JPH07232142A - 超音波振動洗浄装置 - Google Patents
超音波振動洗浄装置Info
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- JPH07232142A JPH07232142A JP4987994A JP4987994A JPH07232142A JP H07232142 A JPH07232142 A JP H07232142A JP 4987994 A JP4987994 A JP 4987994A JP 4987994 A JP4987994 A JP 4987994A JP H07232142 A JPH07232142 A JP H07232142A
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- ultrasonic vibration
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大掛かりな防火、防爆のための設備を施す必
要なしに、炭化水素系の洗浄剤を用いて効率よく、か
つ、安全に超音波振動洗浄を行うことが可能な超音波振
動洗浄装置を提供する。 【構成】 炭化水素系の洗浄剤１を入れて被洗浄物の洗
浄を行う洗浄槽２と、洗浄槽２内に少なくともその一部
が露出するように配設されているとともに、該露出した
部分の少なくとも一部が振動板５により構成された、内
部に不燃性液体１５が満たされる超音波振動子収納槽３
と、超音波振動子収納槽３内に収納され、所定の超音波
振動を発生して、超音波振動子収納槽３の一部を構成す
る振動板５を超音波振動させる超音波振動子４とを具備
する。
要なしに、炭化水素系の洗浄剤を用いて効率よく、か
つ、安全に超音波振動洗浄を行うことが可能な超音波振
動洗浄装置を提供する。 【構成】 炭化水素系の洗浄剤１を入れて被洗浄物の洗
浄を行う洗浄槽２と、洗浄槽２内に少なくともその一部
が露出するように配設されているとともに、該露出した
部分の少なくとも一部が振動板５により構成された、内
部に不燃性液体１５が満たされる超音波振動子収納槽３
と、超音波振動子収納槽３内に収納され、所定の超音波
振動を発生して、超音波振動子収納槽３の一部を構成す
る振動板５を超音波振動させる超音波振動子４とを具備
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子部品、機械部品
などの種々の部品や製品を洗浄するための洗浄装置に関
し、詳しくは、超音波振動を印加しつつ被洗浄物の洗浄
を行う超音波振動洗浄装置に関する。
などの種々の部品や製品を洗浄するための洗浄装置に関
し、詳しくは、超音波振動を印加しつつ被洗浄物の洗浄
を行う超音波振動洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
電子部品や機械部品などを洗浄するための工業用洗浄剤
としては、フロン系洗浄剤や、トリクロロエタンなどの
塩素系溶剤が用いられてきた。しかし、これらの工業用
洗浄剤には、オゾン層の破壊や地下水の汚染、あるいは
作業環境の悪化などを引き起こすという問題点があり、
その使用が規制されつつある。そのため、近年、他の洗
浄剤として、炭化水素系の洗浄剤を用いる方法が提案、
実施されている。
電子部品や機械部品などを洗浄するための工業用洗浄剤
としては、フロン系洗浄剤や、トリクロロエタンなどの
塩素系溶剤が用いられてきた。しかし、これらの工業用
洗浄剤には、オゾン層の破壊や地下水の汚染、あるいは
作業環境の悪化などを引き起こすという問題点があり、
その使用が規制されつつある。そのため、近年、他の洗
浄剤として、炭化水素系の洗浄剤を用いる方法が提案、
実施されている。
【０００３】さらに、炭化水素系の洗浄剤を用いて、よ
り効果的な洗浄を行うために、超音波振動を印加しつつ
洗浄を行う方法が提案、実施されている。
り効果的な洗浄を行うために、超音波振動を印加しつつ
洗浄を行う方法が提案、実施されている。
【０００４】しかし、超音波振動を発生させる超音波振
動子は、通常、電気的に駆動されるものであり、電気接
点などを有しているため、洗浄槽内に超音波振動子を配
設して洗浄を行うようにした場合、可燃性の炭化水素系
の洗浄剤が超音波振動子の内部に侵入して引火、爆発を
引き起こすおそれがある。したがって、安全上、十分な
信頼性を確保するためには、十分な防火、防爆対策を施
すことが必要になり、設備コストが増大するという問題
点がある。
動子は、通常、電気的に駆動されるものであり、電気接
点などを有しているため、洗浄槽内に超音波振動子を配
設して洗浄を行うようにした場合、可燃性の炭化水素系
の洗浄剤が超音波振動子の内部に侵入して引火、爆発を
引き起こすおそれがある。したがって、安全上、十分な
信頼性を確保するためには、十分な防火、防爆対策を施
すことが必要になり、設備コストが増大するという問題
点がある。
【０００５】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、防火、防爆のための大掛かりな設備を必要とする
ことなく、炭化水素系の洗浄剤を用いて効率よく、か
つ、安全に超音波振動洗浄を行うことが可能な超音波振
動洗浄装置を提供することを目的とする。
あり、防火、防爆のための大掛かりな設備を必要とする
ことなく、炭化水素系の洗浄剤を用いて効率よく、か
つ、安全に超音波振動洗浄を行うことが可能な超音波振
動洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の超音波振動洗浄装置は、炭化水素系の洗
浄剤を用いて、超音波振動を印加しつつ被洗浄物を洗浄
する超音波振動洗浄装置において、炭化水素系の洗浄剤
を入れて被洗浄物の洗浄を行う洗浄槽と、前記洗浄槽内
に少なくともその一部が露出するように配設されている
とともに、該露出した部分の少なくとも一部が振動板に
より構成された、内部に不燃性液体が満たされる超音波
振動子収納槽と、前記超音波振動子収納槽内に収納さ
れ、所定の超音波振動を発生して、超音波振動子収納槽
の一部を構成する振動板を超音波振動させる超音波振動
子とを具備することを特徴とする。
に、この発明の超音波振動洗浄装置は、炭化水素系の洗
浄剤を用いて、超音波振動を印加しつつ被洗浄物を洗浄
する超音波振動洗浄装置において、炭化水素系の洗浄剤
を入れて被洗浄物の洗浄を行う洗浄槽と、前記洗浄槽内
に少なくともその一部が露出するように配設されている
とともに、該露出した部分の少なくとも一部が振動板に
より構成された、内部に不燃性液体が満たされる超音波
振動子収納槽と、前記超音波振動子収納槽内に収納さ
れ、所定の超音波振動を発生して、超音波振動子収納槽
の一部を構成する振動板を超音波振動させる超音波振動
子とを具備することを特徴とする。
【０００７】また、前記不燃性液体が水であることを特
徴とする。
徴とする。
【０００８】さらに、前記超音波振動子の振動面と、前
記振動板を、互に略平行になるように、略水平に配設
し、かつ、振動板上に固形物が堆積しないように、振動
板の周囲に固形物堆積部を設けたことを特徴とする。
記振動板を、互に略平行になるように、略水平に配設
し、かつ、振動板上に固形物が堆積しないように、振動
板の周囲に固形物堆積部を設けたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】この発明の超音波振動洗浄装置においては、そ
の一部が振動板から構成され、内部が不燃性液体により
満たされる超音波振動子収納槽内に超音波振動子が収納
されているため、可燃性の炭化水素系の洗浄剤と超音波
振動子の間が、超音波振動子収納槽及び不燃性液体によ
り隔絶される。
の一部が振動板から構成され、内部が不燃性液体により
満たされる超音波振動子収納槽内に超音波振動子が収納
されているため、可燃性の炭化水素系の洗浄剤と超音波
振動子の間が、超音波振動子収納槽及び不燃性液体によ
り隔絶される。
【００１０】したがって、超音波振動子を不燃性液体を
満たした超音波振動子収納槽内で作動させることによ
り、炭化水素系の洗浄剤が超音波振動子の内部に侵入
し、電気接点などに接触して、引火、爆発を引き起こす
ことを防止しつつ、超音波振動子収納槽の一部を構成す
る振動板を超音波振動させ、被洗浄物を効率よく超音波
振動洗浄することが可能になる。
満たした超音波振動子収納槽内で作動させることによ
り、炭化水素系の洗浄剤が超音波振動子の内部に侵入
し、電気接点などに接触して、引火、爆発を引き起こす
ことを防止しつつ、超音波振動子収納槽の一部を構成す
る振動板を超音波振動させ、被洗浄物を効率よく超音波
振動洗浄することが可能になる。
【００１１】また、不燃性液体としては、水が、経済的
に優れているとともに超音波振動強度の減衰も少なく、
かつ、比熱が大きくて、超音波振動子を冷却する冷媒と
しての機能にも優れている。したがって、水を不燃性液
体として用いることにより、引火、爆発の発生を確実に
抑制することが可能になるとともに、超音波振動子の昇
温を効率よく防止することが可能になり、この発明をよ
り実効あらしめることができる。
に優れているとともに超音波振動強度の減衰も少なく、
かつ、比熱が大きくて、超音波振動子を冷却する冷媒と
しての機能にも優れている。したがって、水を不燃性液
体として用いることにより、引火、爆発の発生を確実に
抑制することが可能になるとともに、超音波振動子の昇
温を効率よく防止することが可能になり、この発明をよ
り実効あらしめることができる。
【００１２】さらに、振動板の周囲に固形物堆積部を設
けることにより、振動板を略水平に配設した場合にも、
振動板上に固形物が堆積して振動板の正常な振動を妨げ
ることを防止することが可能になり、継続して安定した
洗浄を行うことができるようになる。
けることにより、振動板を略水平に配設した場合にも、
振動板上に固形物が堆積して振動板の正常な振動を妨げ
ることを防止することが可能になり、継続して安定した
洗浄を行うことができるようになる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて説明
する。図１は、この発明の一実施例にかかる超音波振動
洗浄装置を示す図である。
する。図１は、この発明の一実施例にかかる超音波振動
洗浄装置を示す図である。
【００１４】この実施例の超音波振動洗浄装置において
は、洗浄剤１を入れる洗浄槽２内に、その上面部及び側
面部を露出させるように角管状の超音波振動子収納槽３
が配設されており、その内部には、超音波振動子４が配
設されている。
は、洗浄剤１を入れる洗浄槽２内に、その上面部及び側
面部を露出させるように角管状の超音波振動子収納槽３
が配設されており、その内部には、超音波振動子４が配
設されている。
【００１５】そして、超音波振動子収納槽３の上面の主
要部は、超音波振動子４の水平な振動面４ａと平行にな
るように略水平に配設された角平板状の振動板５により
構成されており、振動板５の周囲は、洗浄剤１が超音波
振動子収納槽３内に侵入しないように、超音波振動子収
納槽３に溶接、密閉されている。
要部は、超音波振動子４の水平な振動面４ａと平行にな
るように略水平に配設された角平板状の振動板５により
構成されており、振動板５の周囲は、洗浄剤１が超音波
振動子収納槽３内に侵入しないように、超音波振動子収
納槽３に溶接、密閉されている。
【００１６】なお、超音波振動子４の振動面４ａと振動
板５の間隔は、超音波振動子４の振動面４ａの振動を振
動板５に伝達して、振動板５を効率よく超音波振動させ
ることができるように、振動波長の１／２または、１／
２のｎ倍になるように調整されている。
板５の間隔は、超音波振動子４の振動面４ａの振動を振
動板５に伝達して、振動板５を効率よく超音波振動させ
ることができるように、振動波長の１／２または、１／
２のｎ倍になるように調整されている。
【００１７】また、超音波振動子収納槽３には、給水口
６及び溢流排水管７が設けられており、超音波振動子収
納槽３の底部（蓋）３ａの給水口６から水を供給し、超
音波振動子収納槽３の上部の溢流排水管７の上部開口か
ら溢流させて排水することにより、超音波振動子収納槽
３が不燃性液体である水１５で満たされるように構成さ
れている。
６及び溢流排水管７が設けられており、超音波振動子収
納槽３の底部（蓋）３ａの給水口６から水を供給し、超
音波振動子収納槽３の上部の溢流排水管７の上部開口か
ら溢流させて排水することにより、超音波振動子収納槽
３が不燃性液体である水１５で満たされるように構成さ
れている。
【００１８】さらに、超音波振動子収納槽３の上端面の
高位部には、水１５に混入した気泡（図示せず）が振動
板５の下面側に溜まって振動板５の正常な振動を妨げる
ことを防止するために、気泡を集めて溢流排水管７の上
部開口から確実に排出することができるように、凸部３
ｂが設けられている。
高位部には、水１５に混入した気泡（図示せず）が振動
板５の下面側に溜まって振動板５の正常な振動を妨げる
ことを防止するために、気泡を集めて溢流排水管７の上
部開口から確実に排出することができるように、凸部３
ｂが設けられている。
【００１９】なお、超音波振動子収納槽３は、洗浄槽２
の底部に挿入されたボルト８及びこれと係合するナット
９によりパッキン１０を介して洗浄槽２の底部に固定さ
れている。
の底部に挿入されたボルト８及びこれと係合するナット
９によりパッキン１０を介して洗浄槽２の底部に固定さ
れている。
【００２０】また、超音波振動子収納槽３の底部３ａに
は、超音波振動子４との電気的接続のための安全増防爆
端子箱１３が取り付けられている。
は、超音波振動子４との電気的接続のための安全増防爆
端子箱１３が取り付けられている。
【００２１】さらに、この超音波振動洗浄装置において
は、超音波振動子収納槽３の周囲の、洗浄槽２と超音波
振動子収納槽３の側面により形成された凹部１１が、被
洗浄物などから落下、沈降する固形物（図示せず）を堆
積させるための固形物堆積部となっている。
は、超音波振動子収納槽３の周囲の、洗浄槽２と超音波
振動子収納槽３の側面により形成された凹部１１が、被
洗浄物などから落下、沈降する固形物（図示せず）を堆
積させるための固形物堆積部となっている。
【００２２】また、洗浄槽２の底部には、洗浄剤１や堆
積した固形物を抜き出すための排液口１２が設けられて
いる。
積した固形物を抜き出すための排液口１２が設けられて
いる。
【００２３】上記実施例の超音波振動洗浄装置を用いて
被洗浄物を洗浄するにあたっては、給水口６から水を連
続的に供給し、溢流排水管７から排水することにより、
超音波振動子収納槽３内に水１５が満され、超音波振動
子収納槽３内に配設された超音波振動子４は水１５中に
没する。
被洗浄物を洗浄するにあたっては、給水口６から水を連
続的に供給し、溢流排水管７から排水することにより、
超音波振動子収納槽３内に水１５が満され、超音波振動
子収納槽３内に配設された超音波振動子４は水１５中に
没する。
【００２４】そして、金網やパンチングメタルなどの洗
浄剤を通過させる材料からなる容器（バスケットなど）
１４に入れられた被洗浄物（図示せず）を洗浄槽２内の
炭化水素系の洗浄剤１に浸漬し、超音波振動子４を作動
させて振動板５を振動させることにより、被洗浄物を、
超音波振動を印加しつつ洗浄剤１により洗浄する。
浄剤を通過させる材料からなる容器（バスケットなど）
１４に入れられた被洗浄物（図示せず）を洗浄槽２内の
炭化水素系の洗浄剤１に浸漬し、超音波振動子４を作動
させて振動板５を振動させることにより、被洗浄物を、
超音波振動を印加しつつ洗浄剤１により洗浄する。
【００２５】なお、洗浄工程で、例えば、被洗浄物に付
着していた固形物が振動板５上に落下した場合、固形物
は、振動板５の振動により振動板５上から（主として凸
部３ｂが設けられていない低位部３ｃから）落下してそ
の周囲の固形物堆積部１１に堆積するため、振動板５上
に固形物が堆積して振動板５の正常な振動を妨げるよう
なことはない。
着していた固形物が振動板５上に落下した場合、固形物
は、振動板５の振動により振動板５上から（主として凸
部３ｂが設けられていない低位部３ｃから）落下してそ
の周囲の固形物堆積部１１に堆積するため、振動板５上
に固形物が堆積して振動板５の正常な振動を妨げるよう
なことはない。
【００２６】上述のように、この実施例の超音波振動洗
浄装置においては、その一部が振動板５から構成され、
内部が水１５により満たされる超音波振動子収納槽３内
に超音波振動子４が収納されており、可燃性の炭化水素
系の洗浄剤１と超音波振動子４の間が、超音波振動子収
納槽３及び水１５により隔絶されているため、炭化水素
系の洗浄剤１が超音波振動子４の内部に侵入し、電気接
点などと接触して、引火、爆発を引き起こしたりするこ
となく、被洗浄物を超音波振動を印加しつつ効率よく洗
浄することができる。
浄装置においては、その一部が振動板５から構成され、
内部が水１５により満たされる超音波振動子収納槽３内
に超音波振動子４が収納されており、可燃性の炭化水素
系の洗浄剤１と超音波振動子４の間が、超音波振動子収
納槽３及び水１５により隔絶されているため、炭化水素
系の洗浄剤１が超音波振動子４の内部に侵入し、電気接
点などと接触して、引火、爆発を引き起こしたりするこ
となく、被洗浄物を超音波振動を印加しつつ効率よく洗
浄することができる。
【００２７】また、上記実施例の超音波振動洗浄装置で
は、超音波振動子収納槽３内が、連続的に供給される水
１５によって満たされているため、洗浄剤１の異常もれ
滞流を防止することができるとともに、水１５中に没し
ている超音波振動子４を効率よく冷却してその昇温を防
止し、安定した洗浄を継続して行うことが可能になる。
は、超音波振動子収納槽３内が、連続的に供給される水
１５によって満たされているため、洗浄剤１の異常もれ
滞流を防止することができるとともに、水１５中に没し
ている超音波振動子４を効率よく冷却してその昇温を防
止し、安定した洗浄を継続して行うことが可能になる。
【００２８】なお、上記実施例では、超音波振動子の振
動面及び振動板が略水平になるように構成された超音波
振動洗浄装置について説明したが、超音波振動子及び振
動板の配設態様は上記実施例に限られるものではなく、
例えば、超音波振動子の振動面及び振動板が垂直になる
ように構成することも可能である。
動面及び振動板が略水平になるように構成された超音波
振動洗浄装置について説明したが、超音波振動子及び振
動板の配設態様は上記実施例に限られるものではなく、
例えば、超音波振動子の振動面及び振動板が垂直になる
ように構成することも可能である。
【００２９】また、上記実施例では、角平板状の振動板
を用いた場合について説明したが、振動板の具体的形状
については特別の制約はなく、角平板状以外の円板状な
どの種々の形状の振動板を用いることが可能である。
を用いた場合について説明したが、振動板の具体的形状
については特別の制約はなく、角平板状以外の円板状な
どの種々の形状の振動板を用いることが可能である。
【００３０】さらに、上記実施例では、不燃性液体とし
て水を用いた場合について説明したが、不燃性液体は水
に限られるものではなく、例えば、シリコーンオイルな
どの不燃性有機液体などを用いることが可能である。
て水を用いた場合について説明したが、不燃性液体は水
に限られるものではなく、例えば、シリコーンオイルな
どの不燃性有機液体などを用いることが可能である。
【００３１】なお、この発明は、さらにその他の点にお
いても上記実施例に限定されるものではなく、洗浄槽や
超音波振動子収納槽などの具体的構造や材質、炭化水素
系の洗浄剤の種類、超音波振動子の構造などに関し、発
明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加える
ことが可能である。
いても上記実施例に限定されるものではなく、洗浄槽や
超音波振動子収納槽などの具体的構造や材質、炭化水素
系の洗浄剤の種類、超音波振動子の構造などに関し、発
明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加える
ことが可能である。
【００３２】
【発明の効果】上述のように、この発明の超音波振動洗
浄装置は、洗浄槽内に少なくともその一部が露出するよ
うに配設されているとともに、該露出した部分の少なく
とも一部が振動板により構成された超音波振動子収納槽
内に超音波振動子を収納し、水などの不燃性液体中に浸
漬した状態で超音波振動子を作動させて振動板を超音波
振動させるようにしているので、炭化水素系の洗浄剤が
超音波振動子の内部に侵入し、電気接点などに接触し
て、引火、爆発を引き起こしたりすることを防止しつ
つ、超音波振動子収納槽の一部を構成する振動板を超音
波振動させて、被洗浄物を超音波振動を印加しつつ効率
よく洗浄することができる。
浄装置は、洗浄槽内に少なくともその一部が露出するよ
うに配設されているとともに、該露出した部分の少なく
とも一部が振動板により構成された超音波振動子収納槽
内に超音波振動子を収納し、水などの不燃性液体中に浸
漬した状態で超音波振動子を作動させて振動板を超音波
振動させるようにしているので、炭化水素系の洗浄剤が
超音波振動子の内部に侵入し、電気接点などに接触し
て、引火、爆発を引き起こしたりすることを防止しつ
つ、超音波振動子収納槽の一部を構成する振動板を超音
波振動させて、被洗浄物を超音波振動を印加しつつ効率
よく洗浄することができる。
【００３３】また、不燃性液体として、経済的に優れ、
かつ、比熱が大きく、超音波振動子を冷却する冷媒とし
ての機能にも優れた水を用いることにより、引火、爆発
の発生を確実に抑制することが可能になるとともに、超
音波振動子の昇温を効率よく防止することが可能にな
り、この発明をより実効あらしめることができる。
かつ、比熱が大きく、超音波振動子を冷却する冷媒とし
ての機能にも優れた水を用いることにより、引火、爆発
の発生を確実に抑制することが可能になるとともに、超
音波振動子の昇温を効率よく防止することが可能にな
り、この発明をより実効あらしめることができる。
【００３４】さらに、振動板の周囲に固形物堆積部を設
けることにより、振動板を略水平に配設した場合にも、
振動板上に固形物が堆積して振動板の正常な振動を妨げ
ることを防止することが可能になり、継続して安定した
洗浄を行うことができるようになる。
けることにより、振動板を略水平に配設した場合にも、
振動板上に固形物が堆積して振動板の正常な振動を妨げ
ることを防止することが可能になり、継続して安定した
洗浄を行うことができるようになる。
【図１】この発明の一実施例にかかる超音波振動洗浄装
置の構成を示す図である。
置の構成を示す図である。
１ 洗浄剤 ２ 洗浄槽 ３ 超音波振動子収納槽 ３ａ 超音波振動子収納槽の底部
（蓋） ３ｂ 超音波振動子収納槽の上端面の
凸部 ３ｃ 超音波振動子収納槽の上端面の
低位部 ４ 超音波振動子 ４ａ 超音波振動子の振動面 ５ 振動板 ６ 給水口 ７ 溢流排水管 ８ ボルト ９ ナット １０ パッキン １１ 固形物堆積部 １２ 排液口 １４ 容器 １５ 水
（蓋） ３ｂ 超音波振動子収納槽の上端面の
凸部 ３ｃ 超音波振動子収納槽の上端面の
低位部 ４ 超音波振動子 ４ａ 超音波振動子の振動面 ５ 振動板 ６ 給水口 ７ 溢流排水管 ８ ボルト ９ ナット １０ パッキン １１ 固形物堆積部 １２ 排液口 １４ 容器 １５ 水
Claims (3)
- 【請求項１】 炭化水素系の洗浄剤を用いて、超音波振
動を印加しつつ被洗浄物を洗浄する超音波振動洗浄装置
において、 炭化水素系の洗浄剤を入れて被洗浄物の洗浄を行う洗浄
槽と、 前記洗浄槽内に少なくともその一部が露出するように配
設されているとともに、該露出した部分の少なくとも一
部が振動板により構成された、内部に不燃性液体が満た
される超音波振動子収納槽と、 前記超音波振動子収納槽内に収納され、所定の超音波振
動を発生して、超音波振動子収納槽の一部を構成する振
動板を超音波振動させる超音波振動子とを具備すること
を特徴とする超音波振動洗浄装置。 - 【請求項２】 前記不燃性液体が水であることを特徴と
する請求項１記載の超音波振動洗浄装置。 - 【請求項３】 前記超音波振動子の振動面と、前記振動
板を、互に略平行になるように、略水平に配設し、か
つ、振動板上に固形物が堆積しないように、振動板の周
囲に固形物堆積部を設けたことを特徴とする請求項１記
載の超音波振動洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4987994A JPH07232142A (ja) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 超音波振動洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4987994A JPH07232142A (ja) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 超音波振動洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07232142A true JPH07232142A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12843338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4987994A Pending JPH07232142A (ja) | 1994-02-22 | 1994-02-22 | 超音波振動洗浄装置 |
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| JP (1) | JPH07232142A (ja) |
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