JPH0730050A - リ−ドフレ−ム - Google Patents

リ−ドフレ−ム

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Publication number
JPH0730050A
JPH0730050A JP19704193A JP19704193A JPH0730050A JP H0730050 A JPH0730050 A JP H0730050A JP 19704193 A JP19704193 A JP 19704193A JP 19704193 A JP19704193 A JP 19704193A JP H0730050 A JPH0730050 A JP H0730050A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pad
lead frame
lead
resin
chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19704193A
Other languages
English (en)
Inventor
Tokuo Torisu
徳夫 鳥巣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui High Tec Inc
Original Assignee
Mitsui High Tec Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui High Tec Inc filed Critical Mitsui High Tec Inc
Priority to JP19704193A priority Critical patent/JPH0730050A/ja
Publication of JPH0730050A publication Critical patent/JPH0730050A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 傾き、反り、クロスバ−等の形状不良が生じ
ることなく、パッドをリード面より下げ、ボンディング
ワイヤ−の短縮、パッケージの薄手化が図れ、また封止
樹脂との密着性が優れるリードフレームを得る。 【構成】 チップを搭載するパッド5を下方に変位させ
たリードフレームに1おいて、パッド5を支持するサポ
−トバ−6の樹脂封止予定領域内に半抜き7切り下げを
複数箇所設けて、パッド5をリード面から下げたリード
フレーム1である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体チップを搭載する
パッドを下方に変位したリードフレームに関する。
【0002】
【従来の技術】半導体装置はリードフレームのパッドに
半導体チップ(以下 チップという)を接着剤を介し固
着搭載し、チップ端子とリードフレームのインナーリー
ドをボンディングワイヤ−で溶接接続し、その後、樹脂
封止して製造される。
【0003】電子機器に不可欠な半導体装置は小型化、
薄手化および高速化の要請が強く、この対応にチップの
高集積度化、リードの多ピン化、またパッケ−ジ樹脂封
止厚みの薄手化等が図られている。こうした中でもパッ
ドをリ−ド面より下げて、該パッドに搭載するチップと
リ−ドの高さの差を小さくして薄手化し、またボンディ
ングワイヤを短くし信号の高速化を図るものが例えば特
開昭62−193162号公報、特開平2−13995
4号公報に提案されている。
【0004】
【この発明が解決しようとする課題】パッドをリ−ド面
より下げることで前記のような作用効果があるが、反
面、この位置変位はパッドを支持しているサポ−トバ−
を折曲げて一部を傾斜曲げあるいは傾斜部の板厚を薄く
することでなされるから、サポ−トバ−に残留応力が生
じ、またその歪みによる長さの変化に微妙な差が存在す
ることがあってリードパターンが影響を受け、リードフ
レームが傾いたり、クロスバ−等を生じたり、あるいは
パッドに反りや傾きが生じることがある。
【0005】サポ−トバ−はパッドを4本で支持するも
のや、2本で支持するものがあるが、これら何れの場合
にもパッドを下方に変位するには、支持しているすべて
のサポ−トバ−を同じ長さ押し下げねばならぬために、
その成形加工は高度の熟練および技能を要する。また加
工成形装置の製作、メンテナンスも難しく時間を要す
る。
【0006】この発明はリードフレームに傾きやクロス
バ−を生じることなく、またパッドを反りや傾きを生じ
ることなくリード面より下げて、ボンディングワイヤ−
の短縮と樹脂封止厚の薄手化が図れ、また封止樹脂との
密着性が優れるリードフレームを目的とする。さらに、
パッドの下方への変位加工が高度の熟練を要さずにでき
るリードフレームを他の目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨はチップを
搭載するパッドを下方に変位させたリードフレームにお
いて、パッドを支持するサポ−トバ−の樹脂封止予定領
域内に半抜き切り下げを複数箇所設け、パッドをリード
面から下げたことを特徴とするリードフレームにある。
【0008】
【作用】本発明のリードフレームは前記のようにサポ−
トバ−の複数箇所に半抜きを施して切り下げパッドを下
方に変位しているので、サポ−トバ−には板面内の残留
応力が殆どなく傾きおよび反りを生ぜず平坦度がすぐれ
る。また半抜きした箇所は樹脂封止予定領域内であるか
ら、樹脂封止した際、当該樹脂が半抜き段差部で密着面
積が拡がるとともに強く密着し、樹脂の耐剥離性、耐ク
ラック性が向上し樹脂封止厚みを薄くできる。
【0009】パッドの下方への変位は、サポ−トバ−の
傾斜押し曲げでなく半抜きであるから、加工成形装置の
製作その操作およびメンテナンスが容易となる。
【0010】
【実施例】次に、本発明について1実施例に基づき図面
を参照し詳細に説明する。図面において、1はリードフ
レームで、2はインナーリード、3はアウターリード、
4はタイバ−である。
【0011】5はチップを搭載するパッドで、サポ−ト
バ−6にて支持されている。サポ−トバ−6の他端はタ
イバ−4に接続されている。この実施例ではインナーリ
ード2がパッド5の四側面に臨んで配設され、サポ−ト
バ−6は四箇所に設けられているが、これに限らずイン
ナーリードがパッドの二側面に臨み、サポ−トバ−を二
箇所に設けたリードフレームであってもよい。
【0012】サポ−トバ−6のパッド5に近い側の樹脂
封止予定域内には、半抜き7加工が複数箇所に施され、
パッド5をインナーリード1の面より下げている。半抜
き7は例えばリードフレーム素材金属の板厚の10〜5
0%とされるが、その程度は任意にできる。また半抜き
7は間隔をおいて複数個形成され例えばこの実施例では
一つサポ−トバ−6に三段設けている。この個数と半抜
き切り下げ深さはパッド5の大きさ、チップのサイズ等
により決められる。
【0013】半抜き7の加工はパンチとダイにより行わ
れ、サポ−トバ−6を板厚方向に中途切り下げする。該
加工は斜方向への押し曲げでないので残留応力が少な
く、またパッド5を支持する各サポ−トバ−6は一括し
て鉛直方向下げられ、パッド5は平坦姿勢を維持して下
方に変位する。
【0014】なお、リードフレーム1のサイドレ−ル8
で、9はガイドホ−ルである。
【0015】該リードフレーム1のパッド5に、チップ
10を接着剤あるいは両面接着テ−プ等を介して固着し
搭載する。パッド5は前述のように下げられているの
で、パッド5に搭載したチップ10と、インナーリード
2先端面の高さの差は小さく、この両者を接続するボン
ディングワイヤ−11は長さを短くでき、信号の伝送時
間が短縮し信号処理の高速化に寄与する。
【0016】また、パッド5は傾きや反りがなく下げら
れ、左右および前後方向とも同一水平面であるから、前
記ボンディングワイヤ−11は長さは同様にできボンデ
ィング作業がし易くなる。
【0017】ワイヤ−ボンディングした後、樹脂封止し
パッケージとなるが、前記サポ−トバ−6に形成した半
抜き7は樹脂封止領域内にあるから、樹脂12の密着性
が強まり樹脂厚みを薄くできる。
【0018】
【発明の効果】本発明はサポ−トバ−の樹脂封止予定領
域に半抜き加工を複数箇所施し、パッドをインナーリー
ドより下げているので、リードフレームには残留応力が
殆どなく、また垂直方向に下がりパッドは傾きや反りを
生じることなく平坦姿勢が高精度に保たれる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例におけるリードフレームを示
す図。
【図2】本発明の1実施例におけるパッドの下方への変
位を示す図。
【図3】本発明の1実施例におけるリードフレームにチ
ップを搭載し樹脂封止した図。
【符号の説明】
1 リードフレーム 2 インナーリード 3 アウターリード 4 タイバ− 5 パッド 6 サポ−トバ− 7 半抜き 8 サイドレ−ル 9 ガイドホ−ル 10 チップ 11 ボンディングワイヤ− 12 樹脂

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チップを搭載するパッドを下方に位置さ
    せたリードフレームにおいて、パッドを支持するサポ−
    トバ−の樹脂封止予定領域内に半抜き切り下げを複数箇
    所設け、パッドをリード面から下げたことを特徴とする
    リードフレーム。
JP19704193A 1993-07-13 1993-07-13 リ−ドフレ−ム Pending JPH0730050A (ja)

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JP19704193A JPH0730050A (ja) 1993-07-13 1993-07-13 リ−ドフレ−ム

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JP19704193A JPH0730050A (ja) 1993-07-13 1993-07-13 リ−ドフレ−ム

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JPH0730050A true JPH0730050A (ja) 1995-01-31

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ID=16367744

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JP19704193A Pending JPH0730050A (ja) 1993-07-13 1993-07-13 リ−ドフレ−ム

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002110887A (ja) * 2000-09-27 2002-04-12 Rohm Co Ltd アイランド露出型半導体装置
JP2006080141A (ja) * 2004-09-07 2006-03-23 Stanley Electric Co Ltd 発光装置、その発光装置に使用するリードフレーム、及びリードフレームの製造方法
JP2013143519A (ja) * 2012-01-12 2013-07-22 Fuji Electric Co Ltd 接続子および樹脂封止型半導体装置
JP2014082384A (ja) * 2012-10-17 2014-05-08 Renesas Electronics Corp 半導体装置およびその製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002110887A (ja) * 2000-09-27 2002-04-12 Rohm Co Ltd アイランド露出型半導体装置
JP2006080141A (ja) * 2004-09-07 2006-03-23 Stanley Electric Co Ltd 発光装置、その発光装置に使用するリードフレーム、及びリードフレームの製造方法
JP4486451B2 (ja) * 2004-09-07 2010-06-23 スタンレー電気株式会社 発光装置、その発光装置に使用するリードフレーム、及びリードフレームの製造方法
JP2013143519A (ja) * 2012-01-12 2013-07-22 Fuji Electric Co Ltd 接続子および樹脂封止型半導体装置
US9252086B2 (en) 2012-01-12 2016-02-02 Fuji Electric Co., Ltd. Connector and resin-sealed semiconductor device
JP2014082384A (ja) * 2012-10-17 2014-05-08 Renesas Electronics Corp 半導体装置およびその製造方法

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