JPH07243941A - 光導波路伝送損失の測定方法 - Google Patents
光導波路伝送損失の測定方法Info
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- JPH07243941A JPH07243941A JP3511394A JP3511394A JPH07243941A JP H07243941 A JPH07243941 A JP H07243941A JP 3511394 A JP3511394 A JP 3511394A JP 3511394 A JP3511394 A JP 3511394A JP H07243941 A JPH07243941 A JP H07243941A
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- optical waveguide
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光導波路伝送損失の測定方法に関し、測定の
精度が高いことを目的とする。 【構成】 三角プリズム40を光導波路10の出射端面15か
ら距離Ｌ離れた光導波路10のコア層13の表面に載置し、
三角プリズム40とコア層13との境界面42で全反射する入
射角で三角プリズム40の一方の面41に光源20の出射光を
投射し、三角プリズム40の他方の面43から出射する境界
面42での反射光の光パワーＰ0 を第１の光検出器51で計
測し、引き続いて境界面42で全反射しない入射角で、該
三角プリズム40の一方の面41に光源20の出射光を投射
し、三角プリズム40の他方の面43から出射する境界面42
での反射光の光パワーＰ1 を第１の光検出器51で計測す
るとともに、境界面42を透過しコア層13に伝送され出射
端面15からの出射光の光パワーＰ2 を第２の光検出器52
で計測する構成とする。
精度が高いことを目的とする。 【構成】 三角プリズム40を光導波路10の出射端面15か
ら距離Ｌ離れた光導波路10のコア層13の表面に載置し、
三角プリズム40とコア層13との境界面42で全反射する入
射角で三角プリズム40の一方の面41に光源20の出射光を
投射し、三角プリズム40の他方の面43から出射する境界
面42での反射光の光パワーＰ0 を第１の光検出器51で計
測し、引き続いて境界面42で全反射しない入射角で、該
三角プリズム40の一方の面41に光源20の出射光を投射
し、三角プリズム40の他方の面43から出射する境界面42
での反射光の光パワーＰ1 を第１の光検出器51で計測す
るとともに、境界面42を透過しコア層13に伝送され出射
端面15からの出射光の光パワーＰ2 を第２の光検出器52
で計測する構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路伝送損失の測
定方法に関する。
定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の光導波路伝送損失の測定方
法を示す。図において、10は、シリコン等の基板11の表
面にクラッド層12を形成し、クラッド層12の上層にコア
層13を形成した光導波路である。
法を示す。図において、10は、シリコン等の基板11の表
面にクラッド層12を形成し、クラッド層12の上層にコア
層13を形成した光導波路である。
【０００３】21は、コア層13の表面に載置する載置する
直角プリズム等の出射プリズム、22はコア層13の載置す
る直角プリズム等の出射プリズム、30は出射プリズム22
から出射する光の光パワーを検出する光検出器、20は入
射プリズム21に光を入射させる光源である。
直角プリズム等の出射プリズム、22はコア層13の載置す
る直角プリズム等の出射プリズム、30は出射プリズム22
から出射する光の光パワーを検出する光検出器、20は入
射プリズム21に光を入射させる光源である。
【０００４】入射プリズム21及び出射プリズム22の屈折
率は、コア層13の屈折率より大きいものである。上述の
光学素子を用いて従来は下記のようにして、光導波路10
の伝送損失を測定している。
率は、コア層13の屈折率より大きいものである。上述の
光学素子を用いて従来は下記のようにして、光導波路10
の伝送損失を測定している。
【０００５】光導波路10のコア層13の表面の同一直線上
に、入射プリズム21と出射プリズム22（点線で示す位
置) とを、斜面が背向するように載置する。入射プリズ
ム21の斜面に光源20の出射光を投射して、入射プリズム
21，入射プリズム21とコア層13との境界面を経てコア層
13に入射させる。
に、入射プリズム21と出射プリズム22（点線で示す位
置) とを、斜面が背向するように載置する。入射プリズ
ム21の斜面に光源20の出射光を投射して、入射プリズム
21，入射プリズム21とコア層13との境界面を経てコア層
13に入射させる。
【０００６】コア層13を伝送した光が、出射プリズム22
の位置に達すると、その一部がコア層13と出射プリズム
22との境界面を経て出射プリズム22に入射し、出射プリ
ズム22の斜面から出射する。
の位置に達すると、その一部がコア層13と出射プリズム
22との境界面を経て出射プリズム22に入射し、出射プリ
ズム22の斜面から出射する。
【０００７】この出射プリズム22の斜面から出射した光
を、光検出器30で受光し計測する。この位置で計測した
光パワーをＰ11とする。次に、出射プリズム22を距離Ｌ
だけ移動して実線に示す位置に載置する。
を、光検出器30で受光し計測する。この位置で計測した
光パワーをＰ11とする。次に、出射プリズム22を距離Ｌ
だけ移動して実線に示す位置に載置する。
【０００８】前述と同様の手順により距離Ｌ離れた位置
での出射プリズム22の出射光を、光検出器30で計測し、
この計測した光パワーをＰ12とする。そして、（Ｐ11−
Ｐ12）／Ｌを光導波路の伝送損失としている。
での出射プリズム22の出射光を、光検出器30で計測し、
この計測した光パワーをＰ12とする。そして、（Ｐ11−
Ｐ12）／Ｌを光導波路の伝送損失としている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述のように出射プリ
ズムを移動して、光導波路10の表面の２個所で出射プリ
ズムの出射光の光パワーを計測しその差から、光導波路
伝送損失を算出する方法は、移動前の位置での出射プリ
ズムとコア層との境界面の光結合量と、移動後の位置で
の出射プリズムとコア層との境界面の光結合量とが一致
しているとは限らない。
ズムを移動して、光導波路10の表面の２個所で出射プリ
ズムの出射光の光パワーを計測しその差から、光導波路
伝送損失を算出する方法は、移動前の位置での出射プリ
ズムとコア層との境界面の光結合量と、移動後の位置で
の出射プリズムとコア層との境界面の光結合量とが一致
しているとは限らない。
【００１０】したがって、従来の光導波路伝送損失の測
定方法は、精度が低いという問題点があった。本発明は
このような点に鑑みて創作されたもので、測定の精度が
高い光導波路伝送損失の測定方法を提供することを目的
としている。
定方法は、精度が低いという問題点があった。本発明は
このような点に鑑みて創作されたもので、測定の精度が
高い光導波路伝送損失の測定方法を提供することを目的
としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、図１に図示したように、三角プリズム40
を、光導波路10の出射端面15から距離Ｌ離れた位置で光
導波路10のコア層13の表面に載置し、三角プリズム40と
コア層13との境界面42で全反射する入射角で、三角プリ
ズム40の一方の面41に光源20の出射光を投射し、三角プ
リズム40の他方の面43から出射する境界面42での反射光
の光パワーＰ0 を、第１の光検出器51で計測する。
めに本発明は、図１に図示したように、三角プリズム40
を、光導波路10の出射端面15から距離Ｌ離れた位置で光
導波路10のコア層13の表面に載置し、三角プリズム40と
コア層13との境界面42で全反射する入射角で、三角プリ
ズム40の一方の面41に光源20の出射光を投射し、三角プ
リズム40の他方の面43から出射する境界面42での反射光
の光パワーＰ0 を、第１の光検出器51で計測する。
【００１２】引き続いて、境界面42で全反射しない入射
角で、三角プリズム40の一方の面41に光源20の出射光を
投射し、三角プリズム40の他方の面43から出射する境界
面42での反射光の光パワーＰ1 を、第１の光検出器51で
計測するとともに、境界面42を透過しコア層13に伝送さ
れ、出射端面15からの出射光の光パワーＰ2 を第２の光
検出器52で計測し、 （Ｐ0 −Ｐ1 −Ｐ2 ）／Ｌ の式に基づき、光導波路10の単位長さあたりの伝送損失
を算出するものとする。
角で、三角プリズム40の一方の面41に光源20の出射光を
投射し、三角プリズム40の他方の面43から出射する境界
面42での反射光の光パワーＰ1 を、第１の光検出器51で
計測するとともに、境界面42を透過しコア層13に伝送さ
れ、出射端面15からの出射光の光パワーＰ2 を第２の光
検出器52で計測し、 （Ｐ0 −Ｐ1 −Ｐ2 ）／Ｌ の式に基づき、光導波路10の単位長さあたりの伝送損失
を算出するものとする。
【００１３】また、光源20をＨe −Ｎe レーザとする。
或いはまた、図２に図示したように、第１の光検出器51
の受光面をマッチング液60を介して、三角プリズム40の
他方の面43に密接させ、第２の光検出器52の受光面をマ
ッチング液60を介して、光導波路10の出射端面15に密接
させた構成とする。
或いはまた、図２に図示したように、第１の光検出器51
の受光面をマッチング液60を介して、三角プリズム40の
他方の面43に密接させ、第２の光検出器52の受光面をマ
ッチング液60を介して、光導波路10の出射端面15に密接
させた構成とする。
【００１４】
【作用】本発明は、まず、三角プリズムとコア層との境
界面で全反射する入射角で、三角プリズムの一方の面に
光源の出射光を投射し、三角プリズムの他方の面から出
射する光パワーＰ0 を第１の光検出器51で計測してい
る。
界面で全反射する入射角で、三角プリズムの一方の面に
光源の出射光を投射し、三角プリズムの他方の面から出
射する光パワーＰ0 を第１の光検出器51で計測してい
る。
【００１５】即ち、三角プリズムとコア層との境界面で
の光結合が零であるから、この光パワーＰ0 は光源の出
射光の境界面での光パワーである。また、境界面で全反
射しない入射角で、三角プリズムの一方の面に光源の出
射光を投射し、三角プリズムの他方の面から出射する境
界面での反射光の光パワーＰ1 を計測している。
の光結合が零であるから、この光パワーＰ0 は光源の出
射光の境界面での光パワーである。また、境界面で全反
射しない入射角で、三角プリズムの一方の面に光源の出
射光を投射し、三角プリズムの他方の面から出射する境
界面での反射光の光パワーＰ1 を計測している。
【００１６】この差（Ｐ0 −Ｐ1)は、境界面で三角プリ
ズムから光導波路のコア層に入射した光パワーである。
したがって、（Ｐ0 −Ｐ1 −Ｐ2 ）が、光が距離Ｌの間
を進行中に失った光パワーである。
ズムから光導波路のコア層に入射した光パワーである。
したがって、（Ｐ0 −Ｐ1 −Ｐ2 ）が、光が距離Ｌの間
を進行中に失った光パワーである。
【００１７】よって、 （Ｐ0 −Ｐ1 −Ｐ2 ）／Ｌ が光導波路の単位長さあたりの伝送損失となる。
【００１８】本発明においては、三角プリズムは光導波
路上の所定の１個所に載置されている。したがって、三
角プリズムと光導波路コア層との境界面での光結合状態
が一定であり、伝送損失の測定値の精度が高い。
路上の所定の１個所に載置されている。したがって、三
角プリズムと光導波路コア層との境界面での光結合状態
が一定であり、伝送損失の測定値の精度が高い。
【００１９】また、Ｈe −Ｎe レーザは、他の光源例え
ばＬＥＤ等に較べて、指向性に優れ波長が安定して一定
の連続出力が得られる光源である。したがって、光源と
してＨe −Ｎe レーザを採用することで、伝送損失の測
定精度が向上する。
ばＬＥＤ等に較べて、指向性に優れ波長が安定して一定
の連続出力が得られる光源である。したがって、光源と
してＨe −Ｎe レーザを採用することで、伝送損失の測
定精度が向上する。
【００２０】一方、第１の光検出器の受光面をマッチン
グ液を介して三角プリズムの他方の面に密接させること
で、三角プリズムの他方の面に投射された光の殆ど全量
が第１の光検出器に入射する。
グ液を介して三角プリズムの他方の面に密接させること
で、三角プリズムの他方の面に投射された光の殆ど全量
が第１の光検出器に入射する。
【００２１】また、第２の光検出器の受光面をマッチン
グ液を介して光導波路の出射端面に密接させることで、
光導波路を進行した光の殆ど全量が第２の光検出器に入
射する。
グ液を介して光導波路の出射端面に密接させることで、
光導波路を進行した光の殆ど全量が第２の光検出器に入
射する。
【００２２】即ち、第１，第２の光検出器に高効率で光
結合するので、計測値が大きくなり伝送損失の測定精度
が向上する。
結合するので、計測値が大きくなり伝送損失の測定精度
が向上する。
【００２３】
【実施例】以下図を参照しながら、本発明を具体的に説
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。
【００２４】図１の(A),(B) は本発明方法の原理を示す
図であり、図２は本発明方法の他の実施例の図である。
図において、10は、シリコン等の基板11の表面にクラッ
ド層12を形成し、クラッド層12の上層にコア層13を形成
した、被測定物としての光導波路である。
図であり、図２は本発明方法の他の実施例の図である。
図において、10は、シリコン等の基板11の表面にクラッ
ド層12を形成し、クラッド層12の上層にコア層13を形成
した、被測定物としての光導波路である。
【００２５】40は、光導波路10の出射端面15から距離Ｌ
離れた位置で光導波路10のコア層13の表面に載置する三
角プリズムである。なお、三角プリズム40の屈折率は、
コア層13の屈折率より大きい。
離れた位置で光導波路10のコア層13の表面に載置する三
角プリズムである。なお、三角プリズム40の屈折率は、
コア層13の屈折率より大きい。
【００２６】図示した三角プリズム40は直角プリズム
で、その直角を挟む一方の面をコア層13の表面に密接さ
せて、光導波路10上に載置している。即ち、直角を挟む
一方の面とコア層13との密接が境界面42である。
で、その直角を挟む一方の面をコア層13の表面に密接さ
せて、光導波路10上に載置している。即ち、直角を挟む
一方の面とコア層13との密接が境界面42である。
【００２７】20は、三角プリズム40の一方の面（図では
斜辺を含む面)41 に出射光を投射する、Ｈe −Ｎe レー
ザ等の光源である。この光源20は、三角プリズム40の一
方の面41への入射角を可変し得るように設置されたもの
である。
斜辺を含む面)41 に出射光を投射する、Ｈe −Ｎe レー
ザ等の光源である。この光源20は、三角プリズム40の一
方の面41への入射角を可変し得るように設置されたもの
である。
【００２８】51は、三角プリズム40の一方の面41から入
射した光源20の出射光が、三角プリズム40とコア層13と
の境界面42で反射し、三角プリズム40の他方の面43から
出射する光の光パワーを測定する第１の光検出器であ
る。
射した光源20の出射光が、三角プリズム40とコア層13と
の境界面42で反射し、三角プリズム40の他方の面43から
出射する光の光パワーを測定する第１の光検出器であ
る。
【００２９】52は、三角プリズム40の一方の面41から入
射した光源20の出射光が、境界面42を透過してコア層13
に入射し、コア層13を進行して光導波路10の出射端面15
から出射する光の光パワーを測定する第２の光検出器で
ある。
射した光源20の出射光が、境界面42を透過してコア層13
に入射し、コア層13を進行して光導波路10の出射端面15
から出射する光の光パワーを測定する第２の光検出器で
ある。
【００３０】本発明は、上述の光学素子を用いて下記の
ようにして、光導波路10の伝送損失を測定する。先ず図
１の(A) に図示したように、三角プリズム40を光導波路
10の出射端面15から距離Ｌ離れた位置で光導波路10のコ
ア層13の表面に載置する。
ようにして、光導波路10の伝送損失を測定する。先ず図
１の(A) に図示したように、三角プリズム40を光導波路
10の出射端面15から距離Ｌ離れた位置で光導波路10のコ
ア層13の表面に載置する。
【００３１】そして、三角プリズム40とコア層13との境
界面42で全反射するように、所定の入射角で光源20の出
射光を一方の面41に投射する。そして、三角プリズム40
の他方の面43から出射する境界面42での反射光の光パワ
ーＰ0 を、第１の光検出器51で計測する。
界面42で全反射するように、所定の入射角で光源20の出
射光を一方の面41に投射する。そして、三角プリズム40
の他方の面43から出射する境界面42での反射光の光パワ
ーＰ0 を、第１の光検出器51で計測する。
【００３２】この際、光源20の出射光は境界面42で全反
射し、コア層13には入射しない。よって、第２の光検出
器52は光が全く入射しない。引き続いて、図１の(B) に
図示したように、境界面42で全反射しないように、図１
の(A) に示した入射角よりも小さい入射角で、三角プリ
ズム40の一方の面41に光源20の出射光を投射して、境界
面42で反射し三角プリズム40の他方の面43から出射する
光パワーＰ1 を、第１の光検出器51で計測する。
射し、コア層13には入射しない。よって、第２の光検出
器52は光が全く入射しない。引き続いて、図１の(B) に
図示したように、境界面42で全反射しないように、図１
の(A) に示した入射角よりも小さい入射角で、三角プリ
ズム40の一方の面41に光源20の出射光を投射して、境界
面42で反射し三角プリズム40の他方の面43から出射する
光パワーＰ1 を、第１の光検出器51で計測する。
【００３３】一方、境界面42を透過しコア層13に伝送さ
れ、光導波路10の出射端面15からの出射光の光パワーＰ
2 を第２の光検出器52で計測する。そして、 （Ｐ0 −Ｐ1 −Ｐ2 ）／Ｌ の式により、光導波路10の単位長さあたりの伝送損失を
算出する。
れ、光導波路10の出射端面15からの出射光の光パワーＰ
2 を第２の光検出器52で計測する。そして、 （Ｐ0 −Ｐ1 −Ｐ2 ）／Ｌ の式により、光導波路10の単位長さあたりの伝送損失を
算出する。
【００３４】本発明は、上述のように三角プリズム40を
光導波路上の所定の１個所に載置したままで、伝送損失
を測定している。また、Ｈex−Ｎe レーザは、他の光源
例えばＬＥＤ等に較べて、指向性に優れ波長が安定して
一定の連続出力が得られる光源である。
光導波路上の所定の１個所に載置したままで、伝送損失
を測定している。また、Ｈex−Ｎe レーザは、他の光源
例えばＬＥＤ等に較べて、指向性に優れ波長が安定して
一定の連続出力が得られる光源である。
【００３５】したがって、伝送損失の測定値の精度が高
い。図２において、60は例えばグリセリン液（コア層の
屈折率より大きい屈折率）のようなマッチング液であ
る。
い。図２において、60は例えばグリセリン液（コア層の
屈折率より大きい屈折率）のようなマッチング液であ
る。
【００３６】そして、第１の光検出器51の受光面をマッ
チング液60を介して、三角プリズム40の他方の面43に密
接させている。よって、三角プリズム40の他方の面43に
投射された光の殆ど全量が第１の光検出器51に入射す
る。
チング液60を介して、三角プリズム40の他方の面43に密
接させている。よって、三角プリズム40の他方の面43に
投射された光の殆ど全量が第１の光検出器51に入射す
る。
【００３７】また、第２の光検出器52の受光面をマッチ
ング液60を介して、光導波路10の出射端面15に密接させ
ている。よって、光導波路10を進行した光の殆ど全量が
第２の光検出器52に入射する。
ング液60を介して、光導波路10の出射端面15に密接させ
ている。よって、光導波路10を進行した光の殆ど全量が
第２の光検出器52に入射する。
【００３８】即ち、第１の光検出器51及び第２の光検出
器52に高効率で光結合するので、計測値が大きくなり伝
送損失の測定精度がさらに向上し、その精度が０.1ｄB
／cmと高い。
器52に高効率で光結合するので、計測値が大きくなり伝
送損失の測定精度がさらに向上し、その精度が０.1ｄB
／cmと高い。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、非破壊
で、また測定作業が容易あり、且つ測定の精度が高いと
いう、実用上で優れた効果を有する。
で、また測定作業が容易あり、且つ測定の精度が高いと
いう、実用上で優れた効果を有する。
【図１】(A),(B) は本発明方法の原理を示す図である。
【図２】本発明方法の他の実施例の図である。
【図３】従来方法を示す図である。
10 光導波路 11 基板 12 クラッド層 13 コア層 15 出射端面 20 光源 21 入射プリズム 22 出射プリズム 30 光検出器 40 三角プリズム 41 一方の面 42 境界面 43 他方の面 51 第１の光検出器 52 第２の光検出器 60 マッチング液
Claims (3)
- 【請求項１】 三角プリズム(40)を、光導波路(10)の出
射端面(15)から距離Ｌ離れた位置で該光導波路(10)のコ
ア層(13)の表面に載置し、 該三角プリズム(40)と該コア層(13)との境界面(42)で全
反射する入射角で、該三角プリズム(40)の一方の面(41)
に光源(20)の出射光を投射し、該三角プリズム(40)の他
方の面(43)から出射する該境界面(42)での反射光の光パ
ワーＰ0 を、第１の光検出器(51)で計測し、 引き続いて該境界面(42)で全反射しない入射角で、該三
角プリズム(40)の一方の面(41)に該光源(20)の出射光を
投射し、該三角プリズム(40)の他方の面(43)から出射す
る該境界面(42)での反射光の光パワーＰ1 を、該第１の
光検出器(51)で計測するとともに、 該境界面(42)を透過し該コア層(13)に伝送され、該出射
端面(15)からの出射光の光パワーＰ2 を第２の光検出器
(52)で計測し、 （Ｐ0 −Ｐ1 −Ｐ2 ）／Ｌ の式に基づき、該光導波路(10)の単位長さあたりの伝送
損失を算出することを特徴とする光導波路伝送損失の測
定方法。 - 【請求項２】 光源(20)がＨe −Ｎe レーザであること
を特徴とする請求項１記載の光導波路伝送損失の測定方
法。 - 【請求項３】 第１の光検出器(51)の受光面がマッチン
グ液(60)を介して、三角プリズム(40)の他方の面(43)に
密接し、 第２の光検出器(52)の受光面がマッチング液(60)を介し
て、光導波路(10)の出射端面(15)に密接していることを
特徴とする請求項１又は２記載の光導波路伝送損失の測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3511394A JPH07243941A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 光導波路伝送損失の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3511394A JPH07243941A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 光導波路伝送損失の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07243941A true JPH07243941A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12432884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3511394A Withdrawn JPH07243941A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 光導波路伝送損失の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07243941A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100459998B1 (ko) * | 2002-12-05 | 2004-12-04 | 전자부품연구원 | 광 도파로의 손실 및 모드패턴 측정시스템 |
| JP2008107337A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-05-08 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガス検出装置 |
| CN107631862A (zh) * | 2017-09-04 | 2018-01-26 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 带光纤式y波导器件离心试验夹具 |
| CN113218627A (zh) * | 2021-03-26 | 2021-08-06 | 歌尔股份有限公司 | 光栅衍射效率测试装置及方法 |
| WO2024059310A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-21 | Applied Materials, Inc. | Methods to measure light loss and efficiency of diffraction gratings on optical substrates |
-
1994
- 1994-03-07 JP JP3511394A patent/JPH07243941A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100459998B1 (ko) * | 2002-12-05 | 2004-12-04 | 전자부품연구원 | 광 도파로의 손실 및 모드패턴 측정시스템 |
| JP2008107337A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-05-08 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ガス検出装置 |
| CN107631862A (zh) * | 2017-09-04 | 2018-01-26 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 带光纤式y波导器件离心试验夹具 |
| CN107631862B (zh) * | 2017-09-04 | 2021-03-12 | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 | 带光纤式y波导器件离心试验夹具 |
| CN113218627A (zh) * | 2021-03-26 | 2021-08-06 | 歌尔股份有限公司 | 光栅衍射效率测试装置及方法 |
| CN113218627B (zh) * | 2021-03-26 | 2022-10-14 | 歌尔股份有限公司 | 光栅衍射效率测试装置及方法 |
| WO2024059310A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-21 | Applied Materials, Inc. | Methods to measure light loss and efficiency of diffraction gratings on optical substrates |
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