SU1694701A1 - Лини дл обработки изделий в жидкост х - Google Patents
Лини дл обработки изделий в жидкост х Download PDFInfo
- Publication number
- SU1694701A1 SU1694701A1 SU894629159A SU4629159A SU1694701A1 SU 1694701 A1 SU1694701 A1 SU 1694701A1 SU 894629159 A SU894629159 A SU 894629159A SU 4629159 A SU4629159 A SU 4629159A SU 1694701 A1 SU1694701 A1 SU 1694701A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- loading
- line
- unloading
- products
- hooks
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к гальванотехнике , в частности к оборудованию дл отмывки и сушки изделий. Цель изобретени - повышение качества обработки за счет исключени попадани загр знений с транспортирующего механизма. Линик включает р д ванн 1, устройство 2 загрузки-выгрузки , транспортирующий механизм 3, блок (Б) загрузки 4 и разгрузки 5, содержащие стол (С), привод 7 вращени и привод 8 подъема С. Обрабатываемые издели помещаютс в кассеты (К) Б 4 загрузки. При пуске линии в работу С с К посредством привода 8 поднимаетс в крайнее верхнее положение. Одновременно платформы с ра/29 мой 11 также поднимаютс в крайнее верхнее положение, а С Б 5 разгрузка остаетс в опущенном положении. При этом К располагаетс так, чтобы ее выступы были выше зацепов механизма 3. Далее по сигналу от датчика 30 К и платформа опускаютс , при этом К навешиваютс на зацепы и перемещаютс на шаг по технологическому циклу. Поспе технологической операции платформа с рамой 11 и С Б 5 поднимаютс вверх, снимают с зацепов К. При этом, когда штанга транспортирующего механизма 3 находитс в крайнем правом положении, С Б 4 загрузки поворачиваетс на 1/4 оборота, выставл следующую К на позицию загрузки . Ззтем по сигналу от датчиков 31, 34 штанга с пустыми захватными элементами перемещаетс вгево, обеспечива возможность опускани К с издели ми в технологические растворы По окончании времени цикла процесс перемещени К повтор етс . Така конструкци линии обес- пе ивает перемещение изделий из ванны в ванну без внесени посторонних загр знений в виде частичек с механизмов, что исключает по вление брака. 3 ил. to GN Ю „feb Фиг.1
Description
Изобретение относитс к гальванотехнике , в частности к лини м дл отмывки и сушки изделий электронной техники.
Целью изобретени вл етс повышение качества обработки за счет исключени попадани загр знений с транспортирующего механизма.
На фиг.1 показана описываема лини , общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг,1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.1.
Лини дл обработки изделий в жидкост х содержит р д ванн 1, установленных по ходу технологического процесса, устройство 2 загрузки-выгрузки изделий в ванну 1, транспортирующий механизм 3, блоки загрузки 4 и разгрузки 5, которые содержат стол 6, привод 7 вращени и привод 8 подъема стола 6. Все издели размещены в кассетах 9, в которых они и проход т обработку.
Устройство 2 загрузки-выгрузки изделий выполнено в виде платформ 10 по числу ванн, кажда из которых закреплена на раме 11, соединенной с приводом 12 ее вертикального возвратно-поступательного перемещени . Дл фиксации кассет 9 на платформе 10 предусмотрены фиксаторы 13. Привод 12 св зан с рамой 11 посредством гибкой нити 14, закрепленной одной ветвью на нижней перекладине рамы.
Транспортирующий механизм 3 выполнен в виде штанги 15 с закрепленными на ней захватными элементами 16 дл удержани кассет 9. В конкретном исполнении за- хватный элемент 16 имеет зацепы 17 (выступы под отверсти 18, выполненные в выступах 19 кассеты 9). Штанга 15 установлена в направл ющих опорах 20. Дл предотвращени поворота штанги 15 на захватных элементах 16 закреплены поддерживающие роликовые опоры 21. Крайние и промежуточные положени штанги 15 фиксируютс датчиками 22, 23, 24, 25, например фотодиодами, взаимодействующими с флажком 26. Транспортирующий механизм 3 соединен с приводом 27 через реечную передачу 28. Вс лини скомпонована в блоке 29 обеспыливани воздуха. Блок 4 загрузки, устройство 2 загрузки-выгрузки изделий в ванну 1 снабжены датчиками 30, 31, взаимодействующими с флажком 32, и датчиками 33,34, взаимодействующими с флажком 35 и обеспечивающими своевременный подъем и опускание кассет 9 с издели ми.
Лини работает следующим образом.
Перед началом работы кассеты 9 с издели ми оператором устанавливаютс в блоке 4 загрузки. Штанга 15 с захватными элементами 16 в исходном положении находитс в крайнем левом положении, при этом флажок 26 перекрывает датчик 22, платформы 10 устройства 2 опущены в ванны 1.
При пуске линии в работу стол 6 с кассетами 9 блока 4 загрузки посредством привода 8 поднимаетс в крайнее верхнее положение. Одновременно с этим посредством привода 12 через гибкую нить 14, сое0 диненную с рамой 11, поднимаютс в крайнее верхнее положение платформы 10, закрепленные на раме 11, а стол блока 5 разгрузки остаетс в исходном положении (опущен). При этом кассеты 9 будут распо5 ложены так, что выступы 19 с отверсти ми 18 окажутс выше зацепов 17.
Штанга 15 перемещаетс приводом 27 через реечную передачу 28 вправо до взаимодействи флажка 26 с датчиком 23. При
0 этом отверсти 18 выступов 19 кассет 9 окажутс над зацепами 17. Далее по сигналу от датчика 30 стол 6 блока 4 загрузки опускаетс приводом 8 вниз до упора-датчика 30, а платформы 10, закрепленные на раме 11,
5 опускаютс в ванны 1 примерно на ход стола 6 до взаимодействи флажка 35 с датчиком 33, обеспечива возможность кассетам 9 перемещатьс над ваннами 1. При этом кассеты 9 навешиваютс на зацепы 17 за0 хватного элемента 16, взаимодейству с ними выступами 19, и далее по сигналам от датчиков 30, 33 штанга 15с захваченными кассетами 9 перемещаетс приводом 27 через реечную передачу 28 в крайнее правое
5 положение до взаимодействи флажка 26 с датчиком 25, перемеща кассеты 9 на шаг по технологическому циклу. По сигналу от датчика 25 рама 11 с закрепленными на ней платформами 10 и стол блока 5 разгрузки
0 поднимаютс соответственно приводами 12 и 8 в крайнее верхнее положение до взаимодействи флажков 32 и 35 с датчиками 31, 34, снима при этом с зацепов 17 кассеты 9 и размеща их на фиксаторах 13
5 платформ 10 и столе блока 5 разгрузки. Когда штанга 15 находитс в крайнем правом положении, стол 6 блока 4 загрузки поворачиваетс против часовой стрелки на 1/4 оборота, выставл следующую кассету 9 на
0 позицию загрузки.
По сигналу от датчиков 31,34 штанга 15 с пустыми захватными элементами 16 перемещаетс приводом 27 влево до датчика 24, обеспечива тем самым возможность опу5 екани кассет 9. По сигналу от датчика 24 платформы 10 опускаютс , кассеты 9 с издели ми погружаютс в технологические растворы , а штанга 15 с захватными элементами перемещаетс в исходное поло- жение до датчика 23, по сигналу от которого
происход т опускание и поворот на 1/4 оборота стола блока 5 разгрузки и поворот на 1 /4 оборота против часовой стрелки стола 6 блока 4 загрузки. При этом следующа кассета 9 выставл етс на исходную пози- цию загрузки.
По окончании времени цикла обработки повтор етс цикл межоперационного перемещени кассет 9.
Весь процесс происходит в среде чис- того воздуха, ламинарный поток которого сверху вниз по всей площади обеспечивает блок 29 обеспыливани воздуха. Поток чистого воздуха на пути к ванне 1 и кассете 9 с издели ми не встречает никаких преград, которые могут нести на себе загр зн ющие частицы и возмущать ламинарный поток воздуха, в зоне обработки отсутствуют узлы трени , что позвол ет поддерживать воздушную среду в зоне обработки высокой степени чистоты. Это позвол ет повысить качество обработки изделий. Така конструкци линии дл обработки изделий обеспечивает перемещение их из ванны в ванну без внесени посторонних загр знений в виде частичек пыли с механизмов, что исключает по вление брака в процессе обработки , а следовательно, обеспечивает повышение качества обработки.
Claims (1)
- Формула изобретениЛини дл обработки изделий в жидкост х , содержаща р д ванн, установленных по ходу технологического процесса, устройство загрузки-выгрузки кассет с издели ми и транспортирующий механизме приводом, отличающа с тем, что, с целью повышени качества обработки за счет исключени попадани загр знений с транспортирующего механизма, транспортирующий механизм выполнен в виде штанги с закрепленными на ней захватными элементами дл удержани кассет, а устройство загрузки-выгрузки выполнено в виде платформ, закрепленных на раме, соединенной с приводом вертикального перемещени , при этом транспортирующий механизм и устройство загрузки-выгрузки размещены по обе стороны линии, а количество платформ равно количеству ванн в линии.Фиг. 2Фиг.З
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894629159A SU1694701A1 (ru) | 1989-01-02 | 1989-01-02 | Лини дл обработки изделий в жидкост х |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894629159A SU1694701A1 (ru) | 1989-01-02 | 1989-01-02 | Лини дл обработки изделий в жидкост х |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1694701A1 true SU1694701A1 (ru) | 1991-11-30 |
Family
ID=21419121
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894629159A SU1694701A1 (ru) | 1989-01-02 | 1989-01-02 | Лини дл обработки изделий в жидкост х |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1694701A1 (ru) |
-
1989
- 1989-01-02 SU SU894629159A patent/SU1694701A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР №1135808, кл. С 23 G 3/00, 1983. Авторское свидетельство СССР Мг1025755,кл. С 23 G 3/00, 1980. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3335839A (en) | Conveying machine | |
US4958982A (en) | Device for transferring items | |
TWI331372B (en) | Substrate processing apparatus | |
KR100215227B1 (ko) | 실어서 이송하는 장치 | |
JPH0237778Y2 (ru) | ||
US4575299A (en) | Automated work transfer system for chemical processing baths | |
US4493333A (en) | Corrosion-resistant work transfer system | |
SU1694701A1 (ru) | Лини дл обработки изделий в жидкост х | |
JP3862514B2 (ja) | ワーク搬送装置及びワーク搬送方法 | |
JP2002164409A (ja) | 移送装置,基板処理装置及び基板処理システム | |
US3507292A (en) | Continuous feed apparatus for staining specimens carried on slides | |
JP3249260B2 (ja) | 洗浄工程を任意に選べる超音波洗浄装置 | |
KR930003142B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 반송장치 | |
JP2541887Y2 (ja) | ウエハの表面処理装置 | |
JPH06163673A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2544056Y2 (ja) | ウエハの表面処理装置 | |
SU1073343A1 (ru) | Автооператорна лини дл жидкостной обработки изделий | |
JP2529384Y2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP4421580B2 (ja) | 基板処理装置 | |
CN114334735A (zh) | 一种可自动拆换的硅晶片清洗装置及清洗方法 | |
JPH06302585A (ja) | 基板ウェット処理方法および装置 | |
JP3236250B2 (ja) | メッキ処理ラインの処理済物品排出装置 | |
JPH05190643A (ja) | 基板処理装置 | |
SU1419983A1 (ru) | Устройство дл упрочнени стекла | |
JPH0726206B2 (ja) | 薬品液による連続処理装置 |