JP2675211B2 - 表面処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント回路基板など
の被処理物の薬液処理もしくは洗浄処理等を行なうため
の表面処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント回路基板の連続メッキ処理など
を自動的に行なう装置においては、薬液等をいれた処理
槽を配列し、搬送手段によってプリント回路基板を必要
な処理槽に投入し、あるいは処理槽から引き上げ、次の
処理槽へ投入する。

【０００３】このような搬送手段として、文献「プリン
ト配線技術」（工業調査会、電子材料編集部編、１８３
頁）などに述べられているように、並べられた処理槽の
上方を移動するプログラム運転の自動クレーンを用いた
装置が多い。

【０００４】また、この種の装置として、特願昭５６−
１２６８５０号特許出願（スウエーデン国第８００５７
４９−０号特許出願）に係る浸漬処理装置が知られてい
る。この装置における搬送手段は、配列された処理槽の
中間位置において、垂直なレールに案内された昇降部材
を空圧シリンダーにより昇降させ、この昇降部材に設け
たロッカーアームを、カム機構により、昇降部材の上昇
時と下降時とで逆向きに揺動させる構成であり、昇降部
材を下端位置まで下降させた時に前側の処理槽にある被
処理物をロッカーアームに引っ掛け、昇降部材を上昇さ
せることによって該被処理物を引き上げ、昇降部材を再
び下降させることにより、当該被処理物を後側の処理槽
に投入し、下端位置まで下降した時に再び前側の処理槽
の被処理物をロッカーアームで引っ掛ける、という動作
の繰り返しによって、被処理物を各処理槽により順に処
理させるものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】プログラム運転の自動
クレーンを用いる装置は、被処理物の浸漬時間、移送時
間、処理槽への投入順序や処理槽の飛び越し等を任意に
設定できるため、プロセス変更が容易であるという利点
がある反面、自動クレーンの移動を伴うためサイクル時
間が長く、連続処理での短時間処理が難しい等の短所が
ある。

【０００６】他方、特願昭５６−１２６８５０号特許出
願に係る浸漬処理装置は、連続処理での短時間処理が可
能である等の利点がある。しかし、被処理物は必ず先頭
の処理槽から順番に浸漬され、任意の処理槽を飛び越し
て被処理物を搬送したり、あるいは逆向きに搬送するこ
とはできないため、プロセス変更のためには装置そのも
のの変更が必要となり、同一装置で多様なプロセスに対
応することはできないという短所がある。また、空圧シ
リンダーとカム機構を利用しているため、動作精度の変
動が生じやすい、動作の変更が容易にできない、という
問題もある。

【０００７】本発明の目的は、前記従来技術の利点を維
持しつつ、その問題点を改善した表面処理装置を提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明により提
供される表面処理装置は、一定間隔で連続的に配設され
た昇降可能な複数のキャリアー及びそのそれぞれを独立
に昇降させるための複数の駆動手段を有する、被処理物
が取り付けられた治具の搬送のための搬送機構と、前記
複数のキャリアーの下方に、それと同一の間隔で、半間
隔だけ相対的にずらして配設された、被処理物の特定の
表面処理のための複数の処理槽とを備え、各キャリアー
は、対応した処理槽に対し出し入れする、または隣のキ
ャリアーとの間で受け渡しする治具を保持するための可
動部材及びその位置をキャリアーの昇降と独立に制御す
る手段を有し、前記搬送機構において、各キャリアーの
昇降及びその可動部材の位置の制御によって対応した処
理槽に対し治具の出し入れがなされ、また、隣合うキャ
リアーの相互間で、それぞれの昇降とその可動部材の位
置の制御によって、治具の受け渡しがなされる構成とさ
れる。

【０００９】請求項２の発明の特徴は、請求項１の発明
の表面処理装置の搬送機構において、可動部材の位置の
制御によって、治具の搬送方向が制御されることであ
る。

【００１０】請求項３の発明の特徴は、請求項１の発明
の表面処理装置の搬送機構において、隣合うキャリアー
の相互間での治具の受け渡しによって任意個数の処理槽
を飛び越して治具が搬送されることである。

【００１１】請求項４の発明の特徴は、請求項１の発明
の表面処理装置において、可動部材が治具を引っ掛ける
ため部分を持つ角度位置が制御可能な部材であって、そ
の角度位置を制御する手段は、可動部材の固定された軸
を一定角度、往復回転させるロータリーアクチュエータ
ーであることである。

【００１２】請求項５の発明の特徴は、請求項４の発明
による表面処理装置において、隣合うキャリアーの相互
間で可動部材の設けられた位置がずらされることであ
る。

【００１３】請求項６の発明の特徴は、請求項１の発明
による表面処理装置において、キャリアーの駆動手段
が、キャリアーが固定されたベルトと、これを垂直方向
に往復回動させるモーターとからなることである。

【００１４】請求項７の発明の特徴は、請求項１の発明
の表面処理装置において、処理前の被処理物が取り付け
られた治具を複数個ストックし、これを最初のキャリア
ーによって搬入できる位置に送り機構により順次移動さ
せるローダーと、最終のキャリアーによって搬出された
処理済みの被処理物が取り付けられた治具を受け取り、
これを複数個ストックし送り機構により順次移動させる
アンローダーとを付加したことである。

【００１５】請求項８の発明の特徴は、請求項７の発明
による表面処理装置において、アンローダーが、そこに
ストックされた治具及びそれに取り付けられた被処理物
を乾燥されるためのブロワーファンを備えることであ
る。

【００１６】

【作用】搬送機構において、処理槽に対応付けられた複
数のキャリアーによって複数の治具の搬送を並列的に行
い、搬送待ちによる処理の遅れを避けられるため、単一
あるいは少数のプログラム運転の自動クレーンを搬送手
段として用いた装置に比べ、連続処理の短時間処理が可
能である。

【００１７】また、各キャリアーの昇降と独立して可動
部材の位置を制御することによって、治具を任意の処理
槽から、その前または後のいずれの処理槽へも搬送する
ことができ、また隣合うキャリアー相互間での治具の受
け渡しによって、任意個数の処理槽を飛び越して治具を
搬送することができるため、装置構成を変更することな
く、多様なプロセスに対応できる。

【００１８】隣合うキャリアー間で可動部材の位置が相
対的にずらされているので、その間で受け渡しする治具
を両方の可動部材によって同時に保持しても相互の干渉
がないため、安定な受け渡し動作が可能となり、また可
動部材の構造や受け渡し動作の制御を単純化できる。

【００１９】一定角度往復回転のロータリーアクチュエ
ーターにより治具保持のための可動部材の角度位置が制
御されるため、カム機構を利用してキャリアーの昇降に
連動させて角度位置を制御する構成に比べ、より高精度
で安定な角度位置制御が可能となり、またカム機構と違
い摩耗の問題がなく寿命も伸びる。

【００２０】モーターによりベルトを往復回動すること
によってキャリアーを昇降させるため、空圧シリンダー
を用いてキャリアーを駆動する場合に比べ、より高精度
・安定な昇降制御が可能である。

【００２１】治具のローダーとアンローダーを備えるこ
とにより、連続自動運転が可能となる。また、短時間処
理の場合に被処理物とその治具に処理液もしくは水分が
残留しやすくなるが、この問題はアンローダーに乾燥用
ブロワーファンを備えることにより解決される。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面により詳細に
説明する。

【００２３】本発明による表面処理装置の一例は、図１
に側面図として示されるように、プリント回路基板（以
下、基板と略称する）の表面処理を行なう処理部１００
と、その前段のローダー２００及び後段のアンローダー
３００よりなる。被処理物である基板を取り付けた基板
取り付け治具は、ローダー２００にストックされ送り機
構によってローダー２００の後端部（図中、左端部）へ
順次送られる。ローダー２００の後端部まで送られた基
板取り付け治具は、処理部１００に取り込まれ、必要な
基板の表面処理を施された後にアンローダー３００の前
端部（図中、右端部）に搬出されてストックされ、送り
機構によって後端部へ順次送られる。

【００２４】まず、処理部１００の構成について説明す
る。図１に見られるように、それぞれに特定の表面処理
のための処理液がはいった処理槽１０２が複数個、処理
部１００の底部に一定間隔で一列に配置されている。処
理部１００は、これらの処理槽１０２の必要なものに必
要な順序で治具を出し入れするための搬送機構１０４を
備えている。この搬送機構１０４の主要要素として、処
理槽１０２の上方を、それぞれ独立に昇降する複数のキ
ャリアー１０６が配設されている。これらキャリアー１
０６は、処理槽１０２と同じ間隔で配設されているが、
半間隔だけ処理槽１０２に対してずらされている。した
がって、複数のキャリアー１０６のうち、最初のもの
（図中、右端のもの）と最終のもの（図中、左端のも
の）以外は、それぞれ対応する２個の処理槽の中間位置
を昇降する。

【００２５】図２（処理部の概略正面図）及び図４（図
２のＡ部詳細図）に示されるように、各キャリアー１０
６は、その後端部（図２右端部）に設けられたガイドロ
ーラー１０８を図示されない垂直方向のガイドに案内さ
れることにより、水平姿勢を保って昇降可能とされてい
る。また、各キャリアー１０６は、その右端部が昇降ベ
ルト１１０に固定されている。この昇降ベルト１１０
は、各キャリアー１０６毎にあるもので、それぞれ処理
部１００の天板にピロブロック１１２によって取り付け
られたプーリー１１６と、各キャリアー毎に設けられた
昇降モーター１１４により回転駆動されるプーリー１１
６との間に掛けられている。したがって、昇降モーター
１１４を作動させ昇降ベルト１１０を往復回動させるこ
とにより、昇降ベルト１１０に固定されたキャリアー１
０６を昇降させ、または任意の位置に停止させることが
できる。

【００２６】図５（キャリアー１０６及び基板取り付け
治具１２０の斜視図）に示されるように、キャリアー１
０６には一対の治具保持アーム１２２が回動可能に設け
られている。治具保持アーム１２２の間隔は２種類あ
り、この間隔を広くしたキャリアー１０６と、狭くした
キャリアー１０６とが交互に配設されている。すなわ
ち、あるキャリアー１０６の治具保持アーム１２２の間
隔が狭いとすると、その前後のキャリアー１０６の治具
保持アーム１２２の間隔は広い。

【００２７】図２及び図４に示されるように、キャリア
ー１０６の後端部には一定角度往復回転のロータリーア
クチュエーター１３０が設けられており、その回転軸
に、治具保持アーム１２２の固定された軸１３２が結合
されている。このロータリーアクチュエーター１３０の
一定角度往復回転により治具保持アーム１２２は往復回
動し、垂直位置（中間位置）、アンローダー３００側に
一定角度傾いた位置（送り位置）、ローダー２００側に
一定角度傾いた位置（戻り位置）のいずれかの角度位置
をとる。

【００２８】図５に示されるように、基板取り付け治具
１２０は２枚の枠板１３６の上端を一対の棒材１３８
で、下端を１本の棒材１４０でそれぞれ結合した略方形
の枠体であり、これに基板１４２は、その数ヶ所を枠板
１３６にネジ等により固定することによって取り付けら
れる。上端の棒材１３８には、キャリアー１０６の治具
保持アーム１２２を受けるための２対のアーム受け板１
４４が固定されている。外側のアーム受け板１４４のペ
アは、間隔の広い治具保持アーム１２２のペアを受ける
ためのものであり、内側のアーム受け板１４４のペアは
間隔の狭い治具保持アーム１２２のペアを受けるための
ものである。

【００２９】次に図６及び図７によりローダー２００の
構成を説明する。図６は送り機構の概略側面図、図７は
図６のＢ−Ｂ線断面の半分を省略して示す概略断面図で
ある。

【００３０】図７に示されるように、ローダー側壁２０
２（図１の前面壁）の内側に平行な立壁２０４が設けら
れ、その上端近くに進退板２０６の前後進退を案内する
ための進退板案内部２０８が設けられている。進退板２
０６には一定の間隔で複数の送り駒２１０が軸２１２に
より取り付けられている。また、進退板２０６にはラッ
ク２１４が固定され、このラック２１４は立壁２０４に
明けられた溝穴より外側に延在しピニオン２１６と噛み
合っている。このピニオン２１６の回転軸２１８に固定
されたプーリー２２０と、送りモーター２２２により駆
動される回転軸２２４に固定されたプーリー２２６との
間にベルト２２８が掛けられている。なお、図７に示さ
れていない他方の側壁側にも同じ送りモーター２２２に
よって駆動される同様の送り機構が設けられている。

【００３１】ローダー２００には処理前の基板が取り付
けられた基板取り付け治具１２０がストックされるが、
この基板取り付け治具１２０は、その棒材１３８の端部
が立壁２０４の上端に支持される。送りモーター２２２
が作動し、ベルト２２８を介してピニオン２１６が図６
に示すＡ方向に一定量だけ回転駆動されると、これに噛
み合ったラック２１４と一体的に進退板２０６が一定量
（１ピッチ分）だけ前進する（図６のＢ方向へ移動す
る）。この前進時に、各送り駒２１０の先端が基板取り
付け治具１２０の棒材１３８に係合するため、送り駒２
１０を図６のＣ方向に回転させようとする力が働く。し
かし、送り駒２１０は、垂直となったところで下端が進
退板案内部２０８の底に係合し、それ以上回転できない
ため、図６に実線で示されるように垂直姿勢のまま前進
し、基板取り付け治具１２０を前方へ押し出す。

【００３２】次に送りモーター２２２が逆方向に作動
し、ピニオン２１６が逆方向に一定量だけ回転駆動され
ることにより、進退板２０６は元の位置まで後退する。
この後退中に各送り駒２１０は、後側の送り駒２１０に
より送られた基板取り付け治具１２０の棒材１３８に係
合するが、図６に鎖線で示すように傾くことができるた
め、この基板取り付け治具１２０をくぐり抜け、その後
ろ側に来る。

【００３３】このような進退板２０６の往復進退動の繰
り返しにより、ローダー２００にストックされた基板取
り付け治具１２０は、後端部へ向けてピッチ送りされ
る。

【００３４】アンローダー３００は、ローダー２００と
同様の送り機構を持ち、前端部に搬出された基板取り付
け治具１２０をストックし、これを後端部へ向けてピッ
チ送りする構成である。また、アンローダー３００にス
トックされた基板取り付け治具及び基板は、処理液によ
って表面が濡れている場合があるため、これを乾燥させ
るための熱風を発生するブロワーファン３０２を備えて
いる。

【００３５】次に、最前段から最終段までの各処理槽１
０２に順に基板を浸漬させ処理する場合の動作を説明す
る。なお、説明を簡単にするため、処理槽１４０のいず
れにも基板取り付け治具１２０が存在せず、また、キャ
リアー１０２は全て予め最下位置まで下降しており、そ
れぞれの治具保持アーム１２２は中間位置にあるものと
する。

【００３６】ローダー２００に最も近い１番目のキャリ
アー１０６のロータリーアクチュエーター１３０が作動
することによって、その治具保持アーム１２２は戻り位
置（ローダー側に傾いた位置）まで回動させられる。こ
れで、この治具保持アーム１２２の先端部は、ローダー
２００の後端部に送られて来た基板取り付け治具１２０
の一対のアーム受け板１４４の下に入り込む。

【００３７】次に１番目キャリアー１０６の昇降モータ
ー１１４が作動することによって、このキャリアー１０
６は最上位置まで上昇させられる。ローダー２００の後
端部にある基板取り付け治具１２０は、１番目キャリア
ー１０６の治具保持アーム１２２に引っ掛けられて引き
上げられる。

【００３８】次に、１番目キャリアー１０６のロータリ
ーアクチュエーター１３０が作動することによって、そ
の治具保持アーム１２２は送り位置（アンローダー側に
傾いた位置）まで回動させられる。これにより、１番目
のキャリアー１０６に保持された基板取り付け治具１２
０は最前段の処理槽１０２の真上に来る。

【００３９】次に、１番目キャリアー１０６は最下位置
まで下降させられ、これに保持された基板取り付け治具
１２０は最前段処理槽１０２に投入される。ここで、こ
の治具保持アーム１２２は中間位置に戻され、基板取り
付け治具１２０のアーム受け板１４４から外れる。

【００４０】最前段処理槽１０２での処理を終わると、
２番目のキャリアー１０６の治具保持アーム１２２が戻
り位置に回動させられ、最前段処理槽１０２内の基板取
り付け治具１２０の一対のアーム受け板１４４の下に入
り込む。そして、２番目キャリアー１０６は最上位置ま
で上昇させられ、最前段処理槽１０２内の基板取り付け
治具１２０は治具保持アーム１２２に引っ掛けられて最
上位置まで引き上げられる。

【００４１】次に２番目キャリアー１０６の治具保持ア
ーム１２２は送り位置に回動させられ、これに保持され
ている基板取り付け治具１２０は２段目の処理槽１０２
の真上に移動する。次に、このキャリアー１０６は最下
位置まで下降させられ、当該基板取り付け治具１２０は
２段目処理槽１０２に投入される。その後、このキャリ
アー１０６の治具保持アーム１２２は中間位置に回動さ
せられることにより、基板取り付け治具１２０のアーム
受け板１４４から外れる。

【００４２】他方、ローダー２００の後端部に次の基板
取り付け治具１２０が送られており、その基板の処理が
可能であれば、１番目キャリアー１０６の治具保持アー
ム１２２は戻り位置に回動させられ、次に１番目キャリ
アー１０６は最上位置まで上昇させられる。これで、次
の基板取り付け治具１２０が引き上げられる。次に、１
番目キャリアー１０６は、その治具保持アーム１２２を
送り位置に回動させられた後、下降させられる。その結
果、最前段処理槽１０２に次の基板取り付け治具１２０
が投入される。その後、１番目キャリアー１０６の治具
保持アーム１２２は中間位置に戻される。

【００４３】２段目処理槽１０２での処理が終了する
と、３番目キャリアー１０６は、その治具保持アーム１
２２を戻り位置に回動された後、最上位置まで上昇させ
られる。そして、この治具保持アーム１２２は送り位置
に回動させられ、それに保持されている基板取り付け治
具１２０は３段目処理槽の真上に移動する。次に、この
キャリアー１０６は最下位置まで下降させられ、これに
保持されていた基板取り付け治具１２０は３段目処理槽
１０２に投入される。ここで、その治具保持アーム１２
２は中間位置に戻される。

【００４４】以下、同様の動作の繰り返しによって、基
板取り付け治具１２０に取り付けられてローダー２００
にセットされた基板は、最前段から最終段までの各処理
槽１０２に順に投入され処理されることになる。最終段
処理槽１０２内の基板取り付け治具１２０は、最後のキ
ャリアー１０６により引き上げられ、アンローダー３０
０の先端部に搬出され、アンローダー３００にストック
される。この基板取り付け治具１２０は、ローダー２０
０と同様の送り機構により終端部へ向け順次送られると
ともに、ブロアーファン３０２の熱風により乾燥させら
れる。

【００４５】以上は複数の処理槽１０２の最前段から最
終段へ順に基板取り付け治具１２０を搬送し処理する場
合であるが、この装置は、多様なプロセスに対応するた
め、複数の処理槽１０２の任意のものを任意の個数飛び
越して基板取り付け治具１２０を搬送することができ
る。また、基板取り付け治具１２０を逆向きに搬送する
こともでき、この場合も連続搬送と飛び越し搬送が可能
である。

【００４６】例えば、最前段の処理槽１０２で処理され
た基板を、２段目の処理槽１０２を飛び越し３段目の処
理槽１０２に投入し処理する場合、まず、２番目のキャ
リアー１０６により最前段処理槽１０２にある基板取り
付け治具１２０を引き上げさせる。この時、３番目のキ
ャリアー１０６も、その治具保持アーム１２２を中間位
置にしたまま最上位置まで上昇させる。これで、基板取
り付け治具１２０を保持した２番目キャリアー１０６
と、空の３番目キャリアー１０６とが最上位置で並ぶ。

【００４７】２番目キャリアー１０６の治具保持アーム
１２２が送り位置に回動させられ、その保持した基板取
り付け治具１２０は２段目処理槽１０２の真上に移動す
る。次に、３番目キャリアー１０６が所定量（例えば５
ｃｍ）だけ下降させられ、その治具保持アーム１２２が
戻り位置に回動させられる。そして２番目キャリアー１
０６が同じ量だけ下降させられることによって、２番目
キャリアー１０６により引き上げられた基板取り付け治
具１２０は３番目キャリアー１０６の治具保持アーム１
２２にも引っ掛かる。次に２番目キャリアー１０６は、
その治具保持アーム１２２を中間位置に戻されて最下位
置まで下降させられ、また３番目キャリアー１０６は最
上位置まで上昇させられる。これで、空中において、２
番目と３番目のキャリアー１０６の間で基板取り付け治
具１２０の受け渡しがなされた。

【００４８】３番目キャリアー１０６は、その治具保持
アーム１２２を送り位置に回動させられた後、最下位置
まで下降させられる。かくして、最前段の処理槽１０２
で処理された基板取り付け治具１２０は、２段目の処理
槽１０２を飛び越し３段目の処理槽１０２へ投入され、
その基板の表面処理が行なわれる。

【００４９】もし、３段目の処理槽１０２も飛び越し、
４段目の処理槽１０２へ搬送したい場合には、３番目と
４番目のキャリアー１０６の間で同様の手順により基板
取り付け治具１２０を受け渡しを行なえばよい。

【００５０】逆方向への搬送も同様である。例えば、３
段目の処理槽１０２から２段目の処理槽１０２へ基板取
り付け治具１２０を戻す場合、３番目のキャリアー１０
６によって３段目の処理槽１０２より基板取り付け治具
１２０を引き上げ、その治具保持アーム１２２を戻り位
置にしてから、３番目のキャリアー１０６を最下位置ま
で下降させる。

【００５１】また、３段目の処理槽１０２から最前段の
処理槽１０２へ基板取り付け治具１２０を搬送する場合
であれば、３番目のキャリアー１０６によって３段目の
処理槽１０２より基板取り付け治具１２０を最上位置ま
で引き上げ、その治具保持アーム１２２を戻り位置に回
動させる。また、２番目のキャリアー１０６を最上位置
まで治具保持アーム１２２を中間位置にしたまま上昇さ
せた後、最上位置より所定量下降させ、その治具保持ア
ーム１２２を送り位置に回動させる。そして、３番目の
キャリアー１０６を所定量下降させ、その治具保持アー
ム１２２を中間位置にしてから、最下位置まで下降させ
る。これで、２番目のキャリアー１０６に基板取り付け
治具１２０が渡された。次に２番目のキャリアー１０６
を最上位置まで上昇させ、その治具保持アーム１２２を
戻り位置にして最下位置まで下降させることにより、基
板取り付け治具１２０を最前段の処理槽１０２に投入す
ることができる。

【００５２】なお、図示されていないが、以上の動作を
制御するための制御装置が当然に存在し、昇降モーター
１１４、ロータリーアクチュエーター１３０、送りモー
ター２２２及びアンローダー３００の同様の送りモータ
ーの作動は、この制御装置によって制御される。また、
この制御に関連して、キャリアー１０６の位置、治具保
持アーム１２２の角度位置、ローダー２００やアンロー
ダー３００内の基板取り付け治具１２０の有無もしくは
ストック位置などを検出し制御装置に通知するためのセ
ンサ類が必要に応じて設けられる。このような制御装置
は例えば比較的簡単なプログラム制御の装置とすること
ができるが、このような装置は当該技術分野の一般的な
技術者によって、ここまでの説明から容易に実現できる
であろうから具体例は示さない。

【００５３】なお、治具保持アーム１２２をロータリー
アクチュエーター１３０で回動させる構成は、その構造
及び制御が簡単になるという長所があるが、これに限ら
れるわけではなく、前後方向に水平移動するような可動
部材をキャリアー１０６に設け、同様の治具搬送を実現
することも可能である。また、キャリアー１０６の昇降
駆動手段の変更も許される。

【００５４】なお、本実施例の表面処理装置で処理され
る被処理物はプリント回路基板に限られないことは当然
であり、必要に応じて治具を変更することにより他の様
々な被処理物の処理に適用できる。

【００５５】

【発明の効果】以上の説明から明かなように、本発明に
よれば次のような効果を達成できる。 （１）被処理物を取り付けた複数の治具の搬送を並列的
に行い、搬送待ちによる処理の遅れを避けられるため、
連続処理の短時間処理が可能である。 （２）治具を任意の処理槽から、その前または後のいず
れの処理槽へも搬送することができ、また任意の処理槽
を任意個数飛び越して治具を搬送することができるた
め、装置構成を変更することなく、多様なプロセスに対
応できる。 （３）隣合うキャリアー間で可動部材の位置が相対的に
ずらされているので、その間で受け渡しする治具を両方
の可動部材によって同時に保持しても相互の干渉がない
ため、安定な受け渡し動作が可能となり、また可動部材
の構造や受け渡し動作の制御を単純化できる。 （４）一定角度往復回転のロータリーアクチュエーター
により治具保持のための可動部材の角度位置が制御され
るため、カム機構を利用してキャリアーの昇降に連動さ
せて角度位置を制御する構成に比べ、より高精度で安定
な角度位置制御が可能となり、またカム機構と違い摩耗
の問題がなく寿命も伸びる。 （５）モーターによりベルトを往復回動することによっ
てキャリアーを昇降させるため、空圧シリンダーを用い
てキャリアーを駆動する場合に比べ、より高精度で安定
な昇降制御が可能である。 （６）治具のローダーとアンローダーを備えることによ
り、連続自動運転が可能となる。また、短時間処理の場
合に被処理物とその治具に処理液もしくは水分が残留し
やすくなるが、この問題をアンローダーに乾燥用ブロワ
ーファンを備えることにより解決できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】表面処理装置の全体的構成を示す概略側面図で
ある。

【図２】搬送機構の概略正面図である。

【図３】ローダーと搬送機構の一部を示す概略側面図で
ある。

【図４】図２のＡ部の拡大図である。

【図５】キャリアーと基板取り付け治具の概略斜視図で
ある。

【図６】ローダーの送り機構の一部を省略した概略側面
図である。

【図７】ローダーの一部を省略した概略断面図である。

【符号の説明】

１００ 処理部 １０２ 処理槽 １０４ 搬送機構 １０６ キャリアー１０８ ザイドローラー １１０ 昇降ベルト１１２ ピロブロック １１４ 昇降モーター１１６，２２０，２２６ プーリー １２０ 基板取り付け治具 １２２ 治具保持アーム １３０ ロータリーアクチュエーター１３２，２１２ 軸 １３６ 枠板 １３８，１４０ 棒材 １４２ プリント回路基板１４４ アーム受け板 ２００ ローダー２０２ ローダー側壁 ２０４ 立壁 ２０６ 進退板２０８ 進退板案内板 ２１０ 送り駒 ２１４ ラック ２１６ ピニオン２１８，２２４ 回転軸 ２２２ 送りモーター ２２８ ベルト３００ アンローダー ３０２ ブロアーファン

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一定間隔で連続的に配設された昇降可能
   な複数のキャリアー及びそのそれぞれを独立に昇降させ
   るための複数の駆動手段を有する、被処理物が取り付け
   られた治具の搬送のための搬送機構と、前記複数のキャ
   リアーの下方に、それと同一の間隔で、半間隔だけ相対
   的にずらして配設された、被処理物の特定の表面処理の
   ための複数の処理槽とを備え、各キャリアーは、対応し
   た処理槽に対し出し入れする、または隣のキャリアーと
   の間で受け渡しする治具を保持するための可動部材及び
   その位置を当該キャリアーの昇降と独立に制御する手段
   を有し、前記搬送機構において、各キャリアーの昇降及
   びその可動部材の位置の制御によって対応した処理槽に
   対し治具の出し入れがなされ、また、隣合うキャリアー
   の相互間で、それぞれの昇降とその可動部材の位置の制
   御によって治具の受け渡しがなされることを特徴とする
   表面処理装置。
2. 【請求項２】 搬送機構において、可動部材の位置の制
   御によって治具の搬送方向が制御されることを特徴とす
   る請求項１記載の表面処理装置。
3. 【請求項３】 搬送機構において、隣合うキャリアーの
   相互間での治具の受け渡しによって任意個数の処理槽を
   飛び越して治具が搬送されることを特徴とする請求項１
   または２記載の表面処理装置。
4. 【請求項４】 可動部材は治具を引っ掛けるため部分を
   持つ角度位置が制御可能な部材であって、その角度位置
   を制御する手段は、可動部材の固定された軸を一定角
   度、往復回転させるロータリーアクチュエーターである
   ことを特徴とする請求項３記載の表面処理装置。
5. 【請求項５】 隣合うキャリアーの相互間で可動部材の
   設けられた位置がずらされていることを特徴とする請求
   項４記載の表面処理装置。
6. 【請求項６】 キャリアーの駆動手段は、キャリアーが
   固定されたベルトと、これを垂直方向に往復回動させる
   モーターとからなることを特徴とする請求項１記載の表
   面処理装置。
7. 【請求項７】 処理前の被処理物が取り付けられた治具
   を複数個ストックし、これを最初のキャリアーによって
   搬入できる位置に送り機構により順次移動させるローダ
   ーと、最終のキャリアーによって搬出された処理済みの
   被処理物が取り付けられた治具を受け取り、これを複数
   個ストックし、送り機構により順次移動させるアンロー
   ダーとを備えることを特徴とする請求項１記載の表面処
   理装置。
8. 【請求項８】 アンローダーは、そこにストックされた
   治具及びそれに取り付けられた被処理物を乾燥させるた
   めのブロワーファンを備えることを特徴とする請求項７
   記載の表面処理装置。