JPH0717023Y2 - フアンクシヨンテスタ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は電気部品が実装されたプリント配線板の良否を
判定するファンクションテスタに関する。

〔従来の技術〕

ファンクションテスタとして、本考案者は先に特願昭62
−50574号明細書に記載した装置を提案している。

この装置は第５図〜第７図に示すような構成を有してい
る。これらの図において、３は第５図および第６図にそ
の詳細を示しているがXYテーブルでXY方向にモータを介
して自在に移動するXY移動機構3aを有している。このXY
移動機構3aにはプローブ3bが上下動自在に取り付けら
れ、さらに基準基板および検査基板を装着するための保
持枠3cが設けられている。XY移動機構3aすなわちこのXY
移動機構3aに取り付けられたプローブ3bのXY移動および
この3bの上下動は図示しないドライバにより制御されて
いる。プローブ3bは上述した上下動によりXYテーブル３
に載置された基準基板および検査基板に接離するよう構
成され、それが接触した時接触点における測定信号を取
り出す。６は測定条件を測定点毎に設定する条件設定手
段、７は測定点から得られたアナログ信号を適当なサン
プリング周期でA/D変換し、格納するトランジェントメ
モリ、８はトランジェントメモリ７から検査基板の測定
データとあらかじめ設定された許容範囲が考慮された基
準基板に関する波形データとを比較し、良否判定するコ
ンピュータ、９は検査基板の許容範囲を設定するキーボ
ード、10は記憶手段、11は出力端末機である。

次に、この装置の作用を説明する。

（１）基準基板および検査基板の測定点および測定順序
を設定する。

XYテーブル３の基板保持枠3cに基準基板または検査基板
あるいはその未実装基板を載置固定し、XY移動機構3aに
取り付けられた集束光源3dを移動し、所定の測定点およ
び測定順序を設定する。この設定は測定点順序Ni（ｉ＝
１、２、３、・・・、ｎ）に対する測定点座標値Ni（X
i、yi）という形式で行われ記憶手段10に書き込まれ
る。

（２）基準基板の波形データを得る。

次に基準基板をXYテーブル３にセットし、（１）におい
て設定した測定点および測定順序でプローブ3bを移動お
よび上下動させ基準基板の各測定点における波形データ
を得る。この基準波形データは条件設定手段６を介して
トランジェントメモリ７に一時格納される。そして、こ
の波形データはコンピュータ８に読み出され、キーボー
ド９からの許容範囲設定データとともに処理され、記憶
手段10に格納される。

（３）検査基板の波形データを得る。

（２）と同様の方法により検査基板の波形データを得る
ことができる。

（４）基準基板の波形データと検査基板の波形データと
を比較する。

それぞれの波形データは記憶手段10からコンピュータ８
に読み出され比較処理が行われる。検査基板の波形デー
タが基準基板の波形データの許容範囲内にある場合に良
品判定、許容範囲を越えた場合に不良品判定が行われ
る。

〔考案が解決しようとする問題点〕

このように、本考案者の先の提案はこのようなプロセス
を経て判定していた。この場合、この装置は上記（１）
に示した基準基板および検査基板の測定点および測定順
序をXYテーブル３のXY移動機構3aに設けられた集束光源
3dを使用して設定する方式を有していた。そのため、以
下のような問題点があった。

すなわち、この種の装置においてはその測定の際におけ
るプローブ3bの位置決めを厳密に行うことが重要なこと
となる。そのため、集束光源3dの集束光は基板に照写さ
れた時、微少領域のスポット光となるよう調整される。
従って、操作者はこの微少領域のスポット光を常に追い
かけていかなければならず疲労しやすい欠点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

このため、本考案においては、 XYテーブルのXY移動機構にその焦点距離が可変の集束光
源を設け、疎い位置決め時に大きな領域を有する集束光
を測定すべき基板に直接照写し、この集束光が測定点に
近接した時微少集束光に変更し正確な位置決めを行うこ
とにより測定点座標を得るよう構成したもので、XYテー
ブルにセットされた基板から直接測定点および測定順序
を設定するよう構成した。

〔作用〕

従って、操作者はXYテーブルのXY移動機構すなわち、こ
れに取り付けられた集束光源を測定点に移動することに
より、測定点Niとその座標値Ni（xi、yi）が設定され
る。この際に、集束光を適宜大領域、微少領域に変更す
ることにより、操作者の疲労を軽減することができる。

〔実施例〕

第１図、第２図は本考案の一実施例を示す構成説明図
で、それぞれXY移動機構および可変集束光源を示すもの
である。

第１図および第２図において、32はソレノイド、33は伝
達軸、34はレール、3aはXY移動機構、3bはプローブ、3d
はLEDランプ、3eは集束レンズである。

ソレノイド32の駆動力は伝達軸33および伝達部材37を介
してプローブ3bおよびLEDランプ3dを上下動する。

LEDランプ3dが下位置にある時は第２図（ａ）に示すよ
うにXYテーブル３に保持された基板４に大きな領域の集
束光が照写される。一方、LEDランプ3dがソレノイド32
により上位置にある時には、第２図（ｂ）に示すように
微少領域の集束光が基板４に照写される。

なお、この実施例においてはLEDランプ3dを基板４にそ
の焦点距離を可変して照写する際、プローブ3bもまた同
時に上下する。プローブ3bおよび基板４を保護するた
め、プローブ3bを差し込み構造として取りはずし可能に
構成している。

今、第１図の状態において、測定点および測定順序の設
定を行う場合には操作者は手で持ってXY移動機構3aを手
動移送し、目的の測定点近傍に集束光源3dからの大領域
の集束光を照写する。

次に、上述したLEDランプ3dをソレノイド32により上昇
させて微少領域の集束光に変更する。この集束光を目的
の測定点に一致させる。この時、XY移動機構3aの移動量
はＸ軸モータ36およびＹ軸モータ35に取り付けられたエ
ンコーダ（図示ぜず）により読み取られコンピュータ８
に入力され、記憶手段10に格納される。同様にして、次
々と多数の測定点の入力を行うことにより測定点および
この入力順に測定順序の設定が行われる。この場合プロ
ーブ3bと集束光源3dとのオフセット量はソフトウエアに
より補償している。

なお、この実施例においては、この測定点および測定順
序の設定を手動で入力するよう構成しているが、キーボ
ード９からの入力により移動し、カウンタによりその移
動量を係数することにより測定点となるXY座標および測
定順序を設定するように構成してもよい。

次に、第３図を参照して本考案の第２の実施例について
説明する。第３図に示す装置はプローブ3bと、LEDラン
プ3dとを上下にスライド自在に保持する支持部材38を設
け、かつこの支持部材38はXY移動機構3aに対し、図示し
た矢印Ｃ方向にスライドできる構造を有している。さら
に、上記支持部材38に保持されるプローブ3bおよびLED
ランプ3dの後方端にソレノイド32に結合した伝達部材39
が取り付けられている。

今、基板４の測定点および測定順序を設定する場合には
XY移動機構3aを矢印Ａ方向に移動し、装置筐体に形成さ
れた第１の凸起（図示せず）に支持部材38を当接し、伝
達部材39とLEDランプとを係合させる。一方、プローブ3
bを利用する場合には、XY移動機構3aを矢印Ｂ方向に移
動し、装置筐体に形成された第２の凸起（382）に支持
部材38を当接し、今度はプローブ3bがソレノイド38の伝
達部材39に係合させる。

このような構成を有しているのでこの実施例装置におい
ては、プローブ3bとLEDランプ3dとの間にオフセット量
は存在せずソフトウエアによる補償を必要としない利点
がある。

第４図は本考案の第３の実施例を示す構成説明図で、こ
の場合には大領域の集束光および微少領域の集束光の変
更をLEDランプ3dの上下動により行うのではなく、LEDラ
ンプ3dと集束レンズ3eとの間に焦点可変レンズ3fを挿入
除去するものとしてソレノイド35を設けている。

〔発明の効果〕

以上、説明したように本考案によれば、XYテーブルに載
置した測定すべき基板から直接測定点を設定する際に大
領域の集束光と微少領域の集束光とを使い分けするよう
にしたので操作が改善され操作者の疲労が軽減される利
点がある。

また、未実装基板をXYテーブルに取り付けて測定点およ
び測定順序を設定する際、この集束光を基板を透かして
見るような場合など、特に好都合である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す構成説明図、第２図は
本考案の作用を説明する模式図、第３図は本考案の第２
の実施例を示す構成説明図、第４図は本考案の第３の実
施例を示す構成説明図、第５図〜第７図は従来の装置を
示す説明図である。 3a……XY移動機構、3b……プローブ 3c……基板保持枠、3d……LEDランプ 3e……集束レンズ、3f……焦点可変レンズ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】被検査基板を保持するテーブルと、該テー
   ブルに沿って移動するとともに前記被検査基板の検査点
   に到達した時前記被検査基板に接触するプローブと、該
   プローブに前記検査点に対する移動及び接触を行わせる
   ため検査に先立ち前記プローブを前記テーブルに保持さ
   れた被検査基板の検査点に位置づけることにより検査す
   べき検査点を設定する検査点設定手段とを有したファン
   クションテスタにおいて、 前記検査点設定手段は、前記プローブと特定の関係位置
   に保持された大領域の集束光と減少領域の集束光を照射
   可能な集束光照射手段を有しており、 検査に先立ち、前記被検査基板の検査点を設定する際、
   前記集束光照射手段の大領域の集束光を利用して当該検
   査点に近接する位置に前記プローブを位置づけた後、前
   記集束光照射手段の微少領域の集束光を利用して当該検
   査点へ前記プローブを位置づけることにより被検査基板
   の検査点を設定するようにしたファンクションテスタ。