JPH0721601A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH0721601A JPH0721601A JP16194393A JP16194393A JPH0721601A JP H0721601 A JPH0721601 A JP H0721601A JP 16194393 A JP16194393 A JP 16194393A JP 16194393 A JP16194393 A JP 16194393A JP H0721601 A JPH0721601 A JP H0721601A
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- JP
- Japan
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- magnetic layer
- laminated film
- magneto
- magnetic
- layer
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Pd/Co積層膜とPt/Co積層膜を用い
て、初期化する場合の印加磁界のマージンを大きくし、
また、希土類−遷移金属合金に比べ、短波長領域での感
度を良好にする。 【構成】 基板上に第1磁性層を形成し、その上に第2
磁性層を形成し、これらの磁性層の室温での保磁力をそ
れぞれHc1、Hc2、キュリー温度をTc1、Tc2
とするとき 【数5】 の関係であるようにし、第1磁性層をPd/Co積層
膜、第2磁性層をPt/Co積層膜とする。
て、初期化する場合の印加磁界のマージンを大きくし、
また、希土類−遷移金属合金に比べ、短波長領域での感
度を良好にする。 【構成】 基板上に第1磁性層を形成し、その上に第2
磁性層を形成し、これらの磁性層の室温での保磁力をそ
れぞれHc1、Hc2、キュリー温度をTc1、Tc2
とするとき 【数5】 の関係であるようにし、第1磁性層をPd/Co積層
膜、第2磁性層をPt/Co積層膜とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は書き換え可能な光磁気デ
ィスクのような、いわゆる光磁気記録媒体に関し、詳し
くは、貴金属を有する層及び遷移金属を有する層を基板
上に交互に積層してなる光磁気記録媒体に関する。
ィスクのような、いわゆる光磁気記録媒体に関し、詳し
くは、貴金属を有する層及び遷移金属を有する層を基板
上に交互に積層してなる光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】繰り返し記録・再生可能な光磁気記録媒
体として、貴金属と遷移金属を交互に積層して成る交互
積層膜が提案されている。これは貴金属/遷移金属交互
積層膜の短波長領域での感度が良好であり、高密度記録
媒体として有望なためである。図2は従来の光磁気記録
媒体の断面構造図である。具体的には、貴金属/遷移金
属交互積層膜の光磁気ディスクの例として、Pt/Co
積層膜を用いた場合について示す。
体として、貴金属と遷移金属を交互に積層して成る交互
積層膜が提案されている。これは貴金属/遷移金属交互
積層膜の短波長領域での感度が良好であり、高密度記録
媒体として有望なためである。図2は従来の光磁気記録
媒体の断面構造図である。具体的には、貴金属/遷移金
属交互積層膜の光磁気ディスクの例として、Pt/Co
積層膜を用いた場合について示す。
【0003】Pt/Co積層膜2は図2に示すように、
Pt7とCo6を基板3上に交互に積層する構造におい
て、Pt/Co積層膜2の総膜厚が数百Å以下の超薄膜
領域で垂直磁化膜になり、積層周期や膜厚などの条件を
変えることによって、保磁力やカー回転角の特性が変化
する。またカー回転角を増大させる目的で、基板3とP
t/Co積層膜2の間に誘電体膜を挟み込みエッチング
処理をしたものも多く報告されている。
Pt7とCo6を基板3上に交互に積層する構造におい
て、Pt/Co積層膜2の総膜厚が数百Å以下の超薄膜
領域で垂直磁化膜になり、積層周期や膜厚などの条件を
変えることによって、保磁力やカー回転角の特性が変化
する。またカー回転角を増大させる目的で、基板3とP
t/Co積層膜2の間に誘電体膜を挟み込みエッチング
処理をしたものも多く報告されている。
【0004】また、上記の光磁気記録媒体に重ね書き
(オーバーライト)を行う場合、記録媒体の磁化方向を
単一方向にそろえてから記録したり、磁界変調法では記
録ビームを照射しながら印加磁界を反転させなければな
らない。そのため、装置が複雑になったり、高周波数領
域の信号が記録できないという問題がある。そこで、保
磁力が大きくキュリー温度の低い磁性層と保磁力が小さ
くキュリー温度が高い磁性層からなる二層構造の垂直磁
化膜を用いて、比較的大きな磁界を印加して保磁力の小
さな層のみの磁化を一方向にそろえた後、大きなレーザ
パワーを加えてこの層の磁化を反転させる記録を行う
か、比較的小さなレーザパワーを加えて、保磁力の小さ
なキュリー温度の高い層の磁化反転を行わずに、保磁力
の大きなキュリー温度の低い層の磁化を保磁力の小さな
層の磁化方向にそろえる記録を行うかの2種の記録より
オーバーライトを実現する方法が考え出された。
(オーバーライト)を行う場合、記録媒体の磁化方向を
単一方向にそろえてから記録したり、磁界変調法では記
録ビームを照射しながら印加磁界を反転させなければな
らない。そのため、装置が複雑になったり、高周波数領
域の信号が記録できないという問題がある。そこで、保
磁力が大きくキュリー温度の低い磁性層と保磁力が小さ
くキュリー温度が高い磁性層からなる二層構造の垂直磁
化膜を用いて、比較的大きな磁界を印加して保磁力の小
さな層のみの磁化を一方向にそろえた後、大きなレーザ
パワーを加えてこの層の磁化を反転させる記録を行う
か、比較的小さなレーザパワーを加えて、保磁力の小さ
なキュリー温度の高い層の磁化反転を行わずに、保磁力
の大きなキュリー温度の低い層の磁化を保磁力の小さな
層の磁化方向にそろえる記録を行うかの2種の記録より
オーバーライトを実現する方法が考え出された。
【0005】そこで、Pt/Co積層膜においても、積
層周期や膜厚を調整することによって、保磁力やキュリ
ー温度の異なる2種類のPt/Co積層膜を形成し、光
変調オーバーライトを行うことが提案されている(特願
平4−138699)。
層周期や膜厚を調整することによって、保磁力やキュリ
ー温度の異なる2種類のPt/Co積層膜を形成し、光
変調オーバーライトを行うことが提案されている(特願
平4−138699)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、Pt/Co
積層膜はもともと希土類−遷移金属合金に比べて保磁力
が非常に小さく、積層周期や膜厚を変化させても、あま
り保磁力は増大しない。そのため特性の異なるPt/C
o積層膜を交換結合させても、保磁力の差が小さいた
め、交換力が働き、2層の保磁力はほとんど等しくな
る。そのため初期化する場合の印加磁界のマージンが小
さくなる。
積層膜はもともと希土類−遷移金属合金に比べて保磁力
が非常に小さく、積層周期や膜厚を変化させても、あま
り保磁力は増大しない。そのため特性の異なるPt/C
o積層膜を交換結合させても、保磁力の差が小さいた
め、交換力が働き、2層の保磁力はほとんど等しくな
る。そのため初期化する場合の印加磁界のマージンが小
さくなる。
【0007】また2層間の保磁力の差を大きくするた
め、第1磁性層に希土類−遷移金属合金を用いると、短
波長領域での感度が悪くなるという欠点があった。
め、第1磁性層に希土類−遷移金属合金を用いると、短
波長領域での感度が悪くなるという欠点があった。
【0008】
【課題を解決するための手段】基板上に第1磁性層を形
成し、その上に第2磁性層を形成し、これらの磁性層の
室温での保磁力をそれぞれHc1、Hc2、キュリー温
度をTc1、Tc2とするとき
成し、その上に第2磁性層を形成し、これらの磁性層の
室温での保磁力をそれぞれHc1、Hc2、キュリー温
度をTc1、Tc2とするとき
【0009】
【数2】
【0010】の関係であるようにし、第1磁性層をPd
/Co積層膜、第2磁性層をPt/Co積層膜とする。
/Co積層膜、第2磁性層をPt/Co積層膜とする。
【0011】
【作用】本発明の光磁気記録媒体の第1磁性層であるP
d/Co積層膜は、第2磁性層のPt/Co積層膜に比
べて保磁力が大きいため、交換結合させても2層間の保
磁力の差は大きく、磁気特性の異なるPt/Co積層膜
を交換結合させた場合に比べて、初期化する場合の印加
磁界のマージンが大きくなる。
d/Co積層膜は、第2磁性層のPt/Co積層膜に比
べて保磁力が大きいため、交換結合させても2層間の保
磁力の差は大きく、磁気特性の異なるPt/Co積層膜
を交換結合させた場合に比べて、初期化する場合の印加
磁界のマージンが大きくなる。
【0012】また希土類−遷移金属合金に比べ、短波長
領域での感度が良好なため、高密度記録が可能である。
領域での感度が良好なため、高密度記録が可能である。
【0013】
【実施例】図1は本発明の光磁気記録媒体の断面構造図
である。図において1はPd/Co積層膜(第1磁性
層)、2はPt/Co積層膜(第2磁性層)、3は基
板、4、6はCo層、5はPd層、7はPt層である。
光磁気記録媒体は透明基板3上にPd/Co積層膜(第
1磁性層)1、Pt/Co積層膜(第2磁性層)2を成
膜して構成される。これらの室温での保磁力をHc1、
Hc2とし、キュリー温度をTc1、Tc2とすると、
である。図において1はPd/Co積層膜(第1磁性
層)、2はPt/Co積層膜(第2磁性層)、3は基
板、4、6はCo層、5はPd層、7はPt層である。
光磁気記録媒体は透明基板3上にPd/Co積層膜(第
1磁性層)1、Pt/Co積層膜(第2磁性層)2を成
膜して構成される。これらの室温での保磁力をHc1、
Hc2とし、キュリー温度をTc1、Tc2とすると、
【0014】
【数3】
【0015】の関係にある。具体的には、Pd/Co積
層膜(第1磁性層)1のPd層5の一層当りの膜厚を1
0〜20Å、Co層4の一層当りの膜厚を3〜10Å、
全体の膜厚を50〜400Åとすると、垂直磁化膜が得
られる。Pt/Co積層膜(第2磁性層)2も同様にP
t層7の一層当りの膜厚を10〜20Å、Co層6の一
層当りの膜厚を3〜10Å、全体の膜厚を50〜400
Åとすると、垂直磁化膜が得られる。ここでPt/Co
積層膜(第2磁性層)2はPd/Co積層膜(第1磁性
層)1より室温での保磁力を小さく、キュリー温度を高
くする。
層膜(第1磁性層)1のPd層5の一層当りの膜厚を1
0〜20Å、Co層4の一層当りの膜厚を3〜10Å、
全体の膜厚を50〜400Åとすると、垂直磁化膜が得
られる。Pt/Co積層膜(第2磁性層)2も同様にP
t層7の一層当りの膜厚を10〜20Å、Co層6の一
層当りの膜厚を3〜10Å、全体の膜厚を50〜400
Åとすると、垂直磁化膜が得られる。ここでPt/Co
積層膜(第2磁性層)2はPd/Co積層膜(第1磁性
層)1より室温での保磁力を小さく、キュリー温度を高
くする。
【0016】Pd/Co積層膜(第1磁性層)1、Pt
/Co積層膜(第2磁性層)2の保磁力は組成比、膜
厚、成膜時のガス圧によって、キュリー温度は組成比に
よって変化するので、これらの条件を調整することによ
ってPd/Co積層膜(第1磁性層1、Pt/Co積層
膜(第2磁性層)2の保磁力、キュリー温度を調整す
る。例えば組成比によって調整する場合、Pt/Co積
層膜(第2磁性層)2のCo組成を、Pd/Co積層膜
(第1磁性層)1のCo組成よりも多くすれば、
/Co積層膜(第2磁性層)2の保磁力は組成比、膜
厚、成膜時のガス圧によって、キュリー温度は組成比に
よって変化するので、これらの条件を調整することによ
ってPd/Co積層膜(第1磁性層1、Pt/Co積層
膜(第2磁性層)2の保磁力、キュリー温度を調整す
る。例えば組成比によって調整する場合、Pt/Co積
層膜(第2磁性層)2のCo組成を、Pd/Co積層膜
(第1磁性層)1のCo組成よりも多くすれば、
【0017】
【数4】
【0018】の関係が得られる。ここで、Pd/Co積
層膜(第1磁性層)1の保磁力はPt/Co積層膜(第
2磁性層)2の保磁力よりも大きく、またPd組成を多
くすれば、2層間の保磁力の差は一層大きくなる。図3
は媒体の各磁性層の温度と保磁力の関係を示す。図に
は、Pd/Co積層膜(第1磁性層)1とPt/Co積
層膜(第2磁性層)2の保磁力と温度との関係が示され
ている。またここで、Hiniは初期化磁界、Hbはバ
イアス磁界、Trは室温である。
層膜(第1磁性層)1の保磁力はPt/Co積層膜(第
2磁性層)2の保磁力よりも大きく、またPd組成を多
くすれば、2層間の保磁力の差は一層大きくなる。図3
は媒体の各磁性層の温度と保磁力の関係を示す。図に
は、Pd/Co積層膜(第1磁性層)1とPt/Co積
層膜(第2磁性層)2の保磁力と温度との関係が示され
ている。またここで、Hiniは初期化磁界、Hbはバ
イアス磁界、Trは室温である。
【0019】図4は低パワーレーザ照射時の媒体の磁化
の模式断面図、図5は高パワーレーザ照射時の媒体の磁
化の模式断面図である。図において8はレーザ光、9は
初期化磁石、10はバイアス磁石である。図3、図4、
図5から各構成の基本的な関係について述べる。オーバ
ーライトのときは、レーザ光8、初期化磁石9とバイア
ス磁石10を使用する。ここで、初期化磁界とバイアス
磁界は逆向きであるようにする。初期化磁石9からの磁
界の強さHiniは室温TrにおいてPd/Co積層膜(第
1磁性層)1の保磁力Hc1より小さく、Pt/Co積
層膜(第2磁性層)2の保磁力Hc2より大きい。また
レーザ光8は記録情報データに合わせて、高パワーと低
パワーに調整されて使用される。この低パワーの照射は
Pd/Co積層膜(第1磁性層)1のキュリー温度Tc
1より高いが、Pt/Co積層膜(第2磁性層)2のキ
ュリー温度Tc2より低い温度に光磁気記録媒体を加熱
する。これに対し高パワーの照射はPt/Co積層膜
(第2磁性層)2のキュリー温度Tc2より高い温度に
光磁気記録媒体を加熱する。
の模式断面図、図5は高パワーレーザ照射時の媒体の磁
化の模式断面図である。図において8はレーザ光、9は
初期化磁石、10はバイアス磁石である。図3、図4、
図5から各構成の基本的な関係について述べる。オーバ
ーライトのときは、レーザ光8、初期化磁石9とバイア
ス磁石10を使用する。ここで、初期化磁界とバイアス
磁界は逆向きであるようにする。初期化磁石9からの磁
界の強さHiniは室温TrにおいてPd/Co積層膜(第
1磁性層)1の保磁力Hc1より小さく、Pt/Co積
層膜(第2磁性層)2の保磁力Hc2より大きい。また
レーザ光8は記録情報データに合わせて、高パワーと低
パワーに調整されて使用される。この低パワーの照射は
Pd/Co積層膜(第1磁性層)1のキュリー温度Tc
1より高いが、Pt/Co積層膜(第2磁性層)2のキ
ュリー温度Tc2より低い温度に光磁気記録媒体を加熱
する。これに対し高パワーの照射はPt/Co積層膜
(第2磁性層)2のキュリー温度Tc2より高い温度に
光磁気記録媒体を加熱する。
【0020】次に、図4に基づいて説明する。Pt/C
o積層膜(第2磁性層)2が初期化磁石9の向きに磁化
されている状態で、記録情報データに応じて低パワーの
レーザ光8を光磁気記録媒体に照射すると、光磁気記録
媒体の温度はPt/Co積層膜(第2磁性層)2のキュ
リー温度Tc2より低いが、Pd/Co積層膜(第1磁
性層)1のキュリー温度Tc1より高くなるので、Pd
/Co積層膜(第1磁性層)1の磁化がゼロになる。こ
の状態で光磁気記録媒体が冷却されると、Pd/Co積
層膜(第1磁性層)1はPt/Co積層膜(第2磁性
層)2からの交換結合力によって、Pt/Co積層膜
(第2磁性層)2の磁化の向き(初期化磁界の向き)に
磁化される。
o積層膜(第2磁性層)2が初期化磁石9の向きに磁化
されている状態で、記録情報データに応じて低パワーの
レーザ光8を光磁気記録媒体に照射すると、光磁気記録
媒体の温度はPt/Co積層膜(第2磁性層)2のキュ
リー温度Tc2より低いが、Pd/Co積層膜(第1磁
性層)1のキュリー温度Tc1より高くなるので、Pd
/Co積層膜(第1磁性層)1の磁化がゼロになる。こ
の状態で光磁気記録媒体が冷却されると、Pd/Co積
層膜(第1磁性層)1はPt/Co積層膜(第2磁性
層)2からの交換結合力によって、Pt/Co積層膜
(第2磁性層)2の磁化の向き(初期化磁界の向き)に
磁化される。
【0021】次に、図5に基づいて説明する。Pt/C
o積層膜(第2磁性層)2が初期化磁石9の向きに磁化
されていても、高パワーのレーザ光8を光磁気記録媒体
に照射すると、光磁気記録媒体の温度はPd/Co積層
膜(第1磁性層)1、Pt/Co積層膜(第2磁性層)
2のキュリー温度Tc1、Tc2より高い温度に加熱さ
れるので、Pd/Co積層膜(第1磁性層)1、Pt/
Co積層膜(第2磁性層)2の磁化がゼロになる。この
状態で光磁気記録媒体が冷却されると、Pt/Co積層
膜(第2磁性層)2がバイアス磁界の向きに磁化され、
Pd/Co積層膜(第1磁性層)1もPt/Co積層膜
(第2磁性層)2からの交換結合力によって、バイアス
磁界と同じ向きに磁化される。このように、レーザ光の
パワーが記録情報データに応じて、高低に調整され、P
d/Co積層膜(第1磁性層)1の磁化の方向を記録情
報データに応じたものにすることができる。
o積層膜(第2磁性層)2が初期化磁石9の向きに磁化
されていても、高パワーのレーザ光8を光磁気記録媒体
に照射すると、光磁気記録媒体の温度はPd/Co積層
膜(第1磁性層)1、Pt/Co積層膜(第2磁性層)
2のキュリー温度Tc1、Tc2より高い温度に加熱さ
れるので、Pd/Co積層膜(第1磁性層)1、Pt/
Co積層膜(第2磁性層)2の磁化がゼロになる。この
状態で光磁気記録媒体が冷却されると、Pt/Co積層
膜(第2磁性層)2がバイアス磁界の向きに磁化され、
Pd/Co積層膜(第1磁性層)1もPt/Co積層膜
(第2磁性層)2からの交換結合力によって、バイアス
磁界と同じ向きに磁化される。このように、レーザ光の
パワーが記録情報データに応じて、高低に調整され、P
d/Co積層膜(第1磁性層)1の磁化の方向を記録情
報データに応じたものにすることができる。
【0022】図6は光磁気記録媒体のPt/Co積層膜
(第2磁性層)2のカーヒステリシスループを、図7は
Pd/Co積層膜(第1磁性層)1のカーヒステリシス
ループを示したものである。保磁力の大きさに明らかな
差がみられ、交換結合させても2層間の保磁力の差は大
きい。そのため、従来のPt/Co積層膜(第2磁性
層)を交換結合させたものに比べ、記録初期磁界のマー
ジンが大きくなる。
(第2磁性層)2のカーヒステリシスループを、図7は
Pd/Co積層膜(第1磁性層)1のカーヒステリシス
ループを示したものである。保磁力の大きさに明らかな
差がみられ、交換結合させても2層間の保磁力の差は大
きい。そのため、従来のPt/Co積層膜(第2磁性
層)を交換結合させたものに比べ、記録初期磁界のマー
ジンが大きくなる。
【0023】図8は本発明で用いたPd/Co積層膜
(第1磁性層)とTbFeCo膜のカー回転角の波長関
係を示したものである。Pd/Co積層膜(第1磁性
層)のほうが、従来から用いられている希土類−遷移金
属合金のTbFeCo膜より短波長領域でのカー回転角
θKが大きい。そのため、本発明の光磁気ディスクは、
従来の希土類−遷移金属合金を用いたものに比べて、高
密度記録特性も優れている。
(第1磁性層)とTbFeCo膜のカー回転角の波長関
係を示したものである。Pd/Co積層膜(第1磁性
層)のほうが、従来から用いられている希土類−遷移金
属合金のTbFeCo膜より短波長領域でのカー回転角
θKが大きい。そのため、本発明の光磁気ディスクは、
従来の希土類−遷移金属合金を用いたものに比べて、高
密度記録特性も優れている。
【0024】また実施例では、基板上にPd/Co積層
膜(第1磁性層)、Pt/Co積層膜(第2磁性層)を
形成しているが、Pd/Co積層膜(第1磁性層)と基
板の間に下地層として透明な化合物(SiN、SiAl
ON、ZnS、ZnO、Al 2O3、AlN、CoS、B
eO、SiCなど)を挟み込んでも同様の効果が得るれ
る。
膜(第1磁性層)、Pt/Co積層膜(第2磁性層)を
形成しているが、Pd/Co積層膜(第1磁性層)と基
板の間に下地層として透明な化合物(SiN、SiAl
ON、ZnS、ZnO、Al 2O3、AlN、CoS、B
eO、SiCなど)を挟み込んでも同様の効果が得るれ
る。
【0025】また、Pt/Co積層膜(第2磁性層)2
がPd/Co積層膜(第1磁性層)1と接しない側の面
に公知の誘電体膜、反射膜、紫外線硬化樹脂を設けた構
造でも、同様の効果を得る。
がPd/Co積層膜(第1磁性層)1と接しない側の面
に公知の誘電体膜、反射膜、紫外線硬化樹脂を設けた構
造でも、同様の効果を得る。
【0026】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の光磁気記録
媒体は光変調オーバーライトが可能であり、かつ、初期
化磁界のマージンが大きい。更に高密度記録特性も優れ
ている。
媒体は光変調オーバーライトが可能であり、かつ、初期
化磁界のマージンが大きい。更に高密度記録特性も優れ
ている。
【図1】本発明の光磁気記録媒体の断面構造図。
【図2】従来の光磁気記録媒体の断面構造図。
【図3】媒体の各磁性層の温度と保磁力の関係説明図。
【図4】低パワーレーザ光照射時の媒体の磁化の模式断
面図。
面図。
【図5】高パワーレーザ光照射時の媒体の磁化の模式断
面図。
面図。
【図6】Pt/Co積層膜(第2磁性層)のカーヒステ
リシスループ。
リシスループ。
【図7】Pd/Co積層膜(第1磁性層)のカーヒステ
リシスループ。
リシスループ。
【図8】Pd/Co積層膜(第1磁性層)とTbFeC
o膜のカー回転角と波長の関係を示した図。
o膜のカー回転角と波長の関係を示した図。
1 Pd/Co積層膜(第1磁性層) 2 Pt/Co積層膜(第2磁性層) 3 基板 4 Co層 5 Pd層 6 Co層 7 Pt層
Claims (1)
- 【請求項1】 基板上に第1磁性層を形成し、その上に
第2磁性層を形成し、これらの磁性層の室温での保磁力
をそれぞれHc1、Hc2、キュリー温度をTc1、T
c2とするとき、 【数1】 の関係にある光磁気記録媒体において、第1磁性層がP
d/Co積層膜、第2磁性層がPt/Co積層膜である
ことを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16194393A JPH0721601A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16194393A JPH0721601A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0721601A true JPH0721601A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15744994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16194393A Pending JPH0721601A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0721601A (ja) |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP16194393A patent/JPH0721601A/ja active Pending
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