JPH07248257A - 赤外線検知器 - Google Patents

赤外線検知器

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Publication number
JPH07248257A
JPH07248257A JP6065714A JP6571494A JPH07248257A JP H07248257 A JPH07248257 A JP H07248257A JP 6065714 A JP6065714 A JP 6065714A JP 6571494 A JP6571494 A JP 6571494A JP H07248257 A JPH07248257 A JP H07248257A
Authority
JP
Japan
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lead
infrared
substrate
infrared detector
flexible pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP6065714A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoyuki Kawakami
直之 川上
Naofumi Fushimi
直文 伏見
Kenzo Chiaki
謙三 千秋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP6065714A priority Critical patent/JPH07248257A/ja
Publication of JPH07248257A publication Critical patent/JPH07248257A/ja
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 振動に対する信頼性が高く構成的に簡易な電
気的接続を有する赤外線検知器を提供すること。 【構成】 本発明では、真空の容器内に収容された赤外
線検出素子と、該赤外線検出素子を所定温度に冷却する
ための冷却手段と、前記赤外線検出素子の出力を外部に
導出するための接続手段とを備えた赤外線検知器におい
て、前記接続手段は、前記赤外線検出素子に接続された
フレキシブルパターン基板と、一端が前記フレキシブル
パターン基板に接続され他端が前記容器の外部に突出し
たリードアウト手段とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線検知器に関し、
さらに詳細には赤外線検知素子を極低温に冷却して使用
する赤外線検知器に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来の赤外線検知器の構成を示
す断面図である。一方、図4は図3に対応した図であっ
て、従来の赤外線検知器の要部構成を示す斜視図であ
る。図3および図4を参照すると、図示の赤外線検知器
は、真空容器102に収容された赤外線検知素子101
と、この赤外線検知素子101を極低温に冷却するため
の冷却機103とを備えている。
【0003】真空容器102は外筒104と内筒105
とからなり、外筒104の内周壁面と内筒105の外周
壁面との間に形成される空間が真空状態に保持されてい
る。外筒104の上部壁中央には、被写体からの赤外線
を赤外線検知素子101に導き入れるための窓106が
形成されている。赤外線検知素子101はホルダ107
によって保持されており、ホルダ107は内筒105の
上方開口部に固定されたコールドプレート108に取り
付けられている。被写体からの赤外線以外の光が赤外線
検知素子101に入射することがないように、赤外線検
知素子101はコールドシールド110によって図示の
ように包囲されている。
【0004】冷却機103の冷却ヘッドを構成するコー
ルドフィンガ103aは、内筒105内に進入するよう
に形成されている。コールドフィンガ103aの先端面
とコールドプレート108との間には、コールドフィン
ガ103aからの冷熱を赤外線検知素子101に伝える
サーマルインターフェース111が設けられている。こ
うして、赤外線検知素子101は、真空容器102内で
極低温に冷却され、窓106を透過して入射した赤外線
を検出し、検出した赤外線を電気信号に変換して出力す
る。
【0005】赤外線検知素子101の受光面とは反対側
の面(図中下面)には、ワイヤ109aおよび119b
の一端がワイヤーボンディングにより接続されている。
そして、ワイヤ109aおよび109bの他端は、ホル
ダ107の側壁面に形成されたパッド112aおよび1
12bにそれぞれ接続されている。また、内筒105の
外周壁面には、その軸線方向にほぼ平行に且つ周方向に
間隔を隔てて配置された所定数の配線からなるパターン
配線114が形成されている。パッド112aおよび1
12bは、それぞれリード線113aおよび113bを
介してパターン配線114の一端に接続されている。一
方、パターン配線114の他端は、リード線113cお
よび113dを介してリードアウトピン115aおよび
115bの一端にそれぞれ接続されている。リードアウ
トピン115aおよび115bは、図示のように、外筒
104の周壁を放射状に貫通するように構成されてい
る。
【0006】なお、ホルダ107の側壁面に形成された
パッド112aおよび112bからリードアウトピン1
15aおよび115bまでの電気的接続の様子は、図4
に明瞭に示されている。図4において、パッド112a
(112b)とリード線113a(113b)との接
続、リード線113a(113b)と内筒パターン配線
114との接続、内筒パターン配線114とリード線1
13c(113d)との接続、およびリード線113c
(113d)とリードアウトピン115a(115b)
との接続は、真空度を維持するために放出ガスの少ない
真空用ハンダ材を用いたハンダ付けによってなされてい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の赤
外線検知器では、パターン配線が内筒の外周壁面外周壁
面のような曲面上に形成されていた。したがって、曲面
上にパターン配線を剥離しないように形成することは困
難であるという不都合があった。また、内筒がガラスか
らなる場合にはその融点が低すぎてパターン配線を形成
するのが困難なため、内筒の外周壁にリード線を埋設す
るような方法も考えられる。しかしながら、ガラス壁に
溝を刻設し、リード線を敷設してからガラス粉を用いて
リード線を覆うのは、極めて手間がかかりコストが上昇
するという不都合があった。
【0008】また、上述の数多くの電気的接続点の各々
において真空ハンダ付けを行うことは、手間がかかりコ
ストの上昇を招くばかりでなく、振動に対する電気的接
続の信頼性ひいては赤外線検知器の信頼性が損なわれ易
いという不都合があった。さらに、円周面上に形成され
たパターン配線に対応してリードアウトピンを放射状に
配列している。このため、各リードアウトピンの貫通孔
について容器の密封性を確保しなければならないので、
手間がかかりコストが上昇するという不都合があった。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、振
動に対する信頼性が高く構成的に簡易な電気的接続を有
する赤外線検知器を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、真空の容器内に収容された赤外線検出素子と、該赤
外線検出素子を所定温度に冷却するための冷却手段と、
前記赤外線検出素子の出力を外部に導出するための接続
手段とを備えた赤外線検知器において、前記接続手段
は、前記赤外線検出素子に接続されたフレキシブルパタ
ーン基板と、一端が前記フレキシブルパターン基板に接
続され他端が前記容器の外部に突出したリードアウト手
段とを備えていることを特徴とする赤外線検知器を提供
する。
【0010】好ましい態様によれば、前記リードアウト
手段は複数のリードアウトピンが互いにほぼ平行に形成
されたリードアウト基板であり、該リードアウト基板と
前記フレキシブルパターン基板との接続がほぼ平面上で
なされている。さらに、前記リードアウト基板と前記フ
レキシブルパターン基板との接続、および前記赤外線検
知素子と前記フレキシブルパターン基板との接続が、リ
ローボンディングによりなされているのが好ましい。
【0011】
【作用】上述のように、本発明の赤外線検知器では、赤
外線検知素子とリードアウトピンとの間の接続が、フレ
キシブルパターン基板を介して行われる。フレキシブル
パターン基板は全体的に平面状で可撓性があり、内筒の
外周壁面から離間して設けられる。したがって、外筒の
外周壁面上にパターン配線を形成する困難性が回避さ
れ、製造が容易になる。
【0012】また、複数のリードアウトピンが互いにほ
ぼ平行に配列されたリードアウト基板を用いて、リード
アウト基板とフレキシブルパターン基板との接続がほぼ
平面上でなされるようにすれば、接続が容易になり信頼
性および生産性が向上する。この場合、赤外線検知素子
とフレキシブルパターン基板との接続、あるいはリード
アウト基板とフレキシブルパターン基板との接続をリフ
ローボンディングにより行れば、接続が容易になり信頼
性および生産性が向上する。
【0013】
【実施例】本発明の実施例を、添付図面に基づいて説明
する。図1は、本発明の実施例にかかる赤外線検知器の
構成を示す断面図である。一方、図2は、図1に対応す
る図であって、本発明の実施例にかかる赤外線検知器の
要部構成を示す斜視図である。図1および図2を参照す
ると、図示の赤外線検知器は、真空容器2に収容された
赤外線検知素子1と、この赤外線検知素子1を極低温
(たとえば80K程度)に冷却するための冷却機3とを
備えている。
【0014】真空容器2は外筒4と内筒5とからなり、
外筒4の内周壁面と内筒5の外周壁面との間に形成され
る空間が真空状態に保持されている。外筒4の上部壁中
央には、被写体からの赤外線を赤外線検知素子1に導き
入れるための窓6が形成されている。赤外線検知素子1
はホルダ7によって保持されている。一方、ホルダ7
は、内筒5の上方開口部に固定されたコールドプレート
8に取り付けられている。
【0015】また、被写体からの赤外線以外の光が赤外
線検知素子1に入射することがないように、赤外線検知
素子1は図示のようにコールドシールド10によって包
囲されている。コールドシールド10はホルダ7上に取
り付けられているので、冷却機3の作用により、赤外線
検知素子1と同様に極低温に冷却される。こうして、極
低温に冷却されたコールドシールド10自体からの赤外
線放射が防止される。なお、内筒5は、ガラスやセラミ
ックスなどの熱伝導率の比較的小さい材料で成形されて
いる。
【0016】冷却機3の冷却ヘッドを構成するコールド
フィンガ3aは、図示のように、内筒5内に進入するよ
うに形成されている。コールドフィンガ3aの先端面と
コールドプレート8との間には、コールドフィンガ3a
からの冷熱を赤外線検知素子1に伝えるためのサーマル
インターフェース11が設けられている。したがって、
冷却機3が作動すると、コールドフィンガ3aからの冷
熱がサーマルインターフェース11を介してコールドプ
レート8に伝わり、さらにこのコールドプレート8に接
するホルダ7を介して赤外線検知素子1に伝わる。
【0017】こうして、赤外線検知素子1は、断熱構造
を有する真空容器2内で冷却機3の作用により冷却され
る。やがて、赤外線検知素子1が所定の温度(たとえば
80K程度)に達すると、窓6を透過して入射する赤外
線を検出し、検出した赤外線を電気信号に変換して出力
する。
【0018】一方、赤外線検知素子1の受光面とは反対
側の面(図中下面)には、ワイヤ9aおよび9bの一端
がワイヤーボンディングにより接続されている。そし
て、ワイヤ9aおよび9bの他端は、ホルダ7の側壁面
に形成されたパッド12aおよび12bにそれぞれ接続
されている。パッド12aおよび12bは、真空用のハ
ンダ材によるリフローボンディングにより、フレキシブ
ルパターン基板14aおよび14bの一端にそれぞれ接
続されている。フレキシブルパターン基板14は全体的
に平面状であり、内筒5とは離間している。一方、フレ
キシブルパターン基板14aおよび14bの他端は、真
空用のハンダ材によるリフローボンディングにより、リ
ードアウト基板15aおよび15bの一端に接続されて
いる。
【0019】なお、リードアウト基板15aおよび15
bは、それぞれ基板上に所定数のリードアウトピンを互
いにほぼ平行に配列して構成されている。したがって、
フレキシブルパターン基板14aおよび14bの他端と
リードアウト基板15aおよび15bの一端との接続
は、平面上でなされるようになっている。そして、リー
ドアウト基板15aおよび15bの他端は、図1に示す
ように、外筒4の周壁を貫通し外部に突出している。こ
うして、赤外線検知素子1が出力する電気信号は、外部
に突出したリードアウトピン基板15aおよび15bの
他端を介して外部の装置(不図示)に送られ、最終的に
映像信号に変換される。
【0020】なお、真空中における放出ガスが少ない構
造の(たとえばカプトン層によって銅線を被覆した接着
材を使用しないタイプ)フレキシブルパターン基板を使
用すれば、容器内の真空度の劣化を伴うことがなく有利
である。また、上述の実施例では、リードアウトピン基
板を用いた例を示しているが、フレキシブルパターン基
板の他端を複数の独立したリードアウトピンに接続して
もよい。さらに、上述の実施例では、フレキシブルパタ
ーン基板の両端の接続にリフローボンディングを使用す
る例を示したが、フレキシブルパターン基板のいずれか
一端のみにリフローボンディングを使用してもよいし、
その一端または両端に通常の真空用ハンダ付けを行って
もよいし、ワイヤーボンディングに代表されるような超
音波溶着を行ってもよい。
【0021】
【効果】以上説明したように、本発明の赤外線検知器で
は、赤外線検知素子とリードアウトピンとの間の接続
に、外筒の外周壁面上に形成されたパターン配線ではな
くフレキシブルパターン基板を用いている。その結果、
振動に対する信頼性が高く構成的に簡易な電気的接続を
実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例にかかる赤外線検知器の構成を
示す断面図である。
【図2】図1に対応した図であって、本発明の実施例に
かかる赤外線検知器の要部構成を示す斜視図である。
【図3】従来の赤外線検知器の構成を示す断面図であ
る。
【図4】図3に対応した図であって、従来の赤外線検知
器の要部構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 赤外線検知素子 2 真空容器 3 冷却機 4 外筒 5 内筒 6 窓 7 ホルダ 8 コールドプレート 9 ワイヤ 10 コールドシールド 11 サーマルインターフェース 12 パッド 14 フレキシブルパターン基板 15 リードアウト基板

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空の容器内に収容された赤外線検出素
    子と、該赤外線検出素子を所定温度に冷却するための冷
    却手段と、前記赤外線検出素子の出力を外部に導出する
    ための接続手段とを備えた赤外線検知器において、 前記接続手段は、前記赤外線検出素子に接続されたフレ
    キシブルパターン基板と、一端が前記フレキシブルパタ
    ーン基板に接続され他端が前記容器の外部に突出したリ
    ードアウト手段とを備えていることを特徴とする赤外線
    検知器。
  2. 【請求項2】 前記リードアウト手段は複数のリードア
    ウトピンが互いにほぼ平行に形成されたリードアウト基
    板であり、該リードアウト基板と前記フレキシブルパタ
    ーン基板との接続がほぼ平面上でなされていることを特
    徴とする請求項1に記載の赤外線検知器。
  3. 【請求項3】 前記リードアウト基板と前記フレキシブ
    ルパターン基板との接続は、リフローボンディングによ
    りなされていることを特徴とする請求項2に記載の赤外
    線検知器。
  4. 【請求項4】 前記赤外線検知素子と前記フレキシブル
    パターン基板との接続は、リローボンディングによりな
    されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか
    1項に記載の赤外線検知器。
JP6065714A 1994-03-09 1994-03-09 赤外線検知器 Pending JPH07248257A (ja)

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JP6065714A JPH07248257A (ja) 1994-03-09 1994-03-09 赤外線検知器

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ID=13294971

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JP6065714A Pending JPH07248257A (ja) 1994-03-09 1994-03-09 赤外線検知器

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JP (1) JPH07248257A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012098088A (ja) * 2010-10-29 2012-05-24 Tdk Corp 温度センサ
JP2017103326A (ja) * 2015-12-01 2017-06-08 株式会社Ihi 観察装置

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JP2012098088A (ja) * 2010-10-29 2012-05-24 Tdk Corp 温度センサ
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