JPH02253839A - 光照射器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は２例えばフォトレジスト、光硬化型のペイン
ト、インク、バインダ等の被処理物を主として紫外線を
中心とした光によって処理するために用いられる光照射
器に関するものである。

［従来の技術］ 高圧水銀灯等のランプから発生する紫外線を中心とした
光を利用して、フォトレジスト、光硬化型のペイント、
インク、バインダ等の被処理物を光処理する装置におい
て、光処理に必要な波長の光（主として紫外線）を被処
理物に照射することが最近、ますます重要になってきて
いる。

これら光処理を行う装置の中で、光照射のためのスペー
スは限られたものであるので、光照射器の構造をコンパ
クトにする試みが従来からなされている。

第２図（イ）、（ロ）、（ハ）、（ニ）は従来の光照射
器の主要部の概略構成を示す図で、いずれもシャッタ機
構を工夫して光照射器をコンパクトにしだものである。

第２図において、１は棒状のランプ、２’ａはブライン
ド式のシャッタ、２’ｂは扉式のシャッタ、２’ｃは樋
状のミラー兼用のシャッタ、２′ｄは反射鏡回転式のシ
ャッタ、３′は樋状のミラー、４は排気ダクト、５は光
照射処理される被照射物のパスラインである。

７ＩＳ２図（イ）、（ロ）、（ハ）、（ニ）において、
パスライン５上の被照射物に対して、ランプ１からの光
を照射したり、遮断したりするために、同図（イ）では
ブラインド式のシャッタ２’ａを開閉することにより行
い、同図（ロ）では扉式のシャッタ２’ｂを開閉するこ
とにより行い、同図（ハ）では樋状のミラー兼用のシャ
ッタ２’ｃを１８０’に回転させることにより行い、同
図（ニ）ては平面鏡よりなる回転式のシャッタ２′ｄを
矢印の方向に９０″回転させることにより行うものであ
る。

尚１例えば実開昭６２−１２３２７４号に開示されてい
るように、従来より樋状のミラー３′としては、赤外線
及び可視光の一部を透過し、紫外線及び可視光の他の一
部を反射するダイクロイックミラーをコールドミラーと
称して使用されている。

［発明か解決しようとする課題］ 上記の従来の光照射器はいずれも装置の小型化という点
て、次の各理由から必ずしも満足すべきものではない０
例えば第２図（イ）、（ロ）の光照射器は、ブラインド
式のシャッタまたは扉式のシャッタの部分に余分なスペ
ースをとられるのて空間の節約にはならず、・光照射器
と被照射物との距離が長くなってしまう。その上、ブラ
インド式のシャッタの場合、シャッタが開いた時点でも
光を−・部遮断または反射することになるので光損失か
ある。また、第２図（ハ）の光照射器は光照射器と被照
射物との距離が長く、さらに樋状のミラー兼用シャッタ
か閉じたときのシャッタの冷却機構が複雑になり、冷却
不足になる恐れがある。さらに第２図（ニ）の光照射器
は反射鏡回転式のシャッタ部分に余分なスペースをとら
れるので、光照射器と被照射物との距離が長くなってし
まうという問題があった。

ここて、本出願の出願人による特願昭６３−２２８８３
５号において、樋状のミラー３′を頂部にスリットを残
して配置した２枚の長板状ミラーで構成し、２枚の長板
状ミラーをそれぞれ棒状のランプｌの長手方向を軸とし
て回転させて、シャッタを兼ねる技術が開示されている
。しかし２長板状ミラーを前述のコールドミラーとした
場合は、コールドミラー自体の耐熱性やコールドミラー
を透過した赤外線及び一部の可視光による加熱の問題も
考慮しなければならない。即ち、コールドミラーはアル
ミ等の一般の金属ミラーに比べ耐熱性か低く、約６００
℃以上に加熱されると、蒸着膜の剥ｇＩ等の損傷のおさ
れがある。また、コールドミラーを透過した赤外線や長
波長側の一部の可視光はコールドミラー裏側の部材を照
射・加熱するか、例えば灯体か直接照射された場合、昇
温した灯体に誤って手を触れると、やけどなするという
問題がある。

この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
、樋状のミラーとしてコールドミラーを使用した光照射
器において、コンパクトな構造て省スペース化か図れ、
かつコールドミラーを透過した赤外線や一部の可視光に
よる部材の昇温か防止できる冷却手段を備えた光照射器
を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明はランプ及びミ
ラーを収めた部分と冷却のための風洞の部分とを区画す
る隔壁と照射口とを有する灯体とよりなる光照射器にお
いて、前記樋状のミラーはスリットを残して配置される
２枚の長板状ミラーから構成され、前記隔壁には、該ス
リットからランプ冷却風を吸引する吸引路を形成する吸
引板及び冷却風の吸引孔か設けられ、かつこれら長板状
ミラーは赤外線及び可視光線の一部の光を透過し、紫外
線及び可視光線の他の一部の光を反射するコールドミラ
ーからなり、前記長板状ミラーは、各長板状ミラーの裏
側に冷却用の通風路を形成する保持枠によって保持され
、該通風路を通った風を前記吸引板の外側から前記風洞
へ吸引するミラー冷却風の吸引孔が前記隔壁に設けられ
、さらに前記保持枠には長板状ミラーを長手方向を軸と
して回転させる回転駆動機構か設けられ、該回転機構に
より２枚の長板状ミラーかシャッタとして機能した際に
は、照射口からの風は蛇行してランプに至るようにした
制風手段か設けられなるものである。

［作用］ −１−記の構成を有することにより、長板状ミラーの保
持枠は、長板状ミラーを透過した赤外線及び可視光の一
部を受光するが、長板状ミラーの裏側の通風路を流れる
風によって冷却される。また、長板状ミラー自体も赤外
線等を１部吸収し昇温するか、通風路を流れる風によっ
て冷却される。

［実施例］ 第１１’Ｗ（イ）、（ロ）、（ハ）はこの発明の光照射
器の一実施例の主要部の構成を示したもので、同図（イ
）は光照射器におりる２枚の長板状ミラーが楕円集光鏡
として！ｌｉｔ先している状態を示す断面図て、同図（
ロ）はこれら長板状ミラーか同図（イ）の状態から回転
してシャッタとして機能している状態を示す断面図であ
り、同図（ハ）は長板状ミラー及び保持枠の主要構成を
示す斜視図である。

第１図（イ）、（ロ）、（ハ）において、ｌはランプ、
３は樋状のミラーとしての楕円集光鏡の形状及び機能を
有すると共にシャッタの機能をも有する２枚の長板状ミ
ラーで、コールｌ−ミラーから構成され、３１はこれら
２枚の長板状ミラーの頂部にあるスリウド、６は長板状
ミラー３を保持する保持枠て、アルミニウム等の鋳物か
押出型材により製作され、６１．６２は保持枠６のミラ
ー保持部で、各長板状ミラー３はミラー保持部６１゜６
２の溝に嵌合する構成になっており、６３は保持枠６の
通風路６５へ冷却風を流入させる流入孔、６４．６６は
同じく冷却風の流出孔であり、６５は通風路である。ま
た、７は長板状ミラー３を回転させるための回転軸８を
取付ける回転軸、取伺板、９，１０，１１．１２は歯車
、１４はチェーン、１５はモータ、１６はランプ１の上
部に設けられた風洞、１７はランプｌと風洞１６の間に
設けられた隔壁、１８ａは隔壁１７の中央でランプｌの
上部にあるランプ冷却風の吸引孔、１８ｂはこのランプ
冷却風の吸引孔１８ａの外周に設けられたミラー冷却風
の吸引孔、１９はランプ冷却風の吸引路１９ａを構成す
る吸引板、２０ａ、２０ｂは保持枠６の下部に設けられ
て長板状ミラー３が閉じてシャッタとして機能する時に
冷却風を蛇行させる制風手段としての制風板、２１は光
照射器の灯体、２２はこの灯体２１の照射口である。

第１図の装置において、２枚の長板状ミラー３と保持枠
６はモータ１５の回転力をチェーン１４、歯車９〜１２
を介して伝達されてそれぞれ回転して移動することによ
り楕円集光鏡の機能とシャッタの機能との両方を果たす
ことかできる。

そしていま、２枚の長板状ミラー３か楕円集光鏡として
機能している詩、ランプｌからの光は樋状ミラーである
楕円集光鏡としての長板状ミラー３に照射され集光され
て、前記ワークに対して光照射処理を行う。そして、こ
の長板状ミラー３はコールドミラーで構成されているの
で、ワークの照射処理に有用な短波長の光は反射するか
、赤外線及び可視光線のような長波長の光の大部分は透
過させるので、長波長の不要な光かワークに達すること
はない。尚、本実施例の光照射器は、光硬化型のインク
、塗料等を主として紫外線を中心とした光によって硬化
処理する光硬化型樹脂硬化装置に使用されるものである
。

この長板状ミラー３を透過した赤外線や長波長側のｊｉ
（視域の光は、保持枠６を照射加熱し、長板状ミラーー
ー３はミラー保持部６１．６２から加熱される。また、
長板状ミラーはわずかな赤外線等の吸引や保持枠６の輻
射熱によっても加熱される。

しかし、この実施例においては、第１図に示すように、
長板状ミラー３と保持枠６との間に設けられた通風路６
５に、その下端に開口する冷却風の流入孔６３から冷却
風を流入させ、通風路６５内を通過させて、流出孔６４
を経てミラー冷却風の吸引孔１８ｂから風洞１６を通し
て不図示のファンにより外部へ排出することにより、長
板状ミラー３の温度上昇は抑制される。また、長板状ミ
ラー３を透過した赤外線等を保持枠６で受光しているた
め、灯体２１を直接照射することが少く、灯体２１の昇
温も防止される。

次に、モータ１５の駆動により歯車９〜１２を介して長
板状ミラー３と保持枠６が回転して、長板状ミラー３か
シャッタとしての機能を果たす時、ランプｌの周辺は制
風板２０ａ、２０ｂの間から冷却風を蛇行して流入させ
、さらにスリット３１からランプ冷却風の吸引孔１８ａ
を通り、不図示のファンにより外部へ排出される。従っ
て。

ランプ１に適度な量及び速度の風が流れ、ランプ１は適
度に冷却される。勿論、制風板２０ａ。

２０ｂは、シャッタとして機能する長板状ミラー３から
の漏れ光の遮光板としても機能する。

尚、２枚の長板状ミラー３か閉じ、シャッタとして機能
している時も、ランプｌは通常よりも小さいスタンバイ
の点灯電力で点灯される。これは、ワークの補充等の間
、ランプｌを消灯してしまうと、立りげまての時間か長
くかかり、効率的てないからである。

［発明の効果］ 以上説明したとおり、この発明の光照射器は長板状ミラ
ーと保持枠との間に冷却用の通風路を設ける構成とした
のて、コールドミラーである長板状ミラーを透過した赤
外線等の光によって芋えられた熱を除去し、長板状ミラ
ーや保持枠の温度」−Ｈを防ぐことがてきる。

【図面の簡単な説明】

第１図（イ）、（ロ）、（ハ）はこの発明の光照射器の
一実施例の主要部の構成を示したものて、同（′Ａ（イ
）は光照射器における２枚の長板状ミラーか楕円集光鏡
として機能している状態を示す断面図、同図（ロ）はこ
れら長板状ミラーか同図（イ）の状態から回転してシャ
ッタとして機能している状態を示す断面図、同図（ハ）
は長板状ミラー及び保持枠の主要構成を示す斜視図、第
２図（イ）、（ロ）、（ハ）、（ニ）は従来の光照射器
の主要部の概略構成を示す図である。 図中。 ｌ二うンプ　　　　３：長板状ミラー ６：保持枠　　　　７：回転軸取付板 ８：回転軸　　　　９．１０，１１，１２：歯車１４：
チェーン　　　１５：モータ １５：風洞　　　　　１７・隔壁 １８ａ：ランプ冷却風の吸引孔 １８ｂ：ミラー冷却風の吸引孔 １９：吸引板　　　　１９ａ：吸引路 ２０ａ、２０ｂ：制風手段としての制風板２１：灯体　
　　　　２２：照射口 ３１ニスリツト　　　６５：通風路 代理人　弁理士　１）北　嵩　晴 第１図 （イ） （ロ） （ハ） 牛 （ニ） 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 棒状のランプと、このランプを覆う樋状のミラーと、こ
   れらランプ及びミラーを収めた部分と冷却のための風洞
   の部分とを区画する隔壁と照射口とを有する灯体とより
   なる光照射器において、前記樋状のミラーはスリットを
   残して配置される２枚の長板状ミラーから構成され、前
   記隔壁には、該スリットからランプ冷却風を吸引する吸
   引路を形成する吸引板及び冷却風の吸引孔が設けられ、
   かつこれら長板状ミラーは赤外線及び可視光線の一部の
   光を透過し、紫外線及び可視光線の他の一部の光を反射
   するコールドミラーからなり、前記長板状ミラーは、各
   長板状ミラーの裏側に冷却用の通風路を形成する保持枠
   によって保持され、該通風路を通った風を前記吸引板の
   外側から前記風洞へ吸引するミラー冷却風の吸引孔が前
   記隔壁に設けられ、さらに前記保持枠には長板状ミラー
   を長手方向を軸として回転させる回転駆動機構が設けら
   れ、該回転駆動機構により２枚の長板状ミラーがシャッ
   タとして機能した際には、照射口からの風は蛇行してラ
   ンプに至るようにした制風手段が設けられてなることを
   特徴とする光照射器。