JPH0723427B2 - ポリアミド酸膜の熱硬化方法 - Google Patents
ポリアミド酸膜の熱硬化方法Info
- Publication number
- JPH0723427B2 JPH0723427B2 JP15013986A JP15013986A JPH0723427B2 JP H0723427 B2 JPH0723427 B2 JP H0723427B2 JP 15013986 A JP15013986 A JP 15013986A JP 15013986 A JP15013986 A JP 15013986A JP H0723427 B2 JPH0723427 B2 JP H0723427B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polyamic acid
- film
- thermosetting
- acid film
- colored
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、ポリアミド酸膜を熱硬化するための技術で
あり、特に、カラー液晶表示装置、カラービデオカメラ
などに用いられるカラーフィルタの製造に有効に利用す
ることができる技術に関する。この発明は、たとえば、
着色材入りの着色ポリイミド樹脂溶液を用いて着色パタ
ーンを形成した後、その着色パターンを熱処理すること
によって硬化するに際し、その熱処理温度を低減する上
で有効な技術である。
あり、特に、カラー液晶表示装置、カラービデオカメラ
などに用いられるカラーフィルタの製造に有効に利用す
ることができる技術に関する。この発明は、たとえば、
着色材入りの着色ポリイミド樹脂溶液を用いて着色パタ
ーンを形成した後、その着色パターンを熱処理すること
によって硬化するに際し、その熱処理温度を低減する上
で有効な技術である。
（従来の技術） この種のカラーフィルタは、光透過性のガラス基板など
の基体上に、互いに異なる分光特性を有する２以上のフ
ィルタ画素群、一般には、赤、緑、青に対応する３群の
フィルタ画素群を有し、さらに場合によっては、各フィ
ルタ画素の周縁部に黒色の遮光パターンをも有する。
の基体上に、互いに異なる分光特性を有する２以上のフ
ィルタ画素群、一般には、赤、緑、青に対応する３群の
フィルタ画素群を有し、さらに場合によっては、各フィ
ルタ画素の周縁部に黒色の遮光パターンをも有する。
こうしたフィルタ画素あるいは遮光パターンなどの着色
パターンを、着色したポリイミド樹脂溶液を用いて形成
することは、たとえば、特開昭60−237403号、あるいは
同61−77804号の各公報に記載されているように、既に
知られている。
パターンを、着色したポリイミド樹脂溶液を用いて形成
することは、たとえば、特開昭60−237403号、あるいは
同61−77804号の各公報に記載されているように、既に
知られている。
（発明が解決しようとする問題点） ところで、前記着色パターンに充分な耐溶剤性を与える
ためには、たとえば、250℃で１時間というような高温
かつ長時間の熱処理を行なうことによって、その着色パ
ターンを充分に硬化させることが必要である。しかし、
このような熱処理は、作業性を低下させることは勿論の
こと、使用可能な着色材をかなり限定するという問題を
生じる。特に、その問題は、着色材として、ポリイミド
前駆体溶液の溶媒に溶解する染料を用い、しかも、着色
パターンをフォトリソグラフィ技術によって形成すると
きに顕著である。というのは、ある色の着色パターンを
形成し終えた後で、別の色の着色パターンを形成する
際、別の色の着色パターンを形成するための塗布層の中
の溶剤の影響によって、下層の着色パターンの損傷、主
として色溶出が生じやすいからである。
ためには、たとえば、250℃で１時間というような高温
かつ長時間の熱処理を行なうことによって、その着色パ
ターンを充分に硬化させることが必要である。しかし、
このような熱処理は、作業性を低下させることは勿論の
こと、使用可能な着色材をかなり限定するという問題を
生じる。特に、その問題は、着色材として、ポリイミド
前駆体溶液の溶媒に溶解する染料を用い、しかも、着色
パターンをフォトリソグラフィ技術によって形成すると
きに顕著である。というのは、ある色の着色パターンを
形成し終えた後で、別の色の着色パターンを形成する
際、別の色の着色パターンを形成するための塗布層の中
の溶剤の影響によって、下層の着色パターンの損傷、主
として色溶出が生じやすいからである。
こうした問題を防止するため、上下の着色パターン間
に、塗布時に下層のパターンに損傷を生じることのない
保護膜を介在させることも考えられるが、それはカラー
フィルタを厚くし、しかも表面の平坦性を低下するので
得策ではない。
に、塗布時に下層のパターンに損傷を生じることのない
保護膜を介在させることも考えられるが、それはカラー
フィルタを厚くし、しかも表面の平坦性を低下するので
得策ではない。
なお、前記した着色パターンの損傷の問題は、最上層の
保護膜として、ポリアミド酸膜を塗布によって形成する
ような場合にも生じる。
保護膜として、ポリアミド酸膜を塗布によって形成する
ような場合にも生じる。
この発明は、上下の着色パターン間に保護膜を介在させ
ることなく、硬化のための熱処理条件を緩和可能な技術
を提供することを目的とする。
ることなく、硬化のための熱処理条件を緩和可能な技術
を提供することを目的とする。
また、この発明は、透明なポリアミド酸保護膜の新しい
熱硬化の技術を提供することも目的とする。
熱硬化の技術を提供することも目的とする。
（問題点を解決するための手段） この発明では、硬化のための熱処理に先立ち、ポリアミ
ド酸膜（ポリイミド系の着色パターンや保護膜などであ
り、着色パターンの場合、その膜はプレベークにより一
部がイミド化している）を脂肪族ジアミン溶液で処理す
るようにしている。ここにいう処理とは、ジアミン溶液
をポリアミド酸に接触させることであり、ディッピング
法が最適である。なお、ジアミン化合物には、脂肪族の
ほか芳香族のものもあるが、芳香族のものは反応性が劣
り、効果的でない。
ド酸膜（ポリイミド系の着色パターンや保護膜などであ
り、着色パターンの場合、その膜はプレベークにより一
部がイミド化している）を脂肪族ジアミン溶液で処理す
るようにしている。ここにいう処理とは、ジアミン溶液
をポリアミド酸に接触させることであり、ディッピング
法が最適である。なお、ジアミン化合物には、脂肪族の
ほか芳香族のものもあるが、芳香族のものは反応性が劣
り、効果的でない。
脂肪族ジアミン溶液は、エチレンジアミン、ヘプタンジ
アミン、ヘキサメチレンジアミンなどの脂肪族ジアミン
化合物を、ベンゼン、エタノールなどのアルコール類、
メチルセロソルブなどのセロソルブ類、トリクレンのな
どの有機溶剤、水、あるいはこれらの混合したものに溶
かした液である。ディッピングの場合、数十秒から数十
分程度ディッピングし、その後、上記の適当な溶剤でリ
ンスを行なう。このとき、溶液の液温は常温から沸点の
間に保てば良い。また、着色パターンをフォトリソグラ
フィ技術によって形成する場合、脂肪族ジアミン溶液に
よる処理は、フォトレジストの剥離後、あるいは剥離後
に熱処理を施してから行なうことができる。
アミン、ヘキサメチレンジアミンなどの脂肪族ジアミン
化合物を、ベンゼン、エタノールなどのアルコール類、
メチルセロソルブなどのセロソルブ類、トリクレンのな
どの有機溶剤、水、あるいはこれらの混合したものに溶
かした液である。ディッピングの場合、数十秒から数十
分程度ディッピングし、その後、上記の適当な溶剤でリ
ンスを行なう。このとき、溶液の液温は常温から沸点の
間に保てば良い。また、着色パターンをフォトリソグラ
フィ技術によって形成する場合、脂肪族ジアミン溶液に
よる処理は、フォトレジストの剥離後、あるいは剥離後
に熱処理を施してから行なうことができる。
（作 用） 脂肪族ジアミン溶液による処理を行なうと、ポリアミド
酸分子中のカルボキシル基にアミンが反応してアミドを
形成する（つまり、架橋反応を生じる）ことになり、着
色パターンの硬化のための熱処理温度をたとえば数十度
低下させたり、あるいは熱処理時間をたとえば半分程度
に短縮することができる。
酸分子中のカルボキシル基にアミンが反応してアミドを
形成する（つまり、架橋反応を生じる）ことになり、着
色パターンの硬化のための熱処理温度をたとえば数十度
低下させたり、あるいは熱処理時間をたとえば半分程度
に短縮することができる。
したがって、たとえば、カラーフィルタにおける着色パ
ターンに適用する場合、使用可能な染料の範囲が広が
り、たとえば、色調が鮮やかなトリフェニルメタン系の
染料がかなり使用可能となる。
ターンに適用する場合、使用可能な染料の範囲が広が
り、たとえば、色調が鮮やかなトリフェニルメタン系の
染料がかなり使用可能となる。
（実施例１） ザポンファーストブルーHFL（BASF社製、商品名）:4.0
g、アイゼンスピロンイエローGRLH（保土ヶ谷化学社
製、商品名）:4.5g、ポリアミド酸を主体としたポリイ
ミド前駆体溶液セミコファイン910（東レ社製、商品
名）:50g、メチルセロソルブ:85g、シランカップリング
剤KBM573（信越化学社製、商品名）:0.2gから成る着色
ポリイミド樹脂溶液を準備し、それをガラス基板上にス
ピンコータあるいはロールコータでコーティングするこ
とによって、着色被膜を形成し、ついで、そのガラス基
板を加熱したホットプレートの上に載せて155℃で５分
間プレベークした。これにポジタイプのフォトレジスト
のマイクロポジット1400−27（シプレイ・ファーイース
ト社製、商品名）をスピンコータでコーティングし、11
0℃で３分間処理して紫外線露光後、アルカリ現像液MF
−312（シプレイ・ファーイースト社製、商品名）を用
いて現像することによって、緑色の着色パターンを形成
した。
g、アイゼンスピロンイエローGRLH（保土ヶ谷化学社
製、商品名）:4.5g、ポリアミド酸を主体としたポリイ
ミド前駆体溶液セミコファイン910（東レ社製、商品
名）:50g、メチルセロソルブ:85g、シランカップリング
剤KBM573（信越化学社製、商品名）:0.2gから成る着色
ポリイミド樹脂溶液を準備し、それをガラス基板上にス
ピンコータあるいはロールコータでコーティングするこ
とによって、着色被膜を形成し、ついで、そのガラス基
板を加熱したホットプレートの上に載せて155℃で５分
間プレベークした。これにポジタイプのフォトレジスト
のマイクロポジット1400−27（シプレイ・ファーイース
ト社製、商品名）をスピンコータでコーティングし、11
0℃で３分間処理して紫外線露光後、アルカリ現像液MF
−312（シプレイ・ファーイースト社製、商品名）を用
いて現像することによって、緑色の着色パターンを形成
した。
次に、セロソルブアセテートにディッピングしてフォト
レジストを剥離した後、常温の0.5％ヘキサメチレンジ
アミン水溶液に１分間ディッピングし、ついで水でリン
スして乾燥した。これを250℃で15分間ポーストベーク
し次色の着色パターン形成用の着色被膜を堆積すること
ができた。なお、ジアミン溶液で処理をしなかった場
合、次色の着色被膜を堆積するためには、250℃で１時
間程度の熱処理が必要であった。
レジストを剥離した後、常温の0.5％ヘキサメチレンジ
アミン水溶液に１分間ディッピングし、ついで水でリン
スして乾燥した。これを250℃で15分間ポーストベーク
し次色の着色パターン形成用の着色被膜を堆積すること
ができた。なお、ジアミン溶液で処理をしなかった場
合、次色の着色被膜を堆積するためには、250℃で１時
間程度の熱処理が必要であった。
（実施例２） 実施例に基づいて緑色の着色パターンを形成したガラス
基板上に、カヤノールシアニン6B（日本化薬社製、商品
名）:6g、セミコファイン910:50g、メチルセロソルプ:8
5g、KBM573:0.2gから成る着色ポリイミド樹脂溶液を前
記と同じくコーティングすることによって着色被膜を形
成し、ついで、フォトレジストの剥離まで実施例１と同
様に処理した。これを常温の0.5％ヘキサメチレンジア
ミンのエタノール溶液に２分間ディッピングし、ついで
エタノールでのリンス後乾燥した。さらに、220℃で30
分間ポーストベークし次色の着色パターン形成用の着色
被膜を堆積することができた。なお、ジアミン溶液で処
理しない場合、この熱処理条件では次色の着色被膜の堆
積時に色の溶出が避けられなかった。しかし、熱による
染料の退色が生じるため、ポーストベークの温度をそれ
以上に上げることもできなかった。
基板上に、カヤノールシアニン6B（日本化薬社製、商品
名）:6g、セミコファイン910:50g、メチルセロソルプ:8
5g、KBM573:0.2gから成る着色ポリイミド樹脂溶液を前
記と同じくコーティングすることによって着色被膜を形
成し、ついで、フォトレジストの剥離まで実施例１と同
様に処理した。これを常温の0.5％ヘキサメチレンジア
ミンのエタノール溶液に２分間ディッピングし、ついで
エタノールでのリンス後乾燥した。さらに、220℃で30
分間ポーストベークし次色の着色パターン形成用の着色
被膜を堆積することができた。なお、ジアミン溶液で処
理しない場合、この熱処理条件では次色の着色被膜の堆
積時に色の溶出が避けられなかった。しかし、熱による
染料の退色が生じるため、ポーストベークの温度をそれ
以上に上げることもできなかった。
以上の各実施例は、複数ある着色パターンの各々に対し
ジアミン溶液による処理をするようにしているが、最後
の着色パターン形成時に処理を行うことにより、全色の
耐溶剤性を向上させ、その上にポリイミド系あるいはそ
の他の保護膜を形成することもできる。この例によれ
ば、各着色パターンをスクリーン印刷によって形成する
場合にも、この発明が適用可能であることが理解される
であろう。また、この発明は、透明なポリイミド系の保
護膜を容易に硬化させる手法としても適用することがで
きる。
ジアミン溶液による処理をするようにしているが、最後
の着色パターン形成時に処理を行うことにより、全色の
耐溶剤性を向上させ、その上にポリイミド系あるいはそ
の他の保護膜を形成することもできる。この例によれ
ば、各着色パターンをスクリーン印刷によって形成する
場合にも、この発明が適用可能であることが理解される
であろう。また、この発明は、透明なポリイミド系の保
護膜を容易に硬化させる手法としても適用することがで
きる。
（発明の効果） この発明によれば、ポリアミド酸膜を硬化させるに先立
ち、その膜を脂肪族ジアミンに接触させるようにしてい
るので、それに続く硬化のための熱処理条件をかなり緩
和することができ、作業性の向上および品質の安定化を
図ることができる。また、この発明をカラーフィルタの
着色パターンに適用すれば、熱処理条件の緩和に伴っ
て、着色剤としての染料の選択の幅をかなり広げ、色特
性の良好なカラーフィルタを提供することができる。さ
らには、脂肪族ジアミンは水溶液として用いることがで
きるので、取扱いも容易であり、また水が溶媒であるこ
とから、コスト高とならない。しかもまた、公害上の問
題もなく、作業員に対する悪影響もなく、安全性も高
い。
ち、その膜を脂肪族ジアミンに接触させるようにしてい
るので、それに続く硬化のための熱処理条件をかなり緩
和することができ、作業性の向上および品質の安定化を
図ることができる。また、この発明をカラーフィルタの
着色パターンに適用すれば、熱処理条件の緩和に伴っ
て、着色剤としての染料の選択の幅をかなり広げ、色特
性の良好なカラーフィルタを提供することができる。さ
らには、脂肪族ジアミンは水溶液として用いることがで
きるので、取扱いも容易であり、また水が溶媒であるこ
とから、コスト高とならない。しかもまた、公害上の問
題もなく、作業員に対する悪影響もなく、安全性も高
い。
Claims (5)
- 【請求項１】ポリアミド酸膜を熱硬化するに際し、ま
ず、前記の膜を脂肪族ジアミンと接触させることによ
り、ポリアミド酸中のカルボキシル基にアミンを反応さ
せアミド化し、ついで、前記の膜を熱処理することによ
って硬化させることを特徴とするポリアミド酸膜の熱硬
化方法。 - 【請求項２】前記ポリアミド酸膜は、プリベーク処理し
た膜であって、カラーフィルタにおけるポリイミド系の
着色パターンである、特許請求の範囲第１項に記載のポ
リアミド酸膜の熱硬化方法。 - 【請求項３】前記ポリイミド系の着色パターンは、ポリ
イミド前駆体溶液の中に、着色材を混入して成る着色ポ
リイミド樹脂溶液を用いて被膜を形成し、その被膜をパ
ターニングして得た膜である、特許請求の範囲第２項に
記載のポリアミド酸膜の熱硬化方法。 - 【請求項４】前記着色材は、ポリイミド前駆体溶液の溶
媒に溶解する染料である、特許請求の範囲第３項に記載
のポリアミド酸膜の熱硬化方法。 - 【請求項５】前記ポリアミド酸膜は、カラーフィルタに
おける透明な保護膜である、特許請求の範囲第１項に記
載のポリアミド酸膜の熱硬化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15013986A JPH0723427B2 (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | ポリアミド酸膜の熱硬化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15013986A JPH0723427B2 (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | ポリアミド酸膜の熱硬化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS636503A JPS636503A (ja) | 1988-01-12 |
| JPH0723427B2 true JPH0723427B2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=15490342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15013986A Expired - Fee Related JPH0723427B2 (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 | ポリアミド酸膜の熱硬化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0723427B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0725570B2 (ja) * | 1988-05-31 | 1995-03-22 | 日本特殊陶業株式会社 | 着色結晶化ガラス体とその製造法 |
| JP2642253B2 (ja) * | 1991-02-27 | 1997-08-20 | 日本特殊陶業株式会社 | ガラス−セラミックス複合体 |
| JPH05255502A (ja) * | 1991-08-14 | 1993-10-05 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ポリイミドの製造方法 |
| WO2011043467A1 (ja) | 2009-10-09 | 2011-04-14 | 宇部興産株式会社 | 着色ポリイミド成形体及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59133232A (ja) * | 1983-01-21 | 1984-07-31 | Hitachi Ltd | ポリイミドのエツチング方法 |
| JPS60247603A (ja) * | 1984-05-24 | 1985-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−フイルタ− |
-
1986
- 1986-06-26 JP JP15013986A patent/JPH0723427B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59133232A (ja) * | 1983-01-21 | 1984-07-31 | Hitachi Ltd | ポリイミドのエツチング方法 |
| JPS60247603A (ja) * | 1984-05-24 | 1985-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−フイルタ− |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS636503A (ja) | 1988-01-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05241012A (ja) | 液晶表示用カラ−フィルタの製造方法 | |
| JP2001004823A (ja) | カラーフィルター | |
| JPH0723427B2 (ja) | ポリアミド酸膜の熱硬化方法 | |
| JPS6078401A (ja) | 色フイルタおよびその製造方法 | |
| JPS61180203A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPH0569201B2 (ja) | ||
| JP2819512B2 (ja) | カラーフイルター用着色組成物、カラーフイルターの製造方法及びカラーフイルター | |
| JP2787679B2 (ja) | カラーフイルター | |
| JPS61267004A (ja) | カラ−フイルタの形成方法 | |
| JPS59155830A (ja) | 液晶カラ−表示用カラ−パネル板の製造方法 | |
| JPS6177804A (ja) | カラ−フィルタの製造方法 | |
| KR940004279B1 (ko) | 칼라필터 제조방법 | |
| JP3183423B2 (ja) | カラーフィルタ | |
| JP2991271B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPS6259901A (ja) | 液晶表示装置用カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JPS63220203A (ja) | カラ−フイルタ− | |
| JP2701168B2 (ja) | カラーフィルター | |
| JPS6151286B2 (ja) | ||
| JPH0587310B2 (ja) | ||
| JP2001011331A (ja) | 新規フタロシアニン類及びカラーフィルター | |
| JPH04218001A (ja) | カラーフィルター | |
| JPH10148713A (ja) | カラーフィルター | |
| JPH03135521A (ja) | 液晶表示素子用カラーフィルタおよびその製造方法 | |
| JPH07113688B2 (ja) | カラーフィルタ用塗布材料 | |
| JPS63124002A (ja) | カラーフィルター、その製造方法およびこれを用いた素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |