JPH07239716A - 位置検出装置、補正機能付位置検出装置、位置検出方法、および、位置検出装置の補正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転検出器の検出誤差とボールネジのピッチ
誤差の補正を行うための演算時間を短縮化でき、サーボ
システムの追従性を改善できる位置検出装置、補正機能
付位置検出装置、位置検出方法、および、位置検出装置
の補正方法を得る。 【構成】 サーボモータ３に取り付けられた回転検出器
６とボールネジ４に取り付けられた測定器７の出力値を
もとに、制御器２４がボールネジ４のピッチ誤差補正値
を算出し、これを補正用ＲＯＭ２３内に既に書き込まれ
ている１回転内の分割角度誤差補正値と合成し、該合成
補正値を補正用ＲＯＭ２３に再度書き込む。以後は、測
定器７と制御器２４が取り外され、回転検出器内の上記
合成補正値を用いて、誤差補正を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、テーブルを駆動する
モータの回転回数にもとづき示される回転位置の範囲別
に記憶された補正値にもとづき補正された補正回転位置
を検出出力する位置検出装置、補正機能付位置検出装
置、位置検出方法、および、位置検出装置の補正方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】テーブルを駆動するモータの回転位置を
検出する回転検出器を用いてテーブルの位置を検出する
従来のサーボ制御装置において、回転軸の回転位置の範
囲別に補正された補正回転位置を得るようにする場合
は、数値制御装置（以下ＮＣ装置と称する）内の補正値
記憶部にあらかじめ補正値を格納しておき、この補正値
を用いて補正された回転位置を算出していた。なお、こ
の補正された回転位置は精度よく求められたテーブルの
位置を示している。

【０００３】図３４は従来の回転検出装置を用いた場合
において、回転軸の回転位置の範囲別に補正してテーブ
ルの位置を検出するための補正値をＮＣ装置内の補正値
記憶部に書き込む際におけるサーボ装置全体の構成図で
ある。図３５は、ＮＣ装置の補正値記憶部に補正値が書
き込まれた後、測定器が取り外された状態、すなわち、
通常運転時の状態における従来のサーボ装置を示す構成
図である。図３６は図３４、図３５における回転検出器
の構成図である。

【０００４】図３４において、１０１はＮＣ装置、１０
１ａは制御部、１０１ｂは演算部、１０１ｃは差分演算
回路、１０１ｄは補正値記憶部である。１ｅはフィード
バック入力部であり、入力部１０１ｆと入力部１０１ｇ
で構成されている。２はサーボアンプ、３はモータ、例
えば、サーボモータである。４はカップリング４ａによ
りサーボモータ３に連結され、所定ピッチのボールねじ
である。５はテーブル、例えば、移動テーブルである。
なお、ボールねじ４は移動テーブル５の脚体５ａに螺合
されている。５ｂは移動テーブル５の移動原点である。
６１０または６１１はサーボモータ３に取り付けられた
回転検出器、７は移動テーブル５に着脱自在に取り付け
られ、移動テーブル５の現在位置を検出するテーブル位
置検出手段、例えば、測定器である。測定器７は高精度
分割のリニアスケールである。この測定器７は、ボール
ねじ４とほぼ同一長でボールねじ４と並設されたスケー
ル７ａと、検出素子７ｃと、信号処理回路７ｄ等から構
成されている。なお、スケール７ａには移動テーブル５
の移動とともに位相が９０゜ずれたＡ、Ｂ相出力が電気
的信号として信号出力回路７ｄから出力されるように目
盛７ｂが設けられている。

【０００５】図３５は、図３４において測定器７を取り
外している外は、同一の構成である。また、点線の矢印
は使用されない命令あるいはデータの流れを示してい
る。図３６において、６１０は回転検出器であり、一般
に光学式インクリメンタルエンコーダと称されるもので
ある。なお、この回転検出器６１０は回転軸１０がカッ
プリング９を介してサーボモータ３の回転軸３ａに連結
されている。１１は回転軸１０に取り付けられ、電気的
に位相が９０゜ずれたＡ、Ｂ相出力が得られるようにス
リット窓（図示せず）が設けられたコード円板で、発光
素子１２と複数の受光素子１３とが対向配置されてい
る。１４は受光素子１３により検出された回転位置信号
に所要の信号処理を施す信号処理回路である。なお、上
述の従来例と同様な装置が特開昭62-39159号公報に開示
されている。

【０００６】次に動作について説明する。図３４に示す
ように、ボールねじ４のピッチ誤差を補正するため、測
定器７を移動テーブル５に取り付けた状態で、機械操作
パネル（図示せず）の操作により、以下に説明するよう
に、移動テーブル５の全ストロークを移動させる動作を
行う。まず、電源を入れるとＮＣ装置１０１、サーボア
ンプ１０２、サーボモータ３が駆動待機状態になり、回
転検出器６の発光素子１２も点灯状態になり、さらに測
定器７も測定可能状態になる。

【０００７】次に、ＮＣ指令により駆動命令がサーボア
ンプ１０２に与えられ、サーボモータ３の回転軸３ａが
回転すると、回転検出器６の回転軸１０が回転し、さら
にコード円板１１も回転し、発光素子１２の光がコード
円板１１のスリット窓により透過・遮断される。受光素
子１３が透過した光を電流に変換することにより、電気
的に位相が９０゜ずれた疑似正弦波のＡ、Ｂ相回転位置
信号が得られる。信号処理回路１４はこのＡ、Ｂ相回転
位置信号を矩形波電圧に変換して回転位置データとして
出力する。この回転位置データはフィ−ドバック入力部
１０１ｅの入力部１０１ｆへ入力される。

【０００８】また、サーボモータ３の回転によりカップ
リング４ａを介してボールねじ４が回転し移動テーブル
５を移動させるので、測定器７は検出素子７Ｃにより、
スケール７ａの目盛り７ｂを検出し、信号処理回路７ｄ
で、Ａ、Ｂ相の矩形波信号に変換し、この変換結果を現
在位置データとして出力する。この現在位置データはフ
ィ−ドバック入力部１０１ｅの入力部１０１ｇへ入力さ
れる。フィ−ドバック入力部１０１ｅは、回転位置デー
タと現在位置データを受け取ると、制御部１０１ａがサ
ンプリング命令を差分演算回路１０１ｃに送出するよう
に制御部１０１ａに対し要求信号を送る。また、同時
に、入力部１０１ｆは、Ａ、Ｂ相の位相の進み方向によ
り回転検出器６１０の回転方向を判別するとともに、
Ａ、Ｂ相の立ち上がり、立ち下がりを微分し、この微分
出力にもとづくパルスを作成し、分割量を４倍にした回
転位置データを差分演算回路１Ｃへ出力する。また、入
力部１０１ｇは、Ａ、Ｂ相の位相の進み方向により測定
器７の移動方向を判別するとともに、Ａ、Ｂ相の立ち上
がり、立ち下がりを微分し、この微分出力にもとづくパ
ルスを作成し、分割量を４倍にした現在位置データを差
分演算回路１Ｃへ出力する。

【０００９】ところで、移動テーブル５の移動量とサー
ボモータ３の回転量を移動量に変換した値はボールねじ
４のピッチ誤差のため一致しないのは言うまでもない。
次に、制御部１０１ａからのサンプリング命令により差
分演算回路１Ｃは、入力された上述の回転位置データと
現在位置データとの差分を算出し、この算出結果を現在
位置におけるボールねじピッチ誤差補正値として補正値
記憶部１０１ｄに記憶させる。なお、ピッチ誤差補正値
はボールねじピッチ誤差の補正値以外に、回転系のねじ
れ誤差の補正値等も含まれることは言うまでもない。

【００１０】ＮＣ指令の指令位置を順次所定量づつ変化
させて、移動テーブル５の全移動範囲にわたり上述の動
作が完了した後、測定器７を移動テーブル５から取り外
し、通常運転状態に入る。図３５において、補正値記憶
部１０１ｄに記憶されているボールねじピッチ誤差補正
値と、入力部１０１ｆを介し入力された回転検出器６の
回転位置データと、にもとづき移動テーブル５の移動デ
ータを演算部１０１ｂが制御部１０１ａの制御のもとに
算出する。制御部１０１ａは、この算出された移動デー
タとＮＣ指令との差分にもとづく駆動命令をサーボアン
プ１０２に出力し、このサーボアンプ１０２を介してサ
ーボモータ３を閉ループ制御する。なお、移動テーブル
５の移動速度は単位時間当りの移動データの変化量を算
出することにより求められる。

【００１１】また、光学式インクリメンタルエンコーダ
を高級化したものとして、１回転を複数に分割したそれ
ぞれの回転角度範囲について角度検出誤差が記憶された
メモリを有し、このメモリの記憶内容にもとづきエンコ
ーダ自体の１回転内の角度検出誤差を補正し、この補正
結果を出力する光学式絶対値エンコーダが最近広く使用
されている。図３７はこのような光学式絶対値エンコー
ダである回転検出器６１１の構成図である。図におい
て、１１は１回転内の絶対値回転位置と多回転量を示す
信号が得られるように、所定のスリット窓（図示せず）
が設けられたコード円板で、１５は第一の発光素子、１
６は第２の発光素子、１７は複数の第１の受光素子であ
る。１８は複数の第２の受光素子、１９は１回転内信号
処理回路、２０は多回転量信号処理回路、２１はカウン
ター回路である。

【００１２】１２２は中央処理回路であり、制御部１２
２ａ、演算部１２２ｂとを有している。また、２３は分
割角度誤差補正値を記憶した補正用ＲＯＭである。な
お、この分割角度誤差補正値は、１回転を複数に分割し
たそれぞれの回転角度範囲毎に設定される誤差補正値で
ある。この分割角度誤差補正値によりコード円板１１の
スリット窓のピッチ誤差や、コード円板１１と回転軸１
０の取付け時の芯ずれによるコード円板１１のぶれ等が
原因で起こるコード円板１１の１回転内の検出誤差を回
転角度範囲別に補正することが可能になる。図３８はこ
の回転検出器６の１回転内の分割角度累積誤差を示す説
明図である。

【００１３】次に、図３７における回転検出器６の動作
について説明する。サーボモータ３の回転軸３ａの回転
により回転軸１０が回転し、さらにコード円板１１も回
転し、第一の発光素子１５、第２の発光素子１６の光が
コード円板１１のスリット窓により透過・遮断される。
受光素子１７は透過した光を電流に変換し、１回転内
の絶対値回転位置を示す電流信号を出力する。１回転内
信号処理回路１９はこの出力を矩形波電圧に変換し、中
央処理回路１２２へ出力する。また、受光素子１８は透
過した光を電流に変換し、何回転したかを示す多回転量
信号を出力する。また、多回転量信号処理回路２０はこ
の出力を矩形波電圧に変換する。また、カウンター回路
２１は多回転量信号をカウントし、カウント結果を中央
処理回路１２２へ出力する。

【００１４】次に、１回転内信号処理回路１９の出力と
補正用ＲＯＭ２３に格納されている補正値（１回転内の
分割角度誤差補正値）とから、制御部１２２ａの制御の
もとに演算部１２２ｂが、１回転内の補正された絶対値
回転位置信号を算出する。次に、この算出結果とカウン
ター回路２１の内容とを合成した回転位置データを外部
からリクエスト命令が入力される度にシリアル信号化し
て外部へ出力する。また、回転検出器６の電源がＯＦＦ
した時は、第２の発光素子１６、第２の受光素子１８、
多回転量信号処理回路２０、カウンター回路２１を電池
（図示せず）でバックアップするようにしているので、
電源を再投入した時に、電源をＯＦＦしたときの状態か
ら継続して装置を動作させることができる。

【００１５】なお、補正用ＲＯＭ２３内に記憶されてい
る１回転内の分割角度誤差補正値は、回転検出器６１１
の製造時において補正値演算器（図示せず）によって求
められ、制御部１２２ａの制御のもとに補正用ＲＯＭ２
３に書き込まれている。上述の補正値演算器において
は、回転検出器６の１回転をｎ分割（ｎは所要の整数）
したそれぞれの分割角度範囲毎に分割角度誤差の最大値
と最小値とを算出するとともに、この最大値と最小値か
ら分割角度誤差の代表値を求め、この代表値を回転位置
データとして出力する。

【００１６】例えば、図３８は、１回転を８分割（ｎ＝
８）した時のそれぞれの分割角度範囲の代表値を示して
いる。図において、横軸は１回転内の回転位置であり、
縦軸は１回転内の分割角度累積誤差である。それぞれの
分割角度範囲において、分割角度累積誤差の最大値と最
小値の半値として求められた代表値ε1〜ε8を補正用Ｒ
ＯＭに格納している。なお、分割数ｎは補正用ＲＯＭ２
３の容量に応じて設定されている。

【００１７】ここで、図３４、図３５において回転検出
器６１１を用いた場合の動作について、図３９、図４
０、図４１、および、図４２により説明する。なお、図
３９、および、図４０は補正動作時の動作フロー図、図
４１は通常動作時の動作フロー図、図４２は通常動作時
のタイムチャート図である。なお、図４２のタイムチャ
ート図においては、横軸に時間がとられ、それぞれの装
置内における所定の動作実行時点が太線の矢印で示され
るとともに、経過時間および時間間隔が示されている。
図３４、図３７において、ボールねじ４のピッチ誤差を
含めて補正するため、測定器７を移動テーブル５に取り
付けた状態（ステップＳ１０１）で、機械操作パネル
（図示せず）の操作により、以下に説明するように移動
テーブル５の全ストロークを移動させる動作を実行す
る。まず、電源を入れるとＮＣ装置１０１、サーボアン
プ１０２、サーボモータ３が駆動待機状態になり、回転
検出器６の第１の発光素子１５と第２の発光素子１６も
点灯状態になり、さらに、測定器７も測定可能状態にな
る。

【００１８】次に、ＮＣ指令により制御部１０１ａが
（ステップＳ１０２）、演算部１０１ｂで演算した移動
データをもとにした駆動命令を、サーボアンプ１０２に
与え（ステップＳ１０３）、原点５ｂを基準としてサー
ボモータ３を駆動させる（ステップＳ１０４）。サーボ
モータ３が回転すると回転検出器６１１の回転軸１０が
回転し、さらにコード円板１１も回転し、第１の発光素
子１５と第２の発光素子１６の光がコード円板１１のス
リット窓により透過・遮断される。受光素子１７は透過
した光を電流に変換し、１回転内の絶対値回転位置信号
を出力する。１回転内信号処理回路１９はこの出力を矩
形波電圧に変換し、中央処理回路１２２へ出力する。ま
た、受光素子１８は透過した光を電流に変換し、何回転
したかを示す多回転量信号を出力する。多回転量信号処
理回路２０はこの出力を矩形波電圧に変換する。カウン
ター回路２１は多回転量信号をカウントし、カウント結
果を中央処理回路１２２へ出力する。

【００１９】次に、１回転内信号処理回路１９の出力
と、補正用ＲＯＭ２３内にすでに書き込まれている補正
値（１回転内の分割角度誤差補正値）とから制御部１２
２ａの制御のもとに演算部１２２ｂが１回転内の絶対値
回転位置信号を算出する（ステップＳ１０５）。次に、
この算出結果とカウンター回路２１の内容から回転位置
データを合成し、この回転位置データをサーボアンプ１
０２からリクエスト命令が入力される度にシリアル信号
化してフィ−ドバック入力部１０１ｅへ出力する。（ス
テップＳ１０６）次に、回転検出器６１１からの回転位
置データをもとに制御部１０１ａが所要の回転位置に達
しているか否かを判断し（ステップＳ１０７）、達して
いないと判断すればサーボアンプ１０２に対して差分の
駆動命令を与える（ステップＳ１０８）。

【００２０】また、サーボモータ３の回転によりカップ
リング４ａを介してボールねじ４が回転し、移動テーブ
ル５が移動する。そして、測定器７は検出素子７Ｃによ
り、スケール７ａの目盛り７ｂを検出し、信号処理回路
７ｄによりＡ、Ｂ相の矩形波信号に変換し、現在位置デ
ータとしてフィ−ドバック入力部１０１ｅへ出力する
（ステップＳ１０９）。フィ−ドバック入力部１０１ｅ
は、回転位置データと現在位置データを受け取ると、制
御部１０１ａが差分演算回路１Ｃにサンプリング命令を
出力するように、制御部１０１ａに対して要求信号を送
る。同時に、入力部１０１ｆは、回転検出器６１１から
の回転位置データ方向を差分演算回路１Ｃへ出力すると
ともに、入力部１０１ｇはＡ、Ｂ相の位相の進み方向に
より測定器７の移動方向を判別するとともに、Ａ、Ｂ相
の立ち上がり、立ち下がりを微分し、この微分出力にも
とづくパルスを作成し、分割量を４倍にした回転位置デ
ータを差分演算回路１Ｃへ出力する。

【００２１】ところで、移動テーブル５の移動量とサー
ボモータ３の回転量を移動量に変換した値はボールねじ
４のピッチ誤差のため一致しないのは言うまでもない。
制御部１０１ａのサンプリング命令により、差分演算回
路１Ｃは、入力された上述の回転位置データと現在位置
データの差分を算出し、この算出結果を現在位置におけ
るボールねじピッチ誤差補正値として（ステップＳ１１
０）、補正値記憶部１０１ｄに記憶する（ステップＳ１
１１）。なお、ピッチ誤差補正値はボールねじピッチ誤
差の補正値以外に、回転系のねじれ誤差の補正値等も含
まれる。

【００２２】ＮＣ指令の指令位置を順次所定量づつ変化
させて、ボールねじ４の全ストロークにわたり上述の動
作を行った（ステップＳ１１２）後、測定器７を移動テ
ーブル５から取り外し、図３５に示す通常運転時の構成
にする（ステップＳ１１３）。ＮＣ指令を制御部１ａに
与える（経過時間０）（ステップＳ１１４）と、制御部
１ａは回転検出器６１１からの回転位置データをもとに
現在位置を把握し（経過時間ｔ1）（ステップＳ１１
５）、この現在位置に該当するボールねじピッチ誤差補
正値を補正値記憶部１ｄより読み出し（経過時間ｔ1＋
ｔ2）移動テーブル５の移動データを演算部１ｂが算出
する（ステップＳ１１６）。制御部１ａはこの算出され
た移動データを駆動命令とし（経過時間ｔ1＋ｔ2＋ｔ
3）（ステップＳ１１７）、サーボアンプ２を介して
（経過時間ｔ1＋ｔ2＋・・・＋ｔ4）サーボモータ３を
駆動する（経過時間ｔ1＋ｔ2＋・・・＋ｔ5）（ステッ
プＳ１１８）。

【００２３】サーボモータ３の回転により、回転検出器
６１１が回転すると回転検出器６１１内において、回転
軸１０が回転し、さらにコード円板１１も回転し、第一
の発光素子１５、第２の発光素子１６の光がコード円板
１１のスリット窓により透過・遮断される。受光素子１
７は透過した光を電流に変換し、１回転内の絶対値回転
位置信号を出力する。１回転内信号処理回路１９はこの
出力を矩形波電圧に変換し、中央処理回路１２２へ出力
する。また、受光素子１８は透過した光を電流に変換
し、何回転したかを示す多回転量信号を出力する。多回
転量信号処理回路２０はこの出力を矩形波電圧に変換す
る。カウンター回路２１は多回転量信号をカウントし、
カウント結果を中央処理回路１２２へ出力する（経過時
間ｔ1＋ｔ2＋・・・＋ｔ6）。

【００２４】次に、演算部１２２ｂが制御部１２２ａの
制御のもとに、１回転内信号処理回路１９から出力され
る１回転内の絶対値回転位置信号を補正用ＲＯＭ２３内
の補正値（１回転内の分割角度誤差補正値）により補正
するとともに（経過時間ｔ1＋ｔ2＋・・・＋ｔ7）、こ
の補正値とカウンター回路２１の内容から回転位置デー
タを合成し（ステップＳ１１９）、この合成された回転
位置データをサーボアンプ１０２からリクエスト命令が
入力される度にシリアル信号化してフィ−ドバック入力
部１０１ｅへ出力する（経過時間ｔ1＋ｔ2＋・・・＋ｔ
8）（ステップＳ１２０）。また、回転検出器６１１か
らの回転位置データをもとに（経過時間ｔ1＋ｔ2＋・・
・＋ｔ9）制御部１０１ａが所要の回転位置に達してい
るか否かを判断し（ステップＳ１２１）、達していない
と判断すればサーボアンプ１０２に対して差分の駆動命
令を与える（経過時間ｔ1＋ｔ2＋・・・＋ｔ10）（ステ
ップＳ１２２）。以上のようにＮＣ装置１０１へフィー
ドバックする閉ループ制御により、移動テーブル５を移
動させる。また、ＮＣ指令が与えられてから次の駆動命
令を与えることができる状態、または、次のＮＣ指令を
受けることができる状態になるまでのフィードバック時
間は図４２のタイムチャート図より（ｔ1＋ｔ2＋・・・
＋ｔ10）となる。

【００２５】なお、上述のように従来はＮＣ装置１０１
において、補正値書き込み時における測定器７からのフ
ィードバック信号が入力される入力部１０１ｇと、回転
位置検出器６１１からの検出出力および測定器７からの
測定出力との差分を算出する差分演算回路１０１ｃと、
は通常の運転時には不用であるが、測定器７以外は取り
外しが困難なため通常運転時におけるサーボ制御装置が
コスト高になっていた。

【００２６】

【発明が解決しようとする課題】従来の回転位置検出装
置は以上の様に構成されているので、これを用いて１回
転内の分割角度誤差補正およびボールネジのピッチ誤差
補正を行う場合、１回転内の分割角度誤差補正の演算処
理が回転位置検出装置内部で行われ、さらにボールネジ
ピッチ誤差補正等のため回転軸の回転位置の範囲別に補
正演算が行われることになる。すなわち、この２回に分
けた演算処理により演算時間が長くかかり、これを用い
た装置の追従性を低下させ、加工速度、加工精度を低下
させるという問題点があった。

【００２７】この発明は、上記のような問題点を解決す
る為になされたもので、これを使用したサーボ制御装置
が測定器の入力部と差分演算回路が通常運転時は取り外
すことができるとともに、テーブルの位置の範囲別に１
回転内の分割角度誤差の補正が行われた検出出力が１回
の演算により得られ、これを用いたサーボ制御装置を高
速、高精度にする位置検出装置、補正機能付位置検出装
置、位置検出方法、および、位置検出装置の補正方法を
得ることを目的とする。

【００２８】

【課題を解決するための手段】この発明に係わる位置検
出装置は回転軸の回転をカウントすることにより回転軸
の回転回数を検出する回転回数検出手段と、回転軸の回
転角度を検出する回転角度検出手段と、回転角度検出手
段の検出出力の補正値であって回転軸の１回転内の複数
の回転角度範囲のそれぞれに対する補正値が、回転軸の
回転回数の範囲別に記憶されている記憶手段と、回転回
数検出手段により検出された回転軸の回転回数がいずれ
の範囲に属しているか、および、回転角度検出手段の検
出出力がいずれの回転角度範囲に属しているかにより記
憶手段より当該する補正値を読み出すとともに、この読
み出された補正値および回転角度検出手段の検出出力お
よび回転回数検出手段の検出出力にもとづき回転軸の補
正回転位置を算出する回転位置算出手段とを備えるよう
にしたものである。

【００２９】また、回転軸の回転とともに回転する回転
体を介して駆動されるテーブルおよび回転体間のバック
ラッシュ量を記憶するバックラッシュ記憶手段と回転軸
の回転方向を判別する判別手段とを有し、回転位置算出
手段はバックラッシュ記憶手段の記憶内容と判別手段の
判別出力とにもとづく補正がさらに加えられた回転軸の
補正回転位置を算出するようにしたものである。

【００３０】また、温度検出手段を有し、回転位置算出
手段は温度検出手段の検出出力にもとづく補正がさらに
加えられた回転軸の補正回転位置を算出するようにした
ものである。

【００３１】また、所定の温度範囲別に温度にもとづく
補正値が記憶された温度補正用記憶手段と温度検出手段
とを有し、回転位置算出手段は温度検出手段の検出出力
と温度補正用記憶手段の記憶内容にもとづく補正がさら
に加えられた回転軸の補正回転位置を算出するようにし
たものである。

【００３２】また、この発明に係わる位置検出方法は、
回転軸の回転角度を検出する回転角度検出手段の検出出
力の補正値であって回転軸の１回転内の複数の回転角度
範囲のそれぞれに対する補正値が、回転軸の回転回数の
範囲別に記憶手段に記憶される段階と、回転回数検出手
段により検出された回転軸の回転回数がいずれの範囲に
属しているか、および、回転角度検出手段の検出出力が
いずれの回転角度範囲に属しているかにより記憶手段よ
り当該する補正値が読み出されるとともに、この読み出
された補正値および回転角度検出手段の検出出力および
回転回数検出手段の検出出力にもとづき回転軸の補正回
転位置が算出される段階と、を有するようにしたもので
ある。

【００３３】この発明に係わる位置検出装置の補正方法
は、回転軸の回転回数を検出する回転回数検出手段の検
出出力および回転軸の回転角度を検出する回転角度検出
手段の検出出力およびこの回転角度検出手段の検出出力
の補正値を記憶する記憶手段の記憶内容にもとづき補正
された現在回転位置を算出する位置検出装置を有すると
ともにこの補正された現在回転位置および所定の指令位
置との差分にもとづきモータを駆動して回転軸を回転さ
せこの回転軸に螺合または歯合するテーブルを移動させ
るサーボ制御装置に、テーブルの位置を検出するテーブ
ル位置検出手段および所定の制御装置が装着接続される
段階と、サーボ制御装置に指令位置を順次変化させて入
力する等によりモータの回転位置を順次変化させ、制御
装置によりテーブル位置検出手段の検出出力と補正され
た現在回転位置との差分にもとづき回転軸の１回転内の
複数の回転角度範囲のそれぞれに対する補正値が回転軸
の回転回数の範囲別に算出され、この算出されたそれぞ
れの補正値が位置検出装置の記憶手段に書き込まれる段
階と、テーブル位置検出手段および制御装置がサーボ制
御装置より取り外される段階とを有するようにしたもの
である。

【００３４】また、テーブル位置検出手段は、モータに
より回転駆動されるボールねじのモータから離隔した側
に取り付けられた位置検出装置であるようにしたもので
ある。

【００３５】

【作用】この発明における位置検出装置は、回転軸の回
転角度を検出する回転角度検出手段の検出出力の補正値
であって回転軸の１回転内の複数の回転角度範囲のそれ
ぞれに対する補正値が回転軸の回転回数の範囲別に記憶
されている記憶手段を有し、回転回数検出手段により検
出された回転軸の回転回数がいずれの範囲に属している
か、および、回転角度検出手段の検出出力がいずれの回
転角度範囲に属しているかにより記憶手段より当該する
補正値が読み出され、この読み出された補正値および回
転角度検出手段の検出出力および回転回数検出手段の検
出出力にもとづき回転位置算出手段により回転軸の補正
回転位置が算出される。

【００３６】また、回転軸の回転とともに回転する回転
体を介して駆動されるテーブルおよび回転体間のバック
ラッシュ量を記憶するバックラッシュ記憶手段と回転軸
の回転方向を判別する判別手段とを有し、バックラッシ
ュ記憶手段の記憶内容と判別手段の判別出力とにもとづ
く補正がさらに加えられた回転軸の補正回転位置が回転
位置算出手段により算出される。

【００３７】また、温度検出手段を有し、温度検出手段
の検出出力にもとづく補正がさらに加えられた回転軸の
補正回転位置が回転位置算出手段により算出される。

【００３８】また、所定の温度範囲別に温度にもとづく
補正値が記憶された温度補正用記憶手段と温度検出手段
とを有し、温度検出手段の検出出力と温度補正用記憶手
段の記憶内容にもとづく補正がさらに加えられた回転軸
の補正回転位置が回転位置算出手段により算出される。

【００３９】また、この発明における位置検出方法は、
回転軸の回転角度を検出する回転角度検出手段の検出出
力の補正値であって回転軸の１回転内の複数の回転角度
範囲のそれぞれに対する補正値が、回転軸の回転回数の
範囲別に記憶手段に記憶され、回転回数検出手段により
検出された回転軸の回転回数がいずれの範囲に属してい
るか、および、回転角度検出手段の検出出力がいずれの
回転角度範囲に属しているかにより記憶手段より当該す
る補正値が読み出されるとともに、この読み出された補
正値および回転角度検出手段の検出出力および回転回数
検出手段の検出出力にもとづき回転軸の補正回転位置が
算出される。

【００４０】この発明に係わる位置検出装置の補正方法
は、回転軸の回転回数を検出する回転回数検出手段の検
出出力および回転軸の回転角度を検出する回転角度検出
手段の検出出力およびこの回転角度検出手段の検出出力
の補正値を記憶する記憶手段の記憶内容にもとづき補正
された現在回転位置を算出する位置検出装置を有すると
ともに、この補正された現在回転位置および所定の指令
位置との差分にもとづきモータを駆動し回転軸を回転さ
せこの回転軸に螺合または歯合するテーブルを移動させ
るサーボ制御装置に、テーブルの位置を検出するテーブ
ル位置検出手段および所定の制御装置が装着接続され、
サーボ制御装置に指令位置を順次変化させて入力する等
によりモータの回転位置を順次変化させ、制御装置によ
りテーブル位置検出手段の検出出力と補正された現在回
転位置との差分にもとづき回転軸の１回転内の複数の回
転角度範囲のそれぞれに対する補正値が回転軸の回転回
数の範囲別に算出され、この算出されたそれぞれの補正
値が位置検出装置の記憶手段に書き込まれ、テーブル位
置検出手段および制御装置がサーボ制御装置より取り外
される。

【００４１】また、テーブル位置検出手段は、モータに
より回転駆動されるボールねじのモータから離隔した側
に取り付けられた位置検出装置であるようにしたもので
ある。

【００４２】

【実施例】

実施例１．この発明の一実施例を図１、図２、図３、図
４、図５、図６により説明する。図１は従来例の図３４
に、図２は従来例の図３５に、図３、図４は従来例の図
３７にそれぞれ相当する。図１、図２は全体の構成図で
ある。図３は図１における回転検出器の構成図であり、
図４は図２における回転検出器の構成図である。なお、
図１、図３は補正動作時の構成図であり、図２、図４は
補正動作終了後の通常運転時の構成図である。図５はボ
ールねじピッチ誤差補正値等の概念図であり、図６はボ
ールねじピッチ累積誤差を示す図である。

【００４３】図１において、１はＮＣ装置、１ａは制御
部、１ｂは演算部、２はサーボアンプ、３はサーボモー
タである。４はカップリング４ａによりサーボモータ３
に連結された所定ピッチのボールねじであり、移動テー
ブル５の脚体５ａに螺合されている。５ｂは移動テーブ
ル５の移動原点である。６はサーボモータ３に取り付け
られた回転検出装置、例えば、回転検出器である。７は
移動テーブル５に着脱自在に取り付けられ、移動テーブ
ル５の現在位置を検出するテーブル位置検出手段、例え
ば、測定器である。この測定器７は高精度分割のリニア
スケールである。また、この測定器７は、ボールねじ４
とほぼ同一長でボールねじ４に並設されたスケール７ａ
と、検出素子７ｃと、信号処理回路７ｄとから構成され
ている。なお、スケール７ａには電気的に位相が９０゜
ずれたＡ、Ｂ相出力が得られるように目盛７ｂが設けら
れている。２４は回転検出器６と測定器７の出力値を入
力とする制御装置、例えば、制御器である。この制御器
２４は入力部２４ａ、入力部２４ｂ、制御部２４ｃ、差
分演算回路２４ｄ、ＲＯＭライター２４ｅ、および、Ｒ
ＡＭ２４ｆから構成されている。

【００４４】図３により回転検出器６について説明す
る。回転検出器６は従来例の図３７に示した光学式絶対
値エンコーダを改良したものであり、回転検出器６の回
転軸１０はカップリング９を介してサーボモータ３の回
転軸３ａに連結されている。図において、１１は１回転
内の絶対値の回転位置信号と多回転量信号が検出できる
ように、所定のスリット窓（図示せず）が設けられたコ
ード円板である。１５は第一の発光素子、１６は第２の
発光素子、１７は複数の第１の受光素子、１８は複数の
第２の受光素子、１９は１回転内信号処理回路、２０は
多回転量信号処理回路、２１はカウンター回路、２２は
中央処理回路、２２ａは制御部、２２ｂは演算部であ
る。なお、複数の第１の受光素子１７と１回転内信号処
理回路１９と中央処理回路２２から回転角度検出手段が
構成され、複数の第２の受光素子１８と多回転量信号処
理回路２０とカウンター回路２１から回転回数検出手段
が構成される。２３は１回転内の分割角度誤差補正値す
なわち回転検出器６自体の分割角度誤差補正値がすでに
書き込み済みであり、さらに、以下の説明で述べるよう
にボールねじ４のピッチ誤差を含めた補正値が書き込ま
れる記憶手段、例えば、補正用ＲＯＭである。図２は測
定器７と制御器２４を取り外している外は、図１と同一
の構成である。また、図４はサーボアンプ２と回転検出
器６との間で授受される信号内容および回転検出器６内
の信号の流れ等に差異がある他は図３と同様である。な
お、点線の矢印は使用されない命令あるいはデータの流
れである。

【００４５】次に動作について、図７および図８に示す
補正動作時の動作フロー図、図９に示す通常動作時の動
作フロー図、および、図１０に示す通常動作時のタイム
チャート図により説明する。なお、図１０のタイムチャ
ート図においては、従来例における図４２と同様に、横
軸に時間がとられ、それぞれの装置内における所定の動
作実行時点が太線の矢印で示されるとともに、経過時間
および時間間隔が示されている。図１、図３において、
ボールねじ４のピッチ誤差補正を含めて補正を行うた
め、測定器７を移動テーブル５に取り付けた状態（ステ
ップＳ１）で、機械操作パネル（図示せず）の操作によ
り、次に説明するように移動テーブル５の全ストローク
を移動させる動作を行う。はじめに、電源を投入すると
ＮＣ装置１、サーボアンプ２、サーボモータ３が駆動待
機状態になり、回転検出器６の第１の発光素子１５と第
２の発光素子１６も点灯状態になり、さらに、測定器７
と制御器２４も測定あるいは演算可能状態になる。次
に、制御部２２ａと制御部２４ｃにより、補正用ＲＯＭ
２３にすでに記憶されている１回転内の分割角度誤差補
正値をＲＡＭ２４ｆに全て書き写しておく（ステップＳ
２）。なお、従来例の図３７において説明したように、
１回転内の分割角度誤差補正値はコード円板１１上のス
リット窓のピッチ誤差や、コード円板１１と回転軸１０
の取付け時の芯ずれによるコード円板１１のぶれ等が原
因で起こる１回転内の分割角度誤差を補正する補正値で
ある。

【００４６】ＮＣ指令により制御部１ａが（ステップＳ
３）、演算部１ｂで算出した移動データをもとにした駆
動命令を、サーボアンプ２に与え（ステップＳ４）、原
点５ｂを基準としてサーボモータ３を駆動させる（ステ
ップＳ５）。サーボモータ３の回転軸３ａが回転すると
回転検出器６の回転軸１０が回転し、さらに、コード円
板１１も回転し、第１の発光素子１５と第２の発光素子
１６の光がコード円板１１のスリット窓により透過・遮
断される。受光素子１７は透過した光を電流に変換し、
１回転内の絶対値回転位置信号を出力する。また、１回
転内信号処理回路１９はこの出力を矩形波電圧に変換
し、中央処理回路２２へ出力する。また、受光素子１８
は透過した光を電流に変換し、何回転したかを示す多回
転量信号を出力する。多回転量信号処理回路２０はこの
出力を矩形波電圧に変換してカウンター回路２１に出力
する。カウンター回路２１はこの出力をカウントし、カ
ウント結果を中央処理回路２２へ出力する。

【００４７】次に、１回転内信号処理回路１９の出力
と、補正用ＲＯＭ２３内にすでに書き込まれている補正
値（１回転内の分割角度誤差補正値）から制御部２２ａ
の制御のもとに演算部２２ｂが１回転内の補正された絶
対値回転位置信号を算出出力する。次に、この算出結果
とカウンター回路２１の内容とを合成して回転位置デー
タとし、サーボアンプ２からリクエスト命令が入力する
度に、この回転位置データをシリアル信号化してサーボ
アンプ２へ出力する（ステップＳ７）。回転検出器６か
らの回転位置データをもとにして制御部１ａが所要の回
転位置に達しているか否かを判断し（ステップＳ８）、
達していないと判断すればサーボアンプ２に対して差分
の駆動命令を与える（ステップＳ９）。そして、所要の
回転位置に達すると、上述の回転位置データが入力部２
４ｂを介して入力され、制御部２４ｃの制御のもとに、
差分演算回路２４ｄへ出力される。

【００４８】また、サーボモータ３の回転により、カッ
プリング４ａを介しボールねじ４が回転するとともに移
動テーブル５が移動し、測定器７の検出素子７Ｃはスケ
ール７ａの目盛り７ｂを検出し、信号処理回路７ｄに出
力する。信号処理回路７ｄはこの出力をＡ、Ｂ相の矩形
波信号に変換し、現在位置データとして制御器２４へ出
力する（ステップＳ１０）。制御器２４において、上述
の現在位置データが入力部２４ａを介して入力され、制
御部２４ｃの制御のもとに差分演算回路２４ｄへ出力さ
れる。ところで、サーボモータ３の所要の回転量によっ
て本来移動すべき移動テーブル５の移動量と、測定器７
によって測定された実際の移動量はボールねじ４のピッ
チ誤差のため一致しないのは言うまでもない。

【００４９】次に、制御部２４ｃのサンプリング命令に
より、差分演算回路２４ｄは回転位置データと現在位置
データから、現在位置におけるボールねじピッチ誤差補
正値を演算する（ステップＳ１１）。また、この時の回
転位置データに対応した１回転内の分割角度誤差補正値
をＲＡＭ２４ｆから読み出すとともに、この読み出し内
容と算出されたボールねじピッチ誤差補正値とを加算し
合成補正値を作成し（ステップＳ１２）、この合成補正
値をＲＯＭライター２４ｅに出力する。ＲＯＭライター
２４ｅはこの合成補正値をサーボアンプ２、制御部２２
ａを介して補正用ＲＯＭ２３に書き込む（ステップＳ１
３）。なお、ボールねじピッチ誤差補正値にはピッチ誤
差の補正値以外に、回転系の回転角度誤差（ねじれ誤
差）の補正値等も含まれる。

【００５０】ＮＣ指令の指令位置を順次所定量づつ変化
させて、ボールねじ４の全ストロークにわたり上述の動
作を行った後（ステップＳ１４）、測定器７と制御器２
４とを取り外し通常運転時の状態にする（ステップＳ１
５）。図２、図４において、ＮＣ指令により（経過時間
０）（ステップＳ１６）、制御部１ａは回転検出器６か
らの回転位置データをもとに現在位置を把握し（経過時
間ｔ1）、演算部１ｂで算出された移動データを駆動命
令とし（経過時間ｔ1＋ｔ3）、サーボアンプ２を介して
（経過時間ｔ1＋ｔ3＋ｔ4）（ステップＳ１７）、サー
ボモータ３を駆動する（経過時間ｔ1＋ｔ3＋ｔ4＋ｔ5）
（ステップＳ１８）。

【００５１】次に、サーボモータ３の回転軸３ａの回転
により回転検出器６が回転すると、回転検出器６内にお
いて回転軸１０が回転し、さらに、コード円板１１も回
転し、第一の発光素子１５、第２の発光素子１６の光が
コード円板１１のスリット窓により透過・遮断される。
受光素子１７は透過した光を電流に変換し、１回転内の
絶対値回転位置信号を出力する。また、１回転内信号処
理回路１９はこの出力を矩形波電圧に変換し、中央処理
回路２２へ出力する。受光素子１８は透過した光を電流
に変換し、何回転したかを示す多回転量信号を出力す
る。多回転量信号処理回路２０はこの出力を矩形波電圧
に変換する。また、カウンター回路２１はこの変換出力
をカウントし、カウント結果を中央処理回路２２へ出力
する（経過時間ｔ1＋ｔ3＋ｔ4＋ｔ5＋ｔ6）。

【００５２】次に、演算部２２ｂは制御部２２ａの制御
のもとにカウンター回路２１の内容から、補正用ＲＯＭ
２３内の合成補正値（１回転内の分割角度誤差補正値と
ボールねじピッチ誤差補正値との合成補正値）のうち該
当する合成補正値を選択するとともに、この選択された
合成補正値を補正用ＲＯＭ２３から読み出す（経過時間
ｔ1＋ｔ3＋ｔ4＋・・・＋ｔ7）。また、この読み出し内
容にもとづき１回転内信号処理回路１９の出力を補正
し、この補正結果とカウンター回路２１の内容とから補
正された回転位置データを算出する（ステップＳ１
９）。そして、サーボアンプ２からリクエスト命令が入
力される度にシリアル信号化された上述の補正された回
転位置データをサーボアンプ２へ出力する（経過時間ｔ
1＋ｔ3＋ｔ4＋・・・＋ｔ9）（ステップＳ２０）。回転
検出器６からの回転位置データをもとに（経過時間ｔ1
＋ｔ3＋ｔ4＋・・・＋ｔ8）サーボアンプ２が所要の回
転位置に達しているか否かを判断し（ステップＳ２
１）、達していないと判断すればサーボモータ３に対し
て差分の駆動命令を与える（経過時間ｔ1＋ｔ3＋ｔ4＋
・・・＋ｔ10）（ステップＳ２２）。以上のようにサー
ボアンプ２へフィードバックする閉ループ制御により、
移動テーブル５を移動させる。また、ＮＣ指令が与えら
れてから次の駆動命令を与えることができる状態、また
は、次のＮＣ指令を受けることができる状態になるまで
のフィードバック時間は図１０のタイムチャート図より
（ｔ1＋ｔ3＋ｔ4＋・・・＋ｔ10）となる。

【００５３】なお、上述のように合成補正値（１回転内
の分割角度誤差補正値とボールねじピッチ誤差補正値と
の合成補正値）は、多回転量信号をもとに選択されてお
り、移動テーブル５の位置に応じたボールねじピッチ誤
差補正を可能にしている。すなわち、１回の補正値の読
み出し、および、この読み出し内容にもとづく補正演算
により１回転内の分割角度誤差とボールねじピッチ誤差
の補正が同時に行われることになる。また、図１０のタ
イムチャート図および図４２のタイムチャート図に示さ
れるように、本実施例によれば通常運転時におけるフィ
ードバック時間が従来例に比べてｔ2だけ短縮され、高
速位置決めが可能になる。なお、中央処理回路２２によ
り回転位置算出手段を具現している。また、停電等が原
因でシステム電源がＯＦＦし、その後復帰した場合も、
回転検出器６は絶対値エンコーダであり、システム電源
がＯＦＦししても回転検出器６内のカウンター回路２１
等の電源は電池によりバックアップされるので、停電発
生時の状態から継続して装置を動作させることができ
る。

【００５４】ここで、図５において、制御器２４内にお
けるボールねじピッチ誤差補正値の算出過程について説
明する。図において、ａ＋εは、１回転内信号処理回路
１９の出力値である絶対値回転位置信号ａと、補正用Ｒ
ＯＭ２３に書き込まれている１回転内の分割角度誤差補
正値εを加えた回転検出器６からの回転位置データであ
る。εは従来例で述べた図３８におけるε1〜ε8に相当
している。ｂは測定器７の出力値にもとづく現在位置デ
ータである。なお、この現在位置データは回転検出器６
からの回転位置データの尺度に変換されれている。な
お、図において、ｂー（ａ＋ε）により示されるε’が
ボールねじピッチ誤差である。この発明の実施例によれ
ば、ε＋ε’が補正用ＲＯＭ２３に合成補正値として書
き込まれる。なお、図において、εとε’はともに正の
値としている。ε＋ε’が合成補正値として補正用ＲＯ
Ｍ２３に書き込まれることにより、補正値を読み出すた
めの補正用ＲＯＭ２３へのアクセス回数は増えることな
く（従来例に示した場合と同じ１回のままで）、１回転
内の分割角度誤差補正値εだけでなく、ボールねじピッ
チ誤差補正値ε’も同時に補正することができる。

【００５５】例えば、ボールねじ４の各ピッチ毎に合成
補正値を補正用ＲＯＭ２３に記憶させることは補正用Ｒ
ＯＭ２３の記憶容量の大きさの制限より困難な場合があ
るとともに無駄も多い。図６は、一例のボールねじ４の
ボールねじピッチ累積誤差と、このボールねじ４をｎ分
割し、各分割区間ごとに設定した代表値で上述のボール
ねじピッチ累積誤差を補正する場合を示している。な
お、図において、横軸はボールねじピッチ数、縦軸はボ
ールねじピッチ累積誤差である。この例においては、全
ピッチ数が８０のボールねじに対し、ｎ＝８、すなわち
１０ピッチごとに補正している。すなわち、１０ピッチ
間隔ごとに、ボールねじピッチ累積誤差の最大値と最小
値の半値を求め、こうして求められたε1’〜ε8’をそ
れぞれ各分割区間におけるボールねじピッチ誤差の代表
値とし、当該分割区間におけるボールねじピッチ誤差補
正値としている。このように、補正用ＲＯＭ２３の容量
に応じて分割区間数ｎを設定することにより補正用ＲＯ
Ｍ２３は必ずしも大きな記憶容量のものでなくてもよ
い。

【００５６】実施例２．この発明の他の実施例について
図３、図１１、図１２、図１３、図１４、図１５、図１
６、および、図１７により説明する。図１１は図１に、
図１２は図２に、図１３は図４に、図１４は図３７に、
図１６は図５にそれぞれ相当している。図１４において
８はテーブル位置検出手段、例えば、回転検出器であ
る。なお、この回転検出器８は図３に示される回転検出
器６と同一のものである。また、回転検出器８は従来例
で用いた図３７に示される光学式絶対値エンコーダと同
様のものであってもよい。図１１、図１２は全体の構成
図を示している。図３は図１１における回転検出器６の
構成図であり、図１３は図１２における回転検出器６の
構成図である。なお、図１１および図３は補正動作時の
構成図であり、図１２、図１３は補正動作終了後の通常
運転時の構成図である。図１４は回転検出器８の構成
図、図１５は角度変化量（ねじれ）の図、図１６はボー
ルねじ回転量誤差補正値の概念図、図１７はボールねじ
回転量累積誤差図をそれぞれ示している。

【００５７】図１１に示すように回転検出器６と同一の
回転検出器８をボールねじ４の他端に取り付けた状態
で、機械操作パネル（図示せず）の操作により、以下に
説明するように移動テーブル５の全ストロークを移動さ
せる動作を実行する。まず、電源を投入するとＮＣ装置
１、サーボアンプ２、サーボモータ３が駆動待機状態に
なり、回転検出器６の第１の発光素子１５および第２の
発光素子１６と、回転検出器８の第１の発光素子１５お
よび第２の発光素子１６も点灯状態になり、さらに、制
御器２４も演算可能状態になる。次に、制御部２２ａと
制御部２４ｃの制御のもとに、補正用ＲＯＭ２３にすで
に記憶されている１回転内の分割角度誤差補正値がＲＡ
Ｍ２４ｆに全て書き写される。

【００５８】次に、ＮＣ指令により制御部１ａが、演算
部１ｂで演算した移動データをもとにした駆動命令を、
サーボアンプ２に与え、原点５ｂを基準としてサーボモ
ータ３を駆動させる。 回転検出器６は、サーボアンプ
２からのリクエスト命令が入力する度に、回転位置デー
タをサーボアンプ２を介し制御器２４へ出力する。この
回転位置データは制御器２４の入力部２４ｂに入力さ
れ、制御部２４ｃの制御のもとに差分演算回路２４ｄへ
出力される。なお、上述の回転位置データはすでに１回
転内の分割角度誤差補正が行われていることはいうまで
もない。また、サーボモータ３の回転により、カップリ
ング４ａを介しボールねじ４が回転するので、回転検出
器６の場合と同様に回転検出器８の回転位置データも差
分演算回路２４ｄへ出力される。ところで、サーボモー
タ３の回転量とボールねじ４の回転量は、ボールねじ４
自身のねじれ等の影響で回転量誤差が生じ、一致しない
のは言うまでもない。

【００５９】次に、制御部２４ｃからのサンプリング命
令により、差分演算回路２４ｄは回転検出器６からの回
転位置データと回転検出器８からの回転位置データとか
ら、移動テーブル５の現在位置におけるボールねじ回転
量誤差補正値を算出する。同時に、制御部２４ｃは回転
検出器６からの回転位置データにもとづく１回転内の現
在回転位置に該当する１回転内の分割角度誤差補正値を
ＲＡＭ２４ｆから読み出すとともに、この読み出し内容
と算出された上述のボールねじ回転量誤差補正値とを加
算して合成補正値を作成し、この合成補正値をＲＯＭラ
イター２４ｅに出力する。ＲＯＭライター２４ｅはこの
合成補正値をサーボアンプ２、制御部２２ａを介し、補
正用ＲＯＭ２３に書き込む。

【００６０】ＮＣ指令の指令値を順次所定量づつ変化さ
せて、ボールねじ４の全ストロークにわたり上述の動作
を行った後、回転検出器８と制御器２４を取り外し、装
置を通常運転時の状態にする。図１２、図１３におい
て、ＮＣ指令により、制御部１ａは演算部１ｂで演算さ
れた移動データをもとにした駆動命令をサーボアンプ２
に与え、サーボモータ３を駆動させる。なお、図１３に
おいて、点線で示された信号経路は通常運転時において
使用されない情報の流れを示している。

【００６１】回転検出器６内において、中央処理回路２
２の制御部２２ａは、カウンター回路２１の内容にもと
づき、補正用ＲＯＭ２３から当該する合成補正値（１回
転内の分割角度誤差補正値とボールねじ回転量誤差補正
値との合成補正値）を読み出すとともに、この読み出し
内容により１回転内信号処理回路１９の出力を補正す
る。そして、この補正結果とカウンター回路２１の内容
とにもとづき補正された回転位置データを作成し、サー
ボアンプ２からリクエスト命令が入力される度にシリア
ル信号化してサーボアンプ２へ出力する。以上のよう
に、サーボアンプ２へフィードバックする閉ループ制御
により移動テーブル５を移動させる。

【００６２】なお、合成補正値（１回転内の分割角度誤
差補正値とボールねじ回転量誤差補正値との合成補正
値）は多回転量信号をもとに選択するようにしているの
で、ボールねじピッチ数に応じた補正が可能になってい
る。なお、この補正により１回転内の分割角度誤差とボ
ールねじ回転量誤差の補正とが同時に行われる。また、
停電等が原因でシステム電源がＯＦＦしその後復帰した
場合も、回転検出器６は絶対値エンコーダであり、カウ
ンター回路２１等の電源はシステム電源のＯＦＦ時には
電池によりバックアップされるので、システム電源ＯＦ
Ｆ発生時の状態から継続して動作させることができる。

【００６３】次に、補正用ＲＯＭ２３に書き込まれるボ
ールねじ回転量誤差補正値について説明する。上述のよ
うに、ボールねじ４自身の捻れはボールねじ回転量誤差
の主要因であり、移動テーブル５の高精度位置決めにお
いては無視できないことが確認されている。図１５に示
すように、ボールねじ４の長さをＬ、ボールねじ４のサ
ーボモータ３側の端を始端４ｂ、反対側の端を終端４
ｃ、始端４ｂから移動テーブル５の脚体５ａまでの距離
をｌ、距離ｌの位置でねじれによって発生する始点に対
した角度変化量をθとする。

【００６４】サーボモータ３から駆動力が与えられ、ボ
ールねじ４が回転し、移動テーブル５が距離ｌの位置に
ある時、ボールねじ４上の任意の位置の角度変化量は図
１５の太線で示すようになる。なお、図において、横軸
は始端４ｂからの距離、縦軸は角度変化量を表してい
る。また、角度変化量は移動テーブル５の位置ｌまでは
始点からの距離に比例し、位置ｌからボールねじ４の終
端４ｃまでほとんど変化しない。従って、ボールねじ４
の終端４ｃに移動テーブル５の位置ｌにおける角度変化
量θが現れる。

【００６５】そして、ボールねじ４の終端４ｃに取り付
けられた回転検出器８によって、移動テーブル５の位置
ｌにおける捻れによる角度変化量θを含む回転位置デー
タが測定できる。この実施例においては、この角度変化
量θを差分演算回路２４ｄで算出し、１回転内の分割角
度誤差補正値εを加え、ε＋θを合成補正値として補正
用ＲＯＭ２３に書き込むようにしている。

【００６６】次に、図１６により、制御器２４内におけ
るボールねじ回転量誤差補正値の算出過程について述べ
る。図において、ａ＋εは１回転内信号処理回路１９の
出力値である絶対値回転位置信号ａと、補正用ＲＯＭ２
３に書き込まれている１回転内の分割角度誤差補正値ε
を加えた回転検出器６から出力される回転位置データで
ある。εは従来例で述べた図３８におけるε1〜ε8に相
当している。ｂはボールねじ４が実際に回転した時の回
転検出器８の出力値により示される回転位置データであ
る。図において、｜（ａ＋ε）ーｂ｜により示されるθ
がボールねじ回転量誤差であり、ε＋θを補正用ＲＯＭ
２３に合成補正値として書き込むようにする。なお、図
において、εは正の値、θは負の値としている。

【００６７】ε＋θを合成補正値としてＲＯＭ２３に書
き込むことにより、補正値の読み出しのための補正用Ｒ
ＯＭ２３へのアクセス回数は増えることなく（従来例と
同じく１回のままで）、１回転内の分割角度誤差補正値
εおよびボールねじ回転量誤差補正値θを同時に補正す
ることができる。

【００６８】実施例１の場合と同様に、例えば、ボール
ねじ４の各ピッチ毎に移動テーブル５の全ストロークに
わたり合成補正値を補正用ＲＯＭ２３に記憶させること
は補正用ＲＯＭ２３の記憶容量の大きさの制限より困難
な場合があるとともに無駄も多い。図１７は、一例のボ
ールねじ４のボールねじ回転量累積誤差と、このボール
ねじ４をｎ分割し、各分割区間ごとに設定した代表値で
上述のボールねじピッチ累積誤差を補正する場合を示し
ている。なお、図において、横軸はボールねじピッチ
数、縦軸はボールねじ回転量累積誤差である。この例に
おいては、全ピッチ数が８０のボールねじに対し、ｎ＝
８、すなわち１０ピッチごとに補正を行っている。すな
わち、１０ピッチ間隔ごとに、ボールねじ回転量累積誤
差の最大値と最小値の半値を求め、こうして求められた
θ1〜θ8をそれぞれ各分割区間におけるボールねじ回転
量誤差の代表値とし、当該分割区間におけるボールねじ
回転量誤差補正値としている。

【００６９】また、実施例１および実施例２においては
制御器２４において予め回転検出器６自体の分割角度補
正値を回転検出器６から読み出しＲＡＭ２４ｆに記憶し
ておき、このＲＡＭ２４ｆの記憶内容と、回転検出器６
から出力される回転検出器６自体の分割角度補正がなさ
れた検出出力と、測定器７または回転検出器８の出力と
にもとづき補正用ＲＯＭ２３への書き込み信号を出力す
るようにしているが、回転検出器６からの回転検出器６
自体の分割角度補正がなされていない検出出力と、測定
器７または回転検出器８の出力とにもとづき補正用ＲＯ
Ｍ２３への書き込み信号を出力するようにしてもよい。

【００７０】実施例３．この発明のさらに他の実施例を
図１８、図１９、図２０、図２１、図２２、図２３、図
２４により説明する。図１８、図１９、図２０、図２
１、図２２、図２３、図２４は、それぞれ実施例２にお
ける図１１、図１２、図３、図１３、図１４、図１６、
図１７に相当している。図２２に示される回転検出器８
は、図３に示される回転検出器６と同一のものである。
なお、回転検出器８は、従来例で用いた図３７に示され
る光学式絶対値エンコーダと同様のものであってもよ
い。図１８、図１９は全体の構成図を示している。図２
０は図１８における回転検出器６の構成図であり、図２
１は図１９における回転検出器６の構成図である。な
お、図１８および図２０は補正動作時の構成図であり、
図１９、図２１は補正動作終了後の通常運転時の構成図
である。図２２は回転検出器８の構成図、図２３はバッ
クラッシュ誤差補正値の算出概念図、図２４はバックラ
ッシュ累積誤差図をそれぞれ示している。

【００７１】図１８において、４ｄは、カップリング４
ａを介しサーボモータ３に連結された歯車である。５０
１はテーブル、例えば回転テーブルである。また、４ｅ
は歯車４ｄと噛み合い、回転テーブル５の回転軸５ｃを
回転軸とする歯車である。すなわち、回転テーブル５０
１はサーボモータ３の回転により歯車４ｄおよび歯車４
ｅを介して回転する。また、回転検出器６と同一の回転
検出器８が回転テーブル５０１の回転軸５ｃの一端に取
り付けられている。図２０において、２５は判別手段、
例えば、回転方向判別部である。また、２６はバックラ
ッシュ記憶手段、例えば、バックラッシュ補正用ＲＯＭ
である。また、図２０および図２１において、使用され
ていない信号経路は点線で示されている。

【００７２】補正用ＲＯＭ２３内には、合成補正値（１
回転内の分割角度誤差補正値とテーブル回転量誤差補正
値との合成補正値）がすでに書き込まれているものとす
る。なお、テーブル回転量誤差補正値は、カップリング
４ａ、歯車４ｄ、および歯車４ｅから構成される減速機
や、回転軸５ｃ等の回転系による回転テーブル５０１の
回転量の誤差等を補正するための補正値であり、実施例
２におけるボールねじ回転量誤差補正値に相当してい
る。この実施例３においては、実施例２におけるボール
ねじ回転量誤差補正の動作と同様の動作によりテーブル
回転量誤差補正の動作を行った上に、さらに、回転テー
ブル５０１の回転方向の変化時に発生するバックラッシ
ュ誤差の補正を行うようにしている。

【００７３】次に、このバックラッシュ誤差の補正に必
要になるバックラッシュ誤差補正値の算出について説明
する。この算出は、機械操作パネル（図示せず）の操作
により、以下に説明するように、回転テーブル５０１を
所定の回転位置で停止させ、逆回転させる操作を回転テ
ーブル５の１回転を複数に分割したそれぞれの回転位置
について行われる。まず、電源を投入するとＮＣ装置
１、サーボアンプ２、サーボモータ３が駆動待機状態に
なり、回転検出器６０１の第１の発光素子１５および第
２の発光素子１６と、回転検出器８の第１の発光素子１
５および第２の発光素子１６も点灯状態になり、さら
に、制御器２４も演算可能状態になる。

【００７４】次に、ＮＣ指令により制御部１ａが、演算
部１ｂで演算した移動データをもとにした駆動命令をサ
ーボアンプ２に与え、回転テーブル５０１の回転位置の
原点を基準としてサーボモータ３を駆動させ、所要の回
転位置で停止させる。回転検出器６０１は、サーボアン
プ２からのリクエスト命令が入力される度に回転位置デ
ータをサーボアンプ２を介し制御器２４へ出力する。制
御器２４内において、この回転位置データは入力部２４
ｂを介し、制御部２４ｃの制御のもとに、差分演算回路
２４ｄへ出力される。なお、この回転位置データはすで
に１回転内の分割角度誤差補正とテーブル回転量誤差補
正とが行われているものとする。サーボモータ３の回転
により、カップリング４ａを介して歯車４ｄを回転させ
るとともにこの歯車４ｄに噛合している歯車４ｅが回転
し、回転検出器８の回転位置データが差分演算回路２４
ｄへ出力される。

【００７５】回転検出器６０１の回転位置データはすで
にテーブル回転量誤差補正が行われているので、回転テ
ーブル５０１が停止している現在位置において回転検出
器６０１と回転検出器８からの回転位置データが現在一
致しているとする。ここで、ＮＣ指令により、サーボモ
ータ３を逆回転に駆動させると、回転検出器６０１と回
転検出器８の回転位置データには、ある一定のずれが生
じる。このずれはカップリング４ａのガタや、歯車４ｄ
と歯車４ｅとの噛合のガタにより生じるバックラッシュ
によるものである。制御部２４ｃからの指令により、差
分演算回路２４ｄは回転検出器６０１からの回転位置デ
ータと回転検出器８からの回転位置データとの差にもと
づき求められたバックラッシュ誤差補正値をＲＯＭライ
ター２４ｅに出力する。ＲＯＭライター２４ｅはこのバ
ックラッシュ誤差補正値をサーボアンプ２および制御部
２２ａを介してバックラッシュ補正用ＲＯＭ２６に書き
込む。上述の動作を回転テーブル５０１の１回転を複数
に分割したそれぞれの回転位置について行う。

【００７６】以上に説明した動作が完了した後、回転検
出器８と制御器２４を取り外し通常運転に入る。図１
９、図２１において、ＮＣ指令により、制御部１ａは演
算部１ｂで演算された移動データをもとにした駆動命令
をサーボアンプ２に与え、サーボモータ３を駆動させ
る。サーボモータ３の回転軸３ａの回転により回転検出
器６０１が回転する。回転検出器６０１内において、中
央処理回路２２の制御部２２ａは、カウンター回路２１
の内容にもとづき補正用ＲＯＭ２３内の当該合成補正値
（１回転内の分割角度誤差補正値とテーブル回転量誤差
補正値との合成補正値）を読み出し、この読み出し内容
と１回転内信号処理回路１９の出力とを合成して補正さ
れた回転位置信号（バックラッシュは未補正）を算出す
る。回転方向判別部２５が回転テーブル５０１の回転方
向の変化を検出すると、回転方向判別部２５は制御部２
２ａへ回転方向変化検出信号を送る。なお、回転方向判
別部２５は回転位置データの増減から回転方向の判別を
行うようにしている。制御部２２ａは、この回転方向変
化検出信号が送られてくると現在の多回転量信号に該当
するバックラッシュ誤差補正値をバックラッシュ補正用
ＲＯＭ２６から読み出し、この読み出し内容と上述の補
正された回転位置信号とを合成信号を作成する。

【００７７】制御部２２ａは、サーボアンプ２からリク
エスト命令が入力される度に上述の合成信号をシリアル
信号化し、回転位置データとしてサーボアンプ２へ出力
する。以上のように、サーボアンプ２へフィードバック
する閉ループ制御により、回転テーブル５０１を回転さ
せる。なお、バックラッシュ誤差補正値の読み出しは、
上述のように多回転量信号をもとに選択されるので回転
テーブル５０１の回転位置に応じた補正が可能になって
いる。また、停電等が原因でシステム電源がＯＦＦし、
その後復帰した場合も回転検出器６０１は絶対値エンコ
ーダであり、システム電源がＯＦＦしている間カウンタ
ー回路２１等の電源が電池によりバックアップされるの
でシステム電源ＯＦＦの発生時に継続して装置を動作さ
せることができる。

【００７８】次に、制御器２４内におけるバックラッシ
ュ誤差補正値の算出過程について、図２３により説明す
る。ａ＋εはサーボモータ３を逆回転させた後における
１回転内信号処理回路１９の出力値である絶対値回転位
置信号ａと、補正用ＲＯＭ２３に書き込まれている１回
転内の分割角度誤差補正値εを加えた、回転検出器６０
１からの回転位置データである。εは従来例で述べた図
３８におけるε1〜ε8に相当する。ｂは回転検出器８の
出力値である回転位置データである。なお、この回転位
置データは回転テーブル５０１の回転位置を示してい
る。Ｎｂは、回転位置データｂを回転検出器６０１の回
転位置データに変換した値である。なお、１／Ｎは、歯
車４ｄと歯車４ｅの歯数をそれぞれＺ1、Ｚ2としたと
き、Ｚ1/Ｚ2で表される減速比である。図において、｜
（ａ＋ε）ーＮｂ｜で示されるずれθ’がバックラッシ
ュ誤差である。このθ’がバックラッシュ誤差補正値と
してバックラッシュ補正用ＲＯＭ２６に書き込まれる。
上述のように回転方向の変化時に、制御部２２ａがバッ
クラッシュ補正用ＲＯＭ２６からバックラッシュ誤差補
正値θ’を読み出し、ａ＋εと合成し、合成回転位置デ
ータをａ＋ε＋θ’とする。なお、図において、εは正
の値、θ’は負の値としている。

【００７９】実施例２の場合と同様に、例えば、回転テ
ーブル５０１の１回転を多数に分割しそれぞれの分割範
囲毎に合成補正値を補正用ＲＯＭ２３に記憶させること
は補正用ＲＯＭ２３の記憶容量の大きさの制限より困難
な場合があるとともに無駄も多い。図２４は、一例のバ
ックラッシュ累積誤差と、回転テーブル５０１の１回転
をｎ分割し、各分割角度範囲ごとに設定した代表値で上
述のバックラッシュ累積誤差を補正する場合を示してい
る。なお、図において、横軸は１回転内の回転位置、縦
軸はバックラッシュ累積誤差である。

【００８０】この例においては、ｎ＝８、すなわちテー
ブル５の４５度の回転毎に補正を行っている。すなわ
ち、回転テーブル５０１の４５度の回転間隔ごとに、バ
ックラッシュ累積誤差の最大値と最小値の半値を求め、
こうして求められたθ1’〜θ8’をそれぞれ各分割範囲
におけるバックラッシュ累積誤差の代表値とし、当該分
割範囲におけるバックラッシュ累積誤差補正値としてい
る。なお、バックラッシュ累積誤差は主に、常に一定値
を示すバックラッシュ誤差と、減速歯車の歯車４ｄおよ
び歯車４ｅの単一ピッチ誤差とからなっている。なお、
単一ピッチ誤差は、歯車において隣あった同じ側の歯面
のピッチ円上における実際のピッチと、その正しいピッ
チとの差を意味する。すなわち、上述のθ1’〜θ8’が
バックラッシュ補正用ＲＯＭ２６にバックラッシュ誤差
補正値として書き込まれる。このように、バックラッシ
ュ補正用ＲＯＭ２６の残り容量に応じて分割数ｎを設定
するようにすれば、バックラッシュ補正用ＲＯＭ２６は
必ずしも容量の大きいものを使用しなくてもよい。

【００８１】また、減速は通常の歯車減速によるように
しているが、他の減速方法、例えば、ウォームギア減速
やハーモニックドライブ減速などによるようにしてもよ
い。

【００８２】実施例４．この発明のさらに他の実施例に
ついて図２５、図２６、図２７、図２８、図２９、図３
０により説明する。図２５、図２６、図２７、図２８、
図２９は、それぞれ実施例１における図１、図２、図
３、図４、図５に相当している。図２５、図２６は全体
構成図であり、図２７は図２５における回転検出器６０
２の構成図、図２８は図２６における回転検出器６０２
の構成図である。また、図２５、図２７は補正動作時を
示す図であり、図２６、図２８は補正動作終了後の通常
運転時を示す図である。

【００８３】図２９はボールねじピッチ誤差の温度補正
値等の概念図、図３０は温度変化によるボールねじピッ
チ累積誤差図を示している。図２５において、２４ｇは
回転検出器６０２からの温度データが入力される入力
部、２４ｈは温度補正差分演算回路である。図２７にお
いて、２７は温度検出手段、例えば、温度センサーであ
る。２８はインターフェイス部、２９は温度補正用記憶
手段、例えば、温度補正用ＲＯＭである。また、図２７
において、使用されていない信号経路は点線で示されて
いる。補正用ＲＯＭ２３内には、合成補正値（１回転内
の分割角度誤差補正値とボールねじピッチ誤差補正値と
が合成された補正値）がすでに書き込まれているものと
する。この実施例４は、実施例１で説明したボールねじ
ピッチ誤差補正の動作が完了し、さらに、ボールねじピ
ッチ誤差の温度補正を行うようにしている。

【００８４】次に動作について説明する。図２５に示す
ように測定器７を移動テーブル５に取り付けた状態で、
機械操作パネル（図示せず）の操作により、以下に説明
するように移動テーブル５の全ストロークにわたり移動
テーブル５を移動させる動作を行う。まず電源を投入す
るとＮＣ装置１、サーボアンプ２、サーボモータ３が駆
動待機状態になり、回転検出器６０２の第１の発光素子
１５および第２の発光素子１６も点灯状態になり、さら
に、測定器７と制御器２４も測定または演算可能状態に
なる。

【００８５】次に、環境温度を所定の温度に設定し、Ｎ
Ｃ指令により制御部１ａが、演算部１ｂで演算した移動
データをもとにした駆動命令を、サーボアンプ２に与
え、原点５ｂを基準としてサーボモータ３を駆動させ
る。回転検出器６０２は、サーボアンプ２からのリクエ
スト命令が入力される度に回転位置データをサーボアン
プ２を介し制御器２４へ出力する。制御器２４内におい
て、この回転位置データは入力部２４ｂを介し制御部２
４ｃに入力され、制御部２４ｃの制御のもとに温度補正
差分演算回路２４ｈへ出力される。なお、回転位置デー
タはすでに１回転内の分割角度誤差補正とボールねじピ
ッチ誤差補正とが行われているものとする。温度センサ
ー２７により検出された温度データは、インターフェイ
ス部２８を介し制御部２２ａに入力され、制御部２２ａ
の制御のもとにサーボアンプ２を介して制御器２４の入
力部２４ｇへ出力される。さらに、この温度データは入
力部２４ｇから制御部２４ｃの制御のもとに温度補正差
分演算回路２４ｈへ出力される。

【００８６】サーボモータ３の回転により、カップリン
グ４ａを介しボールねじ４が回転し、移動テーブル５を
移動させると、測定器７は検出素子７Ｃによりスケール
７ａの目盛り７ｂにもとづきＡ、Ｂ相の検出出力を出力
する。信号処理回路７ｄはこの検出出力を矩形波信号に
変換し、現在位置データとして制御器２４へ出力する。
この現在位置データは制御器２４ｃの制御のもとに入力
部２４ａを介し温度補正差分演算回路２４ｈへ出力され
る。入力部２４ａは、Ａ、Ｂ相の位相の進み方向によ
り、移動テーブル５の移動方向を判別するとともに、
Ａ、Ｂ相の立ち上がり、立ち下がりを微分し、この微分
出力にもとづくパルスを作成し、分割量を４倍にしてい
る。ところで、温度変化によるボールねじピッチの伸縮
等のため、上述の実施例１等に示したようにボールねじ
ピッチ誤差補正を行っても、ボールねじピッチ誤差の補
正値を求めた時と環境温度が異る場合は回転検出器６０
２の検出出力をフィードバック信号にした閉ループ制御
において、ＮＣ指令による指定位置と測定器７により検
出された実際の移動テーブルの位置とは一致しない。

【００８７】制御部２４ｃからのサンプリング命令を受
けると、温度補正差分演算回路２４ｈは回転位置データ
と現在位置データとから、現在位置における温度による
ボールねじピッチ誤差の補正値、すなわち、温度補正値
を算出する。なお、温度は温度センサー２７により検出
されるものとする。温度補正差分演算回路２４ｈは入力
部２４ｇを介して入力される温度データとともに上述の
温度補正値をＲＯＭライター２４ｅに出力する。ＲＯＭ
ライター２４ｅは、温度データと温度補正値をサーボア
ンプ２および制御部２２ａを介し温度補正用ＲＯＭ２９
に書き込む。次に、環境温度を順次変化させて上述の動
作を繰り返し行うことにより、補正を行いたい環境温度
の全範囲について温度補正値を採取する。なお、この温
度によるピッチ誤差補正値にはボールねじピッチ誤差の
温度補正値以外に回転系の回転角度誤差（ねじれ誤差）
の温度補正値等も含まれる。

【００８８】以上の動作により補正動作が完了した後、
図２６に示すように測定器７と制御器２４とが取り外さ
れた状態にして通常運転に入る。ＮＣ指令により、制御
部１ａは演算部１ｂで演算された移動データをもとにし
た駆動命令をサーボアンプ２に与え、サーボモータ３を
駆動させる。サーボモータ３の回転により回転検出器６
０２が回転すると回転検出器６０２内において、中央処
理回路２２の制御部２２ａは、カウンター回路２１の内
容にもとづき、補正用ＲＯＭ２３から当該する合成補正
値（１回転内の分割角度誤差補正値とボールねじピッチ
誤差補正値との合成補正値）を読み出し、この読み出し
内容により１回転内信号処理回路１９の出力を補正し、
この補正結果とカウンター２１の内容とから補正された
回転位置信号を算出する。

【００８９】温度センサー２７により検出された温度デ
ータにもとづき、補正を行うべき温度に達しているとイ
ンターフェイス部２８が判断すると、インターフェイス
部２８は制御部２２ａへ温度補正要求信号を出す。制御
部２２ａは、この温度補正要求信号を受けると上述の温
度データにより示される当該温度補正値を温度補正用Ｒ
ＯＭ２９から読み出し、この読み出し内容と上述の補正
された回転位置信号とを演算部２２ｂが合成し、合成信
号を作成する。そして、この合成信号をサーボアンプ２
からリクエスト命令が入力される度にシリアル信号化
し、回転位置データとしてサーボアンプ２へ出力する。
以上のようにして、補正用ＲＯＭ２３の記憶内容により
１回転内の分割角度誤差補正とボールねじピッチ誤差補
正とが行われるとともに温度補正用ＲＯＭ２９の記憶内
容により温度補正が行われた回転位置データが得られ
る。

【００９０】上述のようにこの回転位置データがサーボ
アンプ２へフィードバックされた閉ループ制御により、
移動テーブル５を環境温度の変化があっても高精度で位
置決めすることができる。また、停電等が原因でシステ
ム電源がＯＦＦし、その後復帰した場合も、回転検出器
６は絶対値エンコーダであり、カウンター回路等の電源
がシステム電源ＯＦＦの間は電池によりバックアップさ
れるので、システム電源ＯＦＦ発生時に継続して装置を
動作させることができる。

【００９１】次に、図２９により制御器２４内における
温度補正値の算出過程について説明する。図において、
ａ＋ε＋ε’は１回転内信号処理回路１９の出力値であ
る絶対値回転位置信号ａと、補正用ＲＯＭ２３に書き込
まれている補正値ε＋ε’（１回転内の分割角度誤差補
正値εとボールねじピッチ誤差補正値ε’との合成補正
値）を加えた、回転検出器６０２からの回転位置データ
である。すなわち、εは従来例で述べた図３８における
ε1〜ε8に相当し、ε’は図６におけるε1’〜ε8’に
相当する。ｂは、測定器７の出力にもとづく現在位置デ
ータである。なお、この現在位置データは回転位置デー
タの尺度に変換されている。また、ｂー（ａ＋ε＋
ε’）により示されるεtが温度によるボールねじピッ
チ誤差であり、このεtが温度データと共に温度補正用
ＲＯＭ２９に書き込まれる。なお図において、εとε’
とεtとはともに正の値としている。

【００９２】なお、εtを温度補正用ＲＯＭ２９から読
み出すために、補正用ＲＯＭ２３に加えて、温度補正用
ＲＯＭ２９にもアクセスする必要があり、フィードバッ
ク時間が長くなるという問題点が考えられる。しかし、
温度変化は急激に起こるものではないので、この問題点
はさほど大きいものとはならない。

【００９３】温度補正用ＲＯＭ２９の記憶容量の制限か
ら環境の温度変化範囲を細分化して細分化されたそれぞ
れの温度範囲についてこの補正を行うことは困難であ
る。そこで、環境の温度変化範囲をｎ分割し、そのｎ分
割区間ごとに代表値で補正を行うようにしてもよい。図
３０は一例の温度によるボールネジピッチ累積誤差につ
いて、ＮＣ工作機械等の通常運転温度をＴ（゜ｃ）と
し、Ｔ±Ｔo（゜ｃ）の温度変化範囲内において、ｎ＝
１０、すなわち、２Ｔo／１０（゜ｃ）間隔で補正を行
う場合を示している。図において、横軸は温度、縦軸は
温度によるボールねじピッチ累積誤差を表している。
図に示されるように、２Ｔo／１０（゜ｃ）間隔ごと
に、ボールねじピッチ累積誤差の最大値と最小値の半値
を代表値とし、代表値εt1〜εt10を求た後、これらの
代表値εt1〜εt10を温度補正用ＲＯＭ２９に温度補正
値として書き込むようにしている。このように、温度補
正用ＲＯＭ２９の容量に応じて分割区間数ｎを設定すれ
ば温度補正用ＲＯＭ２９の記憶容量は必ずしも大きくな
くてもよい。なお、それぞれの分割区間の温度が温度補
正用ＲＯＭ２９に記憶されていれば、分割は等間隔でな
くてもそれぞれの分割区間の温度とそれぞれの代表値に
より温度補正を行うことは可能である。

【００９４】なお、測定器７を回転検出器６と同一品と
し、ボールねじ回転量誤差の温度補正を行うようにして
もよい。

【００９５】また、移動テーブル５をテーブルを回転テ
ーブル５０１とし、測定器７を回転検出器６と同一品と
し、テーブル回転量誤差の温度補正を行うようにしても
よい。

【００９６】また、温度センサー２７を回転検出器６０
２内でなく、移動テーブル等他の場所に取り付けるよう
にしてもよい。

【００９７】また、温度補正用ＲＯＭ２９に書き込む補
正値は実測により求めるようにしたが、実測せずにボー
ルねじの温度膨張係数を用いて求めるようにしてもよ
い。

【００９８】実施例５．この発明のさらに他の実施例に
ついて図３１、図３２により説明する。なお、図３１は
全体の構成図、図３２は差分演算方法のフロー図であ
る。図３１において、２４０１はパーソナルコンピュー
タ、３０は測定器７からの現在位置データをパーソナル
コンピュータ２４０１に取り入れるためのインターフェ
イス、３１は回転検出器６からの回転位置データをパー
ソナルコンピュータ２４０１に取り入れるためのインタ
ーフェイスである。また、３０は差分演算ソフトが格納
されるフロッピーディスクである。なお、差分演算ソフ
トは差分演算を行うプログラムである。

【００９９】次に、動作について差分演算方法のフロー
を示す図３２により説明する。なお、この実施例におい
ては、図１における制御器２４の機能をパーソナルコン
ピュータ２４０１、インターフェイス３０、インターフ
ェース３１、および、メモリ書き込み手段、例えば、Ｒ
ＯＭライター３３が代行する他は実施例１と同様の動作
である。まず、フロッピーディスク３２内の差分演算ソ
フトをパーソナルコンピュータ２４０１の内部記憶装置
であるＲＡＭ２４０１ｆにあらかじめ転送しておく。図
３２において、インターフェイス３０は、測定器７から
の現在位置データにおけるＡ、Ｂ相出力信号の位相の進
み方向により、移動テーブル５の移動方向を判別すると
ともに、Ａ、Ｂ相の立ち上がり、立ち下がりを微分し、
この微分出力にもとづくパルスを作成することにより分
割量を４倍にした現在位置データを得る（ステップＳ３
０１）。

【０１００】次に、ＲＡＭ２４０１ｆに格納されている
差分演算ソフトにもとづく制御部２４０１ｃの制御のも
とに動作する演算部２４ｉにより、上述の現在位置デー
タと回転検出器６からの回転位置データとの差分ε’を
算出する。なお、この差分の算出に当っては実施例１と
同様に測定器７からの現在位置データと回転検出器６か
らの回転位置データとの尺度をあわせた上で行わねばな
らないことは言うまでもない。また、この差分は図５に
おいて差分ε’で示される（ステップＳ３０２）。次
に、この差分ε’をボールねじピッチ誤差補正値として
ＲＯＭライター３３へ出力し、回転検出器６の補正用Ｒ
ＯＭ２３の内容を書き換える（ステップＳ３０３）。

【０１０１】なお、測定器７を回転検出器６と同一品と
して、ボールねじ回転量誤差の補正を行うようにしても
よい。

【０１０２】また、移動テーブル５を回転テーブル５０
１とするとともに測定器７を回転検出器６と同一品と
し、テーブル回転量誤差の補正を行うようにしてもよ
い。

【０１０３】また、フロッピーディスク３２内に温度補
正差分演算ソフトを格納し、回転検出器６内に図２７に
おける温度センサー２７、インターフェイス部２８、温
度補正用ＲＯＭ２９を設けて、ボールねじピッチ誤差の
温度補正を行うようにしてもよい。なお、上述の温度補
正差分演算ソフトは温度補正の差分演算を行うプログラ
ムを意味している。

【０１０４】また、フロッピーディスク３２内に温度補
正差分演算ソフトを格納し、回転検出器６内に図２７に
おける温度センサー２７、インターフェイス部２８、温
度補正用ＲＯＭ２９を設け、さらに、測定器７を回転検
出器６と同一品として、ボールねじ回転量誤差の温度補
正を行うようにしてもよい。

【０１０５】また、フロッピーディスク３２内に温度補
正差分演算ソフトを格納し、回転検出器６内に図２７に
おける温度センサー２７、インターフェイス部２８、温
度補正用ＲＯＭ２９を設けて、テーブルを回転テーブル
とし、測定器７を回転検出器６と同一品とし、テーブル
回転量誤差の温度補正を行うようにしてもよい。

【０１０６】実施例６．また、上述の実施例１〜実施例
５での補正値は、補正用ＲＯＭ２３または温度補正用Ｒ
ＯＭ２９の容量を考慮しているために、図６、図１７、
図２４、図３０、図３８に示したように、ｎ分割された
それぞれの分割区間の累積誤差の最大値と最小値の半値
を代表値として求め、これを当該分割区間における累積
誤差としている。このようにすると、それぞれの分割区
間内では補正値が一定なので必ずしも十分な補正が行わ
れるとはいえない。

【０１０７】次に、補正用ＲＯＭ２３または温度補正用
ＲＯＭ２９の記憶容量の制限を考慮した上で、さらに精
度のよい誤差補正を可能にする補正方法について説明す
る。図３３は、実施例１の図６の場合と同様に、全ピッ
チ数が８０のボールねじを８分割（ｎ＝８）して１０ピ
ッチごとに補正を行う場合を示している。なお、図にお
いて、横軸はボールねじピッチ数、縦軸はボールねじピ
ッチ累積誤差を表している。それぞれの分割区間の区間
始点の累積誤差値ε01〜ε08と、それぞれの分割区間に
おけるボールねじピッチ累積誤差を直線近似した直線
（図３３における太線）の傾きα1〜α8と、を補正用Ｒ
ＯＭ２３にボールねじピッチ誤差補正値として書き込
む。

【０１０８】通常運転時において、実施例１と同様に補
正用ＲＯＭ２３よりボールねじピッチ誤差補正値（区間
始点の累積誤差値ε01〜ε08と傾きα1〜α8）を読み出
し、この読み出された区間始点の累積誤差値ε01〜ε08
と傾きα1〜α8を用いて直線近似補正された回転位置デ
ータを得るようにすれば、より精度の高い累積誤差補正
が可能になる。

【０１０９】また、この直線近似による高精度化につい
て実施例１の場合を例にとり説明したが、実施例２〜実
施例５についても同様に直線近似による補正を行うよう
にしてもよい。

【０１１０】実施例７．また、上述の実施例１〜実施例
６において、回転検出器６、回転検出器６０１、およ
び、回転検出器６０２は光学式絶対値エンコーダとした
が、磁気式絶対値エンコーダであってもよい。

【０１１１】なお、上述の実施例１、実施例２、実施例
４〜実施例６においては、移動テーブル５がボールねじ
４により駆動される場合について説明したが、ラック・
ピニオン駆動によるようにしてもよい。この場合は、歯
車のピッチ誤差や歯車間のバックラッシュに対して補正
を行うことによりさらに高精度化される。

【０１１２】また、上述実施例１〜実施例６において、
制御器２４はサーボアンプ２と測定器７または回転検出
器８の間に設けるようにしているが、例えば、サーボア
ンプ２と回転検出器６（または、回転検出器６０１、ま
たは、回転検出器６０２）の間に設けるようにしてもよ
い。

【０１１３】

【発明の効果】以上のようにこの発明における位置検出
装置によればは、回転軸の回転角度を検出する回転角度
検出手段の検出出力の補正値であって回転軸の１回転内
の複数の回転角度範囲のそれぞれに対する補正値が回転
軸の回転回数の範囲別に記憶されている記憶手段を有
し、回転回数検出手段により検出された回転軸の回転回
数がいずれの範囲に属しているか、および、回転角度検
出手段の検出出力がいずれの回転角度範囲に属している
かにより記憶手段より当該する補正値が読み出され、こ
の読み出された補正値および回転角度検出手段の検出出
力および回転回数検出手段の検出出力にもとづき回転位
置算出手段により回転軸の補正回転位置が算出されるの
で、高速に補正回転位置が算出され、これを用いたサー
ボ制御装置を高速、高精度化できる効果がある。

【０１１４】また、回転軸の回転とともに回転する回転
体を介して駆動されるテーブルおよび回転体間のバック
ラッシュ量を記憶するバックラッシュ記憶手段と回転軸
の回転方向を判別する判別手段とを有し、バックラッシ
ュ記憶手段の記憶内容と判別手段の判別出力とにもとづ
く補正がさらに加えられた回転軸の補正回転位置が回転
位置算出手段により算出されるので、これを用いたサー
ボ制御装置を高速、高精度化できるとともにバックラシ
ュを補正できる効果がある。

【０１１５】また、温度検出手段を有し、温度検出手段
の検出出力にもとづく補正がさらに加えられた回転軸の
補正回転位置が回転位置算出手段により算出されるの
で、これを用いたサーボ制御装置を高速、高精度化でき
るとともに温度にもとづく誤差を補正できる効果があ
る。

【０１１６】また、所定の温度範囲別に温度にもとづく
補正値が記憶された温度補正用記憶手段と温度検出手段
とを有し、温度検出手段の検出出力と温度補正用記憶手
段の記憶内容にもとづく補正がさらに加えられた回転軸
の補正回転位置が回転位置算出手段により算出されの
で、これを用いたサーボ制御装置を高速、高精度化でき
るとともに温度にもとづく誤差を一層精度よく補正でき
る効果がある。

【０１１７】また、この発明における位置検出方法は、
回転軸の回転角度を検出する回転角度検出手段の検出出
力の補正値であって回転軸の１回転内の複数の回転角度
範囲のそれぞれに対する補正値が、回転軸の回転回数の
範囲別に記憶手段に記憶され、回転回数検出手段により
検出された回転軸の回転回数がいずれの範囲に属してい
るか、および、回転角度検出手段の検出出力がいずれの
回転角度範囲に属しているかにより記憶手段より当該す
る補正値が読み出されるとともに、この読み出された補
正値および回転角度検出手段の検出出力および回転回数
検出手段の検出出力にもとづき回転軸の補正回転位置が
算出されるので、高速に補正回転位置が算出され、これ
を用いたサーボ制御装置を高速、高精度化できる効果が
ある。

【０１１８】この発明に係わる位置検出装置の補正方法
は、回転軸の回転回数を検出する回転回数検出手段の検
出出力および回転軸の回転角度を検出する回転角度検出
手段の検出出力およびこの回転角度検出手段の検出出力
の補正値を記憶する記憶手段の記憶内容にもとづき補正
された現在回転位置を算出する位置検出装置を有すると
ともに、この補正された現在回転位置および所定の指令
位置との差分にもとづきモータを駆動し回転軸を回転さ
せこの回転軸に螺合または歯合するテーブルを移動させ
るサーボ制御装置に、テーブルの位置を検出するテーブ
ル位置検出手段および所定の制御装置が装着接続され、
サーボ制御装置に指令位置を順次変化させて入力する等
によりモータの回転位置を順次変化させ、制御装置によ
りテーブル位置検出手段の検出出力と補正された現在回
転位置との差分にもとづき回転軸の１回転内の複数の回
転角度範囲のそれぞれに対する補正値が回転軸の回転回
数の範囲別に算出され、この算出されたそれぞれの補正
値が位置検出装置の記憶手段に書き込まれ、テーブル位
置検出手段および制御装置がサーボ制御装置より取り外
されるので、高速、高精度なサーボ制御装置が安価小形
に構成できる効果がある。

【０１１９】また、テーブル位置検出手段は、モータに
より回転駆動されるボールねじのモータから離隔した側
に取り付けられた位置検出装置であるようにしたので、
ボールねじのねじれの補正が容易にできるとともに補正
値書込み時における装置全体を小形安価に構成できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１による補正用ＲＯＭへの補
正値書き込み時における装置全体のブロック構成図であ
る。

【図２】この発明の実施例１による通常運転時における
装置全体のブロック構成図である。

【図３】この発明の実施例１による補正用ＲＯＭへの補
正値書き込み時における回転検出器の動作を示すブロッ
ク構成図である。

【図４】この発明の実施例１による通常運転時における
回転検出器の動作を示すブロック構成図である。

【図５】この発明の実施例１におけるボールねじピッチ
誤差補正値等の概念を示す説明図である。

【図６】この発明の実施例１にによるボールねじピッチ
累積誤差の説明図である。

【図７】この発明の実施例１による補正用ＲＯＭへの補
正値書き込み時における動作を示すフロー図である。

【図８】この発明の実施例１による補正用ＲＯＭへの補
正値書き込み時における動作を示すフロー図である。

【図９】この発明の実施例１による通常運転時における
動作を示すフロー図である。

【図１０】この発明の実施例１による通常運転時におけ
るタイムチャート図である。

【図１１】この発明の実施例２による補正用ＲＯＭへの
補正値書き込み時における装置全体のブロック構成図で
ある。

【図１２】この発明の実施例２による通常運転時におけ
る装置全体のブロック構成図である。

【図１３】この発明の実施例２による通常運転時におけ
る回転検出器の動作を示すブロック構成図である。

【図１４】この発明の実施例２による測定器（回転検出
器）の動作を示すブロック構成図である。

【図１５】この発明の実施例２による角度変化量（ねじ
れ）を示す説明図である。

【図１６】この発明の実施例２によるボールねじ回転量
誤差補正値等の概念の説明図である。

【図１７】この発明の実施例２によるボールねじ回転量
累積誤差を示す説明図である。

【図１８】この発明の実施例３による補正用ＲＯＭへの
補正値書き込み時における装置全体のブロック構成図で
ある。

【図１９】この発明の実施例３による通常運転時におけ
る装置全体のブロック構成図である。

【図２０】この発明の実施例３による補正用ＲＯＭへの
補正値書き込み時における回転検出器の動作を示すブロ
ック構成図である。

【図２１】この発明の実施例３による通常運転時におけ
る回転検出器の動作を示すブロック構成図である。

【図２２】この発明の実施例３による測定器（回転検出
器）の動作を示すブロック構成図である。

【図２３】この発明の実施例３によるテーブル回転量誤
差補正値等の概念を示す説明図である。

【図２４】この発明の実施例３によるテーブル回転量累
積誤差を示す説明図である。

【図２５】この発明の実施例４による補正用ＲＯＭへの
補正値書き込み時における装置全体のブロック構成図で
ある。

【図２６】この発明の実施例４による通常運転時におけ
る装置全体のブロック構成図である。

【図２７】この発明の実施例４による補正用ＲＯＭへの
補正値書き込み時における回転検出器の動作を示すブロ
ック構成図である。

【図２８】この発明の実施例４による通常運転時におけ
る回転検出器の動作を示すブロック構成図である。

【図２９】この発明の実施例４によるボールねじピッチ
誤差の温度補正値等の概念を示す説明図である。

【図３０】この発明の実施例４における温度変化による
ボールねじピッチ累積誤差を示す説明図である。

【図３１】この発明の実施例５による補正用ＲＯＭへの
補正値書き込み時における装置全体のブロック構成図で
ある。

【図３２】この発明の実施例５による差分演算方法を示
すフロー図である。

【図３３】この発明の実施例５に示されたボールねじピ
ッチ累積誤差の補正方法を示す説明図である。

【図３４】従来装置において、補正値記憶部への補正値
書き込み時における装置全体の動作を示すブロック構成
図である。

【図３５】従来装置において、通常運転時における装置
全体の動作を示すブロック構成図である。

【図３６】従来の回転検出器のブロック構成図である。

【図３７】従来の絶対値検出型の回転検出器のブロック
構成図である。

【図３８】従来の絶対値検出型の回転検出器における１
回転内の分割角度累積誤差を示す説明図である。

【図３９】従来装置において、補正値記憶部のへの補正
値書き込み時における動作を示すフロー図である。

【図４０】従来装置において、補正値記憶部のへの補正
値書き込み時における動作を示すフロー図である。

【図４１】従来装置において、通常運転時における動作
を示すフロー図である。

【図４２】従来装置において、通常運転時におけるタイ
ムチャート図である。

【符号の説明】

１ ＮＣ装置 １ａ 制御部 １ｂ 演算部 １ｃ 差分演算回路 １ｄ 補正値記憶部 １ｅ フィードバック入力部 １ｆ 入力部 １ｇ 入力部 ２ サーボアンプ ３ サーボモータ ３ａ 回転軸 ４ ボールねじ ４ａ カップリング ４ｂ 始端 ４ｃ 終端 ４ｄ 歯車 ４ｅ 歯車 ５ 移動テーブル ５ａ 脚体 ５ｂ 原点 ５ｃ 回転軸 ６ 回転検出器 ７ 測定器 ７ａ リニアスケール ７ｂ 目盛り ７ｃ 検出素子 ７ｄ 信号処理回路 ８ 回転検出器 ９ カップリング １０ 回転軸 １１ コード円板 １２ 発光素子 １３ 受光素子 １４ 信号処理回路 １５ 第１の発光素子 １６ 第２の発光素子 １７ 第１の受光素子 １８ 第２の受光素子 １９ １回転内信号処理回路 ２０ 多回転量信号処理回路 ２１ カウンター回路 ２２ 中央処理回路 ２２ａ 制御部 ２２ｂ 演算部 ２３ 補正用ＲＯＭ ２４ 制御器 ２４ａ 入力部 ２４ｂ 入力部 ２４ｃ 制御部 ２４ｄ 差分演算回路 ２４ｅ ＲＯＭライター ２４ｆ ＲＡＭ ２４ｇ 入力部 ２４ｈ 温度補正差分演算回路 ２４ｉ 演算部 ２５ 回転方向判別部 ２６ バックラッシュ補正用ＲＯＭ ２７ 温度センサー ２８ インターフェイス部 ２９ 温度補正用ＲＯＭ ３０ インターフェイス器 ３１ インターフェイス器 ３２ フロッピーディスク ３３ ＲＯＭライター １０１ ＮＣ装置 １０１ａ 制御部 １０１ｂ 演算部 １０１ｃ 差分演算回路 １０１ｄ 補正値記憶部 １０１ｅ フィードバック入力部 １０１ｆ 入力部 １０１ｇ 入力部 １０２ サーボアンプ ６０１ 回転検出器 ６０２ 回転検出器 ６１０ 回転検出器 ６１１ 回転検出器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｂ 19/19 Ｆ 7531−3Ｈ Ｇ０５Ｄ 3/00 Ｊ 7609−3Ｈ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転軸の回転をカウントすることにより
   上記回転軸の回転回数を検出する回転回数検出手段と、
   上記回転軸の回転角度を検出する回転角度検出手段と、
   上記回転角度検出手段の検出出力の補正値であって上記
   回転軸の１回転内の複数の回転角度範囲のそれぞれに対
   する補正値が、上記回転軸の回転回数の範囲別に記憶さ
   れている記憶手段と、上記回転回数検出手段により検出
   された上記回転軸の回転回数がいずれの上記範囲に属し
   ているか、および、上記回転角度検出手段の検出出力が
   いずれの上記回転角度範囲に属しているかにより上記記
   憶手段より当該する上記補正値を読み出すとともに、こ
   の読み出された上記補正値および上記回転角度検出手段
   の検出出力および上記回転回数検出手段の検出出力にも
   とづき上記回転軸の補正回転位置を算出する回転位置算
   出手段とを備えた位置検出装置。
2. 【請求項２】 回転軸の回転とともに回転する回転体を
   介して駆動されるテーブルおよび上記回転体間のバック
   ラッシュ量を記憶するバックラッシュ記憶手段と上記回
   転軸の回転方向を判別する判別手段とを有し、回転位置
   算出手段は上記バックラッシュ記憶手段の記憶内容と上
   記判別手段の判別出力とにもとづく補正がさらに加えら
   れた上記回転軸の補正回転位置を算出することを特徴と
   する請求項１記載の位置検出装置。
3. 【請求項３】 温度検出手段を有し、回転位置算出手段
   は上記温度検出手段の検出出力にもとづく補正がさらに
   加えられた上記回転軸の補正回転位置を算出することを
   特徴とする請求項１または請求項２記載の位置検出装
   置。
4. 【請求項４】 所定の温度範囲別に温度にもとづく補正
   値が記憶された温度補正用記憶手段と温度検出手段とを
   有し、回転位置算出手段は温度検出手段の検出出力と上
   記温度補正用記憶手段の記憶内容にもとづく補正がさら
   に加えられた上記回転軸の補正回転位置を算出すること
   を特徴とする請求項１または請求項２記載の位置検出装
   置。
5. 【請求項５】回転軸の回転角度を検出する回転角度検出
   手段の検出出力の補正値であって上記回転軸の１回転内
   の複数の回転角度範囲のそれぞれに対する補正値が、上
   記回転軸の回転回数の範囲別に記憶手段に記憶される段
   階と、 回転回数検出手段により検出された上記回転軸の回転回
   数がいずれの上記範囲に属しているか、および、上記回
   転角度検出手段の検出出力がいずれの上記回転角度範囲
   に属しているかにより上記記憶手段より当該する上記補
   正値が読み出されるとともに、この読み出された上記補
   正値および上記回転角度検出手段の検出出力および上記
   回転回数検出手段の検出出力にもとづき上記回転軸の補
   正回転位置が算出される段階と、を有することを特徴と
   する位置検出方法。
6. 【請求項６】 回転軸の回転回数を検出する回転回数検
   出手段の検出出力および上記回転軸の回転角度を検出す
   る回転角度検出手段の検出出力およびこの回転角度検出
   手段の検出出力の補正値を記憶する記憶手段の記憶内容
   にもとづき補正された現在回転位置を算出する位置検出
   装置を有するとともにこの補正された現在回転位置およ
   び所定の指令位置との差分にもとづきモータを駆動して
   回転軸を回転させこの回転軸に螺合または歯合するテー
   ブルを移動させるサーボ制御装置に、上記テーブルの位
   置を検出するテーブル位置検出手段および所定の制御装
   置が装着接続される段階と、 上記サーボ制御装置に上記指令位置を順次変化させて入
   力する等により上記モータの回転位置を順次変化させ、
   上記制御装置により上記テーブル位置検出手段の検出出
   力と上記補正された現在回転位置との差分にもとづき上
   記回転軸の１回転内の複数の回転角度範囲のそれぞれに
   対する補正値が上記回転軸の回転回数の範囲別に算出さ
   れ、この算出されたそれぞれの補正値が上記位置検出装
   置の記憶手段に書き込まれる段階と、 上記テーブル位置検出手段および上記制御装置が上記サ
   ーボ制御装置より取り外される段階とを有することを特
   徴とする位置検出装置の補正方法。
7. 【請求項７】 テーブル位置検出手段は、モータにより
   回転駆動されるボールねじの上記モータから離隔した側
   に取り付けられる請求項１記載の位置検出装置であるこ
   とを特徴とする請求項６記載の位置検出装置の補正方
   法。