JPH07237062A - 軽量テーブル及びその製造方法 - Google Patents

軽量テーブル及びその製造方法

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JPH07237062A
JPH07237062A JP6183608A JP18360894A JPH07237062A JP H07237062 A JPH07237062 A JP H07237062A JP 6183608 A JP6183608 A JP 6183608A JP 18360894 A JP18360894 A JP 18360894A JP H07237062 A JPH07237062 A JP H07237062A
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internal structure
sheet material
adhesive layer
thin sheet
flat
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JP6183608A
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English (en)
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Robert J Pavone
ロバート・ジェイ・パヴォン
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Gerber Systems Corp
Original Assignee
Gerber Systems Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 座標駆動部材を正確にそして滑らかに位置決
めする装置において使用される軽量のテーブル及びその
製造方法を提供すること。 【構成】 軽量のテーブルは、平坦な作業表面を画成す
る第１シート９２、平坦な底面を画成する第２シート９
４、及びテーブルの一般的形状を画成する内部構造体８
８を有する。内部構造体８８の第１面が第１シート９２
の面に接着剤層９５により結合され、内部構造体８８の
第２面が第２シート９４の面に接着剤層９５により結合
される。内部構造体は、更に複数の側面を画成する横方
向外側へ延びる縁を有し、複数の側面シート９９各々が
内部構造体の側面の各々の１個に接着剤層により結合さ
れる。内部構造体８８の複数の側面と第１シート９２及
び第２シート９４の間の境界面に存在する接着剤９５が
境界面をシールし内部構造体８８に空気密封性の周囲面
を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加工片上に制御された
作業を遂行する装置における軽量テーブル及びその製造
方法に関する。その装置においては、加工片支持表面を
有する軽量テーブルが第１直線軸線に沿って可動であ
り、加工器具が第１直線軸線に垂直の第２直線軸線に沿
って可動であり、加工器具の加工片への適用を高精度で
行う。
【０００２】
【従来の技術及び解決しようとする課題】本発明が関係
する形式の装置は、例えばフォトヘッドを加工片に対し
て位置決めするフォトプロッタ（photoplotter）に用い
られ得る。そのような装置において、正確な精度に対す
る要求が重要である。何故なら使用者が加工片に縮小さ
れ込み入った図形情報を発生させるかもしれないからで
ある。本出願人に譲渡された米国特許第４，５８９，７
４６号明細書は、同じく調整位置決め環境にある正確な
精度に関する発明に向けられている。この米国特許にお
いて気付かれるように、Ｘ及びＹ座標軸方向運動を行う
駆動システムは、正確な位置決めを遂行するために、わ
ずかな遊び又はバックラッシを有する。親ねじ式の駆動
システムにおけるバックラッシを減少させる方法は、再
循環ボールナット（recirculating ball nut）を用いる
ことである。再循環ボールナットにおいてボールは親ね
じの単数又は複数のねじに対して圧力的負荷を加える。
しかしながら負荷されるねじ及びナットを用いる駆動シ
ステムにおいては、ナット及びねじの両者の質量及び慣
性が大馬力の駆動モータが合理的な加速度で駆動システ
ムの部品を運動させるために用いられることを必要とす
る。そのような駆動システムが、作業要素に対して加工
片の高速度運動に適すると同じく、座標プロット作業の
性能において極めて正確であること、これらの駆動シス
テムが製造コストにおいて比較的高価である傾向がある
ことが明らかにされた。例えば、この形式のシステムの
親ねじは、座標制御システムの所望の精度が遂行される
ように、特定の公差で機械加工されねばならない。製造
工程におけるこの形式の機械加工は、費用のかかる工程
であり、除去されるならば全体として装置の価格を実質
的に減少させることができる。また前述のように、作業
テーブルへのボールナットの装着が付加的な質量を生
じ、その質量は駆動システムに用いられるモータの大き
さの選定において補償されねばならない。親ねじ及びボ
ールナットの質量が駆動モータによって移動されねばな
らないから、被駆動部材に対するこのモータの適当な寸
法付けは、またそのコストに反映される。
【０００３】他のシステムは、ラック及びピニオン組立
体又は相互に噛み合う円形歯車のような駆動手段を、Ｘ
及びＹ座標位置決め装置の駆動手段として用いる。しか
しながら歯車の相互の噛み合いは、加工片に望ましくな
いラチェット（ratchet；間欠的移動）効果を招く。歯
車の間のラチェットは、歯の相互の衝撃として生じる。
フォトプロッタの環境において歯車駆動が用いられると
き、ラチェット効果は、使用者が極度に繊細な成分の図
形情報を発生するときに気付かれる。この形式の図形情
報が発生されるとき、感光性加工片上にさらされる線の
太さは、ラチェット効果を感知するように細い。有害な
ラチェットの効果は、不連続性又は直線状の不規則性を
備えて描かれる所望の直線において現れる。更に大量の
構成歯車部品の製造コストが、装置の所望の正確さを達
成するに必要な精密な公差を与えるファクタになる。ま
た、歯車駆動システムは、構成部品の精度を減少する摩
耗を生じると共に、潤滑を必要としそして騒音を発生す
る傾向がある。
【０００４】本発明の目的は、２軸線座標プロット装置
であって、Ｘ及びＹ座標軸線において、例えば毎分約１
０．２メートルの最大速度で、正確にそして滑らかに歯
車の有害なラチェット効果なしに座標駆動部材の位置決
めを実行する装置、を提供することであり、そのような
装置において使用される軽量のテーブル及びその製造方
法を提供することである。本発明の別の目的は、座標制
御システムであって、高い慣性力にさらされる部材にお
いて小さな質量を保持しながら、連結部に極めて高い堅
固さを有し、座標制御システムに小さな質量及び小さな
慣性を与える座標制御システムを提供することである。
本発明の更に別の目的は、Ｘ及びＹ座標駆動システムに
摩擦駆動手段を提供してラチェットの効果を除き、そし
てこれらの駆動手段を、被駆動部材の実際のＸ及びＹ座
標位置により運動を決定するセンサを有する閉ループフ
ィードバックシステムによって制御することである。本
発明の更に別の目的は、被駆動部材を方向付ける小さな
質量の、減少されたコストの構造要素及び小さな寸法の
電気モータを用いることにより減少されたコストの高精
度の座標制御システムを提供することである。本発明の
更に別の目的は、歯車を用いない、静粛な無潤滑の低摩
耗装置を生じる駆動システムを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、器具及び加工
片を相互に極めて正確に位置決めしそして器具及び加工
片を相互に高速度及び高加速度で運動させることができ
る装置に存する。本発明の装置は、静止支持体即ちベー
スであって作業テーブル及び器具キャリッジを可動に支
持するベースを含む。作業テーブル及び器具キャリッジ
は、それぞれこれらの部材をベースに対して往復運動の
態様において直交する軸線に沿って運動させる駆動シス
テムと協働する。本発明に結合して用いられる摺動する
作業テーブルは内部がハニカム（honeycombed；蜂の巣
状）であり、それにより質量の体積に対する比を減少さ
せ、作業テーブルが支持構造体に対して運動するときに
作業テーブルの小さな慣性力を生じる。作業テーブル
は、第１座標軸方向において往復移動する平坦な作業面
を有する。器具を用いる特定の方法により作業テーブル
を形成することにより、平坦な作業面が達成される。こ
の作業面は、加工片を作業面の所定位置に保持する真空
手段を有する。支持構造体の上方の懸下部分に器具キャ
リッジが装着される。器具キャリッジは作業テーブルの
移行線に垂直の移行線を有する。器具キャリッジは、異
なる形式の作業要素を担持することができ、特に作業テ
ーブルの作業面に固着されるフイルム要素に作業可能に
用いられるフォトプロッタヘッドを保持し得る。
【０００６】作業テーブル及び作業器具は、同様の駆動
手段によって駆動可能であり、それぞれの座標軸線内に
おいて円滑な表面の鋼バンドによって運動される。鋼バ
ンドは作業テーブル及び作業器具を噛み合う歯車面に見
られるラッチェット効果なしに滑らかに連続して位置決
めする。各鋼バンドは円滑な表面のローラによってベー
スに装着される。ローラは駆動モータに摩擦係合され各
被駆動部材に所望の変位を与える。ローラとモータの摩
擦係合が更に装置の無振動化に寄与する。
【０００７】閉ループフィードバック制御システムが、
本発明の装置に組み入れられ、作業テーブル及び器具キ
ャリッジの静止支持構造体に対する運動を感知し、次に
駆動モータへの駆動信号を発生し、被駆動部材を座標シ
ステム上で正確に運動させる。別々の直線定規がそれぞ
れ独立して器具キャリッジ及び作業テーブルに連結さ
れ、器具キャリッジ及び作業テーブルの支持構造体に対
する小さな運動を検出し閉ループ制御システムへの感知
データに関連させる。
【０００８】本発明は、歯車噛み合いによる望ましくな
い性質のラッチェト効果即ち振動を摩擦駆動により除去
する位置決め装置を提供する。本発明の位置決め装置
は、被駆動部材の実際の運動のみが感知され駆動モータ
と駆動ローラ間に生じるあらゆる滑りが運動の監視に影
響しないように、作業テーブル及び作業器具の支持構造
体に対する実際の位置を監視する閉ループ制御システム
を具備する。
【０００９】
【実施例】図１に本発明の実施例のフォトプロッタが示
される。本発明のフォトプロッタは、支持構造体即ちベ
ース構造体２０を含む。ベース構造体２０は工具キャリ
ッジ７６及び可動作業テーブル８を支持する。作業テー
ブル８は低摩擦ガイド３２及び低摩擦レール２４に摺動
可能に取り付けられる。低摩擦ガイド３２及び低摩擦レ
ール２４は作業テーブル８の移動の長さに沿って作業テ
ーブル８に正確に整合する。同様に、ベース構造体２０
が工具キャリッジ７６を低摩擦ガイド５６及び低摩擦レ
ール５９上に支持する。工具キャリッジ７６はベース構
造体２０によりアーム２２を用いて作業テーブル８に対
して上昇された位置に支持される。アーム２２は横方向
に間隔を置かれブリッジ３４を支持する。ブリッジ３４
に低摩擦ガイド５６及び低摩擦レール５９が剛固に固着
される。低摩擦ガイド５６及び低摩擦レール５９は、軌
道であってその上を工具キャリッジ７６が移動する軌道
を提供する。フォトプロッタヘッド６が工具キャリッジ
７６に協働して工具キャリッジ装着板７５上に取り付け
られる。フォトプロッタヘッド６及び作業テーブル８は
駆動バンド３６及び３８によって駆動される。駆動バン
ド３６及び３８は、約０．５ミリメートルの厚さと滑ら
かな内面を有する鋼薄板から作られる。同様にベース構
造体２０に回転可能に装着されるローラ７０、４０及び
７１、４１が滑らかな外面を有し駆動バンド３６及び３
８に内面に係合し、駆動バンド３６及び３８をベース構
造体２０に回転可能に支持する。駆動バンド３６及び３
８は、ローラ７０、４０及び７１、４１によって長手方
向に向けられるとき駆動ローラ７０、７１の回転運動を
直線運動に変える。駆動バンドは、その薄板断面の故
に、ローラの回りに回転可能である意味において可撓性
であるが、ローラ７０、４０及び７１、４１によって長
手方向に緊張されるとき駆動バンドの高引張強度の故に
長手方向に非可撓性である。高引張強度を有するステン
レス鋼又は同様の金属が駆動バンド３６及び３８の形成
に用いられ得る。また、ローラ７０、４０及び７１、４
１は、駆動バンドに係合する充分な摩擦及び滑らかさを
有する任意の材料で作られ得るが、好ましくは駆動バン
ドと同じ材料で作られる。従って駆動バンドは低価格で
あり装置に無視し得る質量の駆動手段を提供する。
【００１０】図６に示されるように、ローラ４０と駆動
バンド３８の間の強制的係合が、止めねじ４２を用いて
自由回転ローラ４０に長手方向の荷重をかけ駆動バンド
３６及び３８を長手方向に引張ることによってなされ
る。しかしながら、長手方向に引張ることは、ばね負荷
等のような他の公知の手段によってなされ得る。駆動バ
ンド３６及び３８を長手方向に引張ることによって、駆
動バンドは、長手方向において、取り付けられた部材を
押し及び引く剛体梁のように作用する。駆動バンド３６
及び３８が剛体梁のように作用することは、駆動を行う
連結において運動がより少なく吸収されることにより、
位置決め装置の精度を向上する。更に、駆動バンドが緊
張されるとき、ローラと駆動バンドの間の滑らかな面の
係合が、係合要素の間の運動の均一な伝達を提供する。
【００１１】被駆動部材である作業テーブル８及び工具
キャリッジ７６は、駆動付属部材４４、４５を介してそ
れぞれ駆動バンド３６及び３８に結合される。駆動付属
部材４４、４５の各々は、２個の軽量プレートから成
り、２個の軽量プレートの間で関連する駆動バンドの一
部分を小さなねじ等のような適当な取り付け手段を用い
てそれぞれの被駆動部材である作業テーブル８及び工具
キャリッジ７６にクランプする。駆動付属部材４４、４
５の外方垂下面は、被駆動部材である作業テーブル８及
び工具キャリッジ７６から垂下する並置された付属面と
同一の平面に方向付けられる。
【００１２】本発明によると、被駆動部材である作業テ
ーブル８及び工具キャリッジ７６並びに駆動付属部材４
４、４５の並置された面を、摺動する被駆動部材である
作業テーブル８及び工具キャリッジ７６を３個の異なる
点において正確に支持することにより、一致する平面に
保持することが望ましい。被駆動部材である作業テーブ
ル８及び工具キャリッジ７６上に、第１の２個の摺動可
能に接する点が一方の側面に整列（ｃｏａｌｉｇｎ）さ
れそれぞれガイド３２及び５６に係合する。２個の循環
ボール台３０がそれぞれ互いに整列してガイド３２に面
する作業テーブル８の面に取り付けられる。
【００１３】同様に２個のボール台３１がガイド５６に
面する取り付けプレート７５の面に取り付けられる。循
環ボール台３０、３１の各々が、それに形成されたＣ字
形の溝を有する。Ｃ字形の溝は別々のガイド３２、５６
を摺動可能に受け入れる。循環ボール台３０、３１は、
プラスチック等の軽量材料で作られ、循環ボール台３
０、３１が移動されるとき協働するガイド３２、５６に
係合して循環するボールを収容する。循環ボール台３
０、３１のＣ字形はガイド３２及び５６を取り巻くよう
に捕らえる故に、取り付けられた被駆動部材である作業
テーブル８及び工具キャリッジ７６の移動方向に対する
横方向運動は阻止される。このようにして、横方向の保
持が循環ボール台３０、３１によって提供される故に、
第３の支持点は被駆動部材８、７６の長手方向支承面を
用意することのみ必要である。
【００１４】従って、循環ボール台３０、３１のそれぞ
れの対によって支持された横方向に対向する側面である
被駆動部材８、７６のそれぞれの側面は、対向されたロ
ーラ５６、５８及び６６、６８のそれぞれのセット上の
正確に平坦なレール２４及び５９に沿って摺動する。ロ
ーラ５６、５８及び６６、６８のそれぞれのセットは、
レール２４及び５９のそれぞれの対向する面に対応して
係合し第３の摺動接点を提供する。作動中、フォトプロ
ッタヘッド６は取り付け板７５にボルト及びナット等の
ような公知の手段より装着される。従って、フォトプロ
ッタヘッド６は、高精度で且つ繰り返し可能な方法でブ
リッジ３４に沿って移動し加工片（Ｆ）上に正確な図形
情報を現す。同様に可動の作業テーブル８が、ベース構
造体２０に関する正確で精密な経路を移動し、対応して
図形情報の正確な形成に寄与する。
【００１５】本発明の位置決め装置はフォトプロッタと
して用いられるとき図形情報を加工片（Ｆ）上に、例え
ば毎分１０．２メートルの最大速度でそして±０．０２
５４ミリメートルの精度で記入する。従って、被駆動部
材７６及び８の各々が極めて小さな慣性力を有し、被駆
動部材が不要のモーメントの望ましくない影響なしに移
動しそして停止することが可能でなければならない。従
って作業テーブル８はハニカム内部構造体８８を画成す
る室集合体によって内部支持される軽量部材である。作
業テーブルの質量体積比は中実体積を有するものより小
さい。更に作業テーブル８のハニカム内部構造体８８が
作業テーブルの平坦な形状を保持する剛固な内部支持構
造体を提供することが理解されるべきである。
【００１６】図８ａ及び図８ｂに示されるように、作業
テーブル８は、作業面と反対側の底面の両者が互いに平
行な平面であることを確実にする方法で作られる。工具
９０が作業テーブルの平面形状を用意するために用いら
れる。工具作業面９１は高度に正確な平面であるように
機械加工される。作業テーブル８の作業面９２及び反対
側のテーブル底面９４は、約１ミリメートルの厚さの薄
い軽量のアルミニウムのシート等から作られる。各シー
トは、工具作業面９１上に置かれたとき、工具作業面９
１の高度に正確な平面形状に順応する。前述のようにハ
ニカム構造８８が、シート９２及び９４を作業テーブル
８の作業面及び底面を形成する２つの平行平面に剛固に
固定する。
【００１７】図８ａに示されるように、シート９２が最
初に工具作業面９１上に置かれる。接着剤９５の層がシ
ート９２の露出した面に加えられ、ハニカム構造体８８
が、次にシート９２を覆う接着剤９５の層上に位置さ
れ、シート９２上に接着剤９５の層を介して置かれる。
垂下する内部構造体の縁及びシート９２によって形成さ
れる接触面の間に縁の不規則性により存在するあらゆる
間隙が接着剤によって満たされる。接着剤が置かれ硬化
するとき、内部構造体８８はシート９２に結合される。
このようにして接触面の間に存在するあらゆる間隙を満
たす硬化した接着剤が、シート９２と内部構造体８８の
間に構造的支持を用意する。接着剤が硬化する間シート
９２が工具作業面９１に押し付けて保持される故に、内
部構造体８８がシート９２に剛固に結合されるとき、工
具作業面９１の平面形状がシート９２に固定される。
【００１８】一旦シート９２が内部構造体８８の一側面
に結合され剛固になると、次に内部構造体８８の他方の
側面がシート９２の結合に用いられた方法と同様の方法
により他のシート９４に結合される。シート９２、９４
と同様に薄い軽量の材料から形成された複数のサイドパ
ネル９９が同様にして内部構造体８８の横方向の面に取
り付けられる。パネル９９は内部構造体８８の横方向外
側垂直側端部に接着剤層によって結合される。任意の型
番の接着剤が作業テーブル８の形成に用いられ得る。適
当な接着剤の例はエポキシである。また、テーブル８の
組立に接着剤を用いることにより、シート９２及び９４
並びにパネル９９の間の継目が密封され作業テーブル８
の内部に空気密封室を形成する。ハニカム構造体の個々
の室はこのようにして内部構造体８８並びにシート９２
及び９４の間の密封係合によって形成される。
【００１９】本発明において、テーブルに沿って形成さ
れた密封継目が、真空保持装置を維持し加工片（Ｆ）を
所定の位置に固定することを可能にする。真空保持は、
クランプ又はその他の固着手段を用いることを不要に
し、そうでない場合にテーブル構造体に付加的な重量が
加わることをなくする。真空ダクト５０は、可撓性ホー
スを介して真空源に接続される。加工片（Ｆ）は、ピン
ホール５４を介する空気の吸引並びにハニカム構造体８
８の室壁に形成された横孔及び真空ダクト５０を介して
連通され、テーブル８上に保持される。ピンホール５４
は、作業面を画成するシートにエポキシ接着剤が置かれ
た後のテーブル８に穿孔され、そしてハニカム構造体８
８に形成される横孔は事前に形成され得ることに注意さ
れるべきである。また、各ピンホール５４は、ハニカム
構造体８８の各室に対応する。前述のように、フォトプ
ロッタヘッド６は、摺動するテーブル８と同様にしてブ
リッジ３４上を摺動する。フォトプロッタヘッド６の大
部分が光学室を画成するの空の空間である故に、フォト
プロッタヘッド６の質量対体積比は正確な位置決めを得
る上に重要な慣性の問題を起こさない。
【００２０】理解されるように、作業テーブル８及びフ
ォトプロッタヘッド６はそれぞれのガイド３２、５６及
びレール２４、５９上に極めて小さな公差で摺動可能に
装着される。その結果、被駆動部材はバンド３６及び３
８によって与えられた運動に極めて敏感である。しかし
ながら本発明において用いられる駆動は、摩擦駆動であ
り、それ故歯車の衝撃の引っ掻き効果が除かれる。従っ
てベルト即ちバンド３６及び３８に与えられる運動は、
円滑な、均等に連続する駆動運動である。図５に最も良
く示されるように、駆動組立体６０は駆動組立体６２と
同じく電動機６４を含む。電動機６４は一端において延
ばされた円滑な表面の駆動軸６７を有する。駆動軸６７
はフライホイール６９の円滑な外周面に強制的に接触さ
れる。フライホイール６９と駆動軸６７即ち摩擦軸は第
２図に示されるように引張りばね７２により互いに強制
係合して保持される。駆動軸６７によって伝達される回
転が駆動軸６７とフライホイール６９の円滑な面の間の
摩擦係合によってフライホイール６９へ伝えられる。駆
動ローラ７０がフライホイール６９に取り付けられ回転
をフライホイール６９からバンド３８へ伝達する。その
結果、フライホイール６９が駆動軸６７によって摩擦的
に駆動されるときフライホイール６９の連続運動を用い
ることによって、駆動部材の円滑で極めて繊細な運動が
達成される。更に、摩擦駆動は、フライホイール６９と
摩擦軸６７の係合表面に正確な歯車歯を製造する付加的
な費用を要しない故に、費用上の効果がある。
【００２１】駆動モータ６４とフライホイール６９の間
の接触が強制係合である間に、駆動軸６７とフライホイ
ール６９の間に微少量の滑りが生じることが起こり得
る。しかしながら、本発明に用いられる位置制御器は、
閉ループフィードバックシステムを用いる。閉ループフ
ィードバックシステムは被駆動部材７６及び８の実際の
運動から信号を受け取り、偶然の滑りによるいかなる空
回りの影響を受けない。この形式のフィードバックシス
テムのより完全な記述のために、１９７５年３月１８日
発行の米国特許第３，８７２，３６８号が参照される。
【００２２】作動中、直線定規７３、７４が被駆動部材
７６及び８の移動線に方向付けられ、光学センサを用い
て被駆動部材７６及び８の運動をフィードバック回路に
おいて用いるための高度に正確な電気的データ信号に変
換する。本発明に用いられるセンサの好ましい形式は、
ベース構造体２０に支持されたガラス定規及び定規長に
沿って移動する被駆動部材に固定された光感知ダイオー
ドである。ガラス定規は、その上に印付けられた等距離
に間隔を置かれた線を有する。ダイオードが被駆動部材
の運動に応じて定規の線を過ぎて移動するとき、光学的
変遷がダイオードによって電圧パターンに変化され、こ
れらの電圧パターンが次に検出器によって感知され、検
出された各線に１個の電気パルスによるパルス列に変換
される。これらの変遷に対応するパルスは次に検出器に
よって放出される。ダイオードのみが各被駆動部材７６
及び８に取り付けられる故に、質量の大きな節約が更に
達成され前述の望ましくないモーメントの減少を生じ
る。本発明に用いることができる光感知パルス発生シス
テムの更なる説明のためには、１９７５年３月２０日発
行の米国特許第３，８８４，５８０号が参照されねばな
らない。
【００２３】図７には、本発明に用いられる閉ループシ
ステムを示すブロック線図が示される。図７に置いてセ
ンサ及びモータが図示する目的のみのために共通に符号
付けされることが理解されるべきである。使用に際し
て、各センサ及び駆動モータの対は、各Ｘ又はＹ座標方
向の各々の閉ループシステムに結合される。図７に示さ
れるように、各Ｘ又はＹ座標方向の各々の閉ループシス
テムは、それぞれ被駆動部材７６及び８の位置及び速度
に関する２個のループＡ及びＢと一体にされる。位置に
関するループＡは閉ループシステムの主論理回路であ
る。加工片（Ｆ）上に記述されるべき図形情報のための
Ｘ及びＹ位置座標を述べるデータが、コントローラ即ち
コンピュータ処理ユニット（ＣＰＵ）３に入る。コント
ローラ３はこの座標位置データをステップパルスに変換
する。そのステップパルスは次にラグカウンタ（lag co
unter）２００へ伝達される。前述のように、直線定規
７３、７４は同じように特定の被駆動部材の実際の運動
に対応するステップパルスを発生する。ラグカウンタ２
００は、入力として直線定規からのパルス及びコントロ
ーラ３からのＸ又はＹ座標位置パルスを受け入れる。両
入力はラグカウンタ２００によって加算され、ラグカウ
ンタ２００によって発生された指令信号又はブリッジ
（bridging）信号がＤＡ（デジタルーアナログ）コンバ
ータ１００へ伝えられる。ＤＡコンバータ１００はコン
トローラの座標位置信号と各直線定規７３、７４によっ
て発生された信号の間の差を表す。このブリッジ信号は
次にＤＡコンバータ１００によってアナログ信号に変換
され、アナログ信号は続いてサーボシステムのアンプ３
００へ入力される。
【００２４】前述のように第２論理グループ（Ｂ）は、
サーボシステムのアンプ３００へ駆動モータ６４、６５
の回転速度信号を供給する論理ループである。駆動モー
タ６４、６５に取り付けられたタコメータ７７、７８の
各１個によって発生される信号が、アンプ３００への第
２入力である。引き続いてアンプ３００がコンバータ１
００によって発生されたアナログブリッジ値又はアナロ
グ誤差値をタコメータフィードバック信号と比較し、そ
してその結果、各駆動モータ６４、６５への増大又は減
少された駆動電力信号を発生する。アンプ３００は、コ
ンバータ１００によって入力される信号が等しく零にな
るまでモータ６４、６５の各１個への駆動信号を発生し
続ける。本発明に用いられる制御システム被駆動部材を
実際の現在位置及び次の位置への距離からの計算によっ
て位置付けし駆動モータに比例的駆動信号を与えること
が理解されるべきである。従って摩擦駆動における偶然
の滑りが位置決め工程に影響しない。
【００２５】本発明が好ましい実施例において記述され
たが、多数の修正及び置換が本発明の精神から離れるこ
となくなされ得ることが理解されるべきである。例え
ば、図６に示されるバンド緊張手段が止めねじによって
押圧されることは必要でなく任意の適当な公知の手段に
よって押圧され得る。従って、本発明は好ましい実施例
によって限定ではなく事例の方法によって記述された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例のフォトプロッタの透視図。
【図２】本発明の実施例のフォトプロッタの側面図。
【図３】本発明の実施例のフォトプロッタの前面図。
【図４】本発明の実施例のフォトプロッタの平面図。
【図５】本発明の２個の同一の摩擦駆動機構の内の１個
の断面図。
【図６】本発明の高強度駆動バンドに関連して用いられ
る２個の同一の駆動バンド緊張機構の内の１個の孤立さ
せた図。
【図７】本発明の構造体と共に用いられる閉ループ制御
システムを図示するブロック線図。
【図８】図８ａ及び図８ｂは、作業テーブルの組立体に
おいて本発明によって用いられる方法を示す図である。
【符号の説明】
３…コントローラ、６…フォトプロッタヘッド、８…作
業テーブル（被駆動部材）、２０…ベース構造体、２
４、５９…レール、３２、５６…ガイド、３４…ブリッ
ジ、３６、３８…駆動バンド、４０、４１、５６、５
８、６６、６８、７０、７１…ローラ、４２…止めね
じ、５０…真空ダクト、５４…ピンホール、６４…駆動
モータ、６７…駆動軸、６９…フライホイール、７３、
７４…センサ、７６…工具キャリッジ（被駆動部材）、
８８…ハニカム構造体、９０…工具、９１…工具作業
面、９２、９４…シート、９５…接着剤層、９９…サイ
ドパネル、１００…ＤＡコンバータ、２００…ラグカウ
ンタ、３００…サーボシステムのアンプ。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ２次元位置決め装置のための軽量テーブ
    ルにおいて、平坦な作業表面を画成する第１シート（９
    ２）、平坦な底面を画成する第２シート（９４）、及び
    該テーブルの一般的形状を画成する内部構造体（８８）
    を有し、内部構造体が第１面及び第１面と反対側の第２
    面を有し、内部構造体の第１面が平坦な作業表面と反対
    側の第１シート（９２）の面に接着剤層（９５）により
    結合され、内部構造体の第２面が平坦な底面と反対側の
    第２シート（９４）の面に接着剤層（９５）により結合
    され、内部構造体が第１シート及び第２シートを互いに
    平行で間隔を置いた関係に位置させ、内部構造体が更に
    複数の側面を画成する横方向外側へ延びる縁を有し、複
    数の側面シート（９９）が内部構造体の複数の側面の数
    に対応し、複数の側面シート（９９）の各々が内部構造
    体の側面の各々の１個に接着剤層により結合され、複数
    の側面と第１シート及び第２シートの間の境界面に存在
    する接着剤（９５）が該境界面をシールし内部構造体に
    空気密封性の周囲面を提供することを特徴とするテーブ
    ル。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の軽量テーブルにおい
    て、内部構造体が室の集合体を有するハニカム構造体で
    あり、接着剤層が第１及び第２シートを内部構造体に結
    合しハニカム構造体の個々の室を軽量テーブル内にシー
    ルすることを特徴とするテーブル。
  3. 【請求項３】 請求項２に記載の軽量テーブルにおい
    て、ピンホールが第１シート材料を通って形成され、ピ
    ンホール（５４）の各々の位置がハニカム構造体のシー
    ルされた個々の室に対応し、ハニカム構造体の室が室を
    通る横方向の孔を有することを特徴とするテーブル。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載の軽量テーブルにおい
    て、ダクト（５０）が、複数の側面パネルの１個に形成
    され、真空源を横方向の孔及びピンホールを介して連通
    させることを特徴とするテーブル。
  5. 【請求項５】 第１面及び第２面を有する支持内部構造
    体上に平坦な表面を形成する方法において、工具の正確
    に平坦な上部作業面上に薄いシート材料を置き薄いシー
    ト材料を上部作業面の正確に平坦な斜面に順応させ、接
    着剤層を工具の上部作業面に接触させることなく薄いシ
    ート材料の表面に加え、支持内部構造体をその第１面が
    接着剤層に向かい合うように接着剤層上に位置決めし、
    支持内部構造体を薄いシート材料に向けて動かし支持内
    部構造体の第１面を接着剤層を介して移動させ、支持内
    部構造体の第１面の縁が薄いシート材料に接触しないこ
    とによって形成されるあらゆる間隙が接着剤によって充
    填され、接着剤が置かれ硬化することを可能にし、薄い
    シート材料に上部作業面によって画成される平坦な斜面
    が剛固に保持されることを特徴とする方法。
  6. 【請求項６】 請求項５に記載の第１面及び第２面を有
    する支持内部構造体上に平坦な表面を形成する方法にお
    いて、室の集合体によって画成されるハニカム構造体か
    ら成る支持内部構造体を用意することを特徴とする方
    法。
  7. 【請求項７】 請求項６に記載の第１面及び第２面を有
    する支持内部構造体上に平坦な表面を形成する方法にお
    いて、工具の上部作業面から支持内部構造体及び薄いシ
    ート材料を取り除き、別の薄いシート材料を用意し、別
    のシート材料を工具の正確に平坦な上部作業面上に置き
    別のシート材料を工具の上部作業面の正確に平坦な斜面
    に順応させ、接着剤層を工具の上部作業面に接触させる
    ことなく別の薄いシート材料の表面に加え、支持内部構
    造体をその第２面が別の薄いシート材料に加えられた接
    着剤層に向かい合うように接着剤層上に位置決めし、支
    持内部構造体を別の薄いシート材料に向けて動かし支持
    内部構造体の第２面を別の薄いシート材料に加えられた
    接着剤層を介して移動させ、支持内部構造体の第２面の
    縁が別の薄いシート材料に接触しないことによって形成
    されるあらゆる間隙が接着剤によって充填され、接着剤
    が置かれ硬化することを可能にし、薄いシート材料に上
    部作業面によって画成される平坦な形状が剛固に保持さ
    れ、接着剤層が内部構造体の第１面及び第２面を薄いシ
    ート材料に結合させ、ハニカム内部構造体の室を空気密
    封状態に個々にシールすることを特徴とする方法。
  8. 【請求項８】 請求項７に記載の第１面及び第２面を有
    する支持内部構造体上に平坦な表面を形成する方法にお
    いて、２枚の薄いシート材料がアルミニウムから作られ
    ることを特徴とする方法。
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