JP4947344B2 - 加熱装置 - Google Patents
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Description
また、フラットパネル用ガラスでは、非ガラス部材であるITO金属膜からなる電極が形成されたガラス板を洗浄後に加熱して乾燥することが行われている。
これらの工程に利用される加熱装置は、立ち上がりの速さや、制御のしやすさなどから熱源として白熱ランプやシーズヒータが利用されている。
ここでは、波長0.75〜3μmを近赤外線、波長3μm以上を遠赤外線と定義するものであり、分光分布を図4に示すものであり、グラフaは近赤外線を良好に放射するハロゲン白熱ヒータの分光分布を示し、グラフbは遠赤外線を良好に放射するハロゲン白熱ヒータの発光管の表面に黒色セラミック膜を有するヒータの分光分布を示す。
そして、ガラス板の吸収特性は、図5に示すものであり、波長2.7μm付近に遠赤外線の吸収パターンを有するものであり、波長2.5μ以下の近赤外線を良好に透過するものである。
このため、金属ペーストやITO金属膜などが形成されたガラス板を加熱する場合は、近赤外線と遠赤外線の両方で加熱し、ガラス板を均一に加熱することが知られている。
加熱装置は、定位置で回転する搬送ローラ1が複数離間して配置され、この搬送ローラ上に被加熱物であるガラス板Wを載置し、搬送されてくるガラス板Wの上面を近赤外線放射手段7である白熱ランプ71で加熱し、裏面を白熱ランプ71からの光で加熱され遠赤外線を放射する遠赤外線放射手段8である黒色セラミック板81で加熱するものである。
また、図3中で示すように、搬送ローラ1の下方には遠赤外線放射手段8である黒色セラミック板81が配置されており、この黒色セラミック板81から放射される遠赤外線が、直接、搬送ローラ1に照射される構造になっている。
この搬送ローラ1は、ガラス板を傷つけないように、その表面にテフロン(登録商標)樹脂(以下、単に「テフロン樹脂」という)12が設けられている。
この結果、白熱ランプ71の光出力を上げて、ガラス板Wの温度をさらに上げることにより、処理時間を短縮するという要求には応えることができない問題があった。
つまり、搬送ローラの表面は、近赤外線と遠赤外線の両方が照射されない構造であるので、焼損することが確実に防止できる。
よって、近赤外線放射手段の白熱ランプの入力電力を上げて、短時間で被加熱物を加熱できるものである。
また、遠赤外線放射手段に反射鏡で遠赤外線を放射する部材を集中加熱することができ、短時間で被加熱物を加熱できるものである。
また、被加熱物が搬送されてくる前から予め遠赤外線放射手段を加熱し遠赤外線を放射する場合は、遠赤外線放射手段に設けられた温度センサーの信号によって、白熱ランプの入力を迅速に制御して、搬送ローラの表面が遠赤外線によって、過度に加熱されることを防止できる。
加熱装置は、複数の搬送ローラ1が60mm離間して配置されており、この搬送ローラ1上に被加熱物であるガラス板Wを載置して、定位置で搬送ローラ1が回転することにより、ガラス板Wを搬送するものである。
ステンレスよりなる搬送ローラ1は、ステンレスの回転シャフト11に取り付けられており、シャフトが回転することにより、搬送ローラ1が定位置で回転するものであり、搬送ローラ1の表面にはテフロン樹脂12が形成されている。
また、近赤外線放射手段2は隣接する搬送ローラ1の間であって、白熱ランプ21から放射された光が、直接、搬送ローラ1に照射されない位置に設けられている。
具体的には、白熱ランプ21の中心点Oから、反射鏡22の反射面開口縁Pを結ぶ仮想線Lが搬送ローラ1と交差しない位置にくるうように、搬送ローラ1に対して近赤外線放射手段2の位置を決めるものである。
そして、平板状遠赤外線放射部材31は、厚さ1mmの極めて薄いステンレス板であるため、全体の熱容量を小さくすることが、平板状遠赤外線放射部材31自体の温度変化を迅速に行うことができ、遠赤外線の放射強度をすばやく変化させることができる。
なお、平板状の基体として、ステンレス板以外に、セラミック板、石英ガラス板を用いてもよい。セラミック板、石英ガラス板は350℃以上の温度でも変形することがなく、平板状遠赤外線放射部材が高温領域で使用される場合は有利な部材である。
なお、図1中、ガラス板Wは、図中、左から右へ搬送される。
つまり、ガラス板の表面に金属ペーストやITO金属膜などの非ガラス部材が存在しているガラス板全体を、近赤外線と遠赤外線で均一に加熱することができる。
なお、平板状遠赤外線放射部材31から放射される遠赤外線は、ガラス板Wに吸収されるので、搬送ローラ1の表面のテフロン樹脂12に照射されることがなく、テフロン樹脂12が焼損することがない。
図1に示す加熱装置と、搬送ローラの構造は同じであり、搬送されてくるガラス板を搬送ローラ1の裏面から近赤外線放射手段で加熱し、搬送されてくるガラス板を搬送ローラとは反対側の表面から遠赤外線放射手段で加熱するものであり、異なる点は、近赤外線放射手段と遠赤外線放射手段の構造である。
近赤外線放射手段5は、両端封止型の白熱ランプ51と、この白熱ランプ51を取り囲む樋状の反射鏡52よりなるものであり、近赤外線放射手段5は隣接する搬送ローラ1の間であって、白熱ランプ51から放射された光が、直接、搬送ローラ1に照射されない位置に設けられている。
具体的には、白熱ランプ51の中心点Oから、反射鏡52の反射面開口縁Pを結ぶ仮想線Lが搬送ローラ1と交差しない位置にくるうように、搬送ローラ1に対して近赤外線放射手段5の位置を決めるものである。
この結果、白熱ランプ51から放射された光が、直接、搬送ローラ1に照射されない構造になっているので、搬送ローラ1の表面のテフロン樹脂12が焼損することがない。
そして、筒状遠赤外線放射部材63は、中空のパイプ状の部材であるため、全体の熱容量を小さくすることが、筒状遠赤外線放射部材63自体の温度変化を迅速に行うことができ、遠赤外線の放射強度をすばやく変化させることができる。
平板遠赤外線放射部材31と筒状遠赤外線放射部材63は被加熱物側方向に対する遠赤外線放射面1cm2当たりの熱容量が、0.5J/K以下であると、近赤外線放射手段の白熱ランプが点灯した場合、数十秒で所定の強度の遠赤外線を放射することができ、遠赤外線の放射に数十秒の時間的な遅れが発生しても、この程度の遅れでは実際の加熱工程においては問題とならない範囲である。その一方で、遠赤外線の放射強度が大きくなり過ぎた場合、遠赤外線の放射強度に比例して、平板遠赤外線放射部材31と筒状遠赤外線放射部材63の温度が上昇するので、この温度変化を温度センサーで検知し、温度センサーからの信号によって白熱ランプへの入力電力を抑制すると、数十秒で遠赤外線の放射強度を低下させることができ、搬送ローラのテフロン樹脂の焼損を確実に防ぐことができる。
11 回転シャフト
12 テフロン樹脂
2 近赤外線放射手段
21 白熱ランプ
22 反射鏡
23 反射面
3 遠赤外線放射手段
31 平板状遠赤外線放射部材
4 天板部材
5 近赤外線放射手段
51 白熱ランプ
52 反射鏡
53 反射面
6 遠赤外線放射手段
61 反射鏡
62 反射面
63 円筒状遠赤外線放射部材
S 温度センサー
L 仮想線
Claims (5)
- 定位置で回転する搬送ローラが複数離間して配置され、この搬送ローラの表面にはテフロン(登録商標)樹脂が設けられており、当該搬送ローラ上にガラス製の被加熱物を載置して、搬送されてくる被加熱物を搬送ローラ側の裏面から近赤外線放射手段で加熱し、搬送されてくる被加熱物を搬送ローラとは反対側の表面から遠赤外線放射手段で加熱する加熱装置であって、
前記近赤外線放射手段は、白熱ランプと、当該白熱ランプを取り囲む反射鏡よりなり、
前記近赤外線放射手段は、隣接する搬送ローラ間であって、白熱ランプから放射される直射光が搬送ローラに照射されない位置に設けられており、
前記遠赤外線放射手段は、前記近赤外線放射手段から放射された光を受けて加熱されて遠赤外線を放射するものであることを特徴とする加熱装置。
- 前記近赤外線放射手段は、両端封止型の管型の白熱ランプと、当該白熱ランプに沿って設けられた樋状の反射鏡であり、
前記遠赤外線放射手段は、平板状の基体の表面に黒色セラミック膜を有する平板状遠赤外線放射部材であることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。 - 前記近赤外線放射手段は、両端封止型の管型の白熱ランプと、当該白熱ランプに沿って設けられた樋状の反射鏡であり、当該反射鏡の反射面は、白熱ランプから放射された光を平行に反射する放物面形状であり、
前記遠赤外線放射手段は、内部に集光点が形成される放物面形状の反射面を有する樋状の反射鏡と、当該集光点に配置された円筒状の基体の表面に黒色セラミック膜を有する筒状遠赤外線放射部材からなり、
前記近赤外線放射手段の反射鏡の反射面と、前記遠赤外線放射手段の反射鏡の反射面が対向していることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。 - 前記遠赤外線放射手段に温度センサーが取り付けられており、当該温度センサーからの信号によって、前記近赤外線放射手段の白熱ランプの入力電力を制御することを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記遠赤外線放射部材は、被加熱物側方向に対する遠赤外線放射面1cm2当たりの熱容量が、0.5J/K以下であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の加熱装置。
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