JP2021012775A - 光照射器 - Google Patents

Abstract

【課題】光照射器における待機状態のランプを省電力化する。【解決手段】光照射器の一態様は、連続あるいは断続で線状に続いた発光箇所を有する光源と、上記光源を囲み、当該光源から発せられた光の出射口が設けられ、当該出射口側から当該光源側へと冷却風が内部を流れる筐体と、上記筐体内で上記発光箇所に沿って延び当該発光箇所を間に挟んだミラー対とを備え、上記ミラー対が、互いに開いた開位置と、互いに閉じた閉位置とに移動し、上記開位置では上記光を上記出射口へと反射するとともに当該ミラー対の間を上記光源側から当該ミラー対側へと上記冷却風を流し、上記閉位置では、上記光を上記光源と上記出射口との間で遮るとともに当該光源を冷却する上記冷却風を止める。【選択図】 図６

Description

本発明は、光照射器に関する。

紫外線を含む光を放射する光源を内蔵した光照射器から紫外線を含む光を照射し、被処理物に塗布された、保護膜、配向膜、接着剤、塗料、インキ、レジスト等を硬化、乾燥、溶融、軟化、配向等させることが、各分野で幅広く行なわれている。

紫外線を含む光を放射する光源としては、上記のような処理の時間短縮のため、出力が大きい棒状のランプ、例えば高圧水銀ランプや各種の金属が封入されたメタルハライドランプなどが使用される。なお、近年は、ＬＥＤが複数、一方向に並べられて線状の光源となった装置もある。
以下では、線状の光源として棒状ランプが使用された光照射器を例にして説明する。

通常、棒状のランプを内蔵する光照射器の光出射口側には、シャッタ装置が設けられている。シャッタ装置は、棒状ランプの長手方向と同等か、それ以上の長さのシャッタ翼を有し、ランプは常時点灯され、光が被処理物に照射されないときにはシャッタ翼が閉じ、照射する時にはシャッタ翼が開く。

シャッタ装置については、従来から種々の構造が提案されている。例えば、シャッタ翼の内側に反射ミラーが取りつけられてシャッタ翼がランプの周りを移動し、シャッタ翼が閉じた場合はランプからの光を遮光し、シャッタ翼が開いた場合はランプからの光を被処理物の方向に反射する、シャッタとミラーとを兼ねるシャッタミラーが提案されている。

シャッタミラーは、シャッタとミラーとが別々に設けられる必要がなく、部品点数が低減されてコストも低減されるとともに、光照射器の小型化が図られるという利点がある。

上記のようなシャッタミラーが適用された光照射器の一例として、例えば特許文献１には、ミラーとして、赤外線を透過し、紫外線を反射するミラーが使用された光照射器が開示されている。この特許文献１の光照射器では、ミラーと該ミラーを保持するミラー保持枠との間に通風路が設けられている。この通風路に冷却風が流れることで、ミラーとミラー保持枠が効率よく冷却される。

特許第２６６８８３２号

シャッタミラーを備えた光照射器において、シャッタミラーが閉じるのは、被処理物への光照射が終り、次の被処理物を待っている待機状態（スタンバイ状態）であるので、省電力のためと、シャッタミラーの過熱を防ぐために、照射時に比べてランプの電力が半分程度に低下されて点灯されることが一般的である。

省電力という点では、待機状態でランプが消灯されるのが一番良いが、上述した高圧水銀ランプやメタルハライドランプは、いったん消灯されると、再点灯後、発光が安定するまでに数分の時間がかかることが一般的なので待ち時間が生じ効率的ではない。低い電力であってもランプが点灯されていれば、照射時には電力の上昇により短時間で発光が安定する。

シャッタミラーが閉じた待機状態では、省電力のためにランプの電力が低下すると、その分ランプの温度が低くなるので、それに応じてランプの冷却風量も低減される必要がある。冷却風量が多いとランプ温度が低下し過ぎて、ランプに封入されている水銀や金属が蒸発しなくなって発光が不安定になり、場合によってはランプが消灯してしまうからである。これを過冷却によるランプ不点灯という。

一方、ランプが点灯している限りランプは発熱するし、ランプから放射される光のエネルギーと、ランプからの輻射熱により、シャッタミラー（即ちミラーとミラー保持枠）の温度は上昇する。このため、従来の光照射器においては、シャッタミラーが閉じた待機状態でも、シャッタミラーおよびランプに対して冷却風が流れる構造となっている。このような冷却風は待機状態におけるランプの省電力化を妨げており、ランプの電力が低いとランプが過冷却による不点灯を起こしてしまう。
そこで、本発明は、光照射器における待機状態のランプの省電力化を課題とする。

上記課題を解決するために、本発明に係る光照射器の一態様は、連続あるいは断続で線状に続いた発光箇所を有する光源と、上記光源を囲み、当該光源から発せられた光の出射口が設けられ、当該出射口側から当該光源側へと冷却風が内部を流れる筐体と、上記筐体内で上記発光箇所に沿って延び当該発光箇所を間に挟んだミラー対とを備え、上記ミラー対が、互いに開いた開位置と、互いに閉じた閉位置とに移動し、上記開位置では上記光を上記出射口へと反射するとともに当該ミラー対の間を上記光源側から当該ミラー対側へと上記冷却風を流し、上記閉位置では、上記光を上記光源と上記出射口との間で遮るとともに当該光源を冷却する上記冷却風を止める。

このような光照射器によれば、閉位置に在る場合に光源への冷却風をミラー対が止めるので、過冷却による不点灯が回避されて光源の電力抑制が可能となる。このように冷却風の流れを止めることは、本発明の技術分野における常識を覆すものである。本発明の発明者らは、鋭意検討を重ねた結果として、冷却風を止めても光源の過熱抑制が可能であることを見いだした。

上記光照射器において、上記ミラー対が、上記開位置では、上記ミラー対の相互間に、上記冷却風の風速を上げる隘路を形成することが望ましい。隘路で冷却風の風速が上がることで光源の冷却能力が向上する。

また、上記光照射器は、上記光源に対して上記出射口側とは逆側に位置して上記冷却風を遮る遮風体をさらに備え、上記ミラー対は、上記閉位置では、上記遮風体と接触し、当該光源を取り囲んだ閉空間を形成することも望ましい。閉空間が形成されることで冷却風の流れが確実に止められる。
更に、上記遮風体は、上記逆側に静的に位置した板状の遮風板であってもよい。簡素な構造で冷却風の制御が可能となる。

上記光照射器において、上記ミラー対は、上記発光箇所に沿って延びる各回転軸の周りを前記ミラー対の各々が回転することで上記開位置と上記閉位置とに移動してもよい。簡素な構造で開位置と閉位置との移動が可能となる。

上記光照射器において、上記ミラー対の各々が、上記光を反射するミラー板と、当該ミラー板を保持する保持体と、当該ミラー板と当該保持体との間に設けられ上記冷却風が通る通風路とを備え、上記通風路の入口および出口が、上記閉位置でも、上記冷却風の流れる箇所に設けられていることが望ましい。閉位置でもミラー本体の効率的な冷却が実現される。

ここで、上記光源は、紫外線を含んだ光を発するものであり、上記ミラー板は、紫外線を反射すると共に赤外線を透過するものであってもよい。紫外線が出射光として用いられて被処理物の過熱が防がれると共に、赤外線によって加熱される保持体は冷却風によって効率的に冷却される。

また、上記ミラー対の各々は、上記発光箇所に沿って並んだ複数の上記ミラー板を備え、上記保持体は、上記発光箇所に沿って延び、上記複数のミラー板を保持してもよい。複数のミラー板が備えられることにより、ミラーの熱膨張の影響が緩和される。また、ミラー対の一部に汚損や破損が生じた場合に複数のミラー板の一部の交換で済み、交換費用が抑制される。

本発明の光照射器によれば、待機状態におけるランプの省電力化が図られる。

図１は、本発明の光照射器の一実施形態を備えた光照射装置を示す概略構成図である。 図２は、図１の奥側から見た灯具の外観を示す斜視図である。 図３は、図１の下側から見た灯具の外観を示す図である 図４は、灯具の長手方向に直交する方向の断面図である。 図５は、照射状態における冷却風の流れを示す図である。 図６は、待機状態の灯具を示す断面図である。 図７は、待機状態における冷却風の流れを示す図である。 図８は、照射状態と待機状態とにおける温度等の制御例を示している。 図９は、第２実施形態における灯具の断面図である。 図１０は、第３実施形態における灯具の断面図であり、照射状態の灯具を示している。 図１１は、第３実施形態における灯具の断面図であり、待機状態の灯具を示している。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の光照射器の一実施形態を備えた光照射装置１００を示す概略構成図である。図２は、図１の奥側から見た灯具３０の外観を示す図であり、図３は、図１の下側から見た灯具３０の外観を示す図である。

光照射装置１００は、光源部１０と、ワークＷを搬送する搬送部２０とを備える。ここで、ワークＷは被処理物の一例であって、例えば保護膜が形成された矩形状の基板である。光照射装置１００は、例えば紫外線を含んだ照射光を光源部１０から照射しながら搬送部２０によってワークＷを直線移動させ、ワークＷの保護膜に上記照射光を照射して硬化処理を行う。

なお、本発明の光照射器は、例えば配向膜、接着剤、塗料、インキ、レジスト等が塗布された被処理物に光を照射するものであってもよく、それらを光照射によって、例えば乾燥、溶融、軟化、配向等させるものであってもよい。また、本発明の光照射器は、停止した被処理物に照射光を照射するものであってもよい。

光源部１０は、一例として２つの灯具３０を備えており、各灯具３０は、線状の光源であるランプ１１と、ランプ１１の光を反射するシャッタミラー１２とを内部に備える。また、各灯具３０は、ランプ１１およびシャッタミラー１２を内部に収容したランプハウス１４を備える。ランプハウス１４は例えば底面に、ランプ１１からの放射光およびシャッタミラー１２による反射光が通過する光出射口１３を有する。各灯具３０が本発明の光照射器の第１実施形態に相当する。

各灯具３０は、例えば、ワークＷの搬送方向に直交する方向にランプ１１の長手方向を一致させた状態で設置されている。本明細書では、ワークＷの搬送方向をＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向をＹ方向、鉛直方向をＺ方向とする。

各灯具３０は、エアーシリンダを内蔵してＺ方向に伸縮自在な支持柱３５によって支持されており、例えばメンテナンスの際に、支持柱３５の伸縮によって各灯具３０は上下移動する。

なお、図１の実施形態では、灯具３０が２灯備えられているが、本発明の光照射器は光照射装置に１灯だけ備えられてもよく、あるいは３灯以上備えられてもよい。灯具３０の数は、被処理物の処理に必要な光量やタクトタイム等に応じて決定される。

本実施形態ではランプ１１として長尺状のいわゆるロングアーク放電ランプが採用されている。そして、そのランプ１１の発光部が、ワークＷの搬送方向に直交する方向の幅に対応する長さを有する。このランプ１１は、更に具体的には、高圧水銀ランプや水銀に他の金属を加えたメタルハライドランプ等の放電ランプであり、封入発光種に応じて波長２００ｎｍ〜４００ｎｍの紫外光を放射する。

ランプ１１は本発明にいう光源の一例に相当する。光源としては、長さの短い複数の放電ランプが長さ方向に並べられたものが採用されてもよく、例えば球状の複数のランプが一方向に並べられたものが採用されてもよく、あるいは、ＬＥＤやレーザ素子などの発光素子が複数線状に連なったものが採用されてもよい。

シャッタミラー１２は、ランプ１１からの放射光を光出射口１３側に反射するものであり、反射面の断面が楕円状または放物線状となっている。図３に示すように、シャッタミラー１２は、長手方向がランプ１１の長手方向と一致するように配置されている。シャッタミラー１２は本発明にいうミラー対の一例に相当し、シャッタミラー１２は一対の可動翼１２Ａからなる。また、シャッタミラー１２は、長手方向に並んだ複数枚のミラー板１２Ｂを備えている。ミラー板１２Ｂが複数枚に分かれていることにより、熱膨張の影響が緩和される。また、ミラー板１２Ｂに汚損や破損が生じた場合にも、汚損や破損が生じたミラー板だけを交換すればよいのでコストが抑えられ、交換作業も容易である。

ランプハウス１４は、ランプ１１およびシャッタミラー１２を間に挟んで光出射口１３とは反対側に、冷却風を引き込むための風洞１９を有する。冷却風は、光出射口１３からランプハウス１４内へと流入し、ランプ１１およびシャッタミラー１２を冷却して風洞１９へと引き込まれる。ランプハウス１４は、本発明にいう筐体の一例に相当する。図２に示すように、灯具３０のランプハウス１４の一端には、風洞１９内の空気を排出する排気ファン１５と、シャッタミラー１２の可動翼１２Ａを駆動する駆動機１６が取り付けられている。

図１に示すように、搬送部２０は、ワークＷが載置されるステージ２１と、ステージ２１をＸ方向に移動するためのＸ方向駆動機構２２を備える。ステージ２１は、例えば真空吸着等の方法によりワークＷを保持可能な例えば平板状のステージである。

Ｘ方向駆動機構２２は例えばリニアモータ駆動機構である。Ｘ方向駆動機構２２はステージ２１を、搬送軸であるガイド２２Ａに沿ってＸ方向に往復移動させる。なお、Ｘ方向駆動機構２２の構成は、リニアモータ駆動機構に限定されるものではなく、ステージ２１をＸ方向に移動可能な構成であれば任意の構成が採用され得る。例えば、Ｘ方向駆動機構２２としては、ボールねじが用いられた機構も採用され得る。

ステージ２１の移動経路は、光源部１０に対して例えば真下を通るように設計されている。搬送部２０はワークＷを、光源部１０による光の照射領域に搬送し、且つその照射領域を通過させる。また、搬送部２０は、ワークＷが照射領域を完全に通過した後、当該ワークＷを折り返し、再び当該照射領域を通過させてもよい。

図１の実施形態では、灯具３０が下方のワークＷに向けて光を照射するが、本発明の光照射器は、上方の被処理物や側方の被処理物などに向けて光を照射するものでもよい。
次に、灯具３０の詳細な内部構成について説明する。
図４は、灯具３０の長手方向に直交する方向の断面図である。
灯具３０のランプハウス１４は、上述したように風洞１９を備えており、ランプハウス１４には、風洞１９とは反対側に光出射口１３が設けられている。

ランプハウス１４内には、ランプ１１とシャッタミラー１２が備えられているほかに、シャッタミラー１２と風洞１９との間に制風板１７も備えられている。制風板１７は、シャッタミラー１２と風洞１９との間を遮る方向に広がっていて、シャッタミラー１２の長手方向（図４の紙面に垂直な方向）に沿って、シャッタミラー１２と同様の長さで延びている。また、制風板１７の縁には、シャッタミラー１２側に突き出したリブ１７Ａが設けられている。リブ１７Ａは、制風板１７の長手方向の全長に亘って形成されている。なお、ここでは制風板１７として薄い板形状のものが示されているが、制風板１７は厚いブロック形状のものでもよい。

上述した様に、シャッタミラー１２は一対の可動翼１２Ａからなる。可動翼１２Ａは、ランプ１１の長手方向に対する直交方向でランプ１１の両側に設けられている。また、各可動翼１２Ａは、ミラー板１２Ｂと保持枠１２Ｃとを備え、ミラー板１２Ｂと保持枠１２Ｃとの間には通風路１２Ｄが形成されている。

ミラー板１２Ｂは、例えば耐熱ガラス製の基板の表面に無機蒸着膜が形成されたものであり、ランプ１１から放射された光のうち、例えば紫外線を反射して赤外線を透過する。このようなミラー板１２Ｂの反射・透過性能により、ワークＷの処理に不要な赤外線が照射光から除かれると共にワークＷの不要な加熱も回避される。

保持枠１２Ｃは例えばアルミ製で、ミラー板１２Ｂを保持している。保持枠１２Ｃの、ミラー板１２Ｂに対向する側は、ミラー板１２Ｂから透過してきた赤外線の反射を低減させるように、例えば無電界ニッケルメッキで表面が黒く処理されることが望ましく、あるいは、表面がブラスト加工などによって粗面化されることも望ましい。

通風路１２Ｄは、後述するように冷却風が通るものであり、可動翼１２Ａの光出射口１３側（以下、この「側」を「可動翼１２Ａの先端側」と称する場合がある。）に冷却風の流入口１２Ｅを有する。また、通風路１２Ｄは、可動翼１２Ａの光出射口１３とは逆側（以下、この「側」を「可動翼１２Ａの後端側」と称する場合がある。）に冷却風の流出口１２Ｆを有する。流入口１２Ｅの脇には、冷却風を流入口１２Ｅへと導く導風板１２Ｇが設けられている。
なお、導風板１２Ｇは、シャッタミラー１２が、後述する閉位置にあるときに、ランプ１１からの光が、流入口１２Ｅから光出射口１３の方向に漏れることを防ぐ遮光板としても作用する。

図４に示す状態では、シャッタミラー１２は、ランプ１１を間に挟んで光出射口１３とは反対側に位置する。図４に示す状態が、灯具３０から光が照射される照射状態であり、この状態でのシャッタミラー１２の位置を開位置と称する。
シャッタミラー１２が開位置に在る照射状態では、光出射口１３側から風洞１９側へと向かう冷却風によってランプ１１とシャッタミラー１２が冷却される。
図５は、照射状態における冷却風の流れを示す図である。図５の説明に際しては図４も併せて参照する。
照射状態における冷却風の流れは、大きく分けて２つの流れになっている。

流れの１つは、シャッタミラー１２のミラー板１２Ｂの表側とランプ１１を冷却する。即ち、図５の矢印で示されるように、光出射口１３からランプハウス１４内へと流れ込んだ冷却風が、ランプ１１およびシャッタミラー１２に向かい、一部はミラー板１２Ｂの表面に沿って流れ、一部はランプ１１に沿って流れる。そして、ランプ１１とシャッタミラー１２を冷却した冷却風は、シャッタミラー１２の可動翼１２Ａの後端側同士で形成された隘路１８Ａを抜ける。開位置に在るシャッタミラー１２の可動翼１２Ａの後端側は制風板１７から離れていて、シャッタミラー１２と制風板１７との間には排風路１８Ｂが形成されている。可動翼１２Ａの間の隘路を抜けた冷却風は、シャッタミラー１２と制風板１７との間の排風路を通り、制風板１７の両側を迂回して風洞１９内へと引き込まれる。
可動翼１２Ａの後端側の隘路では冷却風の速度が増すので、ランプ１１周辺の空気を吸い込むように冷却風が流れてランプ１１の冷却能力が高まる。

冷却風の流れのもう１つは、シャッタミラー１２のミラー板１２Ｂの裏側を冷却する。即ち、可動翼１２Ａの先端側に設けられた流入口１２Ｅから通風路１２Ｄへと冷却風が流れ込み、通風路１２Ｄを通過する冷却風によってミラー板１２Ｂの裏側が冷却される。そして、可動翼１２Ａの後端側に設けられた流出口１２Ｆから冷却風が流れ出て風洞１９内へと引き込まれる。

照射状態では冷却風のこのような２つの流れによってシャッタミラー１２のミラー板１２Ｂが表裏両面から冷却されるので、高い冷却能力が得られる。また、ランプ１１に対する冷却も行われ、安定した照射光が得られる。
次に、図４，図５に示す照射状態からシャッタミラー１２の可動翼１２Ａが移動して待機状態になった場合について説明する。
図６は、待機状態の灯具３０を示す断面図である。

シャッタミラー１２の各可動翼１２Ａは、上述した駆動機１６の駆動力によって各々の回転中心軸Ｃの周りを回転し、可動翼１２Ａの先端側同士が互いに接近する。各可動翼１２Ａの移動は、リンク機構や案内レールなどによる回転移動以外の移動であってもよいが、可動翼１２Ａの移動が回転移動であると、駆動機１６の駆動が回転軸による単純な回転駆動でよいので好ましい。

図６に示す状態が、灯具３０からの照射光が止められた待機状態であり、この状態でのシャッタミラー１２の位置を閉位置と称する。可動翼１２Ａ同士は、図示のとおり先端側において、わずかな隙間を空けて近接している。この隙間は、可動翼１２Ａが回動して閉位置に来るとき両者が衝突しないようにするためのものである。そのため、可動翼１２Ａの先端には、互いに嵌まり合う凹凸が形成されており、可動翼１２Ａ同士が接触していなかったとしても、その間からランプ１１の光が漏れることが防がれている。つまり、待機状態でのシャッタミラー１２は遮光シャッタとして機能する。なお、可動翼１２Ａ同士は、先端側で互いに接触していてもかまわない。

シャッタミラー１２が閉位置に移動すると、各可動翼１２Ａの後端側は、制風板１７の両縁に形成された各リブ１７Ａに、引っ掛かるように接触する。この結果、制風板１７と可動翼１２Ａによってランプ１１が取り囲まれて閉空間が形成される。この制風板１７が、本発明にいう遮風板の一例に相当する。制風板１７は、風洞１９側への光の漏れを防ぐ役割も果たしている。通風路１２Ｄの流入口１２Ｅおよび流出口１２Ｆはいずれも、上記閉空間の外に開口している。
なお、制風板１７は、ばねなどの弾性体により可動翼１２Ａの方向に押し付けられるように支持されてもよい。そのように可動翼１２Ａが押し付けられる場合には、制風板１７の各リブ１７Ａと各可動翼１２Ａの後端側とは確実に接触する。
図７は、待機状態における冷却風の流れを示す図である。図７の説明に際しては図６も併せて参照する。

上述したようにシャッタミラー１２の可動翼１２Ａ同士が先端側で近接しているか接触しているため、待機状態ではランプ１１に対する冷却風の流れが止められる。また、制風板１７と可動翼１２Ａによって閉空間が形成されることで、ランプ１１周辺の空気の出口が無くなり、ランプ１１に対する冷却風の流れはより完全に止められる。
なお、ランプ１１の長手方向の両端部は、発光領域ではないため、シャッタミラー１２の可動翼１２Ａに覆われていない。そのため、実際には、この可動翼１２Ａに覆われていない部分から、ランプハウス１４内を流れる風のごく一部が、ランプ１１に向かって流れることも考えられる。しかし、そのような風は、あったとしても風量としてはわずかなものであり、ランプ１１を実質的に冷却するものではないため、ここではランプ１１に対する冷却風とは呼ばない。

ランプ１１に対する冷却風の流れが止まるとランプ１１の温度は上がりやすいが、ランプ１１の電力が低減されることで過熱が防がれている。また、冷却風の流れが止まっているため、過冷却による不点灯状態は発生せず、一層の電力低減が可能となり、待機時における装置の省電力化が図られる。

そして、閉空間が形成された待機状態における冷却風の流れは、閉空間の外側のみでの流れとなる。即ち、光出射口１３からランプハウス１４内へと流れ込んだ冷却風は、一部が流入口１２Ｅから通風路１２Ｄへと流れ込み、通風路１２Ｄを通過してミラー板１２Ｂを裏側から冷却する。また、冷却風の他の一部は、保持枠１２Ｃの外側を流れ、保持枠１２Ｃ全体を冷却する。このように待機状態では、冷却風がもっぱらシャッタミラー１２を冷却し、ミラー板１２Ｂと保持枠１２Ｃが効率よく冷却される。

ミラー板１２Ｂの表側は閉空間に向いているため、ミラー板１２Ｂは表側からは冷却されないが、ランプ１１の電力が抑制されていることと、裏側から効率よく冷却されることとにより、ミラー板１２Ｂの温度は適切な温度に保たれる。
図８は、照射状態と待機状態とにおける温度等の制御例を示す図である。

図８の表には、シャッタミラー１２が開位置に在る照射状態（シャッタ開）と、シャッタミラー１２が閉位置に在る待機状態（シャッタ閉）とのそれぞれについて、ランプ１１の電力と、冷却風の風量と、ランプ１１の温度とミラー板１２Ｂの温度が記載されている。ここで、ランプ１１の温度とミラー板１２Ｂの温度は、ランプ１１表面の光出射口１３側に位置するＰ点（図７参照）と、ミラー板１２Ｂ表面の光出射口１３側に位置するＱ点（図７参照）での測定温度である。なお、Ｐ点およびＱ点のいずれも、長手方向の中央付近に位置している。

図８に示す例では、ランプ１１は定格電力８ｋＷのものであり、照射状態では、ランプ１１の電力が例えば定格の８．０ｋＷに設定される。また、照射状態における冷却風の風量は例えば９．０ｍ^３／分に設定される。

ランプの温度は、ランプの内部に封入されている金属が気化して正常に点灯する５５０°Ｃから９００°Ｃまでの温度範囲に維持される必要がある。９００°Ｃ以下である理由は、それ以上になると、ランプの石英が一部の封入物と反応するため、また石英中から水分等の不純物ガスが放出されるためである。また、ミラーは表面の蒸着膜が変質しない４００°Ｃ以下に維持される必要がある。
照射状態では上記の電力と風量により、ランプ１１の温度は７２５°Ｃ、ミラー板１２Ｂの温度は２５７°Ｃとなって、いずれも正常な温度に保たれた。

一方、待機状態では、ランプ１１の電力は３．２ｋＷとなり、照射状態の４割まで電力が低減される。従来は待機状態でも５割程度を超す電力がランプ１１に供給されるので、本実施形態では従来よりも省電力化が図られることが分かる。また、冷却風の風量も例えば４．０ｍ^３／分という低めの風量に抑えられ、この点でも省電力化が図られる。

待機状態におけるこのような電力の風量により、ランプ１１の温度は７６５°Ｃ、ミラー板１２Ｂの温度は１４６°Ｃとなった。これらの温度は上記の正常な温度範囲にあり、ランプ１１への冷却風の流れが止められてもランプ１１とミラー板１２Ｂの適切な温度制御が可能であることが分かった。

次に、本発明の光照射器の第２実施形態について説明する。この第２実施形態は、上記説明した第１実施形態に対して一部の構造が異なっているものであるため、以下では、第１実施形態との相違点に着目して説明し、重複説明は省略する。
図９は、第２実施形態における灯具３０の断面図である。

図９に示す第２実施形態では、制風板１７が、２つの可動板１７Ｂに分割されている。待機状態の場合には、第２実施形態でも制風板１７が図６と同様の位置に在り、シャッタミラー１２とともに閉空間を形成する。一方、照射状態の場合には、制風板１７の可動板１７Ｂが互いに分かれ、可動板１７Ｂの間に冷却風の通路が形成される。この結果、ランプ１１側からシャッタミラー１２の可動翼１２Ａ相互間を抜けて風洞１９に至る冷却風の流れが円滑化し、ランプ１１の冷却効率が向上する。なお、可動板１７Ｂの移動は、シャッタミラー１２の可動翼１２Ａと同様に、回転中心の周りの回転移動であってもよいし、あるいは、リンク機構や案内レールによる移動であってもよい。このように可動板１７Ｂに分割された制風板１７は、本発明にいう遮風体の一例に相当する。

次に、本発明の光照射器の第３実施形態について説明する。第３実施形態も、上記説明した第１実施形態に対して一部の構造が異なっているものであるため、以下では、第１実施形態との相違点に着目して説明し、重複説明は省略する。
図１０および図１１は、第３実施形態における灯具３０の断面図であり、図１０には照射状態が示され、図１１には待機状態が示されている。
第３実施形態では、制風板１７に替えて、ランプハウス１４の一部として制風リブ１４Ａが設けられている。この制風リブ１４Ａは、本発明にいう遮風体の一例に相当する。

照射状態では、可動翼１２Ａの後端側は制風リブ１４Ａから離れ、シャッタミラー１２と制風リブ１４Ａとの間に排風路が形成される。一方、待機状態では、可動翼１２Ａの後端側が制風リブ１４Ａと接触し、可動翼１２Ａと筐体１４によって、ランプ１１を取り囲む閉空間が形成される。
このような第３実施形態でも、第１実施形態と同様な冷却風の流れが実現し、待機状態における省電力が図られる。

１００…光照射装置、Ｗ…ワーク、１０…光源部、２０…搬送部、２１…ステージ、３０…灯具、１１…ランプ、１２…シャッタミラー、１２Ａ…可動翼、１２Ｂ…ミラー板、１２Ｃ…保持枠、１２Ｄ…通風路、１２Ｅ…流入口、１２Ｆ…流出口、１２Ｇ…導風板、１３…光出射口、１４…ランプハウス、１４Ａ…制風リブ、１６…駆動機、１７…制風板、１７Ａ…リブ、１７Ｂ…可動板、１９…風洞

Claims (8)

1. 連続あるいは断続で線状に続いた発光箇所を有する光源と、
   前記光源を囲み、当該光源から発せられた光の出射口が設けられ、当該出射口側から当該光源側へと冷却風が内部を流れる筐体と、
   前記筐体内で前記発光箇所に沿って延び前記光源を間に挟んだミラー対と、を備え、
   前記ミラー対は、互いに開いた開位置と、互いに閉じた閉位置とに移動し、前記開位置では前記光を前記出射口へと反射するとともに当該ミラー対の間を前記光源側から当該ミラー対側へと前記冷却風を流し、前記閉位置では、前記光を前記光源と前記出射口との間で遮るとともに当該光源を冷却する前記冷却風を止めることを特徴とする光照射器。
2. 前記ミラー対が、前記開位置では、前記ミラー対の相互間に、前記冷却風の風速を上げる隘路を形成することを特徴とする請求項１に記載の光照射器。
3. 前記光照射器は、前記光源に対して前記出射口側とは逆側に位置して前記冷却風を遮る遮風体をさらに備え、
   前記ミラー対は、前記閉位置では、前記遮風体と接触し、当該光源を取り囲んだ閉空間を形成することを特徴とする請求項１または２に記載の光照射器。
4. 前記遮風体は、前記逆側に静的に位置した板状の遮風板であることを特徴とする請求項３に記載の光照射器。
5. 前記ミラー対は、前記発光箇所に沿って延びる各回転軸の周りを前記ミラー対の各々が回転することで前記開位置と前記閉位置とに移動することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の光照射器。
6. 前記ミラー対の各々が、前記光を反射するミラー板と、当該ミラー板を保持する保持体と、当該ミラー板と当該保持体との間に設けられ前記冷却風が通る通風路とを備え、
   前記通風路の入口および出口が、前記閉位置でも、前記冷却風の流れる箇所に設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光照射器。
7. 前記光源は、紫外線を含んだ光を発するものであり、
   前記ミラー板は、紫外線を反射すると共に赤外線を透過するものであることを特徴とする請求項６に記載の光照射器。
8. 前記ミラー対の各々は、前記発光箇所に沿って並んだ複数の前記ミラー板を備え、
   前記保持体は、前記発光箇所に沿って延び、前記複数のミラー板を保持することを特徴とする請求項６または７に記載の光照射器。

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