JP2991271B2 - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
方法に関し、特に液晶ディスプレー用カラーフィルター
の製造方法に関するものである。
方法に関し、特に液晶ディスプレー用カラーフィルター
の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルターとしては、基板
上にゼラチン、カゼイン、グリューあるいはポリビニル
アルコールなどの親水性高分子物質からなる媒染層を設
け、その媒染層を色素で染色して着色層を形成する染色
カラーフィルターが知られている。このような染色法で
は、使用可能な染料が多くカラーフィルターとして要求
される分光特性への対応が比較的容易であるが、媒染層
の染色工程に、染料を溶解させた染色浴中に媒染層を浸
漬するというコントロールの難しい湿式工程を採用して
おり、また各色ごとに防染用の中間層を設けるという複
雑な工程を有するため歩留まりが悪くなる欠点を有して
いる。
上にゼラチン、カゼイン、グリューあるいはポリビニル
アルコールなどの親水性高分子物質からなる媒染層を設
け、その媒染層を色素で染色して着色層を形成する染色
カラーフィルターが知られている。このような染色法で
は、使用可能な染料が多くカラーフィルターとして要求
される分光特性への対応が比較的容易であるが、媒染層
の染色工程に、染料を溶解させた染色浴中に媒染層を浸
漬するというコントロールの難しい湿式工程を採用して
おり、また各色ごとに防染用の中間層を設けるという複
雑な工程を有するため歩留まりが悪くなる欠点を有して
いる。
【０００３】また、染色可能な色素の耐熱性が１５０℃
以下と比較的低く、該フィルターに熱的処理を必要とす
る場合には、使用が困難である上、染色膜自体の耐熱
性、耐光性などの信頼性が劣るという欠点も有してい
る。
以下と比較的低く、該フィルターに熱的処理を必要とす
る場合には、使用が困難である上、染色膜自体の耐熱
性、耐光性などの信頼性が劣るという欠点も有してい
る。
【０００４】これに対して、従来、ある種の着色材料が
透明樹脂中に分散されてなる着色樹脂を用いたカラーフ
ィルターが知られている。例えば、感光性樹脂に着色材
料を混合した感光性着色樹脂膜を用いて、フォトリソ工
程による方法によりカラーフィルターを形成することが
できる。
透明樹脂中に分散されてなる着色樹脂を用いたカラーフ
ィルターが知られている。例えば、感光性樹脂に着色材
料を混合した感光性着色樹脂膜を用いて、フォトリソ工
程による方法によりカラーフィルターを形成することが
できる。
【０００５】このカラーフィルターは、前記染色カラー
フィルターに比べて、信頼性の高い材料を用いることが
できる上、比較的簡便な方法で形成することができ、有
用なカラーフィルターと言える。
フィルターに比べて、信頼性の高い材料を用いることが
できる上、比較的簡便な方法で形成することができ、有
用なカラーフィルターと言える。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな着色材料と感光性樹脂により構成された感光性着色
樹脂を用いて形成したカラーフィルターにおいては、ガ
ラス基板とカラーフィルター材料との密着強度が優れ
ず、第１色目のカラーフィルター形成後、第２色目の材
料塗布時に第１色目のパターンが浮き上がる現象が発生
する。また、プロセス条件によっては、第１色目のパタ
ーンの現像時にパターンそのものが基板上から脱落した
りする。
うな着色材料と感光性樹脂により構成された感光性着色
樹脂を用いて形成したカラーフィルターにおいては、ガ
ラス基板とカラーフィルター材料との密着強度が優れ
ず、第１色目のカラーフィルター形成後、第２色目の材
料塗布時に第１色目のパターンが浮き上がる現象が発生
する。また、プロセス条件によっては、第１色目のパタ
ーンの現像時にパターンそのものが基板上から脱落した
りする。
【０００７】一方、これらのパターンの浮きや脱落を防
ぐためにガラス基板上にシラン系などの密着促進剤を塗
布し、これを下地層にしてその上に第１色目を形成する
方法が考えられる。しかしながら、このような密着を強
固にするための材料を下地層にした場合、逆にカラーフ
ィルター材料との密着性が強すぎるために現像が完全の
行なわれないで、パターン以外の領域で残渣が発生し、
これが原因でカラーフィルターの色の濁りや膜厚の不良
を招き、カラーパネルとしたときに重大な欠陥として現
れ、信頼性を著しく低下させることになる。
ぐためにガラス基板上にシラン系などの密着促進剤を塗
布し、これを下地層にしてその上に第１色目を形成する
方法が考えられる。しかしながら、このような密着を強
固にするための材料を下地層にした場合、逆にカラーフ
ィルター材料との密着性が強すぎるために現像が完全の
行なわれないで、パターン以外の領域で残渣が発生し、
これが原因でカラーフィルターの色の濁りや膜厚の不良
を招き、カラーパネルとしたときに重大な欠陥として現
れ、信頼性を著しく低下させることになる。
【０００８】本発明は、このような従来技術の欠点を改
善するためになされたものであり、基板上に感光性樹脂
中に着色材料を分散させた感光性着色樹脂を用いてカラ
ーフィルターを形成する方法において、基板上にカラー
フィルターの第１色目を形成する前にカラーフィルター
と同一の感光性樹脂材料を塗布し、これを仮硬化した後
に現像液により基板全面に塗布した材料の一部を除去す
る。このとき完全に除去されずに残存した残渣を下地層
にして、この上にカラーフィルターを順次形成してい
く。この方法により、現像時において密着不足によるパ
ターンの剥がれや浮きが発生することがなくなるととも
に、逆に密着強固によるパターニング後の残渣が発生す
ることがない、良好なパネルを提供することができるカ
ラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする
ものである。
善するためになされたものであり、基板上に感光性樹脂
中に着色材料を分散させた感光性着色樹脂を用いてカラ
ーフィルターを形成する方法において、基板上にカラー
フィルターの第１色目を形成する前にカラーフィルター
と同一の感光性樹脂材料を塗布し、これを仮硬化した後
に現像液により基板全面に塗布した材料の一部を除去す
る。このとき完全に除去されずに残存した残渣を下地層
にして、この上にカラーフィルターを順次形成してい
く。この方法により、現像時において密着不足によるパ
ターンの剥がれや浮きが発生することがなくなるととも
に、逆に密着強固によるパターニング後の残渣が発生す
ることがない、良好なパネルを提供することができるカ
ラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする
ものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、基板上
に感光性樹脂中に着色材料を分散させた感光性着色樹脂
を用いて、フォトリソ工程によりパターニングして少な
くとも１色以上のカラーフィルターを形成する方法にお
いて、第１色目形成前にカラーフィルターに用いる感光
性樹脂と同一材料を塗布した後、仮硬化し、カラーフィ
ルター用現像液で一部を剥離して下地層を形成し、該下
地層の上にカラーフィルターを形成することを特徴とす
るカラーフィルターの製造方法である。
に感光性樹脂中に着色材料を分散させた感光性着色樹脂
を用いて、フォトリソ工程によりパターニングして少な
くとも１色以上のカラーフィルターを形成する方法にお
いて、第１色目形成前にカラーフィルターに用いる感光
性樹脂と同一材料を塗布した後、仮硬化し、カラーフィ
ルター用現像液で一部を剥離して下地層を形成し、該下
地層の上にカラーフィルターを形成することを特徴とす
るカラーフィルターの製造方法である。
【００１０】以下、本発明を詳細に説明をする。本発明
は、感光性樹脂中に着色材料を分散させた感光性着色樹
脂を用いて、フォトリソ工程によりパターニングしてカ
ラーフィルターを形成する方法において、カラーフィル
ターの第１色目を形成する前にカラーフィルター材料と
同一の感光性樹脂材料を塗布した後、仮硬化させ、次い
でその一部を剥離し、このとき残存する残渣を下地層と
して用い、この上にカラーフィルターを形成することを
特徴とする。
は、感光性樹脂中に着色材料を分散させた感光性着色樹
脂を用いて、フォトリソ工程によりパターニングしてカ
ラーフィルターを形成する方法において、カラーフィル
ターの第１色目を形成する前にカラーフィルター材料と
同一の感光性樹脂材料を塗布した後、仮硬化させ、次い
でその一部を剥離し、このとき残存する残渣を下地層と
して用い、この上にカラーフィルターを形成することを
特徴とする。
【００１１】本発明に使用するカラーフィルターのベー
ス材料としては感光性樹脂が用いられ、感光性樹脂は特
に制限する必要はないが、好ましくは耐熱性、透明性に
優れた感光性ポリアミド樹脂が用いられる。そして、こ
の感光性樹脂中に着色材料、例えば有機顔料を分散して
感光性着色樹脂として用いる。使用される有機顔料とし
ては、溶性アゾ系、不溶性アゾ系、縮合アゾ系等のアゾ
系顔料やフタロシアニン系顔料、インジゴ系、アントラ
キノン系、ペリレン系、ジオキサン系、その他金属錯体
系を含む縮合多環系顔料が用いられる。
ス材料としては感光性樹脂が用いられ、感光性樹脂は特
に制限する必要はないが、好ましくは耐熱性、透明性に
優れた感光性ポリアミド樹脂が用いられる。そして、こ
の感光性樹脂中に着色材料、例えば有機顔料を分散して
感光性着色樹脂として用いる。使用される有機顔料とし
ては、溶性アゾ系、不溶性アゾ系、縮合アゾ系等のアゾ
系顔料やフタロシアニン系顔料、インジゴ系、アントラ
キノン系、ペリレン系、ジオキサン系、その他金属錯体
系を含む縮合多環系顔料が用いられる。
【００１２】次に、以上説明した感光性着色樹脂材料を
用いてパターンを形成する具体的なプロセスを説明す
る。図１（ａ）〜（ｇ）は本発明のカラーフィルターの
製造方法の一例を示す説明図である。まず、ガラス基板
１上にカラーフィルター材料と同一材料、すなわち感光
性ポリアミド樹脂を塗布し感光性樹脂膜６を形成し、こ
れを約９０℃程度の温度で仮硬化させる（図１（ａ）参
照）。
用いてパターンを形成する具体的なプロセスを説明す
る。図１（ａ）〜（ｇ）は本発明のカラーフィルターの
製造方法の一例を示す説明図である。まず、ガラス基板
１上にカラーフィルター材料と同一材料、すなわち感光
性ポリアミド樹脂を塗布し感光性樹脂膜６を形成し、こ
れを約９０℃程度の温度で仮硬化させる（図１（ａ）参
照）。
【００１３】こののち仮硬化させたポリアミド樹脂をカ
ラーフィルター形成時に用いる専用現像液中で超音波に
曝しながら剥離を行う。ここで塗布された樹脂は１００
％ガラス基板から除去されるわけではなく、厚さ５０〜
１００Å程度にガラス表面上に残渣７として残存する
（図１（ｂ）参照）。このわずか５０〜１００Å程度の
残渣をカラーフィルター形成前の下地層として用いる。
ラーフィルター形成時に用いる専用現像液中で超音波に
曝しながら剥離を行う。ここで塗布された樹脂は１００
％ガラス基板から除去されるわけではなく、厚さ５０〜
１００Å程度にガラス表面上に残渣７として残存する
（図１（ｂ）参照）。このわずか５０〜１００Å程度の
残渣をカラーフィルター形成前の下地層として用いる。
【００１４】次に、この下地層付きガラス基板上に第１
色目のカラーフィルター材料（感光性赤色着色樹脂層２
ａ）を塗布する（図１（ｃ）参照）。これを仮硬化させ
所望のパターンの描画されたマスク３により露光する
（図１（ｄ）参照）。次いで、専用現像液で現像、さら
に専用リンス液リンスしその後本硬化することにより第
１色目のカラーフィルター（赤色着色樹脂パタ−ン２）
を形成する（図１（ｅ）参照）。
色目のカラーフィルター材料（感光性赤色着色樹脂層２
ａ）を塗布する（図１（ｃ）参照）。これを仮硬化させ
所望のパターンの描画されたマスク３により露光する
（図１（ｄ）参照）。次いで、専用現像液で現像、さら
に専用リンス液リンスしその後本硬化することにより第
１色目のカラーフィルター（赤色着色樹脂パタ−ン２）
を形成する（図１（ｅ）参照）。
【００１５】以下、同様にして第２色目（緑色着色樹脂
パタ−ン４）、第３色目（青色着色樹脂パタ−ン５）を
順次形成する（図１（ｆ）参照）。最後に保護膜１１を
全面に成膜することによりカラーフィルター付き基板を
得ることができる（図１（ｇ）参照）。
パタ−ン４）、第３色目（青色着色樹脂パタ−ン５）を
順次形成する（図１（ｆ）参照）。最後に保護膜１１を
全面に成膜することによりカラーフィルター付き基板を
得ることができる（図１（ｇ）参照）。
【００１６】このようにして得られたカラーフィルター
はガラス基板上に直接カラーフィルターを形成したとき
に生じやすい、フィルターパターンの浮きや脱落のよう
な密着不足による不良をなくすことができる。さらに、
密着不足を改善するために用いられる密着促進剤などを
下地層に用いたときに発生する密着強度向上によるフィ
ルターパターン以外の部分の樹脂分および顔料の残渣に
よるパネルのセルギャップ不良や上下基板間での電極の
ショートによる不良などを防ぐことができる。
はガラス基板上に直接カラーフィルターを形成したとき
に生じやすい、フィルターパターンの浮きや脱落のよう
な密着不足による不良をなくすことができる。さらに、
密着不足を改善するために用いられる密着促進剤などを
下地層に用いたときに発生する密着強度向上によるフィ
ルターパターン以外の部分の樹脂分および顔料の残渣に
よるパネルのセルギャップ不良や上下基板間での電極の
ショートによる不良などを防ぐことができる。
【００１７】
【実施例】以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に
説明する。
説明する。
【００１８】実施例１ 図１（ａ）〜（ｇ）に示す方法により、カラーフィルタ
ーを製造した。先ず、図１（ａ）に示すように、ガラス
基板（厚さ１．１ｍｍ）１上にスピンナーにより感光性
樹脂（ＰＡ−１０００Ｃ、宇部興産社製）をコーティン
グした（膜厚：１．５μｍ）。この感光性樹脂膜６を、
９０℃のホットプレート上で５分間仮硬化させた。その
後、専用現像液（ＰＡ−ＥＬ、宇部興産社製）中に浸漬
し１２０秒間現像液中で超音波をかけ感光性樹脂膜６を
溶解除去した。このとき、樹脂膜６は完全に除去でき
ず、厚さ５０〜８０Å程度は残渣７として残存している
（図１（ｂ）参照）。この残渣７を下地層とし、この上
に感光性赤色着色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｒ、宇部興産社
製）をスピンナーにより１．５μｍの膜厚に塗布し感光
性赤色着色樹脂２ａを形成した。次いで、９０℃のホッ
トプレート上で５分仮硬化させ、その後所望の赤色パタ
ーンをマスクアライナーにより５００ｍＪのエネルギー
で露光した（図１（ｃ），（ｄ）参照）。
ーを製造した。先ず、図１（ａ）に示すように、ガラス
基板（厚さ１．１ｍｍ）１上にスピンナーにより感光性
樹脂（ＰＡ−１０００Ｃ、宇部興産社製）をコーティン
グした（膜厚：１．５μｍ）。この感光性樹脂膜６を、
９０℃のホットプレート上で５分間仮硬化させた。その
後、専用現像液（ＰＡ−ＥＬ、宇部興産社製）中に浸漬
し１２０秒間現像液中で超音波をかけ感光性樹脂膜６を
溶解除去した。このとき、樹脂膜６は完全に除去でき
ず、厚さ５０〜８０Å程度は残渣７として残存している
（図１（ｂ）参照）。この残渣７を下地層とし、この上
に感光性赤色着色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｒ、宇部興産社
製）をスピンナーにより１．５μｍの膜厚に塗布し感光
性赤色着色樹脂２ａを形成した。次いで、９０℃のホッ
トプレート上で５分仮硬化させ、その後所望の赤色パタ
ーンをマスクアライナーにより５００ｍＪのエネルギー
で露光した（図１（ｃ），（ｄ）参照）。
【００１９】次に、これを専用現像液（ＰＡ−ＥＬ 宇
部興産社製）中に浸漬し７０秒間超音波に曝し、未露光
部を溶解除去した。さらに専用リンス液（ＲＰＡ−５
１）中に３０秒間浸漬しリンスし、この基板をエアナイ
フにより乾燥を行った。
部興産社製）中に浸漬し７０秒間超音波に曝し、未露光
部を溶解除去した。さらに専用リンス液（ＲＰＡ−５
１）中に３０秒間浸漬しリンスし、この基板をエアナイ
フにより乾燥を行った。
【００２０】さらにクリーンオーブン中で２００℃、３
０分間ポストベークすることにより赤色着色樹脂パタ−
ン２を得た（図１（ｅ）参照）。以後同様にして緑色着
色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｇ 宇部興産社製）、青色着色
樹脂（ＰＡ−１０１２Ｂ 宇部興産社製）を用いて緑色
着色樹脂パタ−ン４、青色着色樹脂パタ−ン５を順次形
成した（図１（ｆ）参照）。
０分間ポストベークすることにより赤色着色樹脂パタ−
ン２を得た（図１（ｅ）参照）。以後同様にして緑色着
色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｇ 宇部興産社製）、青色着色
樹脂（ＰＡ−１０１２Ｂ 宇部興産社製）を用いて緑色
着色樹脂パタ−ン４、青色着色樹脂パタ−ン５を順次形
成した（図１（ｆ）参照）。
【００２１】以上３色形成した後に、スピンにより保護
膜（ＰＡ−１０００Ｃ 宇部興産社製）１１を１．５μ
ｍの膜厚に設け、ホットプレートによりプリベーク（９
０℃、３分）し紫外光により８００ｍＪ／ｃｍ2 のエネ
ルギーで全面露光した。そして、最後にホットプレート
中で、２５０℃、３０分ポストベークをし、赤、緑、青
のカラーフィルターを得た（図１（ｇ）参照）。いずれ
のカラーフィルターもトビや剥離は観測されなかった。
膜（ＰＡ−１０００Ｃ 宇部興産社製）１１を１．５μ
ｍの膜厚に設け、ホットプレートによりプリベーク（９
０℃、３分）し紫外光により８００ｍＪ／ｃｍ2 のエネ
ルギーで全面露光した。そして、最後にホットプレート
中で、２５０℃、３０分ポストベークをし、赤、緑、青
のカラーフィルターを得た（図１（ｇ）参照）。いずれ
のカラーフィルターもトビや剥離は観測されなかった。
【００２２】同様にして、例えば感光性ポリイミド樹脂
（ＰＡ−３００ 宇部興産製）をコーティングした後溶
解除去し、しかる後カラーフィルターを形成しても同様
の効果が得られ、パターンのトビや剥離は観測されなか
った。
（ＰＡ−３００ 宇部興産製）をコーティングした後溶
解除去し、しかる後カラーフィルターを形成しても同様
の効果が得られ、パターンのトビや剥離は観測されなか
った。
【００２３】比較例１ 図２（ａ）〜（ｅ）に示す方法により、カラーフィルタ
ーを製造した。先ず、図２（ａ）に示すように、ガラス
基板（厚さ１．１ｍｍ）１上にスピンナーにより感光性
赤色着色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｒ 宇部興産社製）をコ
ーティングし、１．６μｍの厚さの感光性赤色着色樹脂
層２ａを形成した。そして、ホットプレート上で９０
℃、５分の温度と時間によりプリベークを行った。その
後、フォトマスで露光した（図２（ｂ）参照）。この露
光により、感光性着色樹脂は光硬化し、現像液に不溶と
なる。
ーを製造した。先ず、図２（ａ）に示すように、ガラス
基板（厚さ１．１ｍｍ）１上にスピンナーにより感光性
赤色着色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｒ 宇部興産社製）をコ
ーティングし、１．６μｍの厚さの感光性赤色着色樹脂
層２ａを形成した。そして、ホットプレート上で９０
℃、５分の温度と時間によりプリベークを行った。その
後、フォトマスで露光した（図２（ｂ）参照）。この露
光により、感光性着色樹脂は光硬化し、現像液に不溶と
なる。
【００２４】その後、専用現像液（ＰＡ−ＥＬ 宇部興
産社製）に浸漬し、現像液中で超音波を７０秒かけて未
露光部分を溶解除去したのち、さらに専用リンス液（Ｒ
ＰＡ−５１）中に３０秒間浸漬しリンスし、この基板を
エアナイフにより乾燥させたところカラーフィルターパ
ターンの浮きや脱落が観察された。この基板をクリーン
オーブン中で２００℃、３０分間ポストベークを行い赤
色パターニング基板を得た（図２（ｃ）参照）。２ｂは
赤色着色樹脂片、８は脱落部を示す。
産社製）に浸漬し、現像液中で超音波を７０秒かけて未
露光部分を溶解除去したのち、さらに専用リンス液（Ｒ
ＰＡ−５１）中に３０秒間浸漬しリンスし、この基板を
エアナイフにより乾燥させたところカラーフィルターパ
ターンの浮きや脱落が観察された。この基板をクリーン
オーブン中で２００℃、３０分間ポストベークを行い赤
色パターニング基板を得た（図２（ｃ）参照）。２ｂは
赤色着色樹脂片、８は脱落部を示す。
【００２５】以後同様にして、緑色着色樹脂（ＰＡ−１
０１２Ｇ 宇部興産社製）、青色着色樹脂（ＰＡ−１０
１２Ｂ 宇部興産社製）を用いて緑色着色樹脂パタ−ン
４、青色着色樹脂パタ−ン５を順次形成した（図２
（ｄ）参照）。
０１２Ｇ 宇部興産社製）、青色着色樹脂（ＰＡ−１０
１２Ｂ 宇部興産社製）を用いて緑色着色樹脂パタ−ン
４、青色着色樹脂パタ−ン５を順次形成した（図２
（ｄ）参照）。
【００２６】以上３色形成した後に、スピンにより保護
膜（ＰＡ−１０００Ｃ 宇部興産社製）１１を１．５μ
ｍの膜厚に設け、ホットプレートによりプリベーク（９
０℃、３分）し紫外光により８００ｍＪ／ｃｍ2 のエネ
ルギーで全面露光した。そして、最後にクリーンオーブ
ン中で、２５０℃、３０分ポストベークをし、赤、緑、
青のカラーフィルターを得た（図２（ｅ）参照）。この
ようにガラス基板上に直接カラーフィルターを形成した
ときはパターンの浮きや剥がれが発生してしまい、全く
使用できる状態にはならなかった。
膜（ＰＡ−１０００Ｃ 宇部興産社製）１１を１．５μ
ｍの膜厚に設け、ホットプレートによりプリベーク（９
０℃、３分）し紫外光により８００ｍＪ／ｃｍ2 のエネ
ルギーで全面露光した。そして、最後にクリーンオーブ
ン中で、２５０℃、３０分ポストベークをし、赤、緑、
青のカラーフィルターを得た（図２（ｅ）参照）。この
ようにガラス基板上に直接カラーフィルターを形成した
ときはパターンの浮きや剥がれが発生してしまい、全く
使用できる状態にはならなかった。
【００２７】比較例２ 図３（ａ）〜（ｆ）に示す方法により、カラーフィルタ
ーを製造した。先ず、図３（ａ）に示すように、ガラス
基板（厚さ１．１ｍｍ）１上にスピンナーにより密着促
進剤（ＫＢＭ−６０２ 信越シリコン社製）を塗布した
（図３（ａ）参照）。この密着促進剤膜９を、２５０℃
のホットプレート上で１０分間硬化させた。
ーを製造した。先ず、図３（ａ）に示すように、ガラス
基板（厚さ１．１ｍｍ）１上にスピンナーにより密着促
進剤（ＫＢＭ−６０２ 信越シリコン社製）を塗布した
（図３（ａ）参照）。この密着促進剤膜９を、２５０℃
のホットプレート上で１０分間硬化させた。
【００２８】その後、この下地層付きガラス基板上に感
光性赤色着色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｒ 宇部興産社製）
をスピンナーにより１．５μｍの膜厚に塗布し、９０℃
のホットプレート上で５分仮硬化させ、その後所望の赤
色パターンをマスクアライナーにより５００ｍＪのエネ
ルギーで露光した（図３（ｂ），（ｃ）参照）。
光性赤色着色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｒ 宇部興産社製）
をスピンナーにより１．５μｍの膜厚に塗布し、９０℃
のホットプレート上で５分仮硬化させ、その後所望の赤
色パターンをマスクアライナーにより５００ｍＪのエネ
ルギーで露光した（図３（ｂ），（ｃ）参照）。
【００２９】次に、これを専用現像液（ＰＡ−ＥＬ 宇
部興産社製）中に浸漬し１２０秒間超音波に曝し、未露
光部を溶解除去した。さらに専用リンス液（ＲＰＡ−５
１）中に３０秒間浸漬しリンスし、この基板をエアナイ
フにより乾燥を行った。このとき赤色パターン部以外の
場所に樹脂および顔料の残渣１０が厚さ２００〜３００
Å程度付着してしまい密着が強固なため除去不可能であ
った（図３（ｄ）参照）。
部興産社製）中に浸漬し１２０秒間超音波に曝し、未露
光部を溶解除去した。さらに専用リンス液（ＲＰＡ−５
１）中に３０秒間浸漬しリンスし、この基板をエアナイ
フにより乾燥を行った。このとき赤色パターン部以外の
場所に樹脂および顔料の残渣１０が厚さ２００〜３００
Å程度付着してしまい密着が強固なため除去不可能であ
った（図３（ｄ）参照）。
【００３０】さらに，クリーンオーブン中で２００℃、
３０分間ポストベークすることにより赤色着色樹脂パタ
ーン２を得た（図３（ｄ）参照）。以後同様にして緑色
着色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｇ 宇部興産社製）、青色着
色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｂ宇部興産社製）を用いて緑色
着色樹脂パタ−ン４、青色着色樹脂パタ−ン５を順次形
成した（図３（ｅ）参照）。
３０分間ポストベークすることにより赤色着色樹脂パタ
ーン２を得た（図３（ｄ）参照）。以後同様にして緑色
着色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｇ 宇部興産社製）、青色着
色樹脂（ＰＡ−１０１２Ｂ宇部興産社製）を用いて緑色
着色樹脂パタ−ン４、青色着色樹脂パタ−ン５を順次形
成した（図３（ｅ）参照）。
【００３１】以上３色形成した後に、スピンにより保護
膜（ＰＡ−１０００Ｃ 宇部興産社製）を１．５μｍの
膜厚に設け、ホットプレートによりプリベーク（９０
℃、３分）し紫外光により８００ｍＪ／ｃｍ2 のエネル
ギーで全面露光した。そして、最後にホットプレート中
で、２５０℃、３０分ポストベークをし、赤、緑、青の
カラーフィルターを得た（図３（ｆ）参照）。
膜（ＰＡ−１０００Ｃ 宇部興産社製）を１．５μｍの
膜厚に設け、ホットプレートによりプリベーク（９０
℃、３分）し紫外光により８００ｍＪ／ｃｍ2 のエネル
ギーで全面露光した。そして、最後にホットプレート中
で、２５０℃、３０分ポストベークをし、赤、緑、青の
カラーフィルターを得た（図３（ｆ）参照）。
【００３２】以上のようにして得られたカラーフィルタ
ー形成済み基板は樹脂および顔料の残渣が多く付着して
いるため、パネルにしたときにこれが原因となってセル
ギャプ不良を招いたり、電極の上下ショートなども発生
してしまった。
ー形成済み基板は樹脂および顔料の残渣が多く付着して
いるため、パネルにしたときにこれが原因となってセル
ギャプ不良を招いたり、電極の上下ショートなども発生
してしまった。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板上に感光性樹脂中に着色材料を分散させた感光性着
色樹脂を用いてカラーフィルターを形成する方法におい
て、カラーフィルターの第１色目を形成する前に、カラ
ーフィルター材料と同一の感光性樹脂を塗布し、これを
仮硬化した後に現像液で一部分を溶解除去させ、この際
に残存する５０〜１００Å程度の残渣を下地層として形
成し、この上にカラーフィルターを順次形成することに
より、従来発生しがちであったパターンの浮きや脱落が
なく、また下地層にシラン系などの密着促進剤を用いた
場合に密着が強固なために発生する樹脂および顔料を含
んだ多くの残渣もなく良好なカラーフィルターパターン
を製造することができた。
基板上に感光性樹脂中に着色材料を分散させた感光性着
色樹脂を用いてカラーフィルターを形成する方法におい
て、カラーフィルターの第１色目を形成する前に、カラ
ーフィルター材料と同一の感光性樹脂を塗布し、これを
仮硬化した後に現像液で一部分を溶解除去させ、この際
に残存する５０〜１００Å程度の残渣を下地層として形
成し、この上にカラーフィルターを順次形成することに
より、従来発生しがちであったパターンの浮きや脱落が
なく、また下地層にシラン系などの密着促進剤を用いた
場合に密着が強固なために発生する樹脂および顔料を含
んだ多くの残渣もなく良好なカラーフィルターパターン
を製造することができた。
【図１】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例を
示す工程図である。
示す工程図である。
【図２】比較例１のカラーフィルターの製造方法を示す
工程図である。
工程図である。
【図３】比較例２のカラーフィルターの製造方法を示す
工程図である。
工程図である。
１ ガラス基板 ２ａ 感光性赤色着色樹脂層 ２ 赤色着色樹脂パタ−ン ３ フォトマスク ４ 緑色着色樹脂パタ−ン ５ 青色着色樹脂パタ−ン ６ 感光性樹脂膜 ７ 残渣（下地層） ８ 脱落部 ９ 密着促進剤 １０ 残渣（樹脂、顔料混在） １１ 保護膜
フロントページの続き (72)発明者 海野 章 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−80213（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 5/20 101
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に感光性樹脂中に着色材料を分散
させた感光性着色樹脂を用いて、フォトリソ工程により
パターニングして少なくとも１色以上のカラーフィルタ
ーを形成する方法において、第１色目形成前にカラーフ
ィルターに用いる感光性樹脂と同一材料を塗布した後、
仮硬化し、カラーフィルター用現像液で一部を剥離して
下地層を形成し、該下地層の上にカラーフィルターを形
成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項２】 前記カラーフィルター材料および下地層
材料がポリアミドを主体とする感光性樹脂であることを
特徴とする請求項１記載のカラーフィルターの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13100693A JP2991271B2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13100693A JP2991271B2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06324212A JPH06324212A (ja) | 1994-11-25 |
| JP2991271B2 true JP2991271B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=15047764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13100693A Expired - Fee Related JP2991271B2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2991271B2 (ja) |
-
1993
- 1993-05-10 JP JP13100693A patent/JP2991271B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06324212A (ja) | 1994-11-25 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |