material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
本考案は、円盤状の基台に比較的薄い砥石片を複数枚円
周方向に配設し、半導体ウエーハ等の脆弱物質の平面を
平滑に研削するために使用される砥石に関するものであ
る。
周方向に配設し、半導体ウエーハ等の脆弱物質の平面を
平滑に研削するために使用される砥石に関するものであ
る。
この種の研削砥石としては、例えば実開昭57−63658
公報及び実開昭55−120464号公報に開示された構成のも
のが従来例として周知である。前記従来例の考案は、
基台に対して複数枚の刃先部を放射状に配設したものが
開示されており、しかも垂直及び所定の傾斜をもって配
設した構成を有している。又、前記従来例の考案にお
いては、基台に対して複数枚の刃先部を円周状に且つス
パイラルに配設し、更にそれ等刃先部の間にサイレン音
を防止するために炭化硅素を充填材とする樹脂物質を充
填した構成のものが開示されている。
公報及び実開昭55−120464号公報に開示された構成のも
のが従来例として周知である。前記従来例の考案は、
基台に対して複数枚の刃先部を放射状に配設したものが
開示されており、しかも垂直及び所定の傾斜をもって配
設した構成を有している。又、前記従来例の考案にお
いては、基台に対して複数枚の刃先部を円周状に且つス
パイラルに配設し、更にそれ等刃先部の間にサイレン音
を防止するために炭化硅素を充填材とする樹脂物質を充
填した構成のものが開示されている。
前記従来例における研削砥石は、刃先部が放射状に配
設されているため、実際の使用において被加工物にその
刃先が当接し、且つその表面を切削する際に、刃先部に
小幅の振動、謂ゆるビビリ振動が発生し、それによって
被加工物の表面に細かい波紋が生じ平滑にならなくなる
と言う問題点を有している。又、前記従来例のスパイ
ラル形砥石は、刃先部をスパイラルに配設したことによ
って前記従来例のようなビビリ振動は生じないが、ス
パイラルにすることによってサイレン音を発するように
なり、その防止対策として切削には関係のない炭化硅素
を充填材とする樹脂物質を充填しているのである。 いずれにしても、従来例においては放射状に配設した刃
先部において、ビビリ振動対策がなされていないのが実
状であり、刃先が薄くなればなるほどその振動が大き
く、従ってビビリ振動の解消に課題を有している。
設されているため、実際の使用において被加工物にその
刃先が当接し、且つその表面を切削する際に、刃先部に
小幅の振動、謂ゆるビビリ振動が発生し、それによって
被加工物の表面に細かい波紋が生じ平滑にならなくなる
と言う問題点を有している。又、前記従来例のスパイ
ラル形砥石は、刃先部をスパイラルに配設したことによ
って前記従来例のようなビビリ振動は生じないが、ス
パイラルにすることによってサイレン音を発するように
なり、その防止対策として切削には関係のない炭化硅素
を充填材とする樹脂物質を充填しているのである。 いずれにしても、従来例においては放射状に配設した刃
先部において、ビビリ振動対策がなされていないのが実
状であり、刃先が薄くなればなるほどその振動が大き
く、従ってビビリ振動の解消に課題を有している。
前記従来例の課題を解決する具体的手段として本考案
は、半導体基板等を研磨する砥石として、円盤状の基台
に対し、その円周方向に、0.1〜0.5mmの刃厚からなる複
数の砥石片を所定の間隔をもって隣接状態に配設し、こ
れ等砥石片の間隔にビビリ振動を抑制するための補強材
を充填し、且つ前記砥石片の傾斜角度αを20〜80°にし
たことで、薄い刃先部を使用してもビビリ振動のほとん
どない研削砥石が得られるのである。
は、半導体基板等を研磨する砥石として、円盤状の基台
に対し、その円周方向に、0.1〜0.5mmの刃厚からなる複
数の砥石片を所定の間隔をもって隣接状態に配設し、こ
れ等砥石片の間隔にビビリ振動を抑制するための補強材
を充填し、且つ前記砥石片の傾斜角度αを20〜80°にし
たことで、薄い刃先部を使用してもビビリ振動のほとん
どない研削砥石が得られるのである。
次に本考案を図示の実施例により更に詳しく説明する
と、１は基台であり、該基台は略円盤状に形成され、該
基台１の下面に多数枚の砥石片２が略等間隔で放射状に
且つ所定の傾斜角度（90°を含む）をもって植設状態に
配設され、これ等各砥石片２の間隙にビビリ振動を抑制
するための補強材３を充填させた構成にする。 この場合に使用される前記砥石片２は、例えばダイヤモ
ンド砥粒をニッケル等の金属でバインダーした、謂ゆる
電着砥石などであり、その厚みが0.1〜0.5mmであり、そ
の高さが１〜5mm、幅が３〜10mmである。そして、各砥
石片２の配設間隔が略３〜10mmであり、その配設状態に
おける好ましい傾斜角度αが20〜80°である。このよう
に比較的薄い砥石片２は、被加工物と接触しながら移動
する謂ゆる研削作用において、ビビリ振動が発生しやす
いものである。 前記補強材３は、例えば石膏又はポーラス状のレジン等
が使用でき、これ等は前記比較的薄い砥石片２の間隙を
埋めて、該砥石片にビビリ振動が生じないものであれば
足りるのである。そして、実際の研削工程において、被
加工物との間で接触移動しても、補強材３の存在により
各砥石片のビビリ振動が抑制されるようになるのであ
る。尚、砥石片２の傾斜角度αは、第４図に示したよう
に90°であっても良いのである。更に、砥石片２は分割
されたものに限らず、第５図に示したような、ビビリ振
動が生ずる可能性のある、連続したもの、又は第６図に
示したパイプ状のもの、更には第７図に示したように砥
石片をスパイラルに配設したものであっても良いのであ
る。要は、どの様な構成の砥石片２であっても、配設さ
れた状態においてビビリ振動が生じないように安定して
保持できれば良いのである。
と、１は基台であり、該基台は略円盤状に形成され、該
基台１の下面に多数枚の砥石片２が略等間隔で放射状に
且つ所定の傾斜角度（90°を含む）をもって植設状態に
配設され、これ等各砥石片２の間隙にビビリ振動を抑制
するための補強材３を充填させた構成にする。 この場合に使用される前記砥石片２は、例えばダイヤモ
ンド砥粒をニッケル等の金属でバインダーした、謂ゆる
電着砥石などであり、その厚みが0.1〜0.5mmであり、そ
の高さが１〜5mm、幅が３〜10mmである。そして、各砥
石片２の配設間隔が略３〜10mmであり、その配設状態に
おける好ましい傾斜角度αが20〜80°である。このよう
に比較的薄い砥石片２は、被加工物と接触しながら移動
する謂ゆる研削作用において、ビビリ振動が発生しやす
いものである。 前記補強材３は、例えば石膏又はポーラス状のレジン等
が使用でき、これ等は前記比較的薄い砥石片２の間隙を
埋めて、該砥石片にビビリ振動が生じないものであれば
足りるのである。そして、実際の研削工程において、被
加工物との間で接触移動しても、補強材３の存在により
各砥石片のビビリ振動が抑制されるようになるのであ
る。尚、砥石片２の傾斜角度αは、第４図に示したよう
に90°であっても良いのである。更に、砥石片２は分割
されたものに限らず、第５図に示したような、ビビリ振
動が生ずる可能性のある、連続したもの、又は第６図に
示したパイプ状のもの、更には第７図に示したように砥
石片をスパイラルに配設したものであっても良いのであ
る。要は、どの様な構成の砥石片２であっても、配設さ
れた状態においてビビリ振動が生じないように安定して
保持できれば良いのである。
以上説明したように本考案に係る切削砥石は、円盤状の
基台に対し、その円周方向に、0.1〜0.5mmの刃厚からな
る複数の砥石片を所定の間隔をもって隣設状態に配設
し、これ等砥石片の間隙にビビリ振動を抑制するための
補強材を充填した構成にすることにより、前記砥石片が
比較的肉薄のものであっても、前記補強材の存在によ
り、その使用時にビビリ振動がほとんど発生せず、それ
によって従来生じていた切削面のビビリ振動による波紋
の生成がなく、切削面を平滑に切削できると云う優れが
効果を奏する。 又、前記砥石片の傾斜角度を20〜80°に傾斜させ、且つ
各砥石片の間隙に充填される補強材を石膏又はポーラス
状のレジンにすることにより、特に切削性の良好な薄い
刃先部を傾斜させて使用しても、切削性には影響しない
前記補強材によりビビリ振動が抑制されて、切削性の高
い研削砥石が得られると云う優れた効果も奏する。
基台に対し、その円周方向に、0.1〜0.5mmの刃厚からな
る複数の砥石片を所定の間隔をもって隣設状態に配設
し、これ等砥石片の間隙にビビリ振動を抑制するための
補強材を充填した構成にすることにより、前記砥石片が
比較的肉薄のものであっても、前記補強材の存在によ
り、その使用時にビビリ振動がほとんど発生せず、それ
によって従来生じていた切削面のビビリ振動による波紋
の生成がなく、切削面を平滑に切削できると云う優れが
効果を奏する。 又、前記砥石片の傾斜角度を20〜80°に傾斜させ、且つ
各砥石片の間隙に充填される補強材を石膏又はポーラス
状のレジンにすることにより、特に切削性の良好な薄い
刃先部を傾斜させて使用しても、切削性には影響しない
前記補強材によりビビリ振動が抑制されて、切削性の高
い研削砥石が得られると云う優れた効果も奏する。
第１図は本考案に係る切削砥石の下面側斜視図、第２図
は同切削砥石の要部の拡大断面図、第３図は同切削砥石
の要部の拡大底面図、第４図は第２図と同様の砥石片の
取り付け状態を示す他の例の断面図、第５〜７図は配設
される砥石片の他の例を夫々示す第３図と同様の拡大底
面図である。 １……基台、２……砥石片 ３……補強材、α……傾斜角度
は同切削砥石の要部の拡大断面図、第３図は同切削砥石
の要部の拡大底面図、第４図は第２図と同様の砥石片の
取り付け状態を示す他の例の断面図、第５〜７図は配設
される砥石片の他の例を夫々示す第３図と同様の拡大底
面図である。 １……基台、２……砥石片 ３……補強材、α……傾斜角度
Claims (1)
- 【請求項１】円盤状の基台に対し、その円周方向に、0.
1〜0.5mmの刃厚からなる複数の砥石片を所定の間隔をも
って隣接状態に配設し、これ等砥石片の間隔にビビリ振
動を抑制するための補強材を充填し、且つ前記砥石片の
傾斜角度αを20〜80°にしたことを特徴とする研削砥
石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989066045U JPH0731970Y2 (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 研削砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989066045U JPH0731970Y2 (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 研削砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH037467U JPH037467U (ja) | 1991-01-24 |
| JPH0731970Y2 true JPH0731970Y2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=31598421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989066045U Expired - Lifetime JPH0731970Y2 (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 研削砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731970Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2010327959B2 (en) * | 2009-12-11 | 2014-08-28 | Saint-Gobain Abrasifs | Abrasive article for use with a grinding wheel |
| JP6086765B2 (ja) * | 2013-03-12 | 2017-03-01 | 株式会社ディスコ | 研削ホイール |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55120464U (ja) * | 1979-02-16 | 1980-08-26 |
-
1989
- 1989-06-06 JP JP1989066045U patent/JPH0731970Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH037467U (ja) | 1991-01-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |