JPH0724435U - 紫外線照射装置 - Google Patents

紫外線照射装置

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JPH0724435U
JPH0724435U JP5614393U JP5614393U JPH0724435U JP H0724435 U JPH0724435 U JP H0724435U JP 5614393 U JP5614393 U JP 5614393U JP 5614393 U JP5614393 U JP 5614393U JP H0724435 U JPH0724435 U JP H0724435U
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JP
Japan
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base end
housing
reflecting mirror
air supply
space
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JP5614393U
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Inventor
広井和則
Original Assignee
日本電池株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【目的】設備全体の省力化並びに小型化を図りつつ放電
灯の高負荷要求に応える。 【構成】照射窓1を有した筐体2と、この筐体2の内部
に配設され先端3a側を照射窓1に向かって漸次拡開さ
せたコールドミラー3と、このコールドミラー3の内側
に配設した放電灯4とを具備してなる。前記筐体2内に
おけるコールドミラー3の外面3c側に形成される外側
空間5と、コールドミラー3の内面3d側に形成される
内側空間6とを、そのコールドミラー3の先端3a側で
連続させるとともに基端3b側で隔離し、排気口7を前
記内側空間6の基端6b側に連通させるとともに給気口
8を前記外側空間5の基端5b側に連通させている。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、各種工業製品や印刷物等についての乾燥処理や表面処理あるいは種 々の殺菌処理等に広く使用される紫外線照射装置に関し、特に、その光源である 放電灯や反射鏡に対する冷却構造部分の改良に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の紫外線照射装置として、例えば図3に示すようなものが知られている 。すなわち、この紫外線照射装置は、照射窓aを有した筐体bと、この筐体bの 内部に配設され先端ca側を照射窓aに向かって漸次拡開させた反射鏡cと、こ の反射鏡cの内側に配設した放電灯dとを具備してなるもので、前記筐体b内に おける反射鏡cの外面側に形成される外側空間eと、反射鏡cの内面側に形成さ れる内側空間fとを、その反射鏡cの先端ca側と基端cb側とにおいてそれぞ れ連続させている。そして、光源である放電灯dと、その放電灯dからの熱で過 熱されがちな反射鏡cを冷却するために、筐体bの背壁中央に排気口gを、前記 外側空間eと前記内側空間fの各基端eb、fb側にそれぞれ連通させて設ける とともに、筐体bの側壁に給気口hを、前記外側空間eと内側空間fの各先端e a、fa側にそれぞれ連通させて設けている。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】
しかして、このような構成によれば、前記排気口gに図示しない排風機を備え た排気系路を接続して強制排気を行なった場合、給気口hを通して筐体b内に導 入された外気Aは、反射鏡cの先端ca側において外側空間eと内側空間fとに 分岐案内され、この反射鏡cの外面と内面とに沿って流れた後、反射鏡cの基端 cb側で再び合流して排気口gから筐体b外に排出される。
【0004】 ところが、このような構成のものでは、導入される外気Aを有効に利用して反 射鏡cや放電灯dを効率よく冷却するのが難しいという問題がある。すなわち、 この種の紫外線照射装置においては、放電灯dによって反射鏡cの基端cb側が 過熱され易く、この基端cb部分が特に高温になる傾向がある。その結果、その 基端cb部分において、反射鏡cを構成しているガラス自体が変形し、このガラ スの表面に真空蒸着等により形成してある反射層が剥離するという問題が発生し 易い。前記ガラスと前記反射層とは異なった膨脹率を備えているため、反射鏡c の基端cb部分の温度が高くなると、その部分におけるガラスと反射層との膨脹 差が比較的大きくなり、視認可能な変形を招く前にその膨脹差に起因して反射層 がガラスから剥離することもある。
【0005】 これを防止すべく外気Aにより反射鏡cを冷却するわけであるが、従来の構成 では、給気口hから筐体b内に導入された温度の低い外気Aがまず反射板cの先 端ca部分に接触し、その反射板cから熱を奪いながら基端cb側に流れること になる。したがって、反射板cの先端ca部分が最もよく冷却される結果を招き 、高温に晒される基端cb側を効率的に冷却するのが難しいという問題がある。 また、かかる従来のものでは、給気口hから筐体b内に導入される外気Aが、反 射板cにより区成された内側空間fと外側空間eとに分流し、最終段階で合流し て排気口gから筐体b外に導出されるようになっているため、最も温度が高くな る放電灯dに接触または接近して流れる外気Aの割合が比較的少なくなる。その ため、放電灯dの高負荷傾向が著しくなるにしたがって、排気風量を急激に増加 させる必要が生じ、紫外線照射を目的とした器具に見合わないような大型の排風 機が必要になるという問題もある。
【0006】 本考案は、かかる不具合をことごとく解消することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本考案は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである 。すなわち、本考案に係る紫外線照射装置は、照射窓を有した筐体と、この筐体 内部に配設され先端側を照射窓に向かって漸次拡開させた反射鏡と、この反射鏡 の内側に配設した放電灯とを具備してなり、前記筐体内における反射鏡の外面側 に形成される外側空間と、反射鏡の内面側に形成される内側空間とを、その反射 鏡の先端側で連続させるとともに基端側で隔離し、排気口を前記内側空間の基端 側に連通させるとともに給気口を前記外側空間の基端側に連通させたことを特徴 とする。
【0008】 放電灯に対する冷却効果を特に向上させたい場合には、排気口と給気口とを逆 に設けるのがよい。すなわち、排気口を外側空間に連通させるとともに給気口を 内側空間の基端側に連通させて設けるのがよい。
【0009】
【作用】
請求項1記載の考案によれば、給気口から外側空間の基端側に導入された外気 が反射鏡の外面に反って先端方向に流れ、その反射鏡の先端を迂回して内側空間 に案内される。そして、その外気は反射鏡の内面に反って基端方向に流れ、最終 的に排気口から筐体外に排出される。
【0010】 しかして、このようなものであれば、給気口から順次導入される温度の低い外 気が、まず、反射鏡の基端部分に接触することになるため、反射鏡の基端側が特 に効率的に冷却される結果となり、反射鏡の基端部分が高温化するのを有効に抑 制することが可能となる。。
【0011】 また、給気口から導入された外気の全量が、内部空間を通過して排気口に案内 されるため、その内部空間に配設された放電灯の周囲を通過する外気の流量を従 来のものに比べて大幅に増加させることができる。
【0012】 一方、請求項2記載の考案によれば、給気口から内側空間の基端側に導入され た外気が反射鏡の内面に反って先端方向に流れ、その反射鏡の先端を迂回して外 側空間に案内される。そして、その外気は反射鏡の外面に反って基端方向に流れ 、最終的に排気口から筐体外に排出される。
【0013】 しかして、この場合には、給気口から逐次導入される温度の低い外気が、まず 、反射鏡の基端部分と放電灯に接触することになるため、反射鏡の基端側の高温 化を抑えることができるとともに、放電灯を特に効果的に冷却することが可能と なる。
【0014】
【実施例】
以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。
【0015】 図1は、本考案の一実施例を示す模式的な横断面図である。図1に示された紫 外線照射装置は、照射窓1を有した筐体2と、この筐体2の内部に配設した反射 鏡たるコールドミラー3と、このコールドミラー3の内側に配設した放電灯4と を具備してなる。
【0016】 筐体2は、前面壁21と、側壁22と、背面壁23と、図示しない端壁とを具 備してなるもので、その前面壁21に照射窓1を備えている。照射窓1は、前面 壁21に設けた開口部11にコールドフィルタ12を気密に装着したものである 。コールドフィルタ12は、石英ガラス12aの内面にフィルタ層12bを真空 蒸着等により形成したもので、放電灯4で発生した熱が被照射物に悪影響を与え るのを防止するために設けられており、主に紫外線Uを選択透過させ得るように なっている。
【0017】 コールドミラー3は、先端3a側を照射窓1に向かって漸次拡開させた樋状の もので、耐熱硬質ガラス31の内面に反射層32を真空蒸着処理により形成して なる。コールドミラー3の基端3bには、長手方向に伸びる通気スリット33が 穿設してある。
【0018】 放電灯4は、いわゆるUVランプ等と称される構成のもので、円筒体状をなし ており、コールドミラー3の基端3b近傍に配設されている。
【0019】 このようなものにおいて、前記筐体2内におけるコールドミラー3の外面3c 側に形成される外側空間5と、コールドミラー3の内面3d側に形成される内側 空間6とを、そのコールドミラー3の先端3a側で連続させるとともに基端3b 側で隔離している。具体的には、コールドミラー3の先端3aと筐体2の前面壁 21との間に一定の隙間を形成して、外側空間5と内側空間6とを連通させてい る。また、コールドミラー3の基端3bにおける通気スリット33の両側縁部と 筐体2の背面壁23との間に背面方向に拡開する隔壁24を設け、この隔壁24 によって前記外側空間5と内側空間6とを隔離している。そして、筐体2の背面 壁23における中央部分に排気口7を設け、この排気口7を前記通気スリット3 3を介して前記内側空間6の基端6b側に連通させている。また、前記背面壁2 3の側縁近傍部に給気口8をそれぞれ穿設し、それら各給気口8を外側空間5の 基端5b側に連通させている。なお、この実施例では、前記排気口7に図示しな い排風機を備えた排気系路を接続し、給気口8を大気に開放している。25は、 筐体2内に導入された外気Aをコールドミラー3の外面3cに沿って円滑に流下 させるための案内壁である。
【0020】 このような構成のものであれば、排風機を作動させると、筐体2内に次のよう な外気Aの流れが生成される。すなわち、給気口8から外側空間5の基端5b側 に導入された外気Aはコールドミラー3の外面3cに沿って先端3a方向に流れ 、そのコールドミラー3の先端3aを迂回して内側空間6に案内される。そして 、その外気Aはコールドミラー3の内面3dに沿って基端3b方向に流れ、最終 的に通気スリット33を通過して排気口7から筐体2外に排出される。
【0021】 しかして、このようなものであれば、給気口8から順次導入される温度の低い 外気Aが、まず、コールドミラー3の基端3b部分に接触することになるため、 コールドミラー3の基端3b側が効率的に冷却されることになる。そのため、コ ールドミラー3の基端3b部分で耐熱硬質ガラス31自体が熱により変形するの を効果的に抑制することができ、反射層32が耐熱硬質ガラス31から剥離する のを防止することが可能となる。反射層32と耐熱硬質ガラス31との膨脹率に 違いがあっても、コールドミラー3の基端3b部分を比較的低い温度に維持して おけばその膨脹差を小さくすることができるものであり、反射層32の剥離を有 効に防止することが可能となる。
【0022】 また、給気口8から導入された外気Aの全量が、内部空間6を通過して排気口 7に案内されるため、その内部空間6に配設された放電灯4の周囲を通過する外 気Aの流量を従来のものに比べて大幅に増加させることができる。そのため、放 電灯4の負荷が同じであれば、従来のものに比べて小型の排風機を用いて過度の 温度上昇を抑制することが可能となり、排気能力が同じであれば、従来のものに 比べてより高負荷の放電灯を使用することができる。
【0023】 図2は、以上説明した実施例とは逆に、排気口7を外側空間5の基端5b側に 連通させるとともに給気口8を内側空間6の基端6b側に連通させた場合の一実 施例を示すもので、図1に示すものと同一の部分あるいは相当する部分には、同 一の符号を付して説明を省略する。
【0024】 このような構成のものであれば、前記排気口7に排気系路を接続して排風機に よる排気を開始すると、給気口8から内側空間6の基端6b側に導入された外気 Aがコールドミラー3の内面3dに反って先端3a方向に流れ、そのコールドミ ラー3の先端3aを迂回して外側空間5に案内される。そして、その外気Aはコ ールドミラー3の外面3cに沿って基端3b方向に流れ、最終的に排気口7から 筐体2外に排出される。
【0025】 しかして、この場合には、給気口8から逐次導入される温度の低い外気Aが、 まず、コールドミラー3の基端3b部分と放電灯4に接触することになるため、 コールドミラー3の基端3b側の温度上昇を有効に抑制することができるだけで なく、放電灯4をより効率的に冷却することが可能となる。そのため、コールド ミラー3の基端3b側が高温に晒されて変形し反射層32が耐熱硬質ガラス31 から剥離するという不具合や、放電灯4の温度が異常に上昇してその耐久性が低 下したり図示しない被照射物に悪影響を与え易いという不具合を、大型の排気設 備を用いることなしに解消することができる。
【0026】 なお、以上説明した実施例では、排気口に排風機を備えた排気系路を接続し、 給気口を大気中に開放した場合について説明したが、給気口に送風機を備えた給 気系路を接続してもよい。この場合、排気系路と給気系路を共に設けてよいし、 給気系路のみを設けて排気口を大気中に開放してもよい。あるいは、排風機や送 風機を用いた強制換気を行わず、対流を利用した自然換気方式を採用してもよい のは勿論である。
【0027】 また、反射鏡や筐体の材質、構造、形状も以上説明したものに限定されるもの ではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【0028】 さらに、本考案は、照射窓を下方に向けて配置される紫外線照射装置のみなら ず、照射窓を側方あるいは上方に向けて配置されるもの等にも、同様に適用が可 能である。
【0029】
【考案の効果】
以上詳述したように、本考案は、反射鏡の基端側を特に効果的に冷却すること ができるとともに、筐体内に導入される外気の全量を放電灯を配設した内側空間 に導くことができるようにしているので、大型の換気設備を用いることなしに、 反射鏡の基端部分で反射層の剥離現象を招き易いという不具合や、放電灯の温度 が高くなり過ぎてその耐久性が低下したり被照射物に悪影響を与え易いという不 具合を解消することができる。したがって、本考案によれば、従来のものよりも 少ない風量で反射鏡と放電灯を効果的に冷却することができ、設備全体の省力化 並びに小型化を図りつつ放電灯の高負荷要求に応えることができる紫外線照射装 置を提供できるものである。
【0030】 なお、請求項1記載の考案によれば、筐体に導入される温度の低い外気を、反 射鏡の基端部分に接触させ易くなるため、その基端部分が高温化するのを特に効 果的に抑制することが可能となる。一方、請求項2記載の考案によれば、温度の 低い外気をまず放電灯に接触させることができるため、放電灯を特に効果的に冷 却することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例を示す模式的な横断面図。
【図2】本考案の他の実施例を示す模式的な横断面図。
【図3】従来例を示す模式的な横断面図。
【符号の説明】
1…照射窓 2…筐体 3…反射鏡(コールドミラー) 3a…先端 3b…基端 3c…外面 3d…内面 4…放電灯 5…外側空間 5b…基端 6…内側空間 6b…基端 7…排気口 8…給気口

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】照射窓を有した筐体と、この筐体内部に配
    設され先端側を照射窓に向かって漸次拡開させた反射鏡
    と、この反射鏡の内側に配設した放電灯とを具備してな
    り、前記筐体内における反射鏡の外面側に形成される外
    側空間と、反射鏡の内面側に形成される内側空間とを、
    その反射鏡の先端側で連続させるとともに基端側で隔離
    し、排気口を前記内側空間の基端側に連通させるととも
    に給気口を前記外側空間の基端側に連通させたことを特
    徴とする紫外線照射装置。
  2. 【請求項2】排気口を内側空間の基端側に連通させると
    ともに給気口を外側空間の基端側に連通させるのに代え
    て、排気口を外側空間に連通させるとともに給気口を内
    側空間の基端側に連通させたことを特徴とする請求項1
    記載の紫外線照射装置。
JP5614393U 1993-10-18 1993-10-18 紫外線照射装置 Pending JPH0724435U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017120751A (ja) * 2015-12-30 2017-07-06 Hoya Candeo Optronics株式会社 光照射装置
JP2021163710A (ja) * 2020-04-03 2021-10-11 東芝ライテック株式会社 光照射装置、および処理装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017120751A (ja) * 2015-12-30 2017-07-06 Hoya Candeo Optronics株式会社 光照射装置
US10139096B2 (en) 2015-12-30 2018-11-27 Hoya Candeo Optronics Corporation Light irradiating device
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