JPH0717985U - 油回転真空ポンプ - Google Patents

油回転真空ポンプ

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JPH0717985U
JPH0717985U JP5363493U JP5363493U JPH0717985U JP H0717985 U JPH0717985 U JP H0717985U JP 5363493 U JP5363493 U JP 5363493U JP 5363493 U JP5363493 U JP 5363493U JP H0717985 U JPH0717985 U JP H0717985U
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JP
Japan
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exhaust
oil
vacuum pump
rotary vacuum
baffle
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Application number
JP5363493U
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English (en)
Inventor
克徳 中
俊一 立野
Original Assignee
日本真空技術株式会社
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Abstract

(57)【要約】 [目的] 油回転真空ポンプの運転時の排気音を低減す
ること。 [構成] 排気部の油だまり20の容積を大とし、油だ
まり20の側壁に大きい開口91を設けて排気の通路と
すると共に排気の方向を屈曲させるようにし、かつ排気
バッフル81を両持ち支持とする。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、油回転真空ポンプ、特に運転時の排気音の低減された油回転真空ポ ンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術及びその問題点】
油によってシールと潤滑を保ちながら、ロータの回転によって容積排気を行な い、大気へ放出出来る油回転真空ポンプは各分野において広く用いられている。 油回転真空ポンプには回転翼型、カム型、揺動ピストン型があり、またポンプ本 体が1台の1段式と2台のポンプ本体を直列に接続した2段式とがある。
【0003】 これらの中では、回転翼型の1段式、または2段式が多用されているが、その 排気原理を回転翼型、1段式の油回転真空ポンプについて説明すれば図5に示す 如くである。すなわち、ポンプのシリンダCは図示しない油槽ケース内の油中に 設置されて外気の侵入を防ぐ構造となっており、シリンダCの中心とは偏心位置 にロータRが設けられ、ロータRには通常2枚の翼Wが付属し、これらの翼Wは ロータRが回転するとロータR内のコイルばねgの力と遠心力とによってシリン ダCの内壁を摺動するようになっている。翼WとロータRとシリンダCとによっ て囲まれた空間は、ロータRの回転に伴って容積を変化する。吸気口Sに通じる 空間はロータRが矢印pの方向に回転すると共に容積を増し、一方排気弁Vに 通じる空間は容積を減じていく。吸気口S、排気弁Vの何れにも通じない空間 があり(図5のA)、ロータRが回転すると空間の状態になる(図5のB) 。
【0004】 すなわち、吸気過程、移送圧縮過程を経て、空間が所定の圧力まで圧縮され ると、その圧力によって排気弁Vが押し上げられて排気は油槽ケース内に放出さ れ、油槽ケースに設けた吐気口から大気へ排出される。なお、翼WとシリンダC の内面とのシール及び摺動の潤滑を保ったために、油槽ケース内の油がロータR の回転中は適量供給されるようになっている。因みに本考案はこの排気弁Vを含 む排気部を主対象とするものである。
【0005】 この油回転真空ポンプは、上述のように、ポンプ本体に適量の油を供給しなが ら排気を行なわせるものであるが故に、排気中に油滴を伴い易く、また排気音が 大きいという欠点を有している。この排気音は油滴を含んだ排気が勢いよく排出 されるために発生するが、近年、油回転ポンプの使用場所における作業環境の改 善の見地から、排気音の低減についての要請が極めて強くなっている。
【0006】 この油回転真空ポンプの排気部の従来例を図3、図4に示した。すなわちシリ ンダ壁1の一部を利用して排気部が形成されており、排気部の底面には下から排 気口2が開口している。また排気部の底面に六角孔ボルト74、75で固定され た排気弁座5には薄板ばねからなる排気弁3及び排気弁ガイド4が六角孔ボルト 6で固定されている。なお、排気弁ガイド4は排気弁3のリフト量が過大となっ て破損することを防ぐためのものである。
【0007】 また、排気部の底壁と側壁とに囲まれて油だまり10が形成されており、排気 弁3と排気口2とを気密に保つための油oが側壁の高さまで貯留される。更には 、排気部の側壁(シリンダ壁1)に六角孔ボルト84、85で片持ち支持されて 排気バッフル8が設けられ、その先端部を屈曲させて油だまり10の油面との間 に狭い間隙が形成されている。この狭い間隙は油滴と気体との分離効率を高 めるためのものである。
【0008】 従来例による油回転真空ポンプの排気部は以上のように構成されるが、以下に その作用を説明する。
【0009】 油回転真空ポンプが運転され、排気口2の圧力が約900Torr以上になる と、排気口2から油滴を含む排気が排気弁3を押し上げて排出される。そして排 気は油だまり10を抜けて、上方の排気バッフル8に衝突し、そのことによって 油滴の飛散が防止され、かつ油滴と気体との分離が行なわれる。その分離効率を 上げるために、油だまり10の油面と排気バッフル8との間隙を狭くしている ことは既述した通りである。そしてこの部分を経由した排気は図3、図4の矢印 で示すように油槽ケース内へ放出される。
【0010】 このようにして油回転真空ポンプによる排気が行なわれ、このポンプの吸気口 の圧力が到達圧力に達した場合、排気口2から排出されるものは殆どが油滴から なる排気であり、この排気が勢いよく排出されることが騒音の原因となっている 。すなわち、排気バッフル8と油だまり10の油面との狭い間隙を排気が高速 で通過する時に周波数の高い音を発生していた。また、排気バッフル8が片持ち 支持であるために振動して音を発生することも騒音の原因となっていた。
【0011】 この問題に対処するために、排気バッフル8の形状を変更することが行なわれ たが十分でなく、また油槽ケースの吐気口に有孔のゴム蓋をかぶせることが行な われた。ゴム蓋はそれなりに排気音の減少に効果は認められたものの、ゴムは一 般に耐油性に乏しいので、長期間の使用によって膨潤変形し、機能不良となるな ど完全な対策ではなかったのである。
【0012】
【考案が解決しようとする問題点】
本考案は上述の問題に鑑みてなされたものであり、排気音の極めて低減された 油回転真空ポンプを提供することを目的とする。
【0013】
【問題点を解決するための手段】
以上の目的は、油によってシールと潤滑を保ちつつ運転される油回転真空ポン プにおいて、排気口と排気弁とを気密に保つべき油を貯留する油だまりの容積を 大とし、前記油だまりの側壁に、排気を通過させ、かつ排気の方向を屈曲させる 大きい開口を設け、更に排気を衝突させて油滴と気体とに分離させる排気バッフ ルを両持ち支持としたことを特徴とする油回転真空ポンプ、によって達成される 。
【0014】
【作用】
油だまりの容積が大きいので、排気口から勢いよく排出される排気は十分に減 速され、また、油だまりの側壁に設けた開口を大きくしたことによって排気の通 路に狭い個所がなくなって通過音が低減される。更には開口によって排気の方向 が屈曲されるので、排気通路としての開口が大きくとも、油滴と気体との分離は 従来のものと変わらない。また更には、両持ち支持された排気バッフルは排気が 衝突しても片持ち支持の排気バッフルのようには振動しないので、これによる騒 音も低減される。
【0015】
【実施例】
以下、本考案の実施例による油回転真空ポンプの改良された排気部について、 図面を参照して説明する。なお、上記の従来例と同様な部分については同一の符 号を付し、説明の重複は可及的に省略する。
【0016】 図1は実施例による油回転真空ポンプの排気部の断面図であり、図2はその平 面図である。図1、図2において、排気口2、排気弁3、排気弁ガイド4は従来 例と同様に構成されている。
【0017】 すなわち、シリンダ壁1の一部に排気部が形成されており、排気部の底面には 下から排気口2が開口している。また、排気部の底面には六角孔ボルト52、5 3によって排気弁座51が固定されており、この排気弁座51に薄板ばねからな る排気弁3及び排気弁ガイド4が六角孔ボルト6で固定されている。なお、排気 弁ガイド4は、従来例と同じく、排気弁3のリフト量を制限するためにある。
【0018】 また、排気部の底壁と側壁とに囲まれて形成される油だまり20は、従来例の 油だまり10と比較して容積的に約2倍の大きさとされている。そして、油だま り20の側壁(シリンダ壁1)に大きい開口91を形成して排気の通路とし、か つ排気の方向を屈曲させる役割を担わせている。更には開口91の外側において は、排気バッフル81とシリンダ壁1に挟まれて、排気が油槽ケース内へ放出さ れる通路が形成されている。また更には排気バッフル81は油だまり20の両側 壁(シリンダ壁1)に六角孔ボルト82、83によって両持ち支持としている。 なお、油だまり20における油oの面は開口91の下縁となる。
【0019】 本考案の実施例による油回転真空ポンプの排気部は以上のように構成されるが 、次にこの作用について説明する。
【0020】 油回転真空ポンプが運転され、吸気口における圧力がこの真空ポンプの到達圧 力に達した時点においては、排気口2からは殆どが油滴からなる排気が約10〜 15m/sの流速で排出されるが、本実施例においては油だまり20を従来例の 油だまり10の約2倍の容積としていることにより、排気速度は十分に減速され る。また、油だまり20の側壁に大きい開口91を設けて、図1に矢印で示す排 気の通路に狭い個所をなくしているので、排気が狭い間隙を高速で通過する時に 発生する高周波音の発生が極度に抑制される。また、排気の進行方向が図2に矢 印で示すようにクランク状に屈曲されるので、排気通路に狭い個所を設けていな いものの油滴と気体との分離は従来のものと変わらない効率を示す。更には、両 持ち支持の排気バッフル81は片持ち支持の場合のような排気の衝突通過に伴う 振動を起こさないので、排気バッフル81の振動による騒音も防がれる。そして 排気バッフル81の振動の抑制は真空ポンプが到達圧力に達している時だけでな く、それに到る過程でも効果がある。
【0021】 以上、本考案の実施例について説明したが、勿論、本考案はこれに限定される ことなく、本考案の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【0022】 例えば、本実施例においては、排気弁3として薄板ばねを使用し、排気弁ガイ ド4と組み合わせたが、これを弁板と支持ガイドロッドに介装したコイルばねと の組み合わせとしてもよい。
【0023】 また、本実施例においては、1段式の回転翼型油回転真空ポンプを採り上げた が、本考案は2段式のポンプについても適用することが出来、夫々のポンプに改 良された排気部が取り付けられる。
【0024】 また、本実施例においては、回転翼型の油回転真空ポンプについて説明したが 、本考案の排気部はカム型、揺動ピストン型の油回転真空ポンプにも有効である 。
【0025】
【考案の効果】
以上述べたように、本考案の油回転真空ポンプによれば、到達圧力時に発生す る排気による騒音を極度に低減することが出来、また到達圧力時に到るまでの間 においても排気バッフルの振動音が防止されるので、その排気音は極めて小さい 。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の実施例による油回転真空ポンプの排気
部の断面図である。
【図2】同排気部の部分破断平面図である。
【図3】従来例の油回転真空ポンプの排気部の図4にお
ける[3]−[3]線方向から見た断面図である。
【図4】同排気部の部分破断平面図である。
【図5】油回転真空ポンプの排気の原理を示す断面図で
あり、AとBとはロータの回転角度が異なる。
【符号の説明】
1 シリンダ壁 2 排気口 3 排気弁 4 排気弁ガイド 8 排気バッフル10 油だまり20 油だまり 81 排気バッフル 91 開口 o 油 C シリンダ R ロータ W 翼 S 吸気口 V 排気弁

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 油によってシールと潤滑を保ちつつ運転
    される油回転真空ポンプにおいて、排気口と排気弁とを
    気密に保つべき油を貯留する油だまりの容積を大とし、
    前記油だまりの側壁に、排気を通過させ、かつ排気の方
    向を屈曲させる大きい開口を設け、更に排気を衝突させ
    て油滴と気体とに分離させる排気バッフルを両持ち支持
    としたことを特徴とする油回転真空ポンプ。
JP5363493U 1993-09-08 1993-09-08 油回転真空ポンプ Pending JPH0717985U (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5363493U JPH0717985U (ja) 1993-09-08 1993-09-08 油回転真空ポンプ
CN 94115143 CN1105424A (zh) 1993-09-08 1994-09-08 旋转真空泵

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JP5363493U JPH0717985U (ja) 1993-09-08 1993-09-08 油回転真空ポンプ

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JPH0717985U true JPH0717985U (ja) 1995-03-31

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JP5363493U Pending JPH0717985U (ja) 1993-09-08 1993-09-08 油回転真空ポンプ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151126A (ja) * 2006-12-13 2008-07-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh 潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプ

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EP3353423B1 (de) * 2015-09-23 2021-08-04 Pierburg Pump Technology GmbH Kfz-vakuumpumpe

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CN1105424A (zh) 1995-07-19

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