JPH0726206B2 - 薬品液による連続処理装置 - Google Patents

薬品液による連続処理装置

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JPH0726206B2
JPH0726206B2 JP3179806A JP17980691A JPH0726206B2 JP H0726206 B2 JPH0726206 B2 JP H0726206B2 JP 3179806 A JP3179806 A JP 3179806A JP 17980691 A JP17980691 A JP 17980691A JP H0726206 B2 JPH0726206 B2 JP H0726206B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば鍍金処理に先だ
ってワークパネルに脱脂処理等を施す薬品による連続処
理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にスルーホールプリント基板のよう
な多孔板からなるワークパネルは鍍金処理に先だって鍍
金皮膜の外観や密着性などをよくするため、仕上げ洗浄
としてアルカリ液中での脱脂、更に鍍金の密着性を向上
させるために、活性化酸浸漬及び水洗が行われている。
【0003】これらアルカリや酸、水洗等の薬品液によ
る処理装置は、各種の薬品液を収容した処理槽及び各処
理槽間に配設されたローラコンベアやネットコンベア等
を有し、各処理槽内の薬品液内へ順次ワークパネルをコ
ンベアによって順送りして浸漬することによってワーク
パネルに薬品処理を行っている。
【0004】またコンベアに代わってラックハンガーを
設け、ラックハンガーにワークパネルを吊り下げて順次
処理槽内の薬品液へワークパネルを浸漬する薬品液によ
る連続処理装置がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記コンベアによって
ワークパネルを搬送する薬品液による処理装置による
と、コンベア上にワークパネルを寝かせて搬送すること
から、ワークパネルの横または縦の寸法に応じた寸法の
コンベア及び処理槽を必要とし、装置全体の大型化を来
し、また処理槽内の薬品液による処理時間の調整には装
置の長さが一定の場合にはコンベアによる搬送速度を落
す等の調整管理を要し、作業能率の低下を招き、更に各
薬品液の混和を防ぐために、各処理槽にワークパネル表
面に付着した薬品液を除去する絞り機構を設ける必要が
あり、そのため装置全体の大型化及び設備コストの高騰
を招き、更に使用済の薬品液の回収が充分に達成でき
ず、薬品液の消費に伴う経済性及び汚染物排出による公
害の原因になる等の不具合がある。
【0006】またラックハンガーによりワークパネルを
搬送する装置にあっては、ワークパネルを搬送した後の
ラックハンガーを元の位置に復帰せしめたり、ワークパ
ネルの着脱のための作業を要し、作業効率の低下を招く
等の不具合がある。
【0007】従って本発明の目的は、装置の小型化、作
業効率の向上及び薬品液の回収が充分得られる薬品液に
よる連続処理装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明による薬品液による連続処理装置は、薬品液を収容し
た複数処理槽を配設し、各処理槽内の薬品液へワークパ
ネルを順次浸漬してワークパネルに薬品処理を施す連続
処理装置において、列設された複数の処理槽と、各処理
槽内に設けられ、上方から降下するワークパネルを処理
槽内で起立状態に保持し、かつ保持されたワークパネル
を上昇させるワーク保持部材と、処理槽の上方に配設さ
れ、かつ処理槽の列設方向に沿って移動する運搬部材
と、運搬部材の下端に設けられ、ワーク保持部材によっ
て上昇せしめられたワークパネルを正逆回転駆動する一
対のローラ間に挟み込んで上昇及び降下させる絞りロー
ラと、運搬部材内に設けられ、絞りローラによつて上昇
せしめられたワークパネルを上昇位置に保持する収納部
材とを有するものである。
【0009】
【実施例】以下、本発明による薬品液による連続処理装
置の一実施例を図によって説明する。
【0010】図1は薬品液による連続処理装置1の要部
を示す一部破断側面図である。処理装置1はワークパネ
ルwに薬品処理を施すための異なった薬品液が各々収容
された処理槽2a,2b,2c…がワークパネルwの薬
品処理順に従って列設されている。
【0011】各処理槽2a,2b,2c…内には各々パ
ネル支持部材3,3…及びリフト部材4,4…からなる
ワーク保持部材が配設されている。パネル支持部材3,
3…は間隙3b,3b…を介して対向する板状体3a,
3a…からなり、対向する板状体3a,3aによって形
成される間隙3b,3b…は上方に向って開放され、間
隙3b,3b…へ上方から挿入されるワークパネルw,
w…を起立状態に保持し、かつ隣設する処理槽2a,2
b,2c…内のパネル支持部材3,3…に形成された間
隙3b,3b…間、即ちパネル支持部材3,3…に保持
されたワークパネルw,w…間の離間距離aが一定にな
るように構成されている。
【0012】一方リフト部材4,4…はシリンダ等(図
示せず)によって上下動され、各処理槽2a,2b,2
c…内のパネル支持部材3,3…によって起立状態に保
持されたワークパネルw,w…を、間隙3b,3b…に
よって起立した状態を維持しながら所定量上昇させられ
るようになっている。
【0013】各処理槽2a,2b,2c…の上部は、ワ
ークパネルw,w…の挿入を許容する幅のスリット5
a,5a…を有し、かつ薬品液に侵されにくい材料、例
えばテフロンゴムやシリコンゴム製の遮蔽板5,5…で
覆い、薬品液の蒸発等による放散を阻止し、悪臭、汚染
物排出による作業環境の悪化を防ぐと共に薬品液の消費
量低減を図っている。
【0014】各処理槽2a,2b,2c…の上方には、
その列設方向に沿ってガイドレール10が配設され、更
にガイドレール10はループ状に形成されている。ガイ
ドレール10には移動ローラ9,9…を介して複数個の
運搬部材6,6…が懸下され、ガイドレール10に案内
されて循環移動するようになっている。
【0015】各運搬部材6,6…の移動ローラ9,9
は、本装置の各部の作動を予め入力された情報に基づい
て各部に作動指示を与える制御装置(図示せず)からの
指示に従って駆動する駆動体、例えばモータM,M…に
よって駆動され、各運搬部材6,6…が各々独立してガ
イドレール10に沿って移動可能になされている。
【0016】運搬部材6,6…の下端にはリフト部材
4,4…によって持ち上げられたワークパネルwを駆動
装置、例えばモータ(図示せず)によって回転駆動され
る一対のローラ7a,7a間に挟んで持ち上げる絞りロ
ーラ7が設けられている。絞りローラ7のローラ7a,
7a間で挟んで持ち上げられたワークパネルwは絞りロ
ーラ7の上方に位置する運搬部材6内に設けられ、収納
部材8を形成する保持板8a,8a間に搬入される。絞
りローラ7によってワークパネルwを持ち上げる際、ワ
ークパネルw表面に付着している薬品液は対向するロー
ラ7a,7aによって絞られ、除去されて遮蔽板5,5
…上に落下してスリット5a,5a…から処理槽2a,
2b,2c…へ回収される。
【0017】運搬部材6,6…に設けられた収納部材
8,8…を構成する保持板8a,8a間に保持されたワ
ークパネルwは、絞りローラ7のローラ7a,7aを前
記回転方向と逆方向に回転駆動することにより、起立状
態を維持したまま下方へ送り出され、下方に位置する処
理槽2a,2b…内に設けられてたパネル支持部材3,
3…の間隙3b,3b…内へ起立した状態で挿入保持さ
れるようになっている。なお、各運搬部材6,6…に設
けられた各絞りローラ7,7…及びリフト装置4,4…
は各々独立して制御装置からの指示により駆動される。
【0018】更に各処理槽2a,2b,2c…の下部及
び上部は各々パイプ13、14を介して貯蔵タンク11
と接続され、処理槽2a,2b,2c…及び貯蔵タンク
11,11,11…間において薬品液を循環させること
により処理槽2a,2b,2c…本体の小型化を可能に
し、処理装置の設計及び配設の自由度の大幅な拡大を可
能にしている。図中符号12は薬品液の再生装置であ
る。
【0019】次にこのように構成された本実施例におけ
る処理装置の作動について説明する。
【0020】ワークパネルwに最初の薬品液による処理
を施すべき処理槽2aより上流側に位置するワークパネ
ル投入位置(図示せず)において絞りローラ7のローラ
7a,7aを回転駆動せしめ、ワークパネルwを下方か
ら挟み込み運搬部材6に設けた収納部8の保持板8a,
8a間にセツトし、絞りローラ7を停止する。
【0021】次に制御装置からの指示により、モータM
を起動して移動ローラ9を回転せしめ、ガイドレール1
0に沿って運搬部材6を走行させ、図1に示すように上
流端に位置する処理槽2a上に達した絞りローラ7を構
成する一対のローラ7a,7aの当接部とパネル支持部
材3の間隙3bとが対向する位置でモータMを、従って
運搬部材6を停止する。
【0022】次に絞りローラ7のローラ7a,7aを前
回とは逆方向に回転駆動し、収納部材8内に一点鎖線
w′で示す上昇位置に収容されたワークパネルwを下方
へ送り出し、遮蔽板5に形成したスリット5aを貫通
し、処理槽2a内に設けたパネル支持部材3の板状体3
a,3aによって形成された間隙3bへワークパネルw
を挿入して処理槽2a内の薬品液にワークパネルwを浸
漬し、かつ絞りローラ7のローラ7a,7aの回転を停
止する。
【0023】予め設定された処理時間経過後、パネル支
持部材3に保持されたワークパネルwは、制御装置から
の指示により作動するリフト部材4によって間隙3bに
案内されつつ起立した状態でワークパネルwを挟み込む
方向に回転駆動する絞りローラ7に当接するまで持ち上
げられる。
【0024】絞りローラ7に当接するまでリフト装置4
によって持ち上げられたワークパネルwは回転駆動する
絞りローラ7のローラ4a,7aによって更に上方へ送
られ、収納部材8の保持板8a,8a間に一点鎖線w′
で示すように収納される。
【0025】次に制御装置からの指示よりモータM、従
って移動ローラ9を回転駆動せしめ、ガイドレール10
に沿って運搬部材6を次の処理を行う処理槽2b上に移
動する。運搬部材6が処理槽2b上に達すると運搬部材
6を停止し、収納部材8内に収容されたワークパネルw
を絞りローラ7のローラ7a,7aの回転によって下降
せしめ、処理槽2b内のパネル支持部材3の間隙3b内
へ挿入する。予め設定された所定処理時間経過後、制御
装置からの指示によりリフト部材4によって上昇せし
め、絞りローラ7によって収納部材8内に収容する。
【0026】なお、次に処理すべきワークパネルwは、
先のワークパネルwが処理槽2aにおいて薬品液によっ
て処理されている間に前記ワークパネル投入位置におい
て続いてガイドレール10に沿って循環移動して来る搬
送部材6に前記同様セットされる。
【0027】上記作動を繰り返すことにより次々とワー
クパネル投入位置で運搬部材にセットされたワークパネ
ルwは各処理槽2a,2b,2c…へ順次搬送され、各
処理槽2a,2b,2c…内の薬品液によって処理され
る。
【0028】各処理槽2a,2b,2c…の薬品液によ
る処理時間は各薬品液による処理が最適に行われるよう
に絞りローラ7によりワークパネルwを下降せしめ、パ
ネル支持部材3に挿入してからリフト部材4及び絞りロ
ーラ7によって各処理槽2a,2b,2c…の薬品液か
ら持ち上げるまでの浸漬時間を制御装置に予め設定する
ことで容易に調整、変更ができ、各処理槽における処理
時間が異なる場合でも柔軟に対応できる。
【0029】以上説明では、運搬部材がループ状に配設
されたガイドレールに沿って循環移動する場合について
記載したが、所定範囲、例えば列設された処理槽の上方
のみガイドレールを設け運搬部材を往復動させることも
可能である。
【0030】また上記実施例では、ワーク保持部材を処
理槽内においてパネルを起立状態に保持するパネル支持
部材と、パネル支持部材によって保持されたワークパネ
ルを上昇せしめるリフト部材とにより構成したが、図2
に要部を示すように互いに正逆回転駆動されるローラ1
5,15…を適宜間隔で上下方向に沿って配列し、ロー
ラ15,15…間にワークパネルwを挟み込んでワーク
パネルwを昇降させるよう構成してもよい。
【0031】更に運搬部材の下端に設けられた絞りロー
ラによってワークパネルの昇降及び薬品液の絞りを行う
ように構成した実施例について説明したが、絞りローラ
をワークパネル昇降用ローラと、ワークパネルに付着し
た薬品液を除去する絞り用ローラ(例えばポリビニルア
ルコール製)とに機能別に対をなすローラによって構成
してもよく、その際図3に要部を示すように昇降用ロー
ラ16,16…を上下2段に設け、その中間に絞り用ロ
ーラ17,17を配設することも可能である。また運搬
部材6内に設けられる収納部材を互いに対向する正逆回
転駆動するローラ18,18…を上下方向に沿って適宜
間隔で配設し、ローラ18,18…間でワークパネルw
を挟み込んでワークパネルwを収納部内に収納及び繰り
出すように構成してもよい。
【0032】次に、本発明による薬品液による連続処理
装置の他の実施例を図4及び5によって説明する。な
お、図4及び5において図1と対応する部位には説明の
都合上同一符号を付する。
【0033】図4及び5は薬品液による連続処理装置1
の要部を示す一部破断側面図である。処理装置1はワー
クパネルwの処理順に従って異なった薬品液が各々収容
され、かつ上方が開放する処理槽2a,2b,2c…が
連設している。
【0034】各処理槽2a,2b,2c…内には各々パ
ネル支持部材3,3…及びリフト部材4,4…からなる
ワーク保持部材が配設されている。パネル支持部材3に
は板状体3a,3aによって上方へ開放する間隙3bが
形成され、間隙3bへ上方から挿入されるワークパネル
wを起立状態に保持するように構成されている。隣設す
る処理槽2a,2b,2c…内に配設されたパネル支持
部材3,3…に形成された間隙3b,3b…間の離間距
離aは一定になるよう形成されている。
【0035】一方リフト部材4,4…はシリンダ(図示
せず)によって上下動され、各処理槽2a,2b,2c
…内のパネル支持部材3,3…によって起立状態に保持
されたワークパネルw,w…を間隙3b,3b…によっ
て起立状態に維持された状態で同期して所定量上昇させ
られるようになっている。
【0036】各処理槽2a,2b,2c…の上部は、ワ
ークパネルw,w…の挿入を許容する幅のスリット5
a,5a…を有する遮蔽板5,5…で覆われている。
【0037】連設した処理槽2a,2b…の上方には、
処理槽2a,2b…の列設方向と平行に前記パネル支持
部材3,3…に形成した間隙3b,3b…間の離間距離
aだけシリンダ(図示せず)によって往復動する運搬部
材6が配設されている。
【0038】運搬部材6の下端には、図4に示す運搬部
材6が後端移動位置にあるとき、前記間隙3b,3b…
と対向する複数の絞りローラ7,7…が設けられ、更に
運搬部材6には絞りローラ7によって持ち上げられたワ
ークパネルwを一点鎖線w′で示す上昇位置に両側面か
ら挟持する保持板8a,8aからなる収納部材8が設け
られている。
【0039】リフト部材4,4…によつて持ち上げられ
たワークパネルwを回転する一対のローラ7a,7a間
に挟んで上方へワークパネルwを持ち上げる際、ワーク
パネルwに表面付着した薬品液はローラ7a,7aによ
つて絞られ、除却されて遮蔽板5,5…上に落下して処
理槽2a,2b…へ回収される。
【0040】また絞りローラ7のローラ7a,7aは、
図3に示す運搬部材6が前端移動位置にあるとき、前記
回転方向と逆方向に回転駆動され、収納部材8の保持板
8a,8a間に保持されたワークパネルwは下方へ送り
出され、下方に位置する処理槽2b,2c…内に設けら
れたパネル支持部材3,3…に形成した間隙3b,3b
…内へ挿入される。なお運搬部材6に設けられた各絞り
ローラ7,7…及びリフト部材4,4…は各々独立して
制御装置からの指示により駆動される。
【0041】更に各処理槽2a,2b,2c…は前記実
施例同様パイプ13、14を介して貯蔵タンク11に接
続され、貯蔵タンク11には薬品液の再生装置12が設
けてある。次に以上のように構成された薬品液による連
続処理装置の作動について説明する。
【0042】図5に示す運搬部材6が前端移動位置に位
置する状態で上流端に位置する処理槽2a内に設けたパ
ネル支持部材3の板状体3a,3aによって形成された
間隙3bへ薬品液に浸漬して処理すべきワークパネルw
を挿入してセットし、所定時間ワークパネルwを薬品液
により処理する。
【0043】次に図4に示すよう運搬部材6を制御装置
からの指示に基づいてシリンダ(図示せず)を駆動して
後端移動位置に移動せしめ、リフト部材4,4…を上昇
させて、パネル支持部材3に支持されたワークパネルw
を間隙3bによって起立状態に維持させつつ絞りローラ
7に当接するまで持ち上げる。
【0044】続いて回転駆動する絞りローラ7のローラ
7a,7aによってワークパネルwを上方へ送り、収納
部材8の保持板8a,8a間に一点鎖線w′で示す上昇
位置に収容する。
【0045】ワークパネルwを収納部材8に収容された
状態で運搬部材6を図5に示す前端移動位置へ移動せし
め、絞りローラ7のローラ7a,7aを前回とは逆方向
に回転駆動して収納部材8に収容されたワークパネルw
を下方へ送り出し、処理槽2b内に配設したパネル支持
部材3の間隙3b内へ挿入させて、処理槽2b内の薬品
液によってワークパネルwを処理すると供に、上流端処
理槽2a内に設けたパネル支持部材3の板状体3a,3
aによって形成される間隙3bへ次に処理すべきワーク
パネルwを挿入してセットして薬品液による処理を行
う。
【0046】上記作動を繰り返すことにより次々と処理
槽2aのパネル支持部材3の間隙3bにセットしたワー
クパネルwは各処理槽2b,2c…へ順次搬送され各処
理槽2a,2b,2c…内の薬品液によって処理され
る。
【0047】上記説明では、各処理槽2a,2b,2c
…内に設けられたリフト部材4,4…が同期して上昇す
る場合について記載したが、前記実施例同様、絞りロー
ラ7によるワークパネルwを降下せしめ、パネル支持部
材4に挿入してからリフト部材4及び絞りローラ7によ
って処理槽2a,2b,2c…から持ち上げるまでの処
理時間を各処理槽における処理条件に合わせて制御装置
によって各々制御することで各処理槽における処理時間
が異なる場合でも柔軟に対応できる。
【0048】更に本実施例でも前記同様に、ワーク保持
部材を互いに対向する正逆回転駆動されるローラを上下
方向に沿って配列し、対向するローラ間でワークパネル
を挟み込んでワークパネルを昇降させるように、また収
納部材を対向する正逆回転駆動するローラを上下方向に
沿って配設し、ローラ間でワークパネルを挟み込んでワ
ークパネルを収納部材内に収納及び繰り出すように構成
してもよい。また絞りローラをそれぞれ前記同様ワーク
パネル昇降用ローラと、ワークパネルに付着した薬品液
を除去する絞り用ローラとにより構成してもよい。
【0049】以上説明では、鍍金処理に先だって行われ
る薬品液による処理による処理について述べたが、他の
処理、例えば塗装の前処理として行われる脱脂、皮膜化
成処理等の前処理装置等にも適用し得る。
【0050】
【発明の効果】以上説明した本発明による薬品液による
連続処理装置によれば、列連した複数の処理槽内に設け
たワーク保持部材によって起立状態に保持し、かつワー
クパネルを持ち上げ、持ち上げられたワークパネルを処
理槽の列設方向に移動する運搬部材に設けた絞りローラ
によって起立状態を維持しつつ挟み込んで上昇せしめ、
同時に絞りローラによってワークパネル表面に付着した
薬品液を除去し、運搬部材によって隣設する次の処理槽
へ搬送して次々にワークパネルへ処理を施すことから、
ワークが常に起立した状態に保持され、また別途絞り機
構を設ける必要がないことから処理装置の大幅な小型
化、設備コストの低減、処理装置の設計及び配設の自由
度の大幅な拡大が図れ、また搬送速度の調整管理が容易
になり更に人手によるワークパネルの着脱作業を要しな
いことから作業効率の向上が期待できる。更に絞りロー
ラによって除去された薬品液が処理槽内に充分回収さ
れ、薬品液の消費に伴う経済性の向上及び公害防止が図
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の薬品液による連続処理装置の一実施例
を説明する一部破断側面図である。
【図2】本発明の薬品液による連続処理装置の他の実施
例を説明する要部説明図である。
【図3】本発明の薬品液による連続処理装置の更に他の
実施例を説明する要部説明図である。
【図4】本発明の薬品液による連続処理装置の更に他の
実施例を説明する一部破断側面図である。
【図5】同じく図4に示す実施例の作動を説明する一部
破断側面図である。
【符号の説明】
1‥‥薬品液による連続処理装置 2a…処理槽 2b…処理槽 2c…処理槽 2d…処理槽 3‥‥パネル支持部材 4‥‥リフト部材 6‥‥運搬部材 7‥‥絞りローラ 7a…ローラ w‥‥ワークパネル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // C23F 1/08 102 8417−4K H05K 3/06 Q

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 薬品液を収容した複数の処理槽を配設
    し、各処理槽内の薬品液へワークパネルを順次浸漬して
    ワークパネルに薬品処理を施す連続処理装置において、
    列設された複数の処理槽と、各処理槽内に設けられ、上
    方から降下するワークパネルを処理槽内で起立状態に保
    持し、かつ保持されたワークパネルを上昇させるワーク
    保持部材と、処理槽の上方に配設され、かつ処理槽の列
    設方向に沿って移動する運搬部材と、運搬部材の下端に
    設けられ、ワーク保持部材によって上昇せしめられたワ
    ークパネルを正逆回転駆動する一対のローラ間に挟み込
    んで上昇及び降下させる絞りローラと、運搬部材内に設
    けられ、絞りローラによって上昇せしめられたワークパ
    ネルを上昇位置に保持する収納部材とを有することを特
    徴とする薬品液による連続処理装置。
  2. 【請求項2】 運搬部材が、列設された処理槽の上方で
    かつその列設方向に沿って設けられたガイドレールに各
    々独立して移動可能に複数個懸下されている請求項1記
    載の装置。
  3. 【請求項3】 運搬部材が循環移動する請求項1または
    2記載の装置。
  4. 【請求項4】 薬品液を収容した複数の処理槽を配設
    し、各処理槽内の薬品液へワークパネルを順次浸漬して
    ワークパネルに薬品処理を施す連続処理装置において、
    列設された複数の処理槽と、各処理槽内に設けられ、上
    方から降下するワークパネルを処理槽内において隣合う
    ワークパネル間が等距離になる位置に起立状態で保持
    し、かつ保持されたワークパネルを上昇させるワーク保
    持部材と、処理槽の上方に配設され、処理槽の列設方向
    に沿ってワーク保持部材によって保持される隣合うワー
    クパネル間と等距離往復動する運搬部材と、運搬部材の
    下端に前記パネル支持部材によって保持される隣合うワ
    ークパネル間と等距離隔てて複数個配設され、かつワー
    ク保持部材によって上昇せしめられたワークパネルを正
    逆回転駆動する一対のローラ間に挟み込んで上昇及び降
    下させる絞りローラと、運搬部材内に設けられ、絞りロ
    ーラによって上昇せしめられたワークパネルを上昇位置
    に保持する収納部材とを有することを特徴とする薬品液
    による連続処理装置。
JP3179806A 1991-03-29 1991-07-19 薬品液による連続処理装置 Expired - Fee Related JPH0726206B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995016059A1 (fr) * 1993-12-10 1995-06-15 Taisho Kogyo Kabushiki Kaisha Dispositif de traitement par immersion continue du type transfert horizontal
JP4528415B2 (ja) * 2000-04-28 2010-08-18 住友化学株式会社 エッチング処理基板の剥離液除去方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB786193A (en) * 1953-03-12 1957-11-13 Metallic Industry Nv Device for the surface treatment of metallic or non-metallic objects in one or more fluid baths
US3373755A (en) * 1965-06-24 1968-03-19 Fuji Photo Film Co Ltd Sheet material handling and treating apparatus
US3559553A (en) * 1967-10-23 1971-02-02 Werner W Buechner Automatic forwarding mechanism for photographic materials
DE2337280A1 (de) * 1973-07-23 1975-02-13 Gogas Goch & Co Reinigungsbad fuer plattenfoermige erzeugnisse
JPS5820263A (ja) * 1981-07-28 1983-02-05 Mitsubishi Rayon Co Ltd 合成樹脂成形品の表面硬化処理方法およびその装置
IT1199552B (it) * 1984-01-03 1988-12-30 Fotomec San Marco S P A Ora Gr Dispositivo per il trasporto dei telai portapellicole in macchina sviluppatrice film
US4932427A (en) * 1986-12-15 1990-06-12 Yamada Mekki Kogyosho, Ltd. Apparatus for conveying untreated materials
US4745004A (en) * 1987-01-08 1988-05-17 Schwerin Thomas E Method and apparatus for transporting circuit or other work units being processed

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