CN1105424A

CN1105424A - 旋转真空泵

Info

Publication number: CN1105424A
Application number: CN 94115143
Authority: CN
Inventors: 中克德; 立野俊一
Original assignee: Nihon Shinku Gijutsu KK
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1993-09-08
Filing date: 1994-09-08
Publication date: 1995-07-19
Also published as: JPH0717985U

Abstract

本发明涉及一种旋转真空泵，将排气部的存油部 20的容积设定为较大，在存油部20的侧壁设置大的开口91作为排气通路，同时，使排气方向折曲，并双支承排气挡板81，按照这种结构，能降低旋转真空泵运转时的排气音。

Description

本发明涉及用油作密封和润滑的旋转真空泵（以下简称旋转真空泵），特别涉及能降低运转时排气间的旋转真空泵。

一边用油保持密封和润滑一边通过回转部件的回转进行容积排气、排向大气的旋转真空泵在各领域被广泛应用。旋转真空泵有旋翼型、凸轮型、摆动活塞型，还可以区分为只有一台泵本体的1段或以及将二台泵本体串接而成的2段式。

在以上型式中，旋翼型的1段式或2段式是常用的，其排气原理如图5所示，图中是以旋翼型1段式的旋转真空泵为例进行说明的。即，泵的气缸C被设置在没有图示的油槽壳体内的油中，成为防止外气侵入的结构，在偏离气缸C中心的位置设有回转部件R，回转部件R通常带有两翼片W，回转部件R一回转，因回转部件R内螺旋弹簧g的力和离心力，这些翼片W在气缸C的内壁滑动。由翼片W、回转部件R和气缸C所围成的空间随着回转部件R的回转发生容积变化。当回转部件R朝箭头P方向回转时，与吸气口S连通的空间h容积增大，而与排气阀V连通的空间N容积减少。图5A中的空间M与吸气口S、排气阀V都不连通，回转部件R一回转，就成为空间N（图5B）。

即经过吸气过程、移送压缩过程，空间N被压缩到设定压力，因该压力推开排气阀，排气到油槽壳体内，从设在油槽壳体上的排气口排入大气。另外，为了保持翼片W与气缸C内面的密封以及滑动的润滑，当回转部件R在回转时，适量供给油槽壳体内的油。本发明是以包括排气阀V的排气部作为主要对象的。

如上所述，该旋转真空泵一边向泵本体供给适量油，一边进行排气，因此，存在排气中容易伴有油滴、并且排气音大的缺点。该排气音是因包含油滴的排气经常大量排出而产生的，近年来，鉴于改善旋转真空泵使用场所的作业环境，要求降低排气音非常强烈。

该旋转真空泵的排气部的以往例子如图3和图4所示。即，利用气缸壁1的一部分形成排气部，在排气部的底面开有来自下部的排气口2。并且，在排气部的底面上用内六角螺钉74、75固定着排气阀座5，由薄板弹簧构成的排气阀3以及排气阀导向块4用内六角螺钉6固定在该排气阀座5上。排气阀导向块4是用于防止排气阀3的上升量过大从而导致破损。

排气部的底壁和侧壁围成存油部10，油O贮留到侧壁的高度，用于使排气阀3和排气口2保持气密。在排气部的侧壁（气缸壁1）上设有排气挡板8，其用内六角螺钉84、85悬臂固定，使其前端部折曲，与存油部10的油面之间形成狭窄间隙P。该狭窄间隙P用于提高油滴与气体的分离效率。

以往的旋转真空泵的排气部的结构如上所述，下面说明其作用。

旋转真空泵运转，当排气口2的压力大约达到900Torr以上，于是，包含油滴的排气推压排气阀3，从排气口2排出。并且排气穿过存油部10，碰撞上方的排气挡板8，这样能防止油滴飞散，并且，油滴与气体进行分离。为了提高分离效率，如上所述，使存油部10的油面和排气挡板8之间间隙P狭窄。通过该部分的排气如图3和图4中箭头所示排到油槽壳体内。

这样进行排气的旋转真空泵，当该泵的吸气口压力达到极限压力时，从排气口2排出的几乎是由油滴所组成的排气，该排气大量排出成为发生躁音的原因。即，排气调整通过排气挡板8与存油部10的油面之间的狭窄间隙P时发生频率高的音。另外，因排气挡板8悬臂支承而发生振动，从而产生音，也是躁音的原因。

为了解决该问题，变更排气挡板8的形状，但是还不够，又在油槽壳体的排气口盖上带有孔的橡胶盖。虽然橡胶盖被认为有减少排气音的效果，但是橡胶一般缺乏耐油性，经长期使用后会发生膨胀变形，性能不良，因此没有完全合适的对策。

本发明就是鉴于上述问题而提出来的，其目的在于提供一种能极大地降低排气音的旋转真空泵。

以上目的通过如下的旋转真空泵达到，在用油保持密封和润滑进行运转的旋转真空泵中，其特征在于，使得贮留保持排气口和排气阀气密而需要的油的存油部的容积较大，使排气通过上述存油部的侧壁，并且设置沿排气方向折曲的大的开口，双支承使排气碰撞分离油滴和气体的排气挡板。

由于存油部的容积大，所以从排气口大量排出的排气得到充分减速，另外，由于加大了设在存油部侧壁上的开口，所以排气通道上没有狭窄处，降低了通过音。此外，因开口使得排气方向折曲，所以虽然作为排气通路的开口变大，但油滴和气体的分离与以往装置相比并没有变化。双支承排气挡板即使与排气发生碰撞也不会发生如悬臂支承的排气挡板那样的振动，因此而发生的躁音被减小。

附图表示本发明实施例，其中：

图1是本发明实施例的旋转真空泵排气部的剖面图;

图2是同排气部的局部剖切平面图;

图3是图4的以往的旋转真空泵的排气部的[3]-[3]线剖视图;

图4是同排气部的局部剖切平面图;

图5是表示旋转真空泵排气原理的剖面图，图5A和图5B表示回转部件不同的回转角度。

下面，参照附图说明本发明的旋转真空泵的被改进的排气部。与上述以往例相同的部分标以同一符号，说明省略。

图1是本发明的旋转真空泵的排气部的剖面图，图2是其平面图。在图1、2中排气口2、排气阀3、排气阀导块4与以往例相同。

即，在气缸壁1的局部形成排气部，在排气部的底面开有来自下部的排气口2。在排气部的底面上用内六角螺钉52、53固定着排气阀座51，由薄板弹簧所构成的排气阀3及排气阀导块4用内六角螺钉6固定在该排气阀座51上。排气阀导块4与以往例相同，用于限制排气阀3的上升量。

排气部底壁和侧壁所围成的存油部20与以往例的存油部10相比，容积大约为2倍左右。并且，在存油部20的侧壁（气缸壁1）上形成大的开口91作为排气通路，并起使排气方向折曲的作用。在开口91的外侧，形成被排气挡板81和气缸壁1所夹、将排气排向油槽壳体内的通路。排气挡板81用内六角螺钉82、83双支承在存油部20的两侧壁（气缸壁1）上。存油部20中的油O的面成为开口91的下缘。

本发明的旋转真空泵的排气部的结构如上所述，下面说明其作用。

旋转真空泵运转，吸气口中压力达到该真空泵的极限压力时，几乎全由油滴组成的排气从排气口2以大约10-15m/s的流速排出，在本实施例中存油部20的容积大约为以往例的存油部10的2倍，排气速度充分减速。另外，在存油部20的侧壁设有大的开口91，在图1箭头所示排气通路上没有狭窄处，所以排气高速通过狭窄间隙时所产生的高频率音得到很大的抑制。另外，如图2箭头所示，排气的进行方向折曲呈曲拐状，所以，在排气通路上没有设置狭窄处的情况下，油滴和气体的分离与以往装置相比没有变化，显示了原有的效率。此外，双支承的排气挡板81不会象悬臂支承那样伴随排气的碰撞而发生振动，所以也能防止因排气挡板81振动所引起躁音。并且，排气挡板81的振动的抑制不仅在真空泵达到极限压力时有效，而且即使在此前的过程中也是有效的。

以上说明了本发明的实施例，当然，本发明并不局限于上述实施例，可以按照本发明的技术思想进行种种变型。

例如，在本实施例中，使用薄板弹簧作为排气阀3，并和排气阀导块组合，可是，也可以将其设为阀板与装在支承导杆上的螺旋弹簧的组合。

在本实施例中，是采用1段式的旋翼型旋转真空泵，但是，本发明即使对于2段式的泵也能适用，可以将改进的排气部安装在各个泵上。

在本实施例中，以旋翼型旋转真空泵为例作说明的，可是，本发明的排气部对于凸轮型、摆动活塞型的旋转真空泵也是有效的。

如上所述，根据本发明的旋转真空泵，能极大地降低极限压力时因排气而发生的躁音，即使是达到极限压力前的期间也能防止排气挡板的振动音，所以排气音非常小。

Claims

1、一种旋转真空泵，一边用油保持密封和润滑一边运转，其特征在于，使得贮留保持排气口和排气阀气密而需要的油的存油部的容积较大，使排气通过上述存油部的侧壁，并且设置排气方向折曲的大的开口，双支承使排气碰撞分离油滴和气体的排气挡板。