JPH07311064A - コリオリ質量流量計 - Google Patents
コリオリ質量流量計Info
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- JPH07311064A JPH07311064A JP10364894A JP10364894A JPH07311064A JP H07311064 A JPH07311064 A JP H07311064A JP 10364894 A JP10364894 A JP 10364894A JP 10364894 A JP10364894 A JP 10364894A JP H07311064 A JPH07311064 A JP H07311064A
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- fluid
- strain
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 環境の影響に対して安定に質量流量を検出で
きるように改良したコリオリ質量流量計を提供すること
を目的とする。 【構成】 測定流体が流され２つの固定端を結ぶ軸上に
双方から直線状に延長され中央部近傍の各屈曲部におい
て間隔を保持して先の軸から離れる方向にループ状に屈
曲されるループ部を有する測定チューブと、先の軸上で
あって先の各屈曲部の間に固定され先のループ部の変位
によるねじれに基づいて発生するセンサ信号を検出する
トルクチューブと、先のループ部をこのループによって
形成されるループ面に垂直な方向に加振させる加振手段
とを具備し、先のセンサ信号から先の測定流体の質量流
量を測定するようにしたものである。
きるように改良したコリオリ質量流量計を提供すること
を目的とする。 【構成】 測定流体が流され２つの固定端を結ぶ軸上に
双方から直線状に延長され中央部近傍の各屈曲部におい
て間隔を保持して先の軸から離れる方向にループ状に屈
曲されるループ部を有する測定チューブと、先の軸上で
あって先の各屈曲部の間に固定され先のループ部の変位
によるねじれに基づいて発生するセンサ信号を検出する
トルクチューブと、先のループ部をこのループによって
形成されるループ面に垂直な方向に加振させる加振手段
とを具備し、先のセンサ信号から先の測定流体の質量流
量を測定するようにしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定流体が振動する
チューブ内を流れるときにこのチューブに発生するコリ
オリ力を検出して質量流量を測定するコリオリ質量流量
計に係り、特に環境の影響に対して安定に質量流量を検
出できるように改良したコリオリ質量流量計に関する。
チューブ内を流れるときにこのチューブに発生するコリ
オリ力を検出して質量流量を測定するコリオリ質量流量
計に係り、特に環境の影響に対して安定に質量流量を検
出できるように改良したコリオリ質量流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来のコリオリ質量流量計の概念
図である。このコリオリ質量流量計は直管形として示し
てある。１は内部に測定流体を流すことのできるチュー
ブであり、このチューブ１の両端は固定端２、３で固定
されている。
図である。このコリオリ質量流量計は直管形として示し
てある。１は内部に測定流体を流すことのできるチュー
ブであり、このチューブ１の両端は固定端２、３で固定
されている。
【０００３】これ等の固定端２、３の中央部には加振器
４が設置されており、このチューブ１をチューブの中心
軸に対し垂直方向に加振して、上下に往復振動させる。
この加振器４と固定端２、３の間には、チューブ１の変
位を測定する変位センサ５、６が設置されている。
４が設置されており、このチューブ１をチューブの中心
軸に対し垂直方向に加振して、上下に往復振動させる。
この加振器４と固定端２、３の間には、チューブ１の変
位を測定する変位センサ５、６が設置されている。
【０００４】次に、以上のように構成されたコリオリ質
量流量計の動作について図７を用いて説明する。チュー
ブ１の中に測定流体を流した状態で中央部に設置した加
振器４から上下に振動を与えると、Ｍ１、Ｍ２に示すよ
うに中央部が振動の腹となる１次モードの形状でチュー
ブ１が振動する。
量流量計の動作について図７を用いて説明する。チュー
ブ１の中に測定流体を流した状態で中央部に設置した加
振器４から上下に振動を与えると、Ｍ１、Ｍ２に示すよ
うに中央部が振動の腹となる１次モードの形状でチュー
ブ１が振動する。
【０００５】この振動は、チューブ１の上流側と下流側
について考えると、各々固定端２と３付近を中心とする
回転運動をしているとみなせるので、この各速度をω、
測定流体の質量流量をＱとすると、ωとＱの積に比例し
たコリオリ力が各微小区間に発生する。
について考えると、各々固定端２と３付近を中心とする
回転運動をしているとみなせるので、この各速度をω、
測定流体の質量流量をＱとすると、ωとＱの積に比例し
たコリオリ力が各微小区間に発生する。
【０００６】これにより、チューブ１の中央点に対して
上流部分と下流部分ではその撓み振動が対称になる２次
の振動モードＭ３、Ｍ４が発生する。この変形を変位セ
ンサ５、６で測定する。このことは、曲管タイプのコリ
オリ質量流量計に対しても同様のことがいえる。
上流部分と下流部分ではその撓み振動が対称になる２次
の振動モードＭ３、Ｍ４が発生する。この変形を変位セ
ンサ５、６で測定する。このことは、曲管タイプのコリ
オリ質量流量計に対しても同様のことがいえる。
【０００７】ところで、通常の振動検出法では加振振動
と発生したコリオリ振動とを同時にしかも同一のセンサ
で検出し、電気的に分離して質量流量に変換する。例え
ば、図６に示す検出部と結合される図示しない変換部で
は、次のような演算が実行される。
と発生したコリオリ振動とを同時にしかも同一のセンサ
で検出し、電気的に分離して質量流量に変換する。例え
ば、図６に示す検出部と結合される図示しない変換部で
は、次のような演算が実行される。
【０００８】変位センサ５、６に発生するセンサ信号Ｓ
11、Ｓ21は、加振器４の加振により変位センサ５、６に
発生する加振信号の振幅をＡe0、Ａe1、発生するコリオ
リ信号の振幅をＡc0、Ａc1とすれば、次の式で示され
る。 Ｓ11＝Ａe0・sinθ＋Ａc0・cosθ （１） Ｓ21＝Ａe1・sinθ−Ａc1・cosθ （２）
11、Ｓ21は、加振器４の加振により変位センサ５、６に
発生する加振信号の振幅をＡe0、Ａe1、発生するコリオ
リ信号の振幅をＡc0、Ａc1とすれば、次の式で示され
る。 Ｓ11＝Ａe0・sinθ＋Ａc0・cosθ （１） Ｓ21＝Ａe1・sinθ−Ａc1・cosθ （２）
【０００９】これ等のセンサ信号Ｓ11、Ｓ21から質量流
量を求めるためには、先ず Ｓ11−Ｓ21＝（Ａe0−Ａe1）・sinθ（Ａc0＋Ａc1）・cosθ （３） ＝［（Ａe0−Ａe1）2＋（Ａc0＋Ａc1）2］1/2 ×sin（θ＋Φ） Φ＝tan-1［（Ａc0＋Ａc1）／（Ａe0−Ａe1）］ （４） の演算を実行して位相差Φを算出する。このようにして
得られた位相差Φはコリオリ力と密接な関数関係にある
ので、この位相差Φを用いることにより質量流量を求め
ることができる。
量を求めるためには、先ず Ｓ11−Ｓ21＝（Ａe0−Ａe1）・sinθ（Ａc0＋Ａc1）・cosθ （３） ＝［（Ａe0−Ａe1）2＋（Ａc0＋Ａc1）2］1/2 ×sin（θ＋Φ） Φ＝tan-1［（Ａc0＋Ａc1）／（Ａe0−Ａe1）］ （４） の演算を実行して位相差Φを算出する。このようにして
得られた位相差Φはコリオリ力と密接な関数関係にある
ので、この位相差Φを用いることにより質量流量を求め
ることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ようなコリオリ質量流量計では、加振成分の大きさに対
してコリオリ成分の大きさは数百分の１と非常に小さい
ので、これを同一の変位センサ５、６で同時に検出し
（４）式などにより質量流量を求めることは容易ではな
く、誤差発生の大きな要因となっている。
ようなコリオリ質量流量計では、加振成分の大きさに対
してコリオリ成分の大きさは数百分の１と非常に小さい
ので、これを同一の変位センサ５、６で同時に検出し
（４）式などにより質量流量を求めることは容易ではな
く、誤差発生の大きな要因となっている。
【００１１】また、変位センサ５、６はそれぞれチュー
ブ１の異なる位置に対応して配置されるので、温度など
の環境の影響が相互に異なり、これにより誤差発生の要
因を形成する。
ブ１の異なる位置に対応して配置されるので、温度など
の環境の影響が相互に異なり、これにより誤差発生の要
因を形成する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するための構成として、測定流体が流され２つの固
定端を結ぶ軸上に双方から直線状に延長され中央部近傍
の各屈曲部において間隔を保持して先の軸から離れる方
向にループ状に屈曲されるループ部を有する測定チュー
ブと、先の軸上であって先の各屈曲部の間に固定され先
のループ部の変位によるねじれに基づいて発生するセン
サ信号を検出するトルクチューブと、先のループ部をこ
のループによって形成されるループ面に垂直な方向に加
振させる加振手段とを具備し、先のセンサ信号から先の
測定流体の質量流量を測定するようにしたものである。
解決するための構成として、測定流体が流され２つの固
定端を結ぶ軸上に双方から直線状に延長され中央部近傍
の各屈曲部において間隔を保持して先の軸から離れる方
向にループ状に屈曲されるループ部を有する測定チュー
ブと、先の軸上であって先の各屈曲部の間に固定され先
のループ部の変位によるねじれに基づいて発生するセン
サ信号を検出するトルクチューブと、先のループ部をこ
のループによって形成されるループ面に垂直な方向に加
振させる加振手段とを具備し、先のセンサ信号から先の
測定流体の質量流量を測定するようにしたものである。
【００１３】
【作 用】測定チューブは２つの固定端を結ぶ軸上に双
方から直線状に延長され中央部近傍の各屈曲部において
間隔を保持して先の軸から離れる方向にループ状に屈曲
されるループ部を有し、この中に測定流体が流される。
加振手段は先のループ部をこのループによって形成され
るループ面に垂直な方向に加振させる。
方から直線状に延長され中央部近傍の各屈曲部において
間隔を保持して先の軸から離れる方向にループ状に屈曲
されるループ部を有し、この中に測定流体が流される。
加振手段は先のループ部をこのループによって形成され
るループ面に垂直な方向に加振させる。
【００１４】そして、トルクチューブは先の軸上であっ
て先の各屈曲部の間に固定されており、先の測定流体が
流されるとコリオリ力により先のループ部が変位により
ねじれ、これに基づいて発生するセンサ信号を検出す
る。このセンサ信号から先の測定流体の質量流量を測定
する。
て先の各屈曲部の間に固定されており、先の測定流体が
流されるとコリオリ力により先のループ部が変位により
ねじれ、これに基づいて発生するセンサ信号を検出す
る。このセンサ信号から先の測定流体の質量流量を測定
する。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。図１は本発明の構成の１実施例を示す平面図、
図２は図１のトルクチューブ部の構成を示す斜視図、図
３は図２の歪ゲージの結線を示す結線図である。
明する。図１は本発明の構成の１実施例を示す平面図、
図２は図１のトルクチューブ部の構成を示す斜視図、図
３は図２の歪ゲージの結線を示す結線図である。
【００１６】固定端１０、１１に測定流体Ｑが流される
測定チューブ１２が固定されている。この測定チューブ
１２は直管部１２Ａ、１２Ｂと屈曲部１２Ｃ、１２Ｄと
ループ部１２Ｅなどで構成されている。
測定チューブ１２が固定されている。この測定チューブ
１２は直管部１２Ａ、１２Ｂと屈曲部１２Ｃ、１２Ｄと
ループ部１２Ｅなどで構成されている。
【００１７】説明の便宜上、固定端１０と１１を結ぷ方
向をＹ軸、紙面に垂直方向をＺ軸、これ等の双方に直角
方向をＸ軸に選定する。測定チューブ１２の直管部１２
Ａの一端は固定端１０に、直管部１２Ｂの一端は固定端
１１にそれぞれ固定されている。直管部１２Ａの他端の
屈曲部１２Ｃと直管部１２Ｂの他端の屈曲部１２Ｄから
Ｘ軸方向に広がるループ部１２Ｅが一体として構成され
ている。
向をＹ軸、紙面に垂直方向をＺ軸、これ等の双方に直角
方向をＸ軸に選定する。測定チューブ１２の直管部１２
Ａの一端は固定端１０に、直管部１２Ｂの一端は固定端
１１にそれぞれ固定されている。直管部１２Ａの他端の
屈曲部１２Ｃと直管部１２Ｂの他端の屈曲部１２Ｄから
Ｘ軸方向に広がるループ部１２Ｅが一体として構成され
ている。
【００１８】このループ部１２Ｅは屈曲部１２Ｃと屈曲
部１２ＤからそれぞれＸ軸方向に延長され所定の長さの
部分で斜めに外方向に広がり、さらに所定の長さの点で
Ｘ軸方向に延長され、この後、互にＹ軸方向に延長され
て一体となる構成となっている。
部１２ＤからそれぞれＸ軸方向に延長され所定の長さの
部分で斜めに外方向に広がり、さらに所定の長さの点で
Ｘ軸方向に延長され、この後、互にＹ軸方向に延長され
て一体となる構成となっている。
【００１９】さらに、このループ部１２Ｅの中点には、
加振装置１３が配置されており、ループ部１２ＥをＺ軸
方向に単振動させる。また、屈曲部１２Ｃと１２Ｄとの
間には測定流体が内部に流れない円筒状のトルクチュブ
１４が固定されている。
加振装置１３が配置されており、ループ部１２ＥをＺ軸
方向に単振動させる。また、屈曲部１２Ｃと１２Ｄとの
間には測定流体が内部に流れない円筒状のトルクチュブ
１４が固定されている。
【００２０】このトルクチュブ１４は、具体的には図２
（Ａ）（Ｂ）に示すような構成となっている。図２
（Ａ）は側面図、図２（Ｂ）は断面図である。歪ゲージ
Ｒg1とＲ g4、歪ゲージＲg2とＲg3は、それぞれの歪ゲー
ジがトルクチューブ１４の軸方向（Ｙ方向）に対して対
称であり、通常は４５ｄｅｇ方向に貼り付けられてい
る。
（Ａ）（Ｂ）に示すような構成となっている。図２
（Ａ）は側面図、図２（Ｂ）は断面図である。歪ゲージ
Ｒg1とＲ g4、歪ゲージＲg2とＲg3は、それぞれの歪ゲー
ジがトルクチューブ１４の軸方向（Ｙ方向）に対して対
称であり、通常は４５ｄｅｇ方向に貼り付けられてい
る。
【００２１】これ等の歪ゲージＲg1、Ｒg2、Ｒg3、及び
Ｒg4は、図３に示すように互にブリッジ状に接続されて
歪検出センサ１５が構成され、歪ゲージＲg1及びＲg4の
接続点と歪ゲージＲg2及びＲg3の接続点には電源電圧Ｅ
iが印加される。
Ｒg4は、図３に示すように互にブリッジ状に接続されて
歪検出センサ１５が構成され、歪ゲージＲg1及びＲg4の
接続点と歪ゲージＲg2及びＲg3の接続点には電源電圧Ｅ
iが印加される。
【００２２】そして、歪ゲージＲg1及びＲg2の接続点
と、歪ゲージＲg3及びＲg4の接続点からは一般的には剪
断歪に対応するコリオリ信号ｅ01を取り出すことができ
る。つまり、図３に示すブリッジ構成は剪断歪を検出す
るときの構成である。
と、歪ゲージＲg3及びＲg4の接続点からは一般的には剪
断歪に対応するコリオリ信号ｅ01を取り出すことができ
る。つまり、図３に示すブリッジ構成は剪断歪を検出す
るときの構成である。
【００２３】このような接続により、コリオリ信号ｅ01
は ｅ01＝ＫS［（ΔＲg1／Ｒg1）−（ΔＲg4／Ｒg4）−
（ΔＲg2／Ｒg2）＋（ΔＲg3／Ｒg3）］／４＝ＫS（ε1
−ε4−ε2＋ε3）／４ として求めることができる。ここで各ε1〜ε4は各歪ゲ
ージの歪値を示す。
は ｅ01＝ＫS［（ΔＲg1／Ｒg1）−（ΔＲg4／Ｒg4）−
（ΔＲg2／Ｒg2）＋（ΔＲg3／Ｒg3）］／４＝ＫS（ε1
−ε4−ε2＋ε3）／４ として求めることができる。ここで各ε1〜ε4は各歪ゲ
ージの歪値を示す。
【００２４】また、歪ゲージはトルクチューブ１４の軸
の回りの剪断歪のみを検出できれば良く必ずしも図３に
示す歪ゲージＲg1、Ｒg2、Ｒg3、及びＲg4の４個を必要
とするものではない。
の回りの剪断歪のみを検出できれば良く必ずしも図３に
示す歪ゲージＲg1、Ｒg2、Ｒg3、及びＲg4の４個を必要
とするものではない。
【００２５】例えば、歪ゲージＲg1、Ｒg2、Ｒg3及びＲ
g4のうち歪ゲージＲg2、Ｒg3を省略して、歪ゲージＲg1
とＲg4の２個を用いても検出できる。歪ゲージＲg1とＲ
g4を用いたときは、 ｅ01´＝ＫS［（ΔＲg1／Ｒg1）−（ΔＲg4／Ｒg4）］
／４＝ＫS（ε1−ε4）／４ になるように各歪ゲージを接続すれば良い。
g4のうち歪ゲージＲg2、Ｒg3を省略して、歪ゲージＲg1
とＲg4の２個を用いても検出できる。歪ゲージＲg1とＲ
g4を用いたときは、 ｅ01´＝ＫS［（ΔＲg1／Ｒg1）−（ΔＲg4／Ｒg4）］
／４＝ＫS（ε1−ε4）／４ になるように各歪ゲージを接続すれば良い。
【００２６】次に、以上のように構成された実施例の動
作について、図４と図５を用いて説明する。図４は測定
チューブを加振したときの加振状態を示す説明図、図５
は測定チューブに測定流体が流れてコリオリ力が生じた
ときの状態を説明する説明図である。
作について、図４と図５を用いて説明する。図４は測定
チューブを加振したときの加振状態を示す説明図、図５
は測定チューブに測定流体が流れてコリオリ力が生じた
ときの状態を説明する説明図である。
【００２７】先ず、測定チューブに測定流体が流れてい
ないときの振動状態について図４を用いて説明する。図
４は加振装置１３により紙面に垂直なＺ方向に測定チュ
ーブ１２を振動させたときを示している。
ないときの振動状態について図４を用いて説明する。図
４は加振装置１３により紙面に垂直なＺ方向に測定チュ
ーブ１２を振動させたときを示している。
【００２８】実線が測定チューブ１２のループ部１２Ｅ
の基準位置であり、上下の点線の範囲で加振装置１３に
より単振動をさせる。ここでは、特に上の点線での位置
における測定チューブ１２の直管部１２Ａと１２Ｂでの
“ねじれ”の方向も矢印で示してある。
の基準位置であり、上下の点線の範囲で加振装置１３に
より単振動をさせる。ここでは、特に上の点線での位置
における測定チューブ１２の直管部１２Ａと１２Ｂでの
“ねじれ”の方向も矢印で示してある。
【００２９】この場合は、測定流体が流れていないの
で、トルクチューブ１４全体が加振装置１３によりＹ軸
を中心として回転するだけであり、“ひねり”は発生せ
ず、したがってトルク（剪断歪）は歪検出センサ１５で
検出されない。ただし、これは理想的な場合であり、実
際には、少しでも振動系に非対称性があると、わずかで
はあるが、トルク（剪断歪）が検出される。
で、トルクチューブ１４全体が加振装置１３によりＹ軸
を中心として回転するだけであり、“ひねり”は発生せ
ず、したがってトルク（剪断歪）は歪検出センサ１５で
検出されない。ただし、これは理想的な場合であり、実
際には、少しでも振動系に非対称性があると、わずかで
はあるが、トルク（剪断歪）が検出される。
【００３０】次に、測定チューブ１２に測定流体が流れ
ているときの振動状態について図５を用いて説明する。
図５は加振装置１３により紙面に垂直なＺ方向に測定チ
ューブ１２を振動させた状態で、測定流体Ｑを流したと
きを示している。
ているときの振動状態について図５を用いて説明する。
図５は加振装置１３により紙面に垂直なＺ方向に測定チ
ューブ１２を振動させた状態で、測定流体Ｑを流したと
きを示している。
【００３１】実線は加振装置１３による加振による変形
を、点線は測定流体が流れて生じるコリオリ力による測
定チューブ１２のチューブ部１２Ｅの変形をそれぞれ示
している。チューブ部１２Ｅの上流側と下流側とでは互
いに反対方向（点線方向）にコリオリ力によりねじられ
る。
を、点線は測定流体が流れて生じるコリオリ力による測
定チューブ１２のチューブ部１２Ｅの変形をそれぞれ示
している。チューブ部１２Ｅの上流側と下流側とでは互
いに反対方向（点線方向）にコリオリ力によりねじられ
る。
【００３２】したがって、トルクチューブ１４の上流側
と下流側では逆方向の回転力が加わり、この結果、トル
クチューブ１４に“ひねり”が発生し、歪検出センサ１
５によりトルク（剪断歪）が検出される。
と下流側では逆方向の回転力が加わり、この結果、トル
クチューブ１４に“ひねり”が発生し、歪検出センサ１
５によりトルク（剪断歪）が検出される。
【００３３】この剪断歪はコリオリ力、すなわち測定チ
ューブ１２の中を流れる質量流量に比例するので、この
剪断歪を歪検出センサ１５で検出することにより質量流
量を求めることができる。
ューブ１２の中を流れる質量流量に比例するので、この
剪断歪を歪検出センサ１５で検出することにより質量流
量を求めることができる。
【００３４】実際には、完全対称に振動系を構成するこ
とが難しい、或いは加振振動成分の情報を得るために、
故意に非対称性に構成するので、コリオリ力による振動
と加振による振動が加算されたものが、剪断歪として測
定される。
とが難しい、或いは加振振動成分の情報を得るために、
故意に非対称性に構成するので、コリオリ力による振動
と加振による振動が加算されたものが、剪断歪として測
定される。
【００３５】しかし、この加算された剪断歪による信号
は、コリオリ成分と加振成分との位相が９０°異なるこ
とを利用して図示しない信号処理回路で同期整流などを
行ってこれらを電気的に分離して正確な質量流量を算出
する。
は、コリオリ成分と加振成分との位相が９０°異なるこ
とを利用して図示しない信号処理回路で同期整流などを
行ってこれらを電気的に分離して正確な質量流量を算出
する。
【００３６】なお、今までの説明では、トルクチューブ
としては、チューブ状のものを想定して説明したが、プ
レート状など他の形状でも良く、また検出素子としては
トルク・応力・歪などの形で検出できるものであれば他
の検出素子でも良い。さらに、測定チューブは図１に示
す形状だけでなく、例えばチューブの本数を２本以上に
分離したものでも良い。
としては、チューブ状のものを想定して説明したが、プ
レート状など他の形状でも良く、また検出素子としては
トルク・応力・歪などの形で検出できるものであれば他
の検出素子でも良い。さらに、測定チューブは図１に示
す形状だけでなく、例えばチューブの本数を２本以上に
分離したものでも良い。
【００３７】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、第１に、加振成分の感度が小さ
くコリオリ成分にのみ感度がある構造にしたので、効率
良くコリオリ成分を検出することができる。
うに、本発明によれば、第１に、加振成分の感度が小さ
くコリオリ成分にのみ感度がある構造にしたので、効率
良くコリオリ成分を検出することができる。
【００３８】第２に、測定チューブの上下流にそれぞれ
センサを設ける必要がなく１つにまとめることができる
ので、シンプルな構造にできるだけでなく、温度変動な
どの環境の変化に対して安定である。
センサを設ける必要がなく１つにまとめることができる
ので、シンプルな構造にできるだけでなく、温度変動な
どの環境の変化に対して安定である。
【００３９】第３に、測定チューブのループ部は、直管
部を介してこのループ部の曲げ振動を“ねじり”振動に
変えて固定端に固定する構造であるので、測定チューブ
への応力集中を緩和させることができる。
部を介してこのループ部の曲げ振動を“ねじり”振動に
変えて固定端に固定する構造であるので、測定チューブ
への応力集中を緩和させることができる。
【図１】本発明の１実施例の構成を示す構成図である。
【図２】図１に示すトルクチューブの構成を示す斜視図
である。
である。
【図３】図２に示す歪ゲージの構成を説明する説明図で
ある。
ある。
【図４】図１に示す実施例の動作を説明する第１の説明
図である。
図である。
【図５】図１に示す実施例の動作を説明する第２の説明
図である。
図である。
【図６】従来のコリオリ質量流量計の構成を示す構成図
である。
である。
【図７】図６に示すコリオリ質量流量計の動作を説明す
る説明図である。
る説明図である。
１ チューブ ２、３ 固定端 ４ 加振器 ５、６ 変位センサ １０、１１ 固定端 １２ 測定チューブ １２Ａ、１２Ｂ 直管部 １２Ｃ、１２Ｄ 屈曲部 １２Ｅ ループ部 １３ 加振装置 １４ トルクチューブ
Claims (1)
- 【請求項１】測定流体が流され２つの固定端を結ぶ軸上
に双方から直線状に延長され中央部近傍の各屈曲部にお
いて間隔を保持して前記軸から離れる方向にループ状に
屈曲されるループ部を有する測定チューブと、前記軸上
であって前記各屈曲部の間に固定され前記ループ部の変
位によるねじれに基づいて発生するセンサ信号を検出す
るトルクチューブと、前記ループ部をこのループによっ
て形成されるループ面に垂直な方向に加振させる加振手
段とを具備し、前記センサ信号から前記測定流体の質量
流量を測定するコリオリ質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10364894A JPH07311064A (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | コリオリ質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10364894A JPH07311064A (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | コリオリ質量流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07311064A true JPH07311064A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=14359602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10364894A Pending JPH07311064A (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | コリオリ質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07311064A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016003447A1 (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-07 | Micro Motion, Inc. | Fluid momentum detection method and related apparatus |
| WO2020153835A1 (en) * | 2019-01-21 | 2020-07-30 | Berkin B.V. | Micro-coriolis mass flow sensor with strain measurement devices |
-
1994
- 1994-05-18 JP JP10364894A patent/JPH07311064A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016003447A1 (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-07 | Micro Motion, Inc. | Fluid momentum detection method and related apparatus |
| CN106461430A (zh) * | 2014-07-01 | 2017-02-22 | 高准公司 | 流体动量检测方法和相关装置 |
| JP2017525947A (ja) * | 2014-07-01 | 2017-09-07 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | 流体モメンタム検出方法及び関連装置 |
| US10539442B2 (en) | 2014-07-01 | 2020-01-21 | Micro Motion, Inc. | Fluid momentum detection method and related apparatus |
| CN106461430B (zh) * | 2014-07-01 | 2020-10-16 | 高准公司 | 流体动量检测方法和相关装置 |
| WO2020153835A1 (en) * | 2019-01-21 | 2020-07-30 | Berkin B.V. | Micro-coriolis mass flow sensor with strain measurement devices |
| NL2022423B1 (en) * | 2019-01-21 | 2020-08-18 | Berkin Bv | Micro-Coriolis mass flow sensor with resistive readout. |
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