SU213358A1 - Интерференционный компаратор дл измерени концевых мер длины - Google Patents

Description

Известно оптико-злектронное устройство дл  измерени  линейных размеров деталей, содержащее интерферометр с ка.реткой, на которой закреплен один из отражателей .интерферометра н установлена намер ема  деталь .

В известном устройстве используетс  фотоэлектрический преобразователь, преобразующий выходной пучок интерферометра в электрический сигнал и соединенный с усилителем переменного тока, реверсивный счетчик .интерференционных полос и интерпол тор полосы.

Предложенное устройство отличаетс  от известного тем, что в нем установлены второй осветитель, дающий пучок параллельных лучей ахроматического света, и пластина, раздел юща  этот пучок на два пучка, зеркало , расположенное на столе р дом с плоскопа ,раллельной пластиной, модул тор, к которому прикреплено зеркало, установленное на пути одного из пучков.

Зеркало с модул тором укреплено на подвижной каретке.

На чертеже изображена схема предлагаемого компаратора.

Оптическа  схема компаратора базируетс  на применении двух схем интерферометра

Майкельсона. Один нз них образован осветителем t, дающим пучок параллельных лучей ахроматического света, светоделительной пластиной 2, поверхностью концевой меры 3, плоскопараллельной пластиной 4, закрепленной на столе 5, зеркалом 6.

Второй интерферометр образован осветителем 7, дающ.им входной пучок параллельных лучей монохроматического света, пластиной 8, зеркалом 6, зеркалом 9, закрепленным на

столе 5 р дом с пластиной 4. Зеркало 6, жестко св занное с модул тором 10, образует блок интерференционного модул тора, который закреплен на подвижной каретке 11. К модул тору 10 подводитс  напр жение от генератора 12 электрических колебаний. На пути выходного пучка ахроматического света установлен фотоэлектрический преобразователь 13, выход которого подключен к одному входу синхронного детектора 14 с нулевым

указателем 15.

деленной интерференционной полосы участки, сдвинутые по фазе на 90°. За днафрагмами установлены два фотоэлектрических иреобразовател  18, выходы которых подключены к одним входам синхронных детекторов 19. К выходам этих синхронных детекторов подключены реверсивный счетчик 20 интерференционных полос и интерпол тор 21 иитерференционной полосы, Вторые входы всех трех синхронных детекторов подключены к генератору 12 элекТ|рических колебаний.

Длина концевой меры измер етс  следующим образом. На модул тор 10 и синхронные детекторы 14 и 19 подаетс  сигнал от генератора 12 электрических колебаний. При этом происход т модул ци  интерференционной картины. Каретка // перемещаетс  до тех пор, пока в ахроматическом свете получитс  нулева  разность хода от зеркала 6 и, например, от плоскоиараллельной|нластины4.

При этом с выхода фотоэлектрического преобразовател  13 поступит еигиал иа вход синхронного детектора 14 с частотой, равной удвоеиной частоте генератора электрических колебаний. Стрелка иулевого указател  15 при приближении к иулевой разности хода отклон етс , а при нулевой разности хода - займет нулевое иоложение. Показани  ечетчика 20 и интерпол тора 21 сбрасываютс  на ноль. Затем каретка перемещаетс  до тех пор, пока в ахроматическом свете не получитс  нулева  разность хода от зеркала 6 н поверхности измер емой концевой меры. В процеесе движени  каретки // до получени  второй нулевой разноети хода еигнал с фотоэлектрических преобразователей 18 поетупает на детекторы 19, с выхода которых подают сигналы, сдвинутые но фазе на 90°. Произведение показаний ечетчика интерференционных полос и интерпол тора полоеы на половину волны нрименеиного монохроматического света равно длине измер емой концевой меры. Пепользование метода

счета интерференционных нолое в сочетании с фотоэлектрическим ст,ройством дл  наведеин  иа начало и конец меры обесиечнвает автоматическое из.мсрение длины концевых меп с высокой точностью.

Предмет изобретени 

Интерференцио1Л ый комнаратор дл  измерени  концевых мер длины, содержащий осветитель, дающий иучок параллельных лучей монохро-матического света, светоделит (;льиую иластииу, раздел ющую падающий ег етовой пучок на два пучка, зеркало с модул тором , укрепленные на подвижной кар(ггке и установленные на пути одного из пучков , етол, концевую меру с притертой к ней плоскопараллельной плаетиной, за1фепленные на столе и установленные на пути второго пучка, оптико-электронное устройство,

5 осуществл юндее реверсивный счет интерференционных иолос, н интерпол тор полосы, отличающийс  тем, что, с целью автоматизации и повышени  точности изА ерений, в нем установлен второй осветитель, даюидий пучок параллельных лучей а.хроматнческого евета, светоделительиа  пластина, раздел юща  этот пучок на два пучка, зеркало, установленное на етоле и расположенное р дом е плоскопараллельной пластиной, фотоэлек5 трнчеекий нреобразователь, Становлснный на пути выходного пучка, еинхронный детекгоз с нулевым указателем, электрически сое .диненным с фотоэлектрическим преобразователем .

-13-

,

/К