JPH07198730A

JPH07198730A - 走査型プローブ顕微鏡装置

Info

Publication number: JPH07198730A
Application number: JP33661193A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Murayama; 健村山; Takashi Morimoto; 高史森本
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1993-12-28
Filing date: 1993-12-28
Publication date: 1995-08-01

Abstract

(57)【要約】【目的】プローブ顕微鏡をより正確にセットすること
ができ、かつ、装置全体を簡素化することができる走査
型プローブ顕微鏡装置を提供すること。【構成】最初にレーザ顕微鏡Ｂにより試料３を走査し
てその顕微鏡像から観察対象領域を捕捉する。次にレー
ザビームＬＢを光路切換手段により変位させてカンチレ
バー１の先端の顕微鏡像を得る。カンチレバー１の先端
にレーザビームが照射されている状態で、ステージ８に
より観察対象個所を探針２に対向させ、ＸＹＺスキャナ
９でプローブ顕微鏡Ａによる走査、計測を行なう。この
間、カンチレバー１から反射したレーザビームは光検出
手段で検出される。レーザ顕微鏡Ｂにより観察対象個所
が精度良く捕捉され、レーザビームと光検出器１６をレ
ーザ顕微鏡Ｂとプローブ顕微鏡Ａで共用するので構成が
簡素化される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は広視野顕微鏡としてレ−
ザ顕微鏡を用いた走査型プローブ顕微鏡装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡には、被検査材料
（試料）の表面形状や表面電気特性を計測するのに好適
なトンネル顕微鏡、試料の表面形状を計測するのに好適
な原子間力顕微鏡、試料の磁気特性を計測する磁気力顕
微鏡、試料の表面形状を計測し、又は試料を微細加工す
るのに適した力顕微鏡等、多くの種類が開発され、実用
化されている。このようなプローブ顕微鏡を、原子間力
顕微鏡を例示して図９により説明する。

【０００３】図９は原子間力顕微鏡の概略構成を示す図
である。この図で、１はカンチレバー、２はカンチレバ
ー１の先端に取り付けられた探針、３は試料、４は試料
３を載置するＸＹＺスキャナである。５はレーザ光ＬＢ
を用いてカンチレバー１の変位を検出する変位検出器で
あり、例えばレーザ光の干渉を用いる方式や光てこの原
理を用いる方式が採用されている。したがって、この変
位検出器５には、レーザ発振器および光検出器が含まれ
ている。６は走査信号を出力し、又、変位検出器５の検
出信号に基づいてＸＹＺスキャナ４を駆動制御するコン
トローラである。Ｘ、Ｙ、Ｚは座標軸を示す。

【０００４】計測に際し、探針２を試料３の表面に接近
（約１ｎｍ）させると、探針２と試料３との間にファン
デルクールス力等の力が作用し、この力によりカンチレ
バー１にたわみ変形が生じる。このたわみ変形のたわみ
量は変位検出器５で検出され、コントローラ６に出力さ
れる。一方、コントローラ６は走査信号Ｐ_X 、Ｐ_Y によ
りＸＹＺスキャナ４をＸ−Ｙ平面で駆動して試料３を探
針２の下で走査させる。この走査の間、カンチレバー１
は試料３の表面形状に応じてたわみ、コントローラ６は
変位検出器５で検出された当該たわみ量が常に一定にな
るように変位信号Ｐ_Z を出力してＸＹＺスキャナ４をＺ
軸方向に変位させる。この変位信号Ｐ_Zに基づいて試料
３の表面形状が測定される。この測定は原子オーダの分
解能でなされる。

【０００５】ところで、ＸＹＺスキャナ４には圧電素子
が用いられ、その移動範囲は１〜１００μｍ程度であ
り、極めて微小な領域である。したがって、試料３の表
面全体からこの微小領域を探して探針２を対向セットす
るのは目視では不可能である。このため、通常、プロー
ブ顕微鏡に光学顕微鏡が併設され、最初に観察対象領域
を光学顕微鏡で捕捉し、次いで、試料３を移動させて捕
捉された領域にプローブ顕微鏡をセットする手法が採用
されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】プローブ顕微鏡に光学
顕微鏡を併設した上記のプローブ顕微鏡装置において、
光学顕微鏡の分解能はそれほど高くはなく、一方、観察
対象領域はより微小になる傾向にあるので、光学顕微鏡
を用いた装置では、プローブ顕微鏡の正確なセットには
問題があった。又、プローブ顕微鏡と光学顕微鏡の併設
は装置全体を複雑かつ大型化するという問題もあった。

【０００７】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、プローブ顕微鏡をより正確にセットするこ
とができ、かつ、装置全体を簡素化することができる走
査型プローブ顕微鏡装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、カンチレバーおよびその先端に取り付け
られた探針より成るプローブ顕微鏡と、試料を載置する
面を有しその面内で変位可能なステージとを備えた走査
型プローブ顕微鏡装置において、レーザ顕微鏡を、前記
カンチレバーの先端を視野内に入れる位置に設置すると
ともに、前記レーザ顕微鏡のレーザビームを前記試料と
前記カンチレバーとに切り換えて照射する光路切換手段
と、前記試料又は前記カンチレバーで反射したレーザビ
ームを検出するレーザビーム検出手段とを設けたことを
特徴とする。

【０００９】又、本発明は、上記構成において、光路切
換手段に代えて、前記試料に照射されている前記レーザ
顕微鏡のレーザビーム位置に対して前記カンチレバーの
先端を進入、退避させるカンチレバー移動手段を設けた
ことも特徴とする。

【００１０】

【作用】レーザ顕微鏡により試料の顕微鏡像が得られ、
この顕微鏡像から観察対象領域が精度良く捕捉される。
この状態で、レーザビームは光路切換手段によりカンチ
レバー側に変位され、カンチレバーの顕微鏡像が得られ
る。レーザビームがカンチレバー先端に照射された状態
で、捕捉された観察対象個所と探針とを対向させ、プロ
ーブ顕微鏡による走査、計測を行ない、このときカンチ
レバーから反射したレーザビームをレーザビーム検出手
段で検出してカンチレバーのたわみ量を、即ちプローブ
顕微鏡像を得る。

【００１１】又、カンチレバー移動手段を用いる場合に
は、レーザビームを観察対象領域に照射した状態で、カ
ンチレバー移動手段によりカンチレバーの先端をレーザ
ビームの照射位置まで進入させ、この状態で走査、計測
を実施し、上記と同様にレーザビーム検出手段でカンチ
レバーのたわみ量を検出する。

【００１２】

【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。図１は本発明の第１の実施例に係る走査型プロー
ブ顕微鏡装置の概略構成を示す図である。この図で、Ａ
はプローブ顕微鏡であり、カンチレバー１、探針２、試
料３を載置するステージ８、およびカンチレバー１を支
持するＸＹＺスキャナ９で構成される。Ｂはプローブ顕
微鏡Ａと併設された本実施例のレーザ顕微鏡（干渉型）
を示す。ここで、通常の干渉型レーザ顕微鏡の構成およ
び動作を図２を参照して説明する。

【００１３】図２は干渉型レーザ顕微鏡の概略構成を示
す図である。この図で、１０はレーザビームＬＢを出力
するレーザ発振器、１１は偏光ビームスプリッタ、１２
はλ／４板、１３は反射ミラー、１４はλ／４板、１５
はレンズ、１６は光検出器である。Ｋはレーザビームの
光軸を示す。

【００１４】レーザ発振器１０から出力されたレーザビ
ームＬＢは偏光ビームスプリッタ１１に入射し、ここで
２つの光路に分かれる。一方は参照光としてλ／４板１
２を通り、反射ミラー１３で反射されて光検出器１６に
導入される。この光路を通るレーザビームが符号ＬＢ₁
で示されている。又、他方はλ／４板１４を通り、レン
ズ１５で絞られ、試料３に照射され、その反射光が光検
出器１６に導入される。この光路を通るレーザビームが
符号ＬＢ₂ で示されている。光検出器１６に導入された
２つのレーザビームＬＢ₁ 、ＬＢ₂ はそれら相互の光路
長の差に応じて互いに干渉する。したがって、ステージ
８をＸ−Ｙ平面内で走査すると、試料３の表面の凹凸に
応じて光路長が変化し、この変化に応じて光検出器１６
における干渉光の強度が変化する。これにより、試料３
の表面形状のレーザ顕微鏡像を得ることができる。この
干渉型レーザ顕微鏡のＺ軸方向の分解能は１ｎｍ以下で
あり、Ｘ、Ｙ軸方向では通常０．５〜１μｍ程度であ
る。

【００１５】ここで、再び図１に示す本実施例の説明に
戻る。図１に示すレーザ顕微鏡Ｂにおいて、図２に示す
部分と同一又は等価な部分には同一符号が付してある。
本実施例では、レーザ発振器１０を光軸Ｋから外れた位
置に設け、光軸Ｋ上にはレーザ発振器１０からのレーザ
ビームＬＢの光路を光軸Ｋ方向に変換する光路変換部１
７が配置される。この光路変換部１７は、単にレーザビ
ームＬＢの光路を光軸Ｋ方向に変換するだけでなく、Ｘ
軸まわりおよびＹ軸まわりの２自由度をもって光路を選
択することができる。レーザ顕微鏡Ｂの他の構成は図２
に示す構成と同じである。

【００１６】図３は図１と同じプローブ顕微鏡装置の概
略構成を示す図であり、図１に示す部分と同一部分には
同一符号が付してある。図１がレーザビームを試料３に
照射する状態を示す図であるのに対して、図３は光路を
変換してレーザビームをカンチレバー１の先端に照射す
る状態を示す図である図４は図１および図３に示す装置
の駆動を制御する制御部のブロック図である。この図
で、図１に示す部分と同一部分には同一符号が付してあ
る。８０はレーザ顕微鏡コントローラであり、ステージ
８の走査を制御するとともに、この走査中に得られた光
検出器１６の検出信号に基づいてレーザ顕微鏡像表示の
ための画像処理を行なう。９０はプローブ顕微鏡コント
ローラであり、ＸＹＺスキャナ９を駆動してカンチレバ
ー１の変位や探針２の試料３への接近や離間を制御する
とともに、光検出器１６の検出信号に基づいてレーザ顕
微鏡像表示のための画像処理を行なう。１８は２つの切
換端子Ｔ₁ 、Ｔ₂ を有するスイッチ部であり、光検出器
１６の検出信号をレーザ顕微鏡コントローラ８０又はプ
ローブ顕微鏡コントローラ９０に選択的に切り換えて入
力させる。１７０は光路コントローラであり、光路変換
部１８を駆動して光路を図１又は図２に示す状態に変換
するとともに、スイッチ部１８の切り換えを制御する。
１９はプローブ顕微鏡Ａ又はレーザ顕微鏡Ｂの顕微鏡像
を表示する表示部である。なお、上記ＸＹＺスキャナ９
はステージ８の上に設け、その上に試料３を載置しても
よい。この場合、カンチレバー１は適宜個所に固定され
る。

【００１７】図５はレーザ顕微鏡Ｂの視野を示す図であ
る。この図で、Ｂ₀ はレーザ顕微鏡Ｂの視野、Ｂ_0Sは試
料３の走査領域の顕微鏡像、Ｂ_0Aはカンチレバー１の先
端の顕微鏡像、Ｐ₃ は走査領域の顕微鏡像Ｂ_0S内の観察
対象個所、Ｐ₁ はカンチレバー１の先端の探針２が取り
付けられている個所を示す。

【００１８】次に、本実施例の動作を説明する。最初
に、光路コントローラ１７０は光路変換部１７を駆動し
てレーザビームを図１に示すように試料３に照射させる
とともに、スイッチ部１８を端子Ｔ₁ 側に切り換える。
この状態で、レーザ顕微鏡コントローラ８０はステージ
８を駆動して試料３の走査を行なう。この走査中、光検
出器１６で得られた検出信号はスイッチ部１８を介して
レーザ顕微鏡コントローラ８０へ出力され、レーザ顕微
鏡コントローラ８０はこの検出信号を画像処理して表示
部１９へ出力する。これにより、表示部１９には図５に
示す走査領域の顕微鏡像Ｂ_0Sが表示される。この表示に
基づいて観察対象個所Ｐ₃ が見出され、その座標がレー
ザ顕微鏡コントローラ８０のメモリ記憶される。

【００１９】次に、光路コントローラ１７０は光路変換
部１７を駆動してレーザビームを図３に示すようにカン
チレバー１に照射させる。カンチレバー１に照射された
か否かは、表示部１９の表示を見ても判断できるが、本
実施例では、光路コントローラ１７０が光検出器１６の
検出信号を入力し、レーザビームがカンチレバー１に照
射されたときの当該検出信号の変化（光干渉の強度の変
化）により判断する。この判断と同時に、光路コントロ
ーラ１７０は光路変換部１７の駆動を停止する。この状
態において、表示部１９には図５に示すカンチレバー１
の顕微鏡像Ｂ_0Aが表示される。

【００２０】レーザ顕微鏡コントローラ８０は、図５に
示す個所Ｐ₁ の座標をそのメモリに記憶するとともに、
この座標と、さきに記憶されている観察対象個所Ｐ₃ の
座標から、両者の差ｘ、ｙを演算し、ステージ８を距離
ｘ、ｙだけ移動させる。この結果、観察対象個所Ｐ₃
は、カンチレバー１にレーザビームが照射された状態
で、探針２に対向することとなる。

【００２１】次に、光路コントローラ１７０はスイッチ
部１８を端子Ｔ₂ 側に切り換える。この状態で、プロー
ブ顕微鏡コントローラ９０は、ＸＹＺスキャナ９を駆動
して観察対象個所Ｐ₃ を走査するとともに、この走査
中、光検出器１６で得られた検出信号をスイッチ部１８
を介して入力する。プローブ顕微鏡コントローラ９０は
この入力された検出信号（カンチレバー１のたわみ量に
応じた信号）を画像処理して表示部１９へ出力する。こ
れにより、表示部１９には観察対象個所Ｐ₃ の計測結果
の像が表示される。

【００２２】このように、本実施例では、広視野顕微鏡
としてレーザ顕微鏡を用いたので、高い分解能で観察対
象個所を捕捉することができ、ひいては、当該観察対象
個所に探針２を確実にセットすることができる。又、プ
ローブ顕微鏡Ａとレーザ顕微鏡Ｂとを、カンチレバー１
の先端がレーザ顕微鏡Ｂの視野に入る状態で併設し、レ
ーザ顕微鏡のレーザビームおよび光検出器１６をプロー
ブ顕微鏡Ａの変位検出に併用するようにしたので、プロ
ーブ顕微鏡Ａの変位検出に要する装置を省くことがで
き、装置の全体構成を簡素化することができ、かつ、装
置のコストを低減することができる。

【００２３】図６は本発明の第２の実施例に係る走査型
プローブ顕微鏡装置の概略構成を示す図である。この図
で、図１に示す部分と同一又は等価な部分には同一符号
が付されている。さきの実施例と比べて本実施例では、
レーザ発振器１０は光軸Ｋ上に配置され、又、光路変換
部１７は省かれている。さらに、ＸＹＺスキャナ９はス
テージ８上に設けられ、その上に試料３が載置されてい
る。９１はカンチレバー移動機構であり、カンチレバー
１の先端をレーザビームの照射位置に進入させ、又は、
当該照射位置から退避させる機能を有する。

【００２４】本実施例では、図４に示すさきの実施例の
光路変換部１７に代えてカンチレバー移動機構９１を、
又、光路コントローラ１７０に代えてカンチレバー移動
機構９１を駆動するカンチレバー移動機構コントローラ
を設ける。レーザ顕微鏡で観察対象個所を見出すときに
は、カンチレバー移動機構コントローラでカンチレバー
移動機構を駆動してカンチレバー１を退避させ、かつ、
スイッチ部１８を端子Ｔ₁ 側に切り換える。試料３の観
察対象位置が見出されると、この位置をステージ８でレ
ーザビームで一致させた後、プローブ顕微鏡で観察対象
個所の計測を行なう。この計測においては、カンチレバ
ー移動機構コントローラでカンチレバー移動機構を駆動
してカンチレバー１をその上面にレーザビームが照射さ
れる位置に進入させ、かつ、スイッチ部１８を端子Ｔ₂
側に切り換える。その他の動作および本実施例の効果
は、さきの実施例の動作および効果と同じである。

【００２５】図７は本発明の第３の実施例に係る走査型
プローブ顕微鏡装置の概略構成を示す図である。この図
で、図６に示す部分と同一又は等価な部分には同一符号
が付してある。Ｂ₁ はレーザ顕微鏡を示す。このレーザ
顕微鏡Ｂ₁ は共焦点型のレーザ顕微鏡である。２０はレ
ーザビームＬＢの点光源であり、さきの実施例のレーザ
発振器１０に相当する。２１はハーフミラー又はビーム
スプリッタ、２２は対物レンズ、２４はピンホール、２
５は光検出器である。

【００２６】点光源２０からのレーザビームＬＢはハー
フミラー又はビームスプリッタ２１を通り、対物レンズ
２２で試料３上に焦点を結ぶ。試料３からの反射光は対
物レンズ２２を経てハーフミラー又はビームスプリッタ
２１に戻り、ここで光路を変換され、ピンホール２４を
通って光検出器２５に到達する。対物レンズ２２の焦点
距離と試料３の表面が一致したとき光検出器２５の出力
は最大となり、焦点距離がずれるに従って出力が低下す
る。ピンホール２４が介在しているため、検出感度が極
めて高く、試料３の凹凸情報（Ｚ軸方向の変化の情報）
も計測可能である。このような共焦点型レーザ顕微鏡Ｂ
₁ の分解能は、レーザビームにヘリュームネオンレーザ
を用いた場合、約０．２５μｍと云われている。

【００２７】本実施例の動作は、図６に示す第２の実施
例の動作に準じる。又、本実施例の効果はさきの各実施
例の効果と同じであり、さらに、上述のように直接凹凸
情報を得ることができるため、ＸＹＺスキャナ９におけ
るＺ軸方向の制御が容易になる。

【００２８】図８は本発明の第４の実施例に係る走査型
プローブ顕微鏡装置の概略構成を示す図である。この図
で、図７に示す部分と同一又は等価な部分には同一符号
が付してある。Ｂ₂ はレーザ顕微鏡を示す。このレーザ
顕微鏡Ｂ₂ も図７に示すレーザ顕微鏡Ｂ₁ と同じく共焦
点型のレーザ顕微鏡である。３０はレーザビームＬＢの
点光源であり、第１、第２の実施例のレーザ発振器１０
に相当する。３１はビームエキスパンダ、３２はミラ
ー、３３は音響光学偏向素子（ＡＯ素子）、３４は偏向
ビームスプリッタ、３５はガルバノミラー、３６はミラ
ー、３７は対物レンズ、３８はレンズ、３９はＣＣＤイ
メージセンサである。ＣＣＤイメージセンサ３９は上記
各実施例の光検出器１６に相当する。

【００２９】点光源３０からのレーザビームＬＢは、ビ
ームエキスパンダ３１でビーム径が広げられた後、ミラ
ー３２、ＡＯ素子３３、偏向ビームスプリッタ３４、ガ
ルバノミラー３５、ミラー３６、対物レンズ３７を通っ
て試料３に照射され、その反射光は逆に同一経路を経て
偏向ビームスプリッタ３４からレンズ３８を通り、ＣＣ
Ｄイメージセンサ３９に入力される。

【００３０】本実施例では、図４に示す構成のうち、光
検出器１６に代えてＣＣＤイメージセンサを、又、光路
変換部１７に代えてＡＯ素子３３およびガルバノミラー
３５をそれぞれ設け、さらに、光路コントローラ１７０
をＡＯ素子３３およびガルバノミラー３５を制御する機
構に構成する。

【００３１】本実施例のレーザ顕微鏡Ｂ₂ も原理的には
図７に示すレーザ顕微鏡Ｂ₁ と同じであるが、ＡＯ素子
３３およびガルバノミラー３５を用いて図７に示す実施
例とは異なる動作を行なう。即ち、光路コントローラ１
７０は、ＡＯ素子３３およびガルバノミラー３５を制御
してレーザ顕微鏡Ｂ₂ の視野（図５に示す視野Ｂ₀ に相
当する）を走査する。この走査は、ＡＯ素子３３および
ガルバノミラー３５の機能により高速に行なわれる。こ
の結果、ＣＣＤイメージセンサ３９には高速で当該視野
のレーザ顕微鏡像が得られる。ＣＣＤイメージセンサ３
９からの信号はレーザ顕微鏡コントローラ８０で画像処
理されて表示部１９に表示される。

【００３２】この場合、試料３上の観察対象個所の像と
カンチレバー１の像が同時に得られるので、両者の座標
も同時に得られる。そこで、レーザ顕微鏡コントローラ
８０は当該各座標に基づいてステージ８を移動させ、観
察対象個所を探針２に一致させる。次いで、光路コント
ローラ１７０はＡＯ素子３３およびガルバノミラー３５
を制御してレーザビームをカンチレバー１の先端に照射
するとともに、スイッチ部１８を端子Ｔ₂ に切り換え
る。なお、上記ステージ８の移動と光路の変位の動作順
序は逆にしても差し支えない。この状態で、プローブ顕
微鏡コントローラ９０はＸＹＺスキャナ９を駆動して、
観察対象個所を走査し、ＣＣＤイメージセンサ３９にプ
ローブ顕微鏡像を採取する。

【００３３】本実施例の効果も第３の実施例の効果と同
じであり、さらに、試料３上の観察対象個所の像とカン
チレバー１の像が同時に得られるので、処理手順がより
一層簡素化される。

【００３４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では、広視野
顕微鏡としてレーザ顕微鏡を用いたので、高い分解能で
観察対象個所を捕捉することができ、ひいては、当該観
察対象個所に探針を確実にセットすることができる。
又、プローブ顕微鏡とレーザ顕微鏡とを、カンチレバー
の先端がレーザ顕微鏡の視野に入る状態で併設し、レー
ザ顕微鏡のレーザビームおよび光検出器をプローブ顕微
鏡の変位検出に併用するようにしたので、プローブ顕微
鏡の変位検出に要する装置を省くことができ、装置の全
体構成を簡素化することができ、かつ、装置のコストを
低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る走査型プローブ顕
微鏡装置の概略構成を示す図である。

【図２】レーザ顕微鏡の構成を示す図である。

【図３】本発明の第１の実施例に係る走査型プローブ顕
微鏡装置の概略構成を示す図である。

【図４】図１および図３に示す装置の駆動を制御する制
御部のブロック図である。

【図５】レーザ顕微鏡の視野を示す図である。

【図６】本発明の第２の実施例に係る走査型プローブ顕
微鏡装置の概略構成を示す図である。

【図７】本発明の第３の実施例に係る走査型プローブ顕
微鏡装置の概略構成を示す図である。

【図８】本発明の第４の実施例に係る走査型プローブ顕
微鏡装置の概略構成を示す図である。

【図９】プローブ顕微鏡の概略構成を示す図である。

【符号の説明】

１カンチレバー２探針３試料８ステージ９ＸＹＺスキャナ１０レーザ発振器１６光検出器１７光路変換部Ａプローブ顕微鏡Ｂレーザ顕微鏡

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カンチレバーおよびその先端に取り付け
られた探針より成るプローブ顕微鏡と、試料を載置する
面を有しその面内で変位可能なステージとを備えた走査
型プローブ顕微鏡装置において、レーザ顕微鏡を、前記
カンチレバーの先端を視野内に入れる位置に設置すると
ともに、前記レーザ顕微鏡のレーザビームを前記試料と
前記カンチレバーとに切り換えて照射する光路切換手段
と、前記試料又は前記カンチレバーで反射したレーザビ
ームを検出するレーザビーム検出手段とを設けたことを
特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置。
【請求項２】カンチレバーおよびその先端に取り付け
られた探針より成るプローブ顕微鏡と、試料を載置する
面を有しその面内で変位可能なステージとを備えた走査
型プローブ顕微鏡装置において、レーザ顕微鏡を、前記
カンチレバーの先端を視野内に入れる位置に設置すると
ともに、前記試料に照射されている前記レーザ顕微鏡の
レーザビーム位置に対して前記カンチレバーの先端を進
入、退避させるカンチレバー移動手段と、前記試料又は
前記カンチレバーで反射したレーザビームを検出するレ
ーザビーム検出手段とを設けたことを特徴とする走査型
プローブ顕微鏡装置。
【請求項３】請求項１又は請求項２において、前記レ
ーザ顕微鏡は、干渉型レーザ顕微鏡であることを特徴と
する走査型プローブ顕微鏡装置。
【請求項４】請求項１又は請求項２において、前記レ
ーザ顕微鏡は、共焦点型レーザ顕微鏡であることを特徴
とする走査型プローブ顕微鏡装置。