JP7079727B2 - 導電トラックの形成方法および装置 - Google Patents
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Description
は光軸に対して回転される。整列が変更されて、堆積材料23に入射するレーザービームの断面が、レーザービームが入射する堆積材料23の幅の近傍に合致するように、レーザービームを回転する。レーザービームを回転するので、断面の放射分布が照射される堆積材料23の厚みに応じて必要な放射に近接に合致しうるように整列が変更される。
Claims (28)
- 基板の表面上に導電トラックを形成する方法であって、前記基板は、前記基板の表面上のパスに沿って堆積材料を含み、前記パスが前記基板の上面に所定のパターンで形成され、前記パスが、異なる方向に伸びる直線部分および曲線部分を含み、前記方法は、
前記基板を準備する工程と、
光軸と、前記表面に入射するレーザービームの断面領域におけるエネルギー分布と、を有し、前記エネルギー分布が前記表面において前記光軸に対して非円形対称であるレーザービームを発生する工程と、
前記堆積材料を照射するために前記パスに沿って移動し、前記パスに沿って前記導電トラックを設けるように前記レーザービームを向ける工程と、を含み、
前記レーザービームは、前記パスの前記直線部分および前記曲線部分に追従するように構成され、前記断面領域における前記エネルギー分布の選択された配向は、前記レーザービームの移動方向に整列され、前記レーザービームの断面領域におけるエネルギー分布が、前記選択される配向と移動方向との整列が維持されるように前記基板に対して光軸を中心に回転し、
前記表面に入射する断面領域の形状および前記表面に入射する断面領域におけるレーザービームのエネルギー分布は、前記ビームがパスに沿って移動する際に、前記堆積材料が前記基板の表面における前記断面領域の下において受けるのに望ましい照射量に応じて適合される、方法。 - 前記レーザービームの断面領域におけるエネルギー分布は、移動方向に対して対称である、請求項1に記載の方法。
- 前記レーザービームの断面領域におけるエネルギー分布の選択される配向は、前記レーザービームの移動方向に伸長される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記表面に入射するレーザービームの断面領域の幅は、前記パスの幅に相当するように配置される、請求項1~3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記表面に入射するレーザービームの断面領域におけるエネルギー分布が光軸に対して非円形対称となるように、前記光軸に対して円形対称のエネルギー分布を有する第1レーザービームを修正する工程をさらに含む、請求項1~4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1レーザービームが非円形のアパーチャーを通過することによって修正される、請求項5に記載の方法。
- 前記表面に入射するレーザービームの断面領域が主軸および副軸を有し、前記主軸は前記副軸に直交し、前記主軸に沿ったエネルギー分布の強度変化は、ガウス型プロファイルを有し、前記副軸における前記エネルギー分布の強度変化はガウス型プロファイルを有する方法であって、前記主軸が移動方向に整列し、前記副軸のガウス型プロファイルの両側がトランケートされ、トランケートされたプロファイルの幅がパスの幅に相当するように、前記エネルギー分布の配向が選択される、請求項5または6に記載の方法。
- 前記表面に入射するレーザービームの断面領域が主軸および副軸を有し、前記主軸は前記副軸に直交し、前記主軸に沿ったエネルギー分布の強度変化は、スロープ型プロファイルを有し、前記副軸に沿ったエネルギー分布の強度変化はシルクハット型プロファイルを有する方法であって、前記主軸が移動方向に整列し、前記シルクハット型プロファイルの幅がパスの幅に相当するように、前記エネルギー分布の配向が選択される、請求項1~6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板の表面上のパスに沿って、前記基板上に前記材料を堆積する工程をさらに含む、請求項1~8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記堆積材料が、母材中に保持された粒子を含む、請求項1~9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記粒子が金属粒子である、請求項10に記載の方法。
- 前記基板の表面において、前記堆積材料が前記基板の断面において異なる厚みを有する、請求項1~11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記パスが、前記基板の断面において、前記基板の表面に形成された溝を含む、請求項12に記載の方法。
- 前記基板の表面に入射するレーザービームの断面領域におけるエネルギー分布は、前記堆積材料の肉厚領域が肉薄領域よりも多くの放射を受けるように、前記堆積材料の厚みに応じて適合される、請求項1~13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記基板の表面に入射するレーザービームの断面領域におけるエネルギー分布は、前記基板の表面および/または前記基板の下地層を形成する材料に応じて適合される、請求項1~14のいずれか一項に記載の方法。
- 基板の表面上に導電トラックを形成する装置であって、前記基板は、前記基板の表面上のパスに沿って堆積材料を含み、前記パスが前記基板の上面に所定のパターンで形成され、前記パスが、異なる方向に伸びる直線部分および曲線部分を含み、前記装置は、
前記基板を支持する支持体と、
光軸と、前記表面に入射するレーザービームの断面領域におけるエネルギー分布とを有し、前記表面においてエネルギー分布が光軸に対して非円形対称である前記レーザービームを提供するように構成されるレーザービーム源と、
前記パスに沿って移動する前記レーザービームを向けることで、前記堆積材料を照射して前記パスに沿った導電トラックを設けるように構成される指向手段を含み、
前記レーザービームは、前記パスの前記直線部分および前記曲線部分に追従するように構成され、前記断面領域におけるエネルギー分布の選択された配向は、前記レーザービームの移動方向に整列され、前記指向手段が、前記レーザービームの断面領域におけるエネルギー分布を、前記選択された配向と前記移動方向との整列を維持するように、前記基板に対して光軸を中心に回転し、
前記表面に入射する断面領域の形状および前記表面に入射する断面領域におけるレーザービームのエネルギー分布は、前記ビームがパスに沿って移動する際に、前記堆積材料が前記基板の表面における前記断面領域の下において受けるのに望ましい照射量に応じて適合される、装置。 - 前記装置は、前記表面に入射する断面領域の形状が適合され、移動方向に対して対称となるように構成される、請求項16に記載の装置。
- 前記指向手段が、前記レーザービームが通過するマスクを含み、前記マスクが、前記レーザービームのエネルギー分布が前記光軸に対して回転するように配置される、請求項16または17に記載の装置。
- 前記指向手段が、前記レーザービームを反射するように配置された光学素子を含み、前記光学素子が、前記レーザービームのエネルギー分布が光軸に対して回転するように構成される、請求項16~18のいずれか一項に記載の装置。
- 前記表面に入射するレーザービームの断面領域の幅は、前記パスの幅に相当するように配置される、請求項16~19のいずれか一項に記載の装置。
- 前記表面に入射するレーザービームの断面領域におけるエネルギー分布が、光軸に対して非円形対称となるように、光軸に対して円形対称のエネルギー分布を有する第1レーザービームを修正するように構成されるプロファイル化手段をさらに含む、請求項16~20のいずれか一項に記載の装置。
- 前記プロファイル化手段は、非円形のアパーチャーを含む、請求項21に記載の装置。
- 前記表面に入射する前記レーザービームの断面領域が主軸および副軸を有し、前記主軸は前記副軸に直交し、前記主軸に沿ったエネルギー分布の強度変化はガウス型プロファイルを有し、前記副軸における前記エネルギー分布の強度変化はガウス型プロファイルを有する方法であって、前記主軸が前記移動方向に整列し、前記副軸のガウス型プロファイルの両側がトランケートされ、トランケートされたプロファイルが前記パスの幅に相当するように、前記エネルギー分布の配向が選択される、請求項21または22に記載の装置。
- 前記表面に入射するレーザービームの断面領域が主軸および副軸を有し、前記主軸は前記副軸に直交し、前記主軸に沿ったエネルギー分布の強度変化はスロープ型プロファイルを有し、前記副軸に沿ったエネルギー分布の強度変化はシルクハット型プロファイルを有する方法であって、前記主軸が移動方向に整列し、前記シルクハット型プロファイルの幅が前記パスの幅に相当するように、前記エネルギー分布の配向が選択される、請求項21または22に記載の装置。
- 前記基板の表面上の前記パスに沿って、前記基板上に材料を堆積するように構成される堆積ユニットをさらに含む、請求項16~24のいずれか一項に記載の装置。
- 前記堆積ユニットは、前記材料を堆積するためのノズルを含む、請求項25に記載の装置。
- 前記ノズルが、インクジェットプリンターの一部である、請求項26に記載の装置。
- 前記堆積ユニットがスクリーンプリンターを含む、請求項25に記載の装置。
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