SU1694701A1 - Лини дл обработки изделий в жидкост х - Google Patents

Лини дл обработки изделий в жидкост х Download PDF

Info

Publication number
SU1694701A1
SU1694701A1 SU894629159A SU4629159A SU1694701A1 SU 1694701 A1 SU1694701 A1 SU 1694701A1 SU 894629159 A SU894629159 A SU 894629159A SU 4629159 A SU4629159 A SU 4629159A SU 1694701 A1 SU1694701 A1 SU 1694701A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
loading
line
unloading
products
hooks
Prior art date
Application number
SU894629159A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Евгеньевич Варнаков
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6707
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6707 filed Critical Предприятие П/Я Р-6707
Priority to SU894629159A priority Critical patent/SU1694701A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1694701A1 publication Critical patent/SU1694701A1/ru

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к гальванотехнике , в частности к оборудованию дл  отмывки и сушки изделий. Цель изобретени  - повышение качества обработки за счет исключени  попадани  загр знений с транспортирующего механизма. Линик включает р д ванн 1, устройство 2 загрузки-выгрузки , транспортирующий механизм 3, блок (Б) загрузки 4 и разгрузки 5, содержащие стол (С), привод 7 вращени  и привод 8 подъема С. Обрабатываемые издели  помещаютс  в кассеты (К) Б 4 загрузки. При пуске линии в работу С с К посредством привода 8 поднимаетс  в крайнее верхнее положение. Одновременно платформы с ра/29 мой 11 также поднимаютс  в крайнее верхнее положение, а С Б 5 разгрузка остаетс  в опущенном положении. При этом К располагаетс  так, чтобы ее выступы были выше зацепов механизма 3. Далее по сигналу от датчика 30 К и платформа опускаютс , при этом К навешиваютс  на зацепы и перемещаютс  на шаг по технологическому циклу. Поспе технологической операции платформа с рамой 11 и С Б 5 поднимаютс  вверх, снимают с зацепов К. При этом, когда штанга транспортирующего механизма 3 находитс  в крайнем правом положении, С Б 4 загрузки поворачиваетс  на 1/4 оборота, выставл   следующую К на позицию загрузки . Ззтем по сигналу от датчиков 31, 34 штанга с пустыми захватными элементами перемещаетс  вгево, обеспечива  возможность опускани  К с издели ми в технологические растворы По окончании времени цикла процесс перемещени  К повтор етс . Така  конструкци  линии обес- пе ивает перемещение изделий из ванны в ванну без внесени  посторонних загр знений в виде частичек с механизмов, что исключает по вление брака. 3 ил. to GN Ю „feb Фиг.1

Description

Изобретение относитс  к гальванотехнике , в частности к лини м дл  отмывки и сушки изделий электронной техники.
Целью изобретени   вл етс  повышение качества обработки за счет исключени  попадани  загр знений с транспортирующего механизма.
На фиг.1 показана описываема  лини , общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг,1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.1.
Лини  дл  обработки изделий в жидкост х содержит р д ванн 1, установленных по ходу технологического процесса, устройство 2 загрузки-выгрузки изделий в ванну 1, транспортирующий механизм 3, блоки загрузки 4 и разгрузки 5, которые содержат стол 6, привод 7 вращени  и привод 8 подъема стола 6. Все издели  размещены в кассетах 9, в которых они и проход т обработку.
Устройство 2 загрузки-выгрузки изделий выполнено в виде платформ 10 по числу ванн, кажда  из которых закреплена на раме 11, соединенной с приводом 12 ее вертикального возвратно-поступательного перемещени . Дл  фиксации кассет 9 на платформе 10 предусмотрены фиксаторы 13. Привод 12 св зан с рамой 11 посредством гибкой нити 14, закрепленной одной ветвью на нижней перекладине рамы.
Транспортирующий механизм 3 выполнен в виде штанги 15 с закрепленными на ней захватными элементами 16 дл  удержани  кассет 9. В конкретном исполнении за- хватный элемент 16 имеет зацепы 17 (выступы под отверсти  18, выполненные в выступах 19 кассеты 9). Штанга 15 установлена в направл ющих опорах 20. Дл  предотвращени  поворота штанги 15 на захватных элементах 16 закреплены поддерживающие роликовые опоры 21. Крайние и промежуточные положени  штанги 15 фиксируютс  датчиками 22, 23, 24, 25, например фотодиодами, взаимодействующими с флажком 26. Транспортирующий механизм 3 соединен с приводом 27 через реечную передачу 28. Вс  лини  скомпонована в блоке 29 обеспыливани  воздуха. Блок 4 загрузки, устройство 2 загрузки-выгрузки изделий в ванну 1 снабжены датчиками 30, 31, взаимодействующими с флажком 32, и датчиками 33,34, взаимодействующими с флажком 35 и обеспечивающими своевременный подъем и опускание кассет 9 с издели ми.
Лини  работает следующим образом.
Перед началом работы кассеты 9 с издели ми оператором устанавливаютс  в блоке 4 загрузки. Штанга 15 с захватными элементами 16 в исходном положении находитс  в крайнем левом положении, при этом флажок 26 перекрывает датчик 22, платформы 10 устройства 2 опущены в ванны 1.
При пуске линии в работу стол 6 с кассетами 9 блока 4 загрузки посредством привода 8 поднимаетс  в крайнее верхнее положение. Одновременно с этим посредством привода 12 через гибкую нить 14, сое0 диненную с рамой 11, поднимаютс  в крайнее верхнее положение платформы 10, закрепленные на раме 11, а стол блока 5 разгрузки остаетс  в исходном положении (опущен). При этом кассеты 9 будут распо5 ложены так, что выступы 19 с отверсти ми 18 окажутс  выше зацепов 17.
Штанга 15 перемещаетс  приводом 27 через реечную передачу 28 вправо до взаимодействи  флажка 26 с датчиком 23. При
0 этом отверсти  18 выступов 19 кассет 9 окажутс  над зацепами 17. Далее по сигналу от датчика 30 стол 6 блока 4 загрузки опускаетс  приводом 8 вниз до упора-датчика 30, а платформы 10, закрепленные на раме 11,
5 опускаютс  в ванны 1 примерно на ход стола 6 до взаимодействи  флажка 35 с датчиком 33, обеспечива  возможность кассетам 9 перемещатьс  над ваннами 1. При этом кассеты 9 навешиваютс  на зацепы 17 за0 хватного элемента 16, взаимодейству  с ними выступами 19, и далее по сигналам от датчиков 30, 33 штанга 15с захваченными кассетами 9 перемещаетс  приводом 27 через реечную передачу 28 в крайнее правое
5 положение до взаимодействи  флажка 26 с датчиком 25, перемеща  кассеты 9 на шаг по технологическому циклу. По сигналу от датчика 25 рама 11 с закрепленными на ней платформами 10 и стол блока 5 разгрузки
0 поднимаютс  соответственно приводами 12 и 8 в крайнее верхнее положение до взаимодействи  флажков 32 и 35 с датчиками 31, 34, снима  при этом с зацепов 17 кассеты 9 и размеща  их на фиксаторах 13
5 платформ 10 и столе блока 5 разгрузки. Когда штанга 15 находитс  в крайнем правом положении, стол 6 блока 4 загрузки поворачиваетс  против часовой стрелки на 1/4 оборота, выставл   следующую кассету 9 на
0 позицию загрузки.
По сигналу от датчиков 31,34 штанга 15 с пустыми захватными элементами 16 перемещаетс  приводом 27 влево до датчика 24, обеспечива  тем самым возможность опу5 екани  кассет 9. По сигналу от датчика 24 платформы 10 опускаютс , кассеты 9 с издели ми погружаютс  в технологические растворы , а штанга 15 с захватными элементами перемещаетс  в исходное поло- жение до датчика 23, по сигналу от которого
происход т опускание и поворот на 1/4 оборота стола блока 5 разгрузки и поворот на 1 /4 оборота против часовой стрелки стола 6 блока 4 загрузки. При этом следующа  кассета 9 выставл етс  на исходную пози- цию загрузки.
По окончании времени цикла обработки повтор етс  цикл межоперационного перемещени  кассет 9.
Весь процесс происходит в среде чис- того воздуха, ламинарный поток которого сверху вниз по всей площади обеспечивает блок 29 обеспыливани  воздуха. Поток чистого воздуха на пути к ванне 1 и кассете 9 с издели ми не встречает никаких преград, которые могут нести на себе загр зн ющие частицы и возмущать ламинарный поток воздуха, в зоне обработки отсутствуют узлы трени , что позвол ет поддерживать воздушную среду в зоне обработки высокой степени чистоты. Это позвол ет повысить качество обработки изделий. Така  конструкци  линии дл  обработки изделий обеспечивает перемещение их из ванны в ванну без внесени  посторонних загр знений в виде частичек пыли с механизмов, что исключает по вление брака в процессе обработки , а следовательно, обеспечивает повышение качества обработки.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Лини  дл  обработки изделий в жидкост х , содержаща  р д ванн, установленных по ходу технологического процесса, устройство загрузки-выгрузки кассет с издели ми и транспортирующий механизме приводом, отличающа с  тем, что, с целью повышени  качества обработки за счет исключени  попадани  загр знений с транспортирующего механизма, транспортирующий механизм выполнен в виде штанги с закрепленными на ней захватными элементами дл  удержани  кассет, а устройство загрузки-выгрузки выполнено в виде платформ, закрепленных на раме, соединенной с приводом вертикального перемещени , при этом транспортирующий механизм и устройство загрузки-выгрузки размещены по обе стороны линии, а количество платформ равно количеству ванн в линии.
    Фиг. 2
    Фиг.З
SU894629159A 1989-01-02 1989-01-02 Лини дл обработки изделий в жидкост х SU1694701A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894629159A SU1694701A1 (ru) 1989-01-02 1989-01-02 Лини дл обработки изделий в жидкост х

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894629159A SU1694701A1 (ru) 1989-01-02 1989-01-02 Лини дл обработки изделий в жидкост х

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1694701A1 true SU1694701A1 (ru) 1991-11-30

Family

ID=21419121

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894629159A SU1694701A1 (ru) 1989-01-02 1989-01-02 Лини дл обработки изделий в жидкост х

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1694701A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР №1135808, кл. С 23 G 3/00, 1983. Авторское свидетельство СССР Мг1025755,кл. С 23 G 3/00, 1980. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3335839A (en) Conveying machine
US4958982A (en) Device for transferring items
TWI331372B (en) Substrate processing apparatus
KR100215227B1 (ko) 실어서 이송하는 장치
JPH0237778Y2 (ru)
US4575299A (en) Automated work transfer system for chemical processing baths
US4493333A (en) Corrosion-resistant work transfer system
SU1694701A1 (ru) Лини дл обработки изделий в жидкост х
JP3862514B2 (ja) ワーク搬送装置及びワーク搬送方法
JP2002164409A (ja) 移送装置,基板処理装置及び基板処理システム
US3507292A (en) Continuous feed apparatus for staining specimens carried on slides
JP3249260B2 (ja) 洗浄工程を任意に選べる超音波洗浄装置
KR930003142B1 (ko) 반도체 웨이퍼 반송장치
JP2541887Y2 (ja) ウエハの表面処理装置
JPH06163673A (ja) 基板処理装置
JP2544056Y2 (ja) ウエハの表面処理装置
SU1073343A1 (ru) Автооператорна лини дл жидкостной обработки изделий
JP2529384Y2 (ja) 洗浄装置
JP4421580B2 (ja) 基板処理装置
CN114334735A (zh) 一种可自动拆换的硅晶片清洗装置及清洗方法
JPH06302585A (ja) 基板ウェット処理方法および装置
JP3236250B2 (ja) メッキ処理ラインの処理済物品排出装置
JPH05190643A (ja) 基板処理装置
SU1419983A1 (ru) Устройство дл упрочнени стекла
JPH0726206B2 (ja) 薬品液による連続処理装置