KR20200046056A - 개선된 열처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 (S)에 도포된 코팅 (R)을 처리하기 위한 열처리 장치 (1)에 관한 것으로, 상기 기판이 이동할 수 있는 가열수단 (10), 상기 가열수단은 유리 기판의 제 1면 위의 코팅을 가열하기 위해 배치되며, 상기 열처리 장치는 상기 이동하는 기판의 코팅을 가열 구역 앞단에서 가열하기 위해 배치된 예열 수단 (10')을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치 이다.

Description

개선된 열처리 장치

본 발명은 유리 기판 위에 있는 박막의 열처리 분야에 관한 것이다.

평평한 기판들에 도포된 코팅들을 국소적이고 신속하게 어닐링 (플래시 가열, flash heating)을 하는 것이 공지되어 있다. 그렇게 하기 위해, 어닐링을 필요로 하는 코팅을 갖는 기판이 코팅을 갖는 기판 위에 배치된 플래시 가열 램프 또는 플라즈마 토치 (plasma torch), 또는 대안적으로 레이저 라인 (laser line) 아래로 통과하게 된다.

플래쉬 어닐링은 얇은 코팅들을 수백도 정도의 고온으로 가열되게 하면서, 동시에 하부 기판은 보전한다. 이동 속도는 물론 될 수 있는 대로 빠른, 유리하게는 분당 수 미터 이상인 것이 바람직하다.

예를 들어, 사용되는 하나의 레이저 라인에서, 이 라인은 레이저 빔을 공급하는 적어도 하나의 레이저 발생기를 포함한다. 이 레이저 빔은 집중되어서 레이저 발생기에 의해 공급되는 열 전력을 국부적으로 증가시킨다.

이러한 어닐링 방법은 레이저를 사용하든 플래시 가열 램프를 사용하든 또는 다른 수단을 사용하든 에너지가 많이 든다는 단점이 있고, 이러한 에너지 과다 소비는 라인 용량, 특히 처리 속도의 증가에 따라 올라간다. 이와 같은 에너지 과다 소비는 높은 비용을 의미한다.

따라서, 본 발명은 에너지 차원에서 보다 효율적이며 덜 비싼 플래시 어닐링 (flash annealing) 용 열처리 장치를 제공함으로써 이러한 단점을 해결하고자 한다.

이를 위해, 본 발명은 기판에 도포된 코팅을 처리하기 위한 열처리 장치에 관한 것으로서, 상기 기판이 이동할 수 있는 가열수단을 포함하며, 상기 가열수단은 유리 기판의 제 1면위의 코팅 구역을 가열하기 위해 배치되는 바, 상기 열처리 장치는 상기 가열구역의 앞 부분에서 상기 이동 기판의 코팅을 가열하기 위해 배치되는 예열수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 코팅을 예열해서 비용을 절감할 수 있는 이점을 제공한다. 왜냐하면, 이는 더 낮은 출력을 갖는 가열수단을 사용할 수 있거나 성능이 아주 좋지는 않은 가열수단을 사용할 수 있기 때문이다. 이 것을 사용함으로써 이동 속도도 올리는 것이 가능한데, 코팅이 예열되기 때문이다.

일례에 따르면, 가열수단은 최대 1ms의 시간 동안 코팅 온도를 300 에서 700 ℃ 로, 특히 500 에서 650 ℃ 로 올리기 위해 디자인되고, 예열수단은 코팅이 최대 50ms의 시간 동안에 가열수단을 통해 도달하는 온도의 최대 1/3까지 코팅의 온도를 상승시키 위해 디자인된다.

일 예에 따르면, 상기 장치는 가열수단에 의해 공급된 에너지의 비흡수 부분을 예열 수단으로서 사용하는 것을 가능하게 하는 재활용 장치를 더 포함한다.

일 예에 따르면, 가열수단은 적어도 하나의 레이저 발생기를 포함하는 레이저 시스템을 포함한다.

일 예에 따르면, 레이저 시스템은 유리 기판에 대한 수직에 대해 각도가 어긋나게 (offset) 위치된다.

일 예에 따르면, 가열수단은 복수의 플래시 가열 램프를 포함한다.

일 예에 따르면, 재활용 장치는 기판에 의해 흡수되지 않은 광선의 일부를 반사해서 이를 예열수단으로서 작용하도록 상기 이동 기판의 코팅 위로 향하게 하기 위해 배치된 반사요소(reflector element) 이다.

이 예는 유리하게는 가열 및 예열을 작동시키기 위한 단 하나의 장치를 가질 수 있게 하여 가능한 한 비용을 절감할 수 있게 한다. 이것은 더 간단한 열처리 장치를 갖게 할 수 있게 하는데, 파라미터로 하나의 가열수단만이 있기 때문이다.

일 예에 따르면, 상기 반사요소는 상기 코팅을 갖는 상기 기판의 면에 대향하는 면에 대향하여 배치된 거울이다.

일 예에 따르면, 상기 반사요소는 기판의 평면에 평행한 평면 거울이다.

일 예에 따르면, 상기 반사요소는 곡면 거울이다.

일 예에 따르면, 상기 반사요소는 적어도 하나의 자유도 (degree of freedom)로 움직일 수 있다.

일 예에 따르면, 상기 자유도는 기판의 평면에 수직인 평면에서의 병진이다.

일 예에 따르면, 상기 자유도는 이동 방향에 수직인 축에 대하여 회전이다.

일 예에 따르면, 상기 반사요소는 비흡수된 빔이 초점의 각 측면에 배향될 수 있도록 하나의 빔을 2 개의 다른 방향으로 반사시키기 위해 배치된다.

일 예에 따르면, 상기 반사요소는 그들 사이에 각도를 이루는 2 개의 섹션을 포함하는 거울이며, 상기 외부 각도의 면들은 반사성이다.

일 예에 따르면, 상기 반사요소는 2 개의 평행한 에지면 및 3 개의 측면을 포함하는 삼각형 단면의 실린더 블록을 포함하고, 인접한 2 개의 측면은 반사성이다.

일 예에 따르면, 상기 반사 요소는 상기 코팅된 면과 대면하는 상기 기판의 면 상에 도포된 반사층이다.

일 예에 따르면, 기판은 제 1 치수 및 제 1 치수에 직교하는 제 2 치수로 연장되고, 상기 기판은 2 개의 치수 중 더 큰 치수와 동일선상 방향으로 이동하고, 레이저 빔은 상기 이동 방향과 직교하는 방향으로 연장된다.

일 예에 따르면, 예열구역과 가열구역이 분리된다.

일 예에 따르면, 상기 기판은 길이인 제 1 방향 및 폭이고 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 연장되며, 상기 기판은 그 길이 방향으로 이동하고, 예열구역 및 가열구역은 기판의 전체 폭에 걸쳐 연장된다.

첨부된 도면을 참조하여 예시로서 그리고 결코 제한적이지 않은 아래의 설명으로부터 다른 특수성 및 장점이 명백하게 나타날 것이다.
- 도 1은 본 발명의 열처리 장치의 개략도이고;
- 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 기술을 사용하는 열처리 장치의 개략도이고;
- 도 3 및 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 대안적인 형태의 열처리 장치의 개략도이고;
- 도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 열처리 장치의 개략도이고; 및
- 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플래시 가열 램프 기술을 이용한 열처리 장치의 개략도이다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 (S)의 열처리 장치 (1)를 도시한다. 처리된 기판 (S)은 예를 들어 플로트 유리 공정에서 나오는 "점보" 크기 (6 m x 3.21 m)의 한장의 판유리와 같은 매우 넓은 유리 기판이다. 물론, 본 발명에 따른 기판 (S)의 열처리 장치 (1)는 상이한 크기의 기판에 적용할 수 있다.

이 열처리 장치 (1)는 기판 (S), 예를 들어 유리 기판을 이송하는 이송수단 (2)을 포함한다. 이러한 이송수단 (2)은 기판 (S)을 위한 지지대를 갖춘 샤시가 배치되는 2 개의 평행한 레일의 형태일 수 있다. 이송수단 (2)은 기판이 이동할 수 있는 휠이 장착되는 2 개의 평행한 레일의 형태일 수 있다. 그런 다음 기판을 이동하기 위해 몇몇 휠이 모터에 연결된다.

"점보" 크기 (6m x 3.21m) 판유리 시트 형태의 유리 기판의 경우, 시트의 2 치수 중 가장 긴 치수를 따라 연장되는 제 1 방향으로 이송될 것이다. "점보" 크기 (6 m x 3.21 m) 시트의 경우, 시트는 길이 6 m 및 폭 3.21 m를 갖도록 정의될 것이며, 이송 수단 (2)은 상기 유리 시트가 길이를 따라, 즉 길이 방향으로 움직일 수 있도록 정의된다.

열처리 장치 (1)는 또한 가열수단 (10)을 더 포함한다. 이들 가열수단 (10)은 상이한 형태일 수 있고 유리하게는 가열구역에서 코팅의 온도를 최대 1ms 시간경과 동안 300 에서 700 ℃, 특히 500 에서 650 ℃의 범위에서 상승시키기 위해 에너지 (E)를 공급하도록 배열된다. 이러한 가열수단 (10)은 예를 들어 적어도 하나의 플래시 가열 램프를 포함하는 플래시 가열 램프 시스템 (10a) 또는 적어도 하나의 플라즈마 토치를 포함하는 플라즈마 시스템 또는 상기 에너지를 공급하기 위한 하나 이상의 레이저 발생기 (L)를 포함하는 레이저 시스템 (10b)을 포함한다. 가열구역은 기판의 전체 폭에 걸쳐 펼펴져 있다.

도 2에 도시된 레이저시스템 (10b)의 경우, 각각의 레이저발생기 (L)는 고체 레이저 또는 다이오드 레이저 또는 디스크 레이저 기술을 채용할 수 있으며, 이는 우수한 빔 품질과 효율성을 주는 고체 레이저와 다이오드 레이저의 완벽한 조합으로 여겨진다. 이들 가열수단 (10)은 코팅 (R) 또는 기판 (S)에 도포된 층이 어닐링되도록 한다. 이 기판 (S)은 제 1면 및 제 2면을 포함하고, 제 1면은 어닐링될 층 / 코팅 (R)을 지지하는 면이다. 제 2면은 이송수단과 접촉하는 면이다. 기판 (S)은 바람직하게는 레이저의 파장에 투명한 기판이다.

레이저 발생기 (L)는 광학 요소를 통과하는 빔 (F)을 공급하는데, 예를 들어 이에 국한돠는 것은 아니고, 길이가 10 내지 50 cm 범위이고 폭이 100 μm 미만의 라인 형태의 빔 (F)을 얻기 위한 것이다.

복수의 레이저 발생기 (L)의 경우, 이들은 서로 서로 옆에 배치되어서 하나의 매우 긴 라인을 형성하여 누적 효과를 갖는다. 이 경우, 이들 다양한 빔의 정렬을 조정하여 가능한 가장 일관된 레이저 라인을 얻을 수 있도록 정렬 시스템 (도시되지 않음)이 제공된다.

도 6에 도시된 플래시 가열 램프 시스템 (10a)의 경우에, 시스템 (10)은 에너지를 공급하기 위해 넓은 스펙트럼의 펄스 광을 제공하는 복수의 방전 램프 (LD)를 포함한다. 수십 센티미터의 플래시에 의해 조사되는 구역을 형성하기 위해 여러 개의 튜브가 나란히 배치된다. 조사될 구역 쪽으로 빛을 쬐기 위해, 튜브의 후면 및 측면에 빛을 전방으로 반사시키기 위한 반사캡 (C)이 배열된다. 이 반사캡 (C)은 이 광이 과도하게 발산되지 않고 광을 집광하도록 유리하게 설계된다. 빛의 펄스는 1ms 미만 지속된다. 레이저 시스템과 비교하여 이 플래시 가열 램프 기술은 튜브 레이아웃을 고려할 때 더 넓은 영역을 처리할 수 있다.

현명하게도, 본 발명은 가열수단 (10)의 앞단에서 코팅 (R)을 예열하기 위해 예열수단 (10')을 제공하는 것을 제안한다. 이들 예열수단 (10')은 예열구역에서 코팅 (R)의 온도를 약 100 ℃ 만큼 및 1ms 내지 최대 50ms의 시간 경과 동안 가열수단 (10)을 통해 코팅 (R)에 의해 달성되는 온도의 최대 1/3 만큼 상승시키도록 디자인된다. 예열구역은 별개로서 가열구역과 분리되는데, 이는 두 구역 사이에 공간이 있고 그 공간은 가열되거나 예열되지 않는다는 것을 의미한다. 이 예열구역은 기판의 전체 폭에 걸쳐 펼쳐져 있다.

이들 예열수단 (10')은 예를 들어 레이저 라인 또는 플래시 가열 램프 라인 또는 가열수단보다 저전력의 저항판일 수 있고, 가열수단 (10)의 앞 단에, 바람직하게는 인접하여 배치되며, 예열수단 (10') 및 가열수단 (10) 사이의 간격은 열 손실을 피하기 위해 가능한 한 작다.

따라서, 예를 들어 그리고 비제한적으로, 예열수단 (10')으로서 저항성 플레이트를 그리고 가열수단 (10)으로서 플래시 가열 램프 시스템을 포함하거나 또는 예열수단 (10')으로서 레이저 시스템을 그리고 가열수단 (10)으로서 플래시 가열 램프 시스템을 포함하거나 또는 대안적으로 예열수단 (10')으로서 플래시 가열 램프 시스템을 그리고 가열수단 (10)으로서 레이저 시스템을 포함하는 열처리 장치 (1)를 가질 수 있다.

더욱 더 현명하게는, 본 발명은 이러한 예열을 수행하기 위해 기존의 가열수단 (10)을 사용하는 것을 제안한다. 레이저를 사용하여 열처리하는 경우, 도 2에 도시된 바와 같이, 레이저 발생기 (L)의 레이저 빔 (F)을 사용하여 기판 (S)의 추가 열처리 단계를 수행하는 것이 현명하게 이루어진다.

제 1 실시예에 따르면, 열처리 장치 (1)는 유리 기판이 예열될 수 있도록 하는 재활용 수단 (RC)을 더 포함한다. 이를 위해, 열처리 장치 (1)는 반사요소 (20)를 포함한다. 이 경우, 이 반사요소 (20)는 거울 (M)이다. 이 거울 (M)은 기판 (S) 아래에 배열된다. 이 제 1 실시예는 적어도 하나의 레이저 발생기 (L)를 포함하 가열수단 (10)의 예를 취하고 있는데, 이 예는 비제한적이며 플래시 가열 램프 또는 플라즈마 토치 또는 임의의 다른 가열수단 (10)에도 적용 가능하다. 이러한 배열은 코팅 (R) 및 기판에 의해 흡수되지 않는 레이저 빔의 일부 (f)에 작용하고, 이 기판은 가열수단 (10)에 의해 사용되는 파장에서 투명하다. 흡수되지 않은 이 레이저 빔 (f)은 디포커싱 (defocusing)되고, 포커싱 (focusing)은 어닐링될 코팅 (R) 레벨에서 발생한다. 따라서, 거울 (M)은 흡수되지 않은 레이저 빔 (f)이 반사되도록 위치된다. 이 반사는 레이저 빔 (F)이 포커싱되는 지점의 앞단에서 반사된 비흡수 빔 (f')이 유리 기판 (S)을 향해 반사되도록 설계된다. 이러한 구성은 유리 기판 (S)에 도포된 코팅이 국소 레이저 빔을 통과하기 전에 가열될 수 있게 한다. 따라서, 이러한 예열은 전력이 더 잘 사용되기 때문에 레이저의 전력을 감소시키거나 이송 속도를 증가시키는 것을 가능하게 한다.

레이저 발생기 (L)의 손상을 피하기 위해, 레이저 발생기 (L)는 레이저 빔 (F)이 유리 기판에 수직이 아닌 방식으로 설치될 것이다. 이 배열은 유리하게 거울 (M)을 사용하고 유리 기판 (S)의 평면에 평행하게 위치시키는 것을 가능하게 한다.특히 더 이 배열은 흡수되지 않은 레이저 빔 (f)을 반사하기 위해 단순한 평면 거울 (M)을 사용할 수 있게 한다.

그러나, 거울 (M)은 유리 기판 (S)의 평면에 대하여 경사지게 배치될 수 있다. 또한, 거울 (M)은 편평한 거울로 국한되지 않으며, 볼록하거나 오목한 형상으로 구부러질 수 있다.

흡수되지 않은 레이저 빔이 초점 앞단에서 유리 기판 (S)을 향해 반사되기 위해서, 레이저 발생기 (L)는 유리 기판에 대한 수직에 대해 각이 어긋나도록 위치될 것이다. 유리 기판 (S)상의 레이저의 입사각은 5°내지 15°, 바람직하게는 7°내지 10°일 것이다.

초점을 벗어난 반사빔 (f)이 초점에 맞춰진 빔 (F)에 비해 현저하게 감소된 단위면적당 전력을 갖기 때문에 예열이 수행된다. 이러한 감소된 단위면적당 전력은 유리 기판 (S) 상에 증착된 코팅 (R)을 어닐링하는 것은 불가능하게 하지만 상기 기판 (S)의 코팅이 예열되도록 하기에 충분하다.

이 단위면적당 전력은 변경될 수 있다. 실제로, 반사된 빔 (f')은 초점이 흐려지는데, 즉 빔의 표면이 일정하지 않다는 것이다. 결과적으로, 거울 (M)과 유리 기판 (S) 사이의 거리 (D)를 변경함으로써, 상기 기판에 반사된 레이저 빔 (f')의 표면, 그리고 따라서 단위면적당 전력이 변한다. 거울 (M)과 유리 기판 (S)의 제 2면 사이의 거리 (D)를 증가시킴으로써, 즉 거울 (M)을 그 평면에 수직인 방향으로 병진시킴으로써 유리 기판 (S)을 예열하는 반사빔 (f')의 폭 (La) 이 커지고 예열구역과 초점 사이의 거리 (d)도 증가된다. 마찬가지로, 예열의 위치를 수정하기 위해 거울 (M) 면의 경사를 수정할 수 있다. 거울 (M)의 경사를 수정함으로써, 거울 (M)과 예열된 코팅 사이의 거리가 변경되어 전력이 변할 수 있다.

플래시 가열 램프 시스템의 경우, 반사요소 (20)는 처리하는 동안 사용되지 않은 광을 반사하고 예열을 수행하기 위해서도 사용될 수 있다. 이 경우, 반사요소 (20), 즉 거울은 큰 조사 구역을 수용하기 위해 더 큰 폭을 갖는다. 또한, 상기 반사요소 (20)와 코팅이 도포되는 유리 기판 (S) 사이의 거리는 가능한 한 분산을 제한하기 위해 매우 작다.

제 1 실시예의 변형에서, 예열하는 수단은 또한 처리된 코팅을 천천히 냉각하기 위해서 후열을 한다. 이를 위해, 반사요소 (20)는 도 3에 도시된 바와 같이 흡수되지 않은 빔 (f)을 2 개의 상이한 방향으로 반사할 수 있도록 배치된다.

제 1 변형예에서, 제 2 실시예의 반사요소 (20)는 구부러진 거울 (M')이다. 그러한 거울 (M')은 그들 사이에 각도를 형성하는 2 개의 섹션 (m)을 포함한다. 외부 각도 (두 각도 중 큰 것)의 면들은 반사성이며, 내부 각도의 면들은 반사요소 (20)의 지지 수단의 존재를 허용한다.

도 4에 도시된 제 2 변형예에서, 반사요소 (20)는 삼각형 단면의 실린더 블록 (200) 형태의 거울 (M")이다. 이 거울 (M")은 평행한 두개의 단면들 (201)과 세개의 측면들 (202)을 포함한다. 두개의 인접한 면들은 반사성이다.

반사요소 (20)의 이러한 배치가 유리하게는 흡수되지 않은 빔 (f)을 2 개로 분할하는 것을 가능하게 한다. 제 1 분할부는 초점 앞단으로 향하고 제 2 분할부는 초점 뒷단으로 향한다. 앞단으로 향하게 되는 제 1 분할부가 유리 기판 (S)이 예열되게 한다면, 초점의 뒷단으로 향하는 제 2 분할부는 냉각을 개선할 수 있다. 실제로, 이를 통해 열처리 후 온도 강하를 더 느려지게 해준다.

반사요소 (20)는 초점의 앞단 또는 뒷단 부분을 우선시 하기 위해 흡수되지 않은 빔 (f)을 공평하게 분할하거나 불공평하게 분할하도록 설계 및 배치될 수 있다. 흡수되지 않은 빔 (f)이 반사요소 (20)에 의해 분할되는 비율을 변경하기 위해서, 그것의 정점의 위치가 변경된다. 단위 면적당 전력을 제어하기 위해, 2 개의 반사 단면들의 경사각들이 사용되고 변경된다. 경사각들은 다른 값을 가질 수 있으며 독립적으로 변경될 수 있다.

열처리 장치 (1)는 빔 쉴드 (BD)를 추가로 포함한다. 이 빔 쉴드 (BD)는 흡수되지 않은 반사 빔 (f')의 경로 상에 배치된다. 보다 구체적으로는, 이 빔 쉴드 (BD)는 유리 기판 (S) 위에 배치된다. 이러한 배치는 빔 쉴드 (BD)가 흡수되지 않은 반사 빔 (f')의 전파를 막는 요소가 되게 한다. 이 쉴드 (BD )는 유리하게는 세라믹 또는 융점이 높은 금속과 같은 내열 재료로 제조되고/되거나 냉각될 수 있다. 흡수되지 않은 빔이 2 개로 분할된 경우, 2 개의 빔 쉴드 (BD)가 존재할 수 있다.

도 5에 도시된 제 2 실시예에서, 반사요소 (20)는 반사층 (21) 이다. 이 반사층 (21)은 유리기판의 제 2면, 즉 코팅 (R)을 갖는 면과 반대되는 면에서 유리 기판 (S) 상에 배치된다. 이 반사층 (21)은, 효율적이기 위해서는, 적어도 70 %, 바람직하게는 적어도 80 %의 반사율을 갖는다.

따라서, 이 반사층 (21)은 흡수되지 않은 빔 (f)을 반사한다. 이 반사는 제 1 실시예에서 설명된 거울 (M)의 반사와 유사한데, 즉 흡수되지 않은 빔 (f)은 초점의 앞단으로 반사된다.

비제한적인 구성예에서, 유리 기판의 두께는 4 mm이고, 레이저의 출력은 433W이고 폭은 80 μm이며, 반사층의 반사율은 80 %이며, 레이저의 유리 기판 입사각은 7 °이다. 따라서, 이 경우에, 흡수되지 않은 반사 빔은 초점의 앞단에서 약 300 μm의 폭에 걸쳐서 초점 지점으로부터 약 350 μm의 거리에서 유리 기판을 통과한다. 이러한 구성예는 동일한 처리 성능에 대해 약 6m / 분에서 7m / 분으로 진행하는, 이송 속도가 15 % 증가되는 것을 얻을 수 있게 한다.

물론, 본 발명은 예시된 예에 국한되지 않고, 당업자에게 명백한 다양한 방식으로 변경 및 수정될 수 있다.

Claims (20)

1. 기판이 이동할 수 있는 가열수단 (10)을 포함하고, 상기 가열수단 (10)은 유리 기판의 제 1면 상의 코팅의 가열구역을 가열하기 위해 배치되는, 기판 (S)에 도포된 코팅 (R)을 처리하기 위한 열처리 장치 (1)로서, 상기 열처리 장치는 예열 구역에 있는 가열 구역의 앞단에서 상기 이동 기판의 코팅을 가열하기 위해 배치된 예열 수단 (10')을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
2. 제 1 항에 있어서, 상기 가열수단 (10)은 최대 1ms 경과 시간 동안 코팅 온도를 300 에서 700 ℃ 로, 특히 500 에서 650 ℃ 로 상승시키기 위해 배치되며, 예열 수단 (10')은 코팅이 최대 50ms 시간 동안 가열수단을 통해 도달하는 온도의 최대 1/3만큼 코팅 (R)의 온도를 상승시키 위해 배치되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서, 상기 열처리 장치는 가열수단 (10)에 의해 공급된 에너지의 흡수되지 않은 부분을 예열 수단으로서 작용하는 것을 가능하게 하는 재활용 장치 (RC)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
4. 제 1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가열수단 (10)은 적어도 하나의 레이저 발생기 (L)를 포함하는 레이저 시스템 (10b)을 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
5. 제 4 항에 있어서, 상기 레이저 시스템 (10b)은 상기 유리 기판에 수직에 대해 각도가 어긋 나도록 배치되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가열수단 (10)은 복수의 플래시 가열 램프 (LD)를 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
7. 제 4 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 재활용 장치 (RC)는 상기 기판에 의해 흡수되지 않은 광빔 (f) 부분을 반사해서 그것을 상기 이동 기판의 코팅 위로 향하게 하여 예열 수단으로 작용하도록 하는 반사요소 (20) 인 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
8. 제 7 항에 있어서, 상기 반사요소 (20)는 상기 코팅을 갖는 상기 기판의 면에 대향하는 면에 대향하여 배치된 거울 (M) 인 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
9. 제 8 항에 있어서, 상기 반사요소 (20)는 상기 기판의 평면에 평행하게 연장되는 평면 거울 (M) 인 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
   
10. 제 8 항에 있어서, 상기 반사요소 (20)는 곡면 거울 (M) 인 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
11. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반사요소 (20)는 적어도 하나의 자유도 (degree of freedom)에 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
12. 제 11 항에 있어서, 상기 자유도는 상기 기판의 평면에 수직인 평면에서의 병진인 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
13. 제 11 항에있어서, 상기 자유도는 이동 방향에 수직인 축에 대하여 회전인 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
14. 제 7 항에 있어서, 상기 반사요소 (20)가 빔을 2 개의 별개 방향으로 반사하여 흡수되지 않은 상기 빔 (f)이 초점의 양측에 배향되도록 하기 위해 배치되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
15. 제 14 항에 있어서, 상기 반사요소 (20)는 그들 사이에 각도를 형성하는 2 개의 섹션을 포함하는 거울 (M')이고, 상기 외부 각도의 면은 반사성인 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
16. 제 14 항에 있어서, 상기 반사요소 (20)는 두 개의 평행한 면 (201) 및 세 개의 측면 (202) 을 - 인접한 두 개의 측면은 반사성이고 - 포함하는 삼각형 단면의 실린더 블록 (200)을 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
17. 제 7 항에 있어서, 상기 반사요소 (20)는 상기 코팅 (R)을 갖는 면과 대면하는 상기 기판 (S) 면 상에 도포된 반사층 (21) 인 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
18. 제 1 항 내 제 17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 (S)은 제 1 치수 및 상기 제 1 치수와 직교하는 제 2 치수를 따라 연장되고, 상기 기판은 상기 두 개의 치수들 중 더 큰 방향으로 동일 선상으로 이동하고, 가열수단은 이동 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
19. 제 1 항 내지 제 18항 중 어느 한 항에 있어서, 예열 구역과 가열 구역이 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    
20. 제 1 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은 그 길이인 제 1 방향 및 그 폭이고 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 연장되고, 상기 기판은 그 길이 방향으로 이동하고, 예열 구역 및 가열 구역은 기판의 전체 폭에 걸쳐 연장되는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
    

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