JPH0719964A - 光波長計 - Google Patents
光波長計Info
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- JPH0719964A JPH0719964A JP18690193A JP18690193A JPH0719964A JP H0719964 A JPH0719964 A JP H0719964A JP 18690193 A JP18690193 A JP 18690193A JP 18690193 A JP18690193 A JP 18690193A JP H0719964 A JPH0719964 A JP H0719964A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 未知波長光の干渉縞を既知波長光の干渉縞で
カウントし、未知の光波長を測定する光波長計の、カウ
ント時に発生する端数部分を積分して演算し、分解能と
精度を改善する。 【構成】 光分岐合波器１は光波長が未知の光と既知の
光を入射してそれぞれ分岐し、一方の２光束を移動鏡２
で移動しつつ反射し、他の一方の２光束を固定鏡３で反
射して合波し、光検出器４と光検出器５で波長が未知の
合波光と既知の合波光をそれぞれ検出して信号１１・１
２を出力し、波形処理部６で矩形波変換し、測定区間内
の信号１２の波形をカウンタ８に入力し、パルス数をカ
ウントして信号２０を出力するとともに、測定区間の始
めおよび終わりの端数部分の波形を波形処理により求
め、さらに信号１２の１パルス分の波形を同様に求めて
積分部７により信号１８を出力し、演算部９に信号１８
・２０を入力し、演算する。また、波形処理部６は、測
定区間の始めおよび終わりの端数部分の波形の近傍から
信号１２の１パルス分の波形を波形処理により求める。
カウントし、未知の光波長を測定する光波長計の、カウ
ント時に発生する端数部分を積分して演算し、分解能と
精度を改善する。 【構成】 光分岐合波器１は光波長が未知の光と既知の
光を入射してそれぞれ分岐し、一方の２光束を移動鏡２
で移動しつつ反射し、他の一方の２光束を固定鏡３で反
射して合波し、光検出器４と光検出器５で波長が未知の
合波光と既知の合波光をそれぞれ検出して信号１１・１
２を出力し、波形処理部６で矩形波変換し、測定区間内
の信号１２の波形をカウンタ８に入力し、パルス数をカ
ウントして信号２０を出力するとともに、測定区間の始
めおよび終わりの端数部分の波形を波形処理により求
め、さらに信号１２の１パルス分の波形を同様に求めて
積分部７により信号１８を出力し、演算部９に信号１８
・２０を入力し、演算する。また、波形処理部６は、測
定区間の始めおよび終わりの端数部分の波形の近傍から
信号１２の１パルス分の波形を波形処理により求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、波長が未知の光の干
渉縞を波長が既知の光の干渉縞でカウントすることによ
り、波長が未知の光の波長を測定する光波長計におい
て、分解能と精度を改善する光波長計についてのもので
ある。
渉縞を波長が既知の光の干渉縞でカウントすることによ
り、波長が未知の光の波長を測定する光波長計におい
て、分解能と精度を改善する光波長計についてのもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術による構成を図６に示
す。図６の１は光分岐合波器、２は移動鏡、３は固定
鏡、４と５は光検出器、２１は波形処理部、２２は高周
波クロック発生器、２３と２４はカウンタ、２５は演算
部である。
す。図６の１は光分岐合波器、２は移動鏡、３は固定
鏡、４と５は光検出器、２１は波形処理部、２２は高周
波クロック発生器、２３と２４はカウンタ、２５は演算
部である。
【０００３】光分岐合波器１は、光波長が既知の光と未
知の光の２光束を入射して同時に分岐し、分岐した一方
の２光束は移動鏡２で反射されて光分岐合波器１へ戻
り、分岐したもう一方の２光束は固定鏡３で反射され光
分岐合波器１へ戻り、移動鏡２からの反射光と合波され
る。光分岐合波器１からの二つの合波光のうち、光検出
器４は光波長が未知の光を検出して信号１１を出力し、
光検出器５は光波長が既知の光を検出して信号１２を出
力する。
知の光の２光束を入射して同時に分岐し、分岐した一方
の２光束は移動鏡２で反射されて光分岐合波器１へ戻
り、分岐したもう一方の２光束は固定鏡３で反射され光
分岐合波器１へ戻り、移動鏡２からの反射光と合波され
る。光分岐合波器１からの二つの合波光のうち、光検出
器４は光波長が未知の光を検出して信号１１を出力し、
光検出器５は光波長が既知の光を検出して信号１２を出
力する。
【０００４】波形処理部２１は、信号１１と信号１２を
入力して波形処理し、信号１７と信号２６を出力する。
信号１７は測定区間内に発生する波長が既知の信号１２
であり、信号２６は、波長が未知の波形と波長が既知の
波形を処理することにより得られる測定開始時の端数部
分のパルス幅および測定終了時の端数部分のパルス幅で
ある。
入力して波形処理し、信号１７と信号２６を出力する。
信号１７は測定区間内に発生する波長が既知の信号１２
であり、信号２６は、波長が未知の波形と波長が既知の
波形を処理することにより得られる測定開始時の端数部
分のパルス幅および測定終了時の端数部分のパルス幅で
ある。
【０００５】高周波クロック発生器２２は、信号１１に
対して充分高速なクロックの信号２７を出力する。カウ
ンタ２３は波形処理部２１の出力信号２６と高周波クロ
ック発生器２２の出力信号２７を入力とし、測定開始時
のパルス幅および測定終了時のパルス幅に高周波クロッ
クが含まれていた数をそれぞれカウントして、出力信号
２８として出力する。
対して充分高速なクロックの信号２７を出力する。カウ
ンタ２３は波形処理部２１の出力信号２６と高周波クロ
ック発生器２２の出力信号２７を入力とし、測定開始時
のパルス幅および測定終了時のパルス幅に高周波クロッ
クが含まれていた数をそれぞれカウントして、出力信号
２８として出力する。
【０００６】カウンタ２４は波形処理部２１の出力１７
を入力とし、測定区間内のパルス数をカウントして出力
信号２０として出力する。演算部２５は、信号２０と信
号２８を入力とし、信号２０により測定開始時のパルス
幅と測定終了時のパルス幅の差を求め、信号１２の周期
で除算する。
を入力とし、測定区間内のパルス数をカウントして出力
信号２０として出力する。演算部２５は、信号２０と信
号２８を入力とし、信号２０により測定開始時のパルス
幅と測定終了時のパルス幅の差を求め、信号１２の周期
で除算する。
【０００７】さらに、除算した結果に既知の波長の光に
よるパルス数を加え、既知の波長を乗算したのち、未知
の波長の光によるパルス数で除算を行い、未知の光の波
長を算出する。同様の技術は、電気学会 計測研究資料
ＩＭ−９１−３２ 「１．５μｍ帯高精度波長比較干
渉計の開発」でも説明されている。
よるパルス数を加え、既知の波長を乗算したのち、未知
の波長の光によるパルス数で除算を行い、未知の光の波
長を算出する。同様の技術は、電気学会 計測研究資料
ＩＭ−９１−３２ 「１．５μｍ帯高精度波長比較干
渉計の開発」でも説明されている。
【０００８】つぎに、図６の各部の波形の例を以下に示
す。図２のアは図６の波長が未知の光の信号１１の波形
である。図２のイは図６の波長が既知の光の信号１２の
波形である。また、図２のケは図６の波形処理部２１の
出力信号１７の波形である。
す。図２のアは図６の波長が未知の光の信号１１の波形
である。図２のイは図６の波長が既知の光の信号１２の
波形である。また、図２のケは図６の波形処理部２１の
出力信号１７の波形である。
【０００９】図７のアは波形処理部２１で矩形波に変換
された信号１１の波形であり、図７のイは波形処理部２
１で矩形波に変換された信号１２の波形である。図７の
ウは波形処理部２１により得られるパルス幅ｔA とパル
ス幅ｔB の波形であり、出力信号２６の波形図である。
された信号１１の波形であり、図７のイは波形処理部２
１で矩形波に変換された信号１２の波形である。図７の
ウは波形処理部２１により得られるパルス幅ｔA とパル
ス幅ｔB の波形であり、出力信号２６の波形図である。
【００１０】図８は、例としてパルス幅ｔA 間における
高周波クロック発生器２２の出力信号２７の波形を示し
ている。カウンタ２３は、図７ウの信号２６のｔA 間に
ある信号２７のパルス数をカウントし、同様にｔB 間に
ついてもカウントし、信号２８を出力する。
高周波クロック発生器２２の出力信号２７の波形を示し
ている。カウンタ２３は、図７ウの信号２６のｔA 間に
ある信号２７のパルス数をカウントし、同様にｔB 間に
ついてもカウントし、信号２８を出力する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】図６の構成では、図７
ウに示したパルス幅ｔA の信号とパルス幅ｔB の信号
を、図８に示すように高周波クロック２７で測定してい
るため、時間分解能が高周波クロックにより制限され
る。すなわち、図８において時間ｔC および時間ｔDの
差が誤差となる。この発明は、波長が未知の光の干渉縞
を、波長が既知の光の干渉縞でカウントすることによ
り、波長が未知の光の波長を測定する光波長計におい
て、カウント時に発生する端数部分を積分して演算する
ことにより、分解能と精度を改善する光波長計の提供を
目的とする。
ウに示したパルス幅ｔA の信号とパルス幅ｔB の信号
を、図８に示すように高周波クロック２７で測定してい
るため、時間分解能が高周波クロックにより制限され
る。すなわち、図８において時間ｔC および時間ｔDの
差が誤差となる。この発明は、波長が未知の光の干渉縞
を、波長が既知の光の干渉縞でカウントすることによ
り、波長が未知の光の波長を測定する光波長計におい
て、カウント時に発生する端数部分を積分して演算する
ことにより、分解能と精度を改善する光波長計の提供を
目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明は、光波長が未知の光と既知の光を入射
し、それぞれ分岐合波する光分岐合波器１と、分岐した
一方の２光束を移動しながら反射し、光分岐合波器１に
再入射する移動鏡２と、分岐した他の一方の２光束を反
射し、光分岐合波器１に再入射する固定鏡３と、移動鏡
２と固定鏡３からの波長が未知である光を光分岐合波器
１で合波した合波光を検出し、信号１１を出力する光検
出器４と、移動鏡２と固定鏡３からの波長が既知である
光を光分岐合波器１で合波した合波光を検出し、信号１
２を出力する光検出器５と、信号１１と信号１２を入力
として矩形波変換し、測定区間内の信号１２の波形を第
１の出力とするとともに、測定区間の始めおよび終わり
の端数部分の波形を波形処理により求め、さらに信号１
２の１パルス分の波形を波形処理により求めて第２の出
力する波形処理部６と、波形処理部６の第２の出力を入
力として積分し、積分結果を信号１８として出力する積
分部７と、波形処理部６の第１の出力を入力とし、パル
ス数をカウントして信号２０を出力するカウンタ８と、
積分部７の出力とカウンタ８の出力を入力とし、演算す
る演算部９とを備える。また、波形処理部６は、測定区
間の始めおよび終わりの端数部分の波形の近傍から信号
１２の１パルス分の波形を波形処理により求める。
に、この発明は、光波長が未知の光と既知の光を入射
し、それぞれ分岐合波する光分岐合波器１と、分岐した
一方の２光束を移動しながら反射し、光分岐合波器１に
再入射する移動鏡２と、分岐した他の一方の２光束を反
射し、光分岐合波器１に再入射する固定鏡３と、移動鏡
２と固定鏡３からの波長が未知である光を光分岐合波器
１で合波した合波光を検出し、信号１１を出力する光検
出器４と、移動鏡２と固定鏡３からの波長が既知である
光を光分岐合波器１で合波した合波光を検出し、信号１
２を出力する光検出器５と、信号１１と信号１２を入力
として矩形波変換し、測定区間内の信号１２の波形を第
１の出力とするとともに、測定区間の始めおよび終わり
の端数部分の波形を波形処理により求め、さらに信号１
２の１パルス分の波形を波形処理により求めて第２の出
力する波形処理部６と、波形処理部６の第２の出力を入
力として積分し、積分結果を信号１８として出力する積
分部７と、波形処理部６の第１の出力を入力とし、パル
ス数をカウントして信号２０を出力するカウンタ８と、
積分部７の出力とカウンタ８の出力を入力とし、演算す
る演算部９とを備える。また、波形処理部６は、測定区
間の始めおよび終わりの端数部分の波形の近傍から信号
１２の１パルス分の波形を波形処理により求める。
【００１３】
【作用】次に、この発明による光波長計の構成図を図１
に示す。図１の６は波形処理部、７は積分部、８はカウ
ンタ、９は演算部であり、他は図６と同じものである。
に示す。図１の６は波形処理部、７は積分部、８はカウ
ンタ、９は演算部であり、他は図６と同じものである。
【００１４】図１で、図６と同様に波長が未知の光によ
る干渉縞の信号１１と波長が既知の光による干渉縞の信
号１２をそれぞれ光検出器４・５で検出して波形処理部
６に入力する。波形処理部６は、信号１１と信号１２を
それぞれ矩形波に変換して処理することにより、複数の
パルス波形を出力する。
る干渉縞の信号１１と波長が既知の光による干渉縞の信
号１２をそれぞれ光検出器４・５で検出して波形処理部
６に入力する。波形処理部６は、信号１１と信号１２を
それぞれ矩形波に変換して処理することにより、複数の
パルス波形を出力する。
【００１５】この発明では、波長が既知の光と波長が未
知の光をそれぞれ矩形変換し、測定区間の始めと終わり
の部分に発生する端数部分のパルスを取り出すととも
に、これらのパルスの近傍の１パルスを、波長が既知の
光の信号１２から取り出している。
知の光をそれぞれ矩形変換し、測定区間の始めと終わり
の部分に発生する端数部分のパルスを取り出すととも
に、これらのパルスの近傍の１パルスを、波長が既知の
光の信号１２から取り出している。
【００１６】積分部７は、波形処理部６の複数の出力波
形をそれぞれ積分し、時分割または並列に信号１８とし
て積分結果を出力する。カウンタ８は、図６のカウンタ
２４と同様に信号１７のパルス数を数え、結果を信号２
０として出力する。演算部９は、積分部７の出力信号１
８とカウンタ８の出力信号２０を入力とし、演算する。
形をそれぞれ積分し、時分割または並列に信号１８とし
て積分結果を出力する。カウンタ８は、図６のカウンタ
２４と同様に信号１７のパルス数を数え、結果を信号２
０として出力する。演算部９は、積分部７の出力信号１
８とカウンタ８の出力信号２０を入力とし、演算する。
【００１７】
【実施例】次に、波形処理部６の処理の例を図２に示
す。図２のアは波長が未知の光の信号１１の波形、図２
のイは波長が既知の光の信号１２の波形、図２のウは信
号１１を矩形波変換した波形、図２のエは信号１２を矩
形波変換したものである。
す。図２のアは波長が未知の光の信号１１の波形、図２
のイは波長が既知の光の信号１２の波形、図２のウは信
号１１を矩形波変換した波形、図２のエは信号１２を矩
形波変換したものである。
【００１８】図２のオは波形処理部６の出力信号１３の
波形であり、図２エにおいて、測定区間の初めに発生す
る端数部分近傍の１パルス分の波形である。図２のカは
波形処理部６の出力信号１４の波形であり、図２のウと
エにおいて、測定区間の初めに発生する端数部分の波形
である。
波形であり、図２エにおいて、測定区間の初めに発生す
る端数部分近傍の１パルス分の波形である。図２のカは
波形処理部６の出力信号１４の波形であり、図２のウと
エにおいて、測定区間の初めに発生する端数部分の波形
である。
【００１９】図２のキは波形処理部６の出力信号１５の
波形であり、図２のウとエにおいて、測定区間の終わり
に発生する端数部分と図２エの１パルス分との差であ
る。図２のクは波形処理部６の出力信号１６の波形であ
り、図２エにおいて、測定区間の終わりに発生する端数
部分近傍の１パルス分の波形である。図２のケは波形処
理部６の出力信号１７の波形であり、図２エの測定区間
内の波形である。
波形であり、図２のウとエにおいて、測定区間の終わり
に発生する端数部分と図２エの１パルス分との差であ
る。図２のクは波形処理部６の出力信号１６の波形であ
り、図２エにおいて、測定区間の終わりに発生する端数
部分近傍の１パルス分の波形である。図２のケは波形処
理部６の出力信号１７の波形であり、図２エの測定区間
内の波形である。
【００２０】次に、積分部７の動作を図３を参照して説
明する。図３の横軸は時間、縦軸は電圧である。図３の
アは測定区間の初めに発生する端数部分近傍の１パルス
分の波形である信号１３を積分した状態を示しており、
積分部７は信号１３のパルス幅に応じた電圧Ｖ１を得
る。図３のイは測定区間の初めに発生する端数部分の波
形である信号１４を積分した状態を示しており、積分部
７は信号１４のパルス幅に応じた電圧Ｖ２を得る。
明する。図３の横軸は時間、縦軸は電圧である。図３の
アは測定区間の初めに発生する端数部分近傍の１パルス
分の波形である信号１３を積分した状態を示しており、
積分部７は信号１３のパルス幅に応じた電圧Ｖ１を得
る。図３のイは測定区間の初めに発生する端数部分の波
形である信号１４を積分した状態を示しており、積分部
７は信号１４のパルス幅に応じた電圧Ｖ２を得る。
【００２１】図３のウは測定区間の終わりに発生する端
数部分と図２エの１パルス分との差の信号１５を積分し
た状態を示しており、積分部７は信号１５のパルス幅に
応じた電圧Ｖ３を得る。図３のエは測定区間の終わりに
発生する端数部分近傍の１パルス分の波形である信号１
６を積分した状態を示しており、積分部７は信号１６の
パルス幅に応じた電圧Ｖ４を得る。図３に示すように、
積分部７はパルス幅に比例して電圧を出力する。
数部分と図２エの１パルス分との差の信号１５を積分し
た状態を示しており、積分部７は信号１５のパルス幅に
応じた電圧Ｖ３を得る。図３のエは測定区間の終わりに
発生する端数部分近傍の１パルス分の波形である信号１
６を積分した状態を示しており、積分部７は信号１６の
パルス幅に応じた電圧Ｖ４を得る。図３に示すように、
積分部７はパルス幅に比例して電圧を出力する。
【００２２】次に、演算部９の処理について説明する。
演算部９は、信号１７のパルス数を示す信号２０から測
定区間の終わりで発生した端数部分を除くため、パルス
数から１を減算する。信号２０がＮとするとＮ−１とす
る。次に、演算部９は、電圧Ｖ２を電圧Ｖ１で除算し、
Ｎ−１＋Ｖ２／２・Ｖ１の演算を行う。さらにＶ４／Ｖ
３を求め、Ｎ−１＋Ｖ２／２・Ｖ１＋１−Ｖ３／Ｖ４と
し、次式を計算することで未知の波長を求める。
演算部９は、信号１７のパルス数を示す信号２０から測
定区間の終わりで発生した端数部分を除くため、パルス
数から１を減算する。信号２０がＮとするとＮ−１とす
る。次に、演算部９は、電圧Ｖ２を電圧Ｖ１で除算し、
Ｎ−１＋Ｖ２／２・Ｖ１の演算を行う。さらにＶ４／Ｖ
３を求め、Ｎ−１＋Ｖ２／２・Ｖ１＋１−Ｖ３／Ｖ４と
し、次式を計算することで未知の波長を求める。
【００２３】
【数１】
【００２４】ただし、未知の波長の光の干渉縞数は初め
から設定してもよいし、図１にカウンタを追加して数え
てもよい。
から設定してもよいし、図１にカウンタを追加して数え
てもよい。
【００２５】次に、この発明による波形処理部６の他の
処理例を図４に示す。図４のアは波長が未知の光の信号
１１を矩形波変換した波形、図４のイは波長が既知の光
の信号１２を矩形波変換した波形である。図４のウは信
号１３の波形であり、測定区間の初めに発生する端数部
分の波形である。図４のエは信号１４の波形であり、測
定区間の初めに発生する端数部分近傍の図４イの１パル
ス分である。
処理例を図４に示す。図４のアは波長が未知の光の信号
１１を矩形波変換した波形、図４のイは波長が既知の光
の信号１２を矩形波変換した波形である。図４のウは信
号１３の波形であり、測定区間の初めに発生する端数部
分の波形である。図４のエは信号１４の波形であり、測
定区間の初めに発生する端数部分近傍の図４イの１パル
ス分である。
【００２６】図４のオは信号１５の波形であり、測定区
間の終わりに発生する端数部分の波形である。図４のカ
は信号１６の波形であり、測定区間の終わりに発生する
端数部分近傍の図４イの１パルス分である。図４のキは
信号１７の波形であり、測定区間内における図４イの波
形である。図４ア・イは、図２ア・イに対して位相関係
が異なっている。
間の終わりに発生する端数部分の波形である。図４のカ
は信号１６の波形であり、測定区間の終わりに発生する
端数部分近傍の図４イの１パルス分である。図４のキは
信号１７の波形であり、測定区間内における図４イの波
形である。図４ア・イは、図２ア・イに対して位相関係
が異なっている。
【００２７】次に、図４の波形に対する積分部７の動作
を図５に示す。図５の横軸は時間であり、縦軸は電圧で
ある。図５のアは信号１３を積分した状態を示してお
り、積分部７は信号１３のパルス幅に応じた電圧Ｖ５を
得る。図５のイは信号１４を積分した状態を示してお
り、積分部７は信号１４のパルス幅に応じた電圧Ｖ６を
得る。図５のウは信号１５を積分した状態を示してお
り、積分部７は信号１５のパルス幅に応じた電圧Ｖ７を
得る。図５のエは信号１６を積分した状態を示してお
り、積分部７は信号１６のパルス幅に応じた電圧Ｖ８を
得る。次に、演算部９は図５で得られた電圧値により、
次式を計算する。
を図５に示す。図５の横軸は時間であり、縦軸は電圧で
ある。図５のアは信号１３を積分した状態を示してお
り、積分部７は信号１３のパルス幅に応じた電圧Ｖ５を
得る。図５のイは信号１４を積分した状態を示してお
り、積分部７は信号１４のパルス幅に応じた電圧Ｖ６を
得る。図５のウは信号１５を積分した状態を示してお
り、積分部７は信号１５のパルス幅に応じた電圧Ｖ７を
得る。図５のエは信号１６を積分した状態を示してお
り、積分部７は信号１６のパルス幅に応じた電圧Ｖ８を
得る。次に、演算部９は図５で得られた電圧値により、
次式を計算する。
【００２８】
【数２】
【００２９】演算部９の演算は、波形処理部６の処理の
内容によって変わる。例えば、演算部９で減算するもの
を波形処理部６で負電圧のパルスで出力し、積分部７で
負の電圧として積分し、演算部９で±符号を統一しても
よい。また、波形処理部６は作用例では全て立ち上がり
エッジを仮定したが、立ち下がりエッジで検出してもよ
い。
内容によって変わる。例えば、演算部９で減算するもの
を波形処理部６で負電圧のパルスで出力し、積分部７で
負の電圧として積分し、演算部９で±符号を統一しても
よい。また、波形処理部６は作用例では全て立ち上がり
エッジを仮定したが、立ち下がりエッジで検出してもよ
い。
【００３０】
【発明による効果】この発明によれば、測定区間の初め
と終わりに発生する端数部分を積分によって電圧で検出
し、演算することにより、光波長計の分解能と精度を改
善することができる。また、これらの端数部分のそれぞ
れについて、近傍の波長が既知である光による干渉縞の
１パルスと比較するため、移動鏡の移動速度の変化など
の外乱の影響を低減できる。
と終わりに発生する端数部分を積分によって電圧で検出
し、演算することにより、光波長計の分解能と精度を改
善することができる。また、これらの端数部分のそれぞ
れについて、近傍の波長が既知である光による干渉縞の
１パルスと比較するため、移動鏡の移動速度の変化など
の外乱の影響を低減できる。
【図１】この発明による光波長計の構成図である。
【図２】波形処理部６の処理例である。
【図３】積分部７の作用例である。
【図４】波形処理部６の処理例である。
【図５】積分部７の作用例である。
【図６】従来技術の光波長計の構成例である。
【図７】従来技術の波形処理部２１の処理例である。
【図８】従来技術のカウンタ１の作用例である。
１ 光分岐合波器 ２ 移動鏡 ３ 固定鏡 ４・５ 光検出器 ６ 波形処理部 ７ 積分部 ８ カウンタ ９ 演算部 ２１ 波形処理部 ２２ 高周波クロック発生器 ２３ カウンタ１ ２４ カウンタ２ ２５ 演算部
Claims (2)
- 【請求項１】 光波長が未知の光と既知の光を入射し、
それぞれ分岐合波する光分岐合波器(1) と、 分岐した一方の２光束を移動しながら反射し、光分岐合
波器(1) に再入射する移動鏡(2) と、 分岐した他の一方の２光束を反射し、光分岐合波器(1)
に再入射する固定鏡(3) と、 移動鏡(2) と固定鏡(3) からの波長が未知である光を光
分岐合波器(1) で合波した合波光を検出し、信号(11)を
出力する光検出器(4) と、 移動鏡(2) と固定鏡(3) からの波長が既知である光を光
分岐合波器(1)で合波した合波光を検出し、信号(12)を
出力する光検出器(5) と、 信号(11)と信号(12)を入力として矩形波変換し、測定区
間内の信号(12)の波形を第１の出力とするとともに、測
定区間の始めおよび終わりの端数部分の波形を波形処理
により求め、さらに信号(12)の１パルス分の波形を波形
処理により求めて第２の出力する波形処理部(6) と、 波形処理部(6) の第２の出力を入力として積分し、積分
結果を信号(18)として出力する積分部(7) と、 波形処理部(6) の第１の出力を入力とし、パルス数をカ
ウントして信号(20)を出力するカウンタ(8) と、 積分部(7) の出力とカウンタ(8) の出力を入力とし、演
算する演算部(9) とを備えることを特徴とする光波長
計。 - 【請求項２】 波形処理部(6) は、測定区間の始めおよ
び終わりの端数部分の波形の近傍から信号(12)の１パル
ス分の波形を波形処理により求めることを特徴とする請
求項１に記載の光波長計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18690193A JPH0719964A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 光波長計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18690193A JPH0719964A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 光波長計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0719964A true JPH0719964A (ja) | 1995-01-20 |
Family
ID=16196667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18690193A Pending JPH0719964A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 光波長計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719964A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19509598A1 (de) * | 1994-03-31 | 1995-10-05 | Ando Electric | Lichtwellenlängenmeßvorrichtung mit einem Längenmeßinstrument |
| JP2006284315A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Advantest Corp | 波長導出装置および該装置を備えた波長計、波長導出方法、プログラムおよび記録媒体 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP18690193A patent/JPH0719964A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19509598A1 (de) * | 1994-03-31 | 1995-10-05 | Ando Electric | Lichtwellenlängenmeßvorrichtung mit einem Längenmeßinstrument |
| JP2006284315A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Advantest Corp | 波長導出装置および該装置を備えた波長計、波長導出方法、プログラムおよび記録媒体 |
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