JPH0726173B2 - 高靭性サーメット及びその製造方法 - Google Patents

高靭性サーメット及びその製造方法

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JPH0726173B2
JPH0726173B2 JP3041268A JP4126891A JPH0726173B2 JP H0726173 B2 JPH0726173 B2 JP H0726173B2 JP 3041268 A JP3041268 A JP 3041268A JP 4126891 A JP4126891 A JP 4126891A JP H0726173 B2 JPH0726173 B2 JP H0726173B2
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carbon
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武志 斉藤
幸三 北村
光生 植木
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    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C29/00Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides
    • C22C29/02Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides based on carbides or carbonitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C29/00Alloys based on carbides, oxides, nitrides, borides, or silicides, e.g. cermets, or other metal compounds, e.g. oxynitrides, sulfides

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば旋削工具,フラ
イス工具,ドリル,エンドミルなどの切削用工具材料、
又はスリッター,裁断刃,缶用金型,ノズルなどの耐摩
耗・耐食用工具材料として適し、これらの中でも耐熱衝
撃性を必要とする切削用工具材料、特に湿式切削用工具
材料として最適な高靭性サーメット及びその製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、TiC基サーメットは、窒素を含
有してないN無含有のTiC基サーメットと窒素を含有
しているN含有のTiC基サーメットに大別できる。こ
れらの内、N含有のTiC基サーメットは、N無含有の
TiC基サーメットに比べて強度及び耐塑性変形性に優
れる傾向にある。このために、最近のTiC基サーメッ
トは、N含有のTiC基サーメットが主流になる傾向に
ある。
【0003】しかし、N含有のTiC基サーメットは、
焼結工程における脱窒および浸炭が原因で焼結合金の表
面部が内部に比べて脆弱になりやすいという問題があ
る。
【0004】このような問題に対して、焼結合金の合金
特性上から好ましい表面部にしようという提案がなされ
ており、その代表的なものに、特開昭64−31949
号公報及び特開平2−15139号公報がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】特開昭64−3194
9号公報には、周期律表4a,5a,6a族金属の炭化
物,窒化物,炭窒化物,窒酸化物,ホウ化物及びこれら
の相互固溶体の中の少なくとも1種の硬質相と、Ni及
び/又はCoを主成分とする結合相と不可避不純物とか
らなる焼結合金の焼肌面の表面部における硬質相に50
kg/mm2以上の圧縮応力を付与させてなる高靭性焼
結合金が開示されている。
【0006】同公報に開示の高靭性焼結合金は、その焼
肌面の表面部にショットピーニングやサンドブラストに
より衝撃力を加えて圧縮応力を付与させて抗折強度及び
耐欠損性を向上させたという合金であるけれども、耐摩
耗性および耐熱衝撃性については考慮されてなく、特に
湿式切削用工具材料として用いる場合、耐摩耗性に乏し
いと同時に熱クラックの発生及び進展に起因する突発欠
損に対する信頼性に乏しいという問題がある。
【0007】特開平2−15139号公報には、焼肌面
の最大表面粗さが3.5μm以下で、実質的にポア,ボ
イドがなく、表面部に硬質かつ高靭性の領域を設けたN
含有のTiC基サーメットが開示されている。
【0008】同公報に開示のサーメットは、焼肌面の面
精度を高め、かつ実質的にポア,ボイドのない焼結合金
にすることなどにより、高靭性,高硬度にし、耐摩耗性
および耐欠損性を高めたというサーメットであるけれど
も、耐欠損性に満足できないこと、並びに耐熱衝撃性、
特に湿式切削用工具材料として用いる場合、熱クラック
の発生及び進展に起因する突発欠損に対する信頼性に乏
しいという問題がある。
【0009】本発明は、上述のような問題点を解決した
もので、具体的には、表面部の結合相の相対濃度を内部
の平均的結合相濃度に比べて減少させ、かつ表面に圧縮
応力を残存させて、耐熱衝撃性を高めると共に、耐摩耗
性及び耐欠損性をバランスよく高めた高靭性サーメット
及びその製造方法の提供を目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、N含有の
TiC基サーメットの諸特性の改善、特に湿式切削用工
具材料として用いた場合における性能改善について検討
していた所、次の知見を得た。第1に、焼結合金の表面
部に内部よりも著しく結合相の減少した領域を設けるこ
と、その領域は硬質となり耐摩耗性が改善されること。
【0011】第2に、上記領域は硬質であると同時に脆
弱であるので耐機械的衝撃性の低下という問題が生じる
が、結合相の濃度変化を急激にして上記領域の深さを小
さくすると、耐機械的衝撃性の低下が抑制されること
第3に、上記領域で結合相濃度の急激な変化があると、
焼結後の冷却過程における熱収縮量の差が原因で表面部
には圧縮応力が生じ、それにより熱クラックの伝播に対
する抵抗、すなわち熱衝撃に対する抵抗が著しく改善さ
れること。
【0012】この第1,第2及び第3の知見に基づいて
本発明を完成するに至ったものである。
【0013】すなわち、本発明の高靭性サーメットは、
TiとW,Mo,Crの中の少なくとも1種とN(窒
素)とC(炭素)とを含有してなる炭化物,窒化物,炭
窒化物の硬質相75〜95重量%と、残り鉄族金属を主
成分とする結合相と不可避不純物とからなる焼結合金で
あって、該焼結合金のTi含有量がTiN、又はTiN
とTiCに換算して35〜85重量%、W,Mo,Cr
合計含有量がWC,Mo2C及び/又はCr32に換
算して10〜40重量%であり、該焼結合金の表面から
0.01mm内部の該結合相の相対濃度が内部の平均的
結合相濃度の5〜50%で、該焼結合金の表面から0.
1mm内部の該結合相の相対濃度が内部の平均的結合相
濃度の70〜100%であり、かつ該焼結合金の表面で
30kgf/mm2以上の圧縮応力が残存されているこ
とを特徴とするものである。
【0014】本発明における硬質相は、具体的には、例
えばTiC,TiN,Ti(C,N),WC,Mo
2C,Cr32,(Ti,M′)C,(Ti,M′)
(C,N)を挙げることができる。(但し、M′はW,
Mo,Crの少なくとも1種を示す。)これらの硬質相
の他に、さらに周期律表第5a族金属及び/又は周期律
表第4a族金属(但し、Tiを除く)の含有した炭化
物,窒化物又は炭窒化物でなる硬質相、具体的には、例
えばTaC,NbC,VC,ZrC,HfC,TaN,
NbN,VN,ZrN,HfN,Ta(C,N),Nb
(C,N),V(C,N),Zr(C,N),Hf
(C,N),(Ti,M″)C,(Ti,M″)N,
(TI,M″)(C,N),(Ti,M′,M″)C,
(Ti,M′,M″)CN,(M′,M″)C,
(M′,M″)(C,N)を挙げることができる。(但
し、M″はTa,Nb,V,Zr,Hfの少なくとも1
種を示す。)本発明における硬質相は、上述した少なく
とも1種からなり、芯部とその外周部とが異なった複合
構造の硬質相、例えば芯部がTiC,Ti(C,N)、
外周部が(Ti,M′)C,(Ti,M′)(C,
N),(Ti,M′.M″)C,(Ti,M′,M″)
(C,N)の場合があり、化学量論組成又は非化学量論
組成でなるものである。
【0015】この硬質相の他に本発明を構成している結
合相は、具体的には、例えばFe,Ni,Coを主成分
とし、他に硬質相を構成している元素を固溶して形成さ
れている。
【0016】本発明における硬質相は、95重量%を超
えて多くなると、相対的に結合相が5重量%未満となっ
て、耐欠損性及び耐熱衝撃性の低下が著しくなること、
逆に75重量%未満になると、相対的に結合相が25重
量%を超えて多くなり、耐摩耗性及び耐塑性変形性の低
下が著しくなる。このために、硬質相は、焼結合金全体
の75〜95重量%と定めたものである。
【0017】本発明の高靭性サーメットにおけるTi含
有量は、焼結合金中に含有する窒素量を全てTiNにな
るものとして換算し、TiNとして換算した後も、さら
にTiが残存している場合にはTiCになるものとして
換算し、この換算量がTiN、又はTiNとTiCで全
体の35〜85重量%からなるものである。この換算量
が35重量%未満になると、その他の成分が多くなりす
ぎて耐摩耗性の低下が生じ、逆に85重量%を超えて多
くなると、その他の成分が少なくなりすぎて耐欠損性の
低下が生じる。
【0018】本発明における周期律表第6a族金属の含
有量は、Wの化合物として含有している場合のWの含有
量全てをWCと換算し、Moの化合物として含有してい
る場合のMoの含有量全てをMo2Cと換算し、Crの
化合物として含有している場合のCrの含有量全てをC
32と換算し、これらの換算量がWC,Mo2C及び
/又はCr32で全体の10〜40重量%からなるもの
である。この換算量が10重量%未満になると硬質相及
び結合相の強度不足となり耐欠損性を低下させること、
逆に40重量%を超えて多くなると相対的にTi含有量
が少なくなり耐摩耗性の低下となること及び硬質相の粗
大化から耐摩耗性も低下する。
【0019】本発明におけるV,Nb,Taの含有量
は、Ta,Nb,Vの化合物として含有している場合を
それぞれTaC,NbC,VCとして換算し、これらの
換算量が全体の30重量%以下でなるものである。この
換算量が30重量%を超えて多くなると硬質相の粗大化
が生じて耐欠損性の低下となる。また、室温及び高温に
おける強度を高めるために、V,Nb,Taの少なくと
も1種を含有させておくのが好ましいことである。
【0020】本発明におけるZr,Hfの含有量は、Z
r,Hfの化合物として含有している場合をそれぞれZ
rC,HfCとして換算し、これらの換算量が全体の5
重量%以下でなるものである。この換算量が5重量%を
超えて多くなると、焼結し難く、マイクロポアが発生し
耐欠損性の低下となる。また、高速切削時における耐摩
耗性を高めるために、Tiを除いた周期律表第4a族金
属を含有させておくのが好ましいことである。
【0021】本発明における焼結合金中に含有する窒素
は、主として硬質相に固溶して室温から高温での強度の
向上及び熱伝導率の向上に効果があり、機械的な耐欠損
性,耐熱衝撃性及び製造工程での焼結性の問題から、炭
素と窒素の含有量が重量比率で炭素/(炭素+窒素)=
0.2〜0.8でなることが好ましいことである。
【0022】本発明における焼結合金の表面部の結合相
の濃度分布は、具体的には焼結合金の表面から0.01
mmにおける内部と、表面から0.1mmにおける内部
での該結合相の相対濃度管理される。そのようにすれ
ば、その他の表面部における結合相の結合相濃度はそれ
ほど問題にならないものである。この表面部の結合相の
相対濃度は、焼結合金の表面から0.01mm内部にお
いて、内部の平均的結合相濃度の5%未満だと硬質にな
りすぎて耐欠損性が低下すること、逆に50%を超えて
多くなると耐摩耗性が低下すること、及び焼結工程時に
おける表面部の圧縮応力の残存が困難になる。また、焼
結合金の表面から0.1mm内部において、内部の平均
的結合相濃度の70%未満になると耐欠損性の低下が著
しくなる。
【0023】本発明における焼結合金の表面での圧縮応
力は、30kgf/mm2未満では耐熱衝撃性を高める
効果が弱くなる。
【0024】この本発明の高靭性サーメットは、例えば
結合相量の異なる成形圧粉体を圧着した後に焼結するな
ど、一種の接合技術を用いても得ることできるが、次
のような焼結工程でもって行うと、製造工程の簡素化か
ら好ましいことである。
【0025】すなわち、本発明の高靭性サーメットの製
造方法は、出発物質の混合工程,成形工程,焼結工程及
び冷却工程の内、該焼結工程が液相出現温度から最終焼
結温度における保持終了までは、5〜30Torrの窒
素ガス雰囲気中で行い、該最終焼結温度での保持終了後
における液相凝固完了までの冷却工程は真空中、冷却速
度10〜20℃/分で冷却することを特徴とする方法で
ある。
【0026】本発明の焼結方法は、最終焼結温度におけ
る保持終了までは窒素中焼結を行うことにより脱窒を抑
制して焼結合金の結合相濃度分布を均一に保ち、保持終
了後の冷却工程において真空排気を行って急激に脱窒さ
せ、表面付近にのみ結合相の濃度勾配を設けることに特
徴がある。
【0027】このとき、窒素ガス圧力が限定される理由
は、窒素ガス圧力が5Torr以下であると最終焼結温
度における脱窒抑制が不十分で結合相の減少領域が大き
くなり、その結果所定の結合相濃度勾配を得ることがで
きずに耐欠損性が低下する。一方30Torrを超える
と表面の結合相濃度が内部に対して5%よりも小さくな
り、かつマイクロポアが発生して耐欠損性が低下するよ
うになる。
【0028】圧力を一定に保つ理由は、圧力を漸増させ
た場合には焼結合金の表面に炭窒化物からなる膜が形成
されるために冷却時の真空排気による焼結合金からの脱
窒を生じさせることができなくなるからであり、一方圧
力を漸減させた場合には脱窒が焼結工程で生じるために
結合相濃度の減少領域が大きくなるからである。
【0029】窒素導入のタイミングについては、液相出
現温度より低温で窒素ガスを導入すると焼結性が低下し
てマイクロポアが発生して耐欠損性が低下するようにな
る。一方液相出現温度よりも高温で窒素ガスを導入する
と焼結合金の表面に窒化膜が生じて好ましくない。
【0030】次に冷却工程が重要となるが、特に液相凝
固完了(通常は1250℃前後)までの冷却工程におけ
る焼結雰囲気は真空にすることが好ましい。この冷却工
程中に脱窒が生じ、所定の結合相濃度勾配が生じること
になる。そしてこの場合の冷却速度であるが、10℃/
分よりも小さいと結合相濃度の減少領域が大きく、耐欠
損性が低下するようになり、一方20℃/分より大きい
と結合相濃度の減少量が小さくなるために耐摩耗性が改
良されず、さらに残留応力発生の駆動力も小さくなって
好ましくない。
【0031】ここで述べている液相出現温度とは、硬質
相となる出発物質と結合相となる出発物質の共晶温度又
は結合相となる出発物質と非金属元素との共晶温度に相
当するもので、昇温時に液相が発生する温度、具体的に
は、大体1300℃前後を示すものである。また、液相
凝固完了とは、焼結工程が完了した後、冷却工程になっ
た段階で温度が降下される時に液相から固相になった時
点、具体的に上述のように大体1250℃前後を示すも
のである。尚、焼結合金の表面の残留応力、すなわち圧
縮応力は、X線を用いて測定されるが、結合相の結晶粒
度が数百μmと大きく、そのために測定精度に乏しいの
で、ここでは硬質相の結晶粒子に負荷されている応力で
求められている。残留応力の測定は、所謂Sin−4法
で用いた。具体的には、Cuターゲット,40kw加速
電圧,30mA電流で、硬質相のB1構造の結晶粒子の
(115)結晶面を対称に測定した。この結晶粒子のヤ
ング率及びポアソン比は、便宜的にTiCの値(450
00kgf/mm 2 及び0.19)を用いた。結合相の
濃度分布は、EPMA分析により行った。具体的には7
°に角度研摩した試料を対象に、試料中央、表面から
0.1mm,表面から0.01mmに相 当する部位を、
分析面積120×85μm 2 の面分析に各10点供し、
その平均値で算出した。
【0032】
【作用】本発明の高靭性サーメットは、まず結合相の少
ない表面部が耐摩耗性を高める作用をするものである。
一方、この表面部によって耐欠損性の低下が生じるので
あるが、結合相の濃度勾配をコントロールすることによ
り、これを最小限に抑制し、さらに、表面に残存させた
圧縮応力が耐熱衝撃性を高める作用をしているものであ
る。
【0033】また、本発明の高靭性サーメットの製造方
法は、液相出現温度付近(通常は1300℃前後)から
窒素中で焼結を行うことにより、脱窒およびそれに起因
する結合相の拡散・移動を抑制することができる。そし
て焼結温度における焼結が終了後、焼結雰囲気を直ちに
真空に切り替え、液相凝固終了(通常は1250℃前
後)までの短時間に脱窒および結合相の拡散・移動を生
じさせることにより、極めて表面部のみで結合相の拡散
を生じさせることができる。具体的には焼結合金の表面
から0.01mm内部の結合相含有量は内部の5〜50
%と著しく少ないが、表面から0.1mm内部の結合相
含有量は内部の70〜100%と十分多くすることが可
能となる。
【0034】さらに、本発明の高靭性サーメットの製造
方法は、表面付近の結合相が減少した焼結合金をさらに
冷却すると、焼結合金は冷却に伴って熱収縮しようとす
るが、そもそも硬質相(炭窒化物)の熱膨張係数は結合
相(鉄族金属)のそれよりも小さいので、上記の結合相
濃度勾配を有する合金を冷却すると、結合相が少ない
(硬質相成分が多い)表面は内部よりも熱収縮量が小さ
くなり、その結果として内部からの張力により焼結合金
の表面には圧縮応力が生じようとする。
【0035】
【実施例1】市販の平均粒径1〜3μmの出発物質を表
1に示す重量比率で配合した後、湿式ボールミルによる
混合粉砕を行った。(但し、C/(C+N)について
は、焼結合金の分析値を示した。また、その他の組成成
分は、焼結後も変化が見られなかったので焼結合金の組
成成分は省略した。)次に、表1のそれぞれの試料を乾
燥後、TNMG160408形状に成形した。これらの
成形圧粉体を炉に設置し、炉内を真空にし、5℃/分昇
温速度で1300℃に加熱後、炉内に窒素ガスを導入
し、窒素ガス圧力15Torrの状態で、1500℃に
加熱し、60分間保持した。次いで、冷却工程として、
炉内を真空にし、15℃/分冷却速度で1250℃まで
冷却した。以降室温まで放令し、切削用スローアウェイ
チップを作製した。
【0036】
【表1】 このようにして得た焼結合金の表面部の結合相濃度分布
をEPMA分析し、表面の残留応力をX線応力装置によ
り、それぞれ測定し、その結果を表2に示した。
【0037】
【表2】 表2に示した本発明1〜9及び比較品1〜8の耐摩耗性
試験,耐欠損性試験及び耐熱衝撃性試験を行い、耐摩耗
性試験は、被削材S48C,切削速度180m/mi
n,切込み1.5mm,送り0.3mm/revで30
分間湿式連続旋削を行った時の平均逃げ面摩耗量で評価
し、耐欠損性試験は、被削材S45C(4本溝付),切
削速度100m/min,切込み1.5mm,初期送り
0.15mm/revで被削材1000回転分の乾式断
続旋削を行い、それで欠損しなければ、欠損に至るまで
送りを0.05mm/revずつ上昇させ、欠損時の送
りで評価し、耐熱衝撃性試験は、被削材S45C,切削
速度200m/min,切込み2.0mm,送り0.3
mm/revで、60秒切削、30秒空転冷却の湿式断
続旋削を繰り返し行い、初期欠損又はサーマルクラック
によって欠損するまでの時間で評価し、それぞれの結果
を表3に示した。
【0038】
【表3】
【0039】
【実施例2】実施例1の表1の本発明品2に示した配合
組成成分のものを表4に示すような焼結条件で焼結し
た。こうして得た本発明品10〜14及び比較品7〜1
を実施例1と同様にして、それぞれの合金の表面部の
結合相濃度分布及び表面の残留応力を測定し、その結果
を表5に示した。さらに、それぞれの合金を用いて、実
施例1と同様の切削試験を行い、その結果を表6に示し
た。
【0040】尚、ここで得た本発明品10〜14及び比
較品7〜14のそれぞれの合金のC/(C+N)は、
0.48〜0.55内にあった。
【0041】
【表4】 *15→20は、15Torrから20Torrへ漸増 **15→10は、15Torrから10Torrへ漸
【0042】
【表5】
【0043】
【表6】
【0044】
【発明の効果】以上、本発明の高靭性サーメットは、表
面部の結合相濃度の減少でもって耐摩耗性を高める効果
を引き出し、しかもその減少領域を小さく調整して、耐
欠損性の低下の生じないないような効果を引き出し、さ
らに、表面に残留圧縮応力を存在させることにより、耐
熱衝撃性を高めるという効果を引き出したもので、従来
のサーメット及び本発明を外れたサーメットが耐摩耗
性,耐欠損性又は耐熱衝撃性のいずれかの点で劣るのに
対し、耐摩耗性,耐欠損性及び耐熱衝撃性がバランスよ
く優れるというものである。
【0045】このことから、本発明の高靭性サーメット
は、使用領域が拡大し、従来のサーメットでは短寿命で
実用できなかった湿式断続切削領域にまで実用できると
いうものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C22C 1/05 L 29/16 J N

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 TiとW,Mo,Crの中の少なくとも
    1種とN(窒素)とC(炭素)とを含有してなる炭化
    物,窒化物,炭窒化物の硬質相75〜95重量%と、残
    り鉄族金属を主成分とする結合相と不可避不純物とから
    なる燒結合金において、該焼結合金中のTi含有量がT
    iN、又はTiNとTiCに換算して35〜85重量
    %、W,Mo,Crの合計含有量がWC,Mo2C及び
    /又はCr32に換算して10〜40重量%であり、該
    焼結合金の表面から0.01mm内部の該結合相の相対
    濃度が内部の平均的結合相濃度の5〜50%で、該焼結
    合金の表面から0.1mm内部の該結合相の相対濃度が
    内部の平均的結合相濃度の70〜100%であり、かつ
    該焼結合金の表面で30kgf/mm2以上の圧縮応力
    が残存されていることを特徴とする高靭性サーメット。
  2. 【請求項2】 上記焼結合金は、炭素と窒素の含有量が
    重量比率で炭素/(炭素+窒素)が0.2〜0.8でな
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の高靭性
    サーメット。
  3. 【請求項3】 TiとW,Mo,Crの中の少なくとも
    1種とN(窒素)とC(炭素)とV,Nb,Ta,Z
    r,Hfの中の少なくとも1種とを含有してなる炭化
    物,窒化物,炭窒化物の硬質相75〜95重量%と残り
    鉄族金属を主成分とする結合相と不可避不純物とからな
    る焼結合金において、該焼結合金中のTi含有量がTi
    N又はTiNとTiCに換算して35〜85重量%、
    W,Mo,Crの合計含有量がWC,Mo2C及び/又
    はCr32に換算して10〜40重量%、V,Nb,T
    の合計含有量がVC,NbC及び/又はTaCに換算
    して30重量%以下、Zr,Hfの合計含有量がZrC
    及び/又はHfCに換算して5重量%以下であり、該焼
    結合金の表面から0.01mm内部の該結合相の相対濃
    度が内部の平均的結合相濃度の5〜50%で、該焼結合
    金の表面から0.1mm内部の該結合相の相対濃度が内
    部の平均的結合相濃度の70〜100%であり、かつ該
    焼結合金の表面で30kgf/mm2以上の圧縮応力が
    残存されていることを特徴とする高靭性サーメット。
  4. 【請求項4】 上記焼結合金は、炭素と窒素の含有量が
    重量比率で炭素/(炭素+窒素)が0.2〜0.8でな
    ることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の高靭性
    サーメット。
  5. 【請求項5】 Tiの炭化物,窒化物,炭窒化物と、周
    期律表第6a族金属の炭化物と、もしくはこれらの相互
    固溶体でなる出発物質を混合,成形,焼結及び冷却工程
    を経て特許請求の範囲第1項記載の高靭性サーメットと
    する製造方法であって、該焼結工程が液相出現温度から
    最終焼結温度における保持終了までは、5〜30Tor
    rの一定圧力の窒素ガス雰囲気中で焼結を行い、該最終
    焼結温度での保持終了後における液相凝固完了までの
    冷却工程においては真空中で冷却速度10〜20℃/分
    で冷却することを特徴とする高靭性サーメットの製造方
    法。
  6. 【請求項6】 Tiの炭化物,窒化物,炭窒化物と、周
    期律表第6a族金属の炭化物と、周期律表第4a族金属
    (但しTiを除く)及び/又は第5a族金属の炭化物,
    窒化物,炭窒化物と、もしくはこれらの相互固溶体でな
    る出発物質を混合,成形,焼結及び冷却工程を経て特許
    請求の範囲第項記載の高靭性サーメットとする製造方
    法であって、該焼結工程が液相出現温度から最終焼結温
    度における保持終了までは、5〜30Torrの一定圧
    力の窒素ガス雰囲気中で焼結を行い、該最終焼結温度で
    の保持終了後における液相凝固完了までの冷却工程は
    真空中で冷却速度10〜20℃/分で冷却することを特
    徴とする高靭性サーメットの製造方法。
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