JPH07169717A - ダイシング装置 - Google Patents
ダイシング装置Info
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- JPH07169717A JPH07169717A JP31676093A JP31676093A JPH07169717A JP H07169717 A JPH07169717 A JP H07169717A JP 31676093 A JP31676093 A JP 31676093A JP 31676093 A JP31676093 A JP 31676093A JP H07169717 A JPH07169717 A JP H07169717A
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- water
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 操作者に負担をかけることなくダイシング装
置を最良の状態で作動する。 【構成】 検知部１６は研削水の流量、温度、圧力等の
データを検知し、監視用ＣＰＵ２４はウエハ３２の切削
データを求める。メモリ部１８は検知データを記憶する
と共に、検知データを記憶したタイミングに対応するウ
エハ切削データを記憶する。そして、制御用ＣＰＵ２２
はメモリ部１８に記憶されたウエハ切削データが最適値
になる場合の検知データを求め、この求められた検知デ
ータと同じ値になるように研削水の流量、温度、圧力等
を制御する。従って、操作者に負担をかけることなく必
要なデータを得ることができ、かつ、このデータに基づ
いてダイシング装置１０が最良の状態で作動する。
置を最良の状態で作動する。 【構成】 検知部１６は研削水の流量、温度、圧力等の
データを検知し、監視用ＣＰＵ２４はウエハ３２の切削
データを求める。メモリ部１８は検知データを記憶する
と共に、検知データを記憶したタイミングに対応するウ
エハ切削データを記憶する。そして、制御用ＣＰＵ２２
はメモリ部１８に記憶されたウエハ切削データが最適値
になる場合の検知データを求め、この求められた検知デ
ータと同じ値になるように研削水の流量、温度、圧力等
を制御する。従って、操作者に負担をかけることなく必
要なデータを得ることができ、かつ、このデータに基づ
いてダイシング装置１０が最良の状態で作動する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はダイシング装置に係り、
特にウエハを半導体チップに切断する切断部を備えたダ
イシング装置に関する。
特にウエハを半導体チップに切断する切断部を備えたダ
イシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置は切断刃（以下、カッタ
と称す）を回転させてウエハを半導体チップに切断し、
カッタを回転する際に圧縮空気及び冷却水が要求され、
ウエハを半導体チップに切断する際に窒素や切削水が要
求される。また、ウエハから高品質の半導体チップを切
断するためには、圧縮空気、冷却水、窒素及び切削水の
圧力や流量等を適切に制御することが要求され、そのた
めに、圧縮空気、冷却水、窒素及び切削水の圧力や流量
等は、夫々一定の範囲で上限値及び下限値が設定されて
いる。そして、ウエハの切断中に、圧縮空気、冷却水、
窒素及び切削水の圧力や流量等が上限値、下限値の範囲
から外れると、作業者に異常を知らせ、作業者がダイシ
ング装置を停止させていた。しかしながら、圧縮空気、
冷却水、窒素及び切削水の圧力や流量等を上限値、下限
値の範囲で一意的に制御する方法ではダイシング装置を
最良の状態で作動させることに問題がある。
と称す）を回転させてウエハを半導体チップに切断し、
カッタを回転する際に圧縮空気及び冷却水が要求され、
ウエハを半導体チップに切断する際に窒素や切削水が要
求される。また、ウエハから高品質の半導体チップを切
断するためには、圧縮空気、冷却水、窒素及び切削水の
圧力や流量等を適切に制御することが要求され、そのた
めに、圧縮空気、冷却水、窒素及び切削水の圧力や流量
等は、夫々一定の範囲で上限値及び下限値が設定されて
いる。そして、ウエハの切断中に、圧縮空気、冷却水、
窒素及び切削水の圧力や流量等が上限値、下限値の範囲
から外れると、作業者に異常を知らせ、作業者がダイシ
ング装置を停止させていた。しかしながら、圧縮空気、
冷却水、窒素及び切削水の圧力や流量等を上限値、下限
値の範囲で一意的に制御する方法ではダイシング装置を
最良の状態で作動させることに問題がある。
【０００３】一方、圧縮空気、冷却水、窒素及び切削水
の圧力や流量等の独立した変動や、互いに関連した変動
に対応したダイシング装置の稼動状況と切断状況を求め
て、これらの状況が最適になるように圧縮空気、冷却
水、窒素及び切削水の圧力や流量等の変動を制御する方
法は、圧縮空気、冷却水、窒素及び切削水の圧力や流量
等を上限値、下限値の範囲で一意的に制御する方法よ
り、ダイシング装置を最良の状態で作動させることがで
きる。
の圧力や流量等の独立した変動や、互いに関連した変動
に対応したダイシング装置の稼動状況と切断状況を求め
て、これらの状況が最適になるように圧縮空気、冷却
水、窒素及び切削水の圧力や流量等の変動を制御する方
法は、圧縮空気、冷却水、窒素及び切削水の圧力や流量
等を上限値、下限値の範囲で一意的に制御する方法よ
り、ダイシング装置を最良の状態で作動させることがで
きる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧縮空
気、冷却水、窒素及び切削水の圧力や流量等の変動を制
御するデータを得るためにはダイシング装置の操作者が
各々のデータをサンプリングする必要があるので操作者
に負担がかかるという問題がある。本発明はこのような
事情に鑑みてなされたもので、操作者に負担をかけるこ
となく最良の状態で作動することができるダイシング装
置を提供することを目的とする。
気、冷却水、窒素及び切削水の圧力や流量等の変動を制
御するデータを得るためにはダイシング装置の操作者が
各々のデータをサンプリングする必要があるので操作者
に負担がかかるという問題がある。本発明はこのような
事情に鑑みてなされたもので、操作者に負担をかけるこ
となく最良の状態で作動することができるダイシング装
置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、切断刃に切削水を供給すると共に切断刃で
被加工物を切断するダイシング装置において、前記被加
工物を切断中の前記切削水の流量、温度、圧力、ＰＨ値
等のデータを検知する検知部と、前記被加工物を切断中
の切断データを求める監視手段と、前記検知部で得られ
た検知データと、該検知データに対応する前記切断デー
タを記憶するメモリ部と、該メモリ部に記憶された前記
切断データが最適値になる場合の前記検知データを求
め、該求められた検知データと同じ値になるように前記
切削水の流量、温度、圧力等を制御する制御手段と、を
備えたことを特徴とする。
成する為に、切断刃に切削水を供給すると共に切断刃で
被加工物を切断するダイシング装置において、前記被加
工物を切断中の前記切削水の流量、温度、圧力、ＰＨ値
等のデータを検知する検知部と、前記被加工物を切断中
の切断データを求める監視手段と、前記検知部で得られ
た検知データと、該検知データに対応する前記切断デー
タを記憶するメモリ部と、該メモリ部に記憶された前記
切断データが最適値になる場合の前記検知データを求
め、該求められた検知データと同じ値になるように前記
切削水の流量、温度、圧力等を制御する制御手段と、を
備えたことを特徴とする。
【０００６】また、本発明は、切断刃のスピンドルに冷
却水を供給すると共に切断刃で被加工物を切断するダイ
シング装置において、前記被加工物を切断中の前記冷却
水の流量、温度、圧力等のデータを検知する検知部と、
前記被加工物を切断中の切断データを求める監視手段
と、前記検知部で得られた検知データと、該検知データ
に対応する前記切断データを記憶するメモリ部と、該メ
モリ部に記憶された前記切断データが最適値になる場合
の前記検知データを求め、該求められた検知データと同
じ値になるように前記冷却水の流量、温度、圧力等を制
御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
却水を供給すると共に切断刃で被加工物を切断するダイ
シング装置において、前記被加工物を切断中の前記冷却
水の流量、温度、圧力等のデータを検知する検知部と、
前記被加工物を切断中の切断データを求める監視手段
と、前記検知部で得られた検知データと、該検知データ
に対応する前記切断データを記憶するメモリ部と、該メ
モリ部に記憶された前記切断データが最適値になる場合
の前記検知データを求め、該求められた検知データと同
じ値になるように前記冷却水の流量、温度、圧力等を制
御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、検知部は切削水や冷却水の流
量、温度、圧力、及び切断刃のスピンドル回転数等のデ
ータを検知し、監視用ＣＰＵは被加工物の切断データを
求める。メモリ部は検知データを記憶すると共に、検知
データを記憶したタイミングに対応する切断データを記
憶する。そして、制御用ＣＰＵはメモリ部に記憶された
切断データが最適値になる場合の検知データを求め、こ
の求められた検知データと同じ値になるように切削水や
冷却水の流量、温度、圧力、及び切断刃のスピンドル回
転数等を制御する。尚、切削水の場合はｐＨ値のデータ
を検知して、流量、温度、圧力と同様にｐＨ値を制御す
ることも可能である。
量、温度、圧力、及び切断刃のスピンドル回転数等のデ
ータを検知し、監視用ＣＰＵは被加工物の切断データを
求める。メモリ部は検知データを記憶すると共に、検知
データを記憶したタイミングに対応する切断データを記
憶する。そして、制御用ＣＰＵはメモリ部に記憶された
切断データが最適値になる場合の検知データを求め、こ
の求められた検知データと同じ値になるように切削水や
冷却水の流量、温度、圧力、及び切断刃のスピンドル回
転数等を制御する。尚、切削水の場合はｐＨ値のデータ
を検知して、流量、温度、圧力と同様にｐＨ値を制御す
ることも可能である。
【０００８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るダイシン
グ装置について詳説する。図１は本発明に係るダイシン
グ装置のブロック図、図２はその作動を説明するフロー
チャトである。尚、従来の技術の欄で説明したように、
ダイシング装置は、切断刃を回転する際に圧縮空気及び
冷却水が要求され、ウエハをチップ状に切削する際に窒
素や切削水が要求されるので、本願発明は、圧縮空気、
冷却水、窒素及び切削水を監視する場合に適用される
が、説明を分かり易くするために切削水のみをピックア
ップして説明する。
グ装置について詳説する。図１は本発明に係るダイシン
グ装置のブロック図、図２はその作動を説明するフロー
チャトである。尚、従来の技術の欄で説明したように、
ダイシング装置は、切断刃を回転する際に圧縮空気及び
冷却水が要求され、ウエハをチップ状に切削する際に窒
素や切削水が要求されるので、本願発明は、圧縮空気、
冷却水、窒素及び切削水を監視する場合に適用される
が、説明を分かり易くするために切削水のみをピックア
ップして説明する。
【０００９】図１に示すように、ダイシング装置１０は
切断部１２、切削水供給手段１４、検知部１６、メモリ
部１８、調整部２０、制御用ＣＰＵ２２、監視用ＣＰＵ
２４を有している。切断部１２はカッタ２６を備え、カ
ッタ２６はシャフト２８に同軸上に固定されている。シ
ャフト２８にはモータ３０が回転力を伝達可能に連結さ
れている。従って、モータ３０が駆動するとカッタ２６
が回転するので、カッティングテーブル（図示せず）上
でアライメントされたウエハ３２はカッタ２６で半導体
チップに切断される。
切断部１２、切削水供給手段１４、検知部１６、メモリ
部１８、調整部２０、制御用ＣＰＵ２２、監視用ＣＰＵ
２４を有している。切断部１２はカッタ２６を備え、カ
ッタ２６はシャフト２８に同軸上に固定されている。シ
ャフト２８にはモータ３０が回転力を伝達可能に連結さ
れている。従って、モータ３０が駆動するとカッタ２６
が回転するので、カッティングテーブル（図示せず）上
でアライメントされたウエハ３２はカッタ２６で半導体
チップに切断される。
【００１０】切削水供給手段１４は供給ポンプ３４を備
え、供給ポンプ３４はタンク３６から切削水を吸い込ん
で配管３８に吐出する。これにより、配管３８の開口端
から切削水が供給される。配管３８には検知部１６が設
けられ、検知部１６は流量センサ１６Ａ、水圧センサ１
６Ｂ、温度センサ１６Ｃを有している。流量センサ１６
Ａは配管３８内を流れる切削水の流量を検知し、水圧セ
ンサ１６Ｂは配管３８内を流れる切削水の水圧を検知す
る。また、温度センサ１６Ｃは配管３８内を流れる切削
水の水温を検知する。
え、供給ポンプ３４はタンク３６から切削水を吸い込ん
で配管３８に吐出する。これにより、配管３８の開口端
から切削水が供給される。配管３８には検知部１６が設
けられ、検知部１６は流量センサ１６Ａ、水圧センサ１
６Ｂ、温度センサ１６Ｃを有している。流量センサ１６
Ａは配管３８内を流れる切削水の流量を検知し、水圧セ
ンサ１６Ｂは配管３８内を流れる切削水の水圧を検知す
る。また、温度センサ１６Ｃは配管３８内を流れる切削
水の水温を検知する。
【００１１】調整部２０は流量調整弁２０Ａ、水圧調整
弁２０Ｂ、温度調整部２０Ｃを有していて、流量調整弁
２０Ａは配管３８内を流れる切削水の流量を調整し、水
圧調整弁２０Ｂは配管３８内を流れる切削水の水圧を調
整する。また、温度調整部２０Ｃは配管３８内を流れる
切削水の水温を調整する。監視用ＣＰＵ２４は、検出部
４０を介してウエハ３２の切断状況に関するデータを入
力し、入力されたデータに基づいてウエハ３２の切断状
況を求める。また、メモリ部１８は、流量センサ１６
Ａ、水圧センサ１６Ｂ、温度センサ１６Ｃが検知した各
々の検知データを記憶すると共に、この検知データを記
憶したタイミングに対応して、監視用ＣＰＵ２４が求め
たウエハ３２の切断状況を記憶する。
弁２０Ｂ、温度調整部２０Ｃを有していて、流量調整弁
２０Ａは配管３８内を流れる切削水の流量を調整し、水
圧調整弁２０Ｂは配管３８内を流れる切削水の水圧を調
整する。また、温度調整部２０Ｃは配管３８内を流れる
切削水の水温を調整する。監視用ＣＰＵ２４は、検出部
４０を介してウエハ３２の切断状況に関するデータを入
力し、入力されたデータに基づいてウエハ３２の切断状
況を求める。また、メモリ部１８は、流量センサ１６
Ａ、水圧センサ１６Ｂ、温度センサ１６Ｃが検知した各
々の検知データを記憶すると共に、この検知データを記
憶したタイミングに対応して、監視用ＣＰＵ２４が求め
たウエハ３２の切断状況を記憶する。
【００１２】図２、図３にメモリ部１８に記憶されたデ
ータを示す。図２は切削水の流量に対するウエハ３２の
切断状況を示すグラフであり、流量Ｑ１〜Ｑ２の範囲が
ウエハ３２の切断状況の最良範囲である。また、図３は
切削水の水温に対するウエハ３２の切断状況を示すグラ
フであり、水温Ｔ１〜Ｔ２の範囲がウエハ３２の切断状
況の最良範囲である。制御用ＣＰＵ２２は、メモリ部１
８に記憶されたウエハ３２の切断状況が最適値になる場
合の検知データを求め、さらに、制御用ＣＰＵ２２は、
流量調整弁２０Ａ、水圧調整弁２０Ｂ、温度調整部２０
Ｃを調整するための信号を出力して、求められた検知デ
ータと同じ値になるように切削水の流量、温度、圧力等
を制御する。
ータを示す。図２は切削水の流量に対するウエハ３２の
切断状況を示すグラフであり、流量Ｑ１〜Ｑ２の範囲が
ウエハ３２の切断状況の最良範囲である。また、図３は
切削水の水温に対するウエハ３２の切断状況を示すグラ
フであり、水温Ｔ１〜Ｔ２の範囲がウエハ３２の切断状
況の最良範囲である。制御用ＣＰＵ２２は、メモリ部１
８に記憶されたウエハ３２の切断状況が最適値になる場
合の検知データを求め、さらに、制御用ＣＰＵ２２は、
流量調整弁２０Ａ、水圧調整弁２０Ｂ、温度調整部２０
Ｃを調整するための信号を出力して、求められた検知デ
ータと同じ値になるように切削水の流量、温度、圧力等
を制御する。
【００１３】尚、前記実施例では切削水の流量、温度、
圧力を制御する場合について説明したが、切削水は流
量、温度、圧力に限らず、同様の方法で切削水のｐＨ値
等を管理することも可能である。また、図１上で４２は
冷却水を供給するポンプであり、ポンプ４２はタンク４
４から冷却水を吸い込んで配管４５に吐出する。これに
より、配管４５の開口端から切断部１２のスピンドル等
に冷却水が供給される。配管４５には検知部４６が設け
られ、検知部４６は流量センサ４６Ａ、水圧センサ４６
Ｂ、温度センサ４６Ｃを有している。流量センサ４６Ａ
は配管４５内を流れる冷却水の流量を検知し、水圧セン
サ４６Ｂは配管４５内を流れる冷却水の水圧を検知す
る。また、温度センサ４６Ｃは配管４５内を流れる冷却
水の水温を検知する。そして、検知部４６で検知された
夫々の検知データは、検知部１６の検知データと同時に
メモリ部１８に記憶される。
圧力を制御する場合について説明したが、切削水は流
量、温度、圧力に限らず、同様の方法で切削水のｐＨ値
等を管理することも可能である。また、図１上で４２は
冷却水を供給するポンプであり、ポンプ４２はタンク４
４から冷却水を吸い込んで配管４５に吐出する。これに
より、配管４５の開口端から切断部１２のスピンドル等
に冷却水が供給される。配管４５には検知部４６が設け
られ、検知部４６は流量センサ４６Ａ、水圧センサ４６
Ｂ、温度センサ４６Ｃを有している。流量センサ４６Ａ
は配管４５内を流れる冷却水の流量を検知し、水圧セン
サ４６Ｂは配管４５内を流れる冷却水の水圧を検知す
る。また、温度センサ４６Ｃは配管４５内を流れる冷却
水の水温を検知する。そして、検知部４６で検知された
夫々の検知データは、検知部１６の検知データと同時に
メモリ部１８に記憶される。
【００１４】配管４５内を流れる冷却水の流量、水圧、
水温は、夫々流量調整弁４８Ａ、水圧調整弁４８Ｂ、温
度調整部４８Ｃで調整され、流量調整弁４８Ａ、水圧調
整弁４８Ｂ、温度調整部４８Ｃは調整部４８を構成す
る。そして、調整部４８には、ウエハ３２の切断状況が
最適値になる場合の冷却水の検知データと同じ値になる
ように、冷却水の流量、温度、圧力等を制御する信号が
監視用ＣＰＵ２４から出力される。
水温は、夫々流量調整弁４８Ａ、水圧調整弁４８Ｂ、温
度調整部４８Ｃで調整され、流量調整弁４８Ａ、水圧調
整弁４８Ｂ、温度調整部４８Ｃは調整部４８を構成す
る。そして、調整部４８には、ウエハ３２の切断状況が
最適値になる場合の冷却水の検知データと同じ値になる
ように、冷却水の流量、温度、圧力等を制御する信号が
監視用ＣＰＵ２４から出力される。
【００１５】また、前記実施例では切削水及び冷却水に
ついて説明したが、これに限らず、圧縮空気、窒素や室
内温度（環境温度）が変化した場合にもウエハ３２の切
断状況に影響するので、切削水及び冷却水に加えて圧縮
空気、窒素や環境温度を制御してウエハ３２の切断状況
と共に切断部１２の稼動状況を最適に設定することも可
能である。尚、圧縮空気及び窒素は、ブレードを回転す
るためのエアベアリングのエア源に使用される。
ついて説明したが、これに限らず、圧縮空気、窒素や室
内温度（環境温度）が変化した場合にもウエハ３２の切
断状況に影響するので、切削水及び冷却水に加えて圧縮
空気、窒素や環境温度を制御してウエハ３２の切断状況
と共に切断部１２の稼動状況を最適に設定することも可
能である。尚、圧縮空気及び窒素は、ブレードを回転す
るためのエアベアリングのエア源に使用される。
【００１６】さらに、ブレードのスピンドル回転数もウ
エハ３２の切断状況に影響を与えるので、スピンドル回
転数を切削水の流量、温度、圧力と同様に検知して、ス
ピンドル回転数の検知データを求め、この検知データに
基づいてスピンドル回転数を制御してウエハ３２の切断
状況と共に切断部１２の稼動状況を最適に設定すること
も可能である。また、前記実施例ではウエハ３２の切断
状況としてウエハ３２の汚れを低減する場合について説
明したが、同様の方法で切断時のチッピング（ウエハの
欠け）を低減することも可能である。前記の如く構成さ
れた本発明に係るダイシング装置の切削水における作用
を図４に示すフローチャートに基づいて説明する。先
ず、流量制御弁２０Ａ、水圧制御弁２０Ｂ、温度調節部
２０Ｃを上限値と下限値との範囲内に設定し、次に、供
給ポンプ３４を駆動してタンク３６から切削水を吸い込
んで、吸い込んだ切削水を配管３８を介して配管３８の
開口端からウエハ３２の切断部に供給する。次いで、切
断部１２のモータ３０を駆動してカッタ２６を回転し、
カッティングテーブル上でアライメントされたウエハ３
２を半導体チップに切断する。
エハ３２の切断状況に影響を与えるので、スピンドル回
転数を切削水の流量、温度、圧力と同様に検知して、ス
ピンドル回転数の検知データを求め、この検知データに
基づいてスピンドル回転数を制御してウエハ３２の切断
状況と共に切断部１２の稼動状況を最適に設定すること
も可能である。また、前記実施例ではウエハ３２の切断
状況としてウエハ３２の汚れを低減する場合について説
明したが、同様の方法で切断時のチッピング（ウエハの
欠け）を低減することも可能である。前記の如く構成さ
れた本発明に係るダイシング装置の切削水における作用
を図４に示すフローチャートに基づいて説明する。先
ず、流量制御弁２０Ａ、水圧制御弁２０Ｂ、温度調節部
２０Ｃを上限値と下限値との範囲内に設定し、次に、供
給ポンプ３４を駆動してタンク３６から切削水を吸い込
んで、吸い込んだ切削水を配管３８を介して配管３８の
開口端からウエハ３２の切断部に供給する。次いで、切
断部１２のモータ３０を駆動してカッタ２６を回転し、
カッティングテーブル上でアライメントされたウエハ３
２を半導体チップに切断する。
【００１７】この状態で、切削水の流量、水圧及び水温
の夫々のデータを１０秒間隔で検知し、検知したデータ
を記憶し、同時に、この検知データを記憶したタイミン
グに対応して、監視用ＣＰＵ２４が求めたウエハ３２の
切断状況のデータを記憶する（ステップ５０）。次に、
メモリ部１８に記憶された検知データ及びウエハ切断デ
ータが一定量以上ストックされているか否かを判断する
（ステップ５２）。
の夫々のデータを１０秒間隔で検知し、検知したデータ
を記憶し、同時に、この検知データを記憶したタイミン
グに対応して、監視用ＣＰＵ２４が求めたウエハ３２の
切断状況のデータを記憶する（ステップ５０）。次に、
メモリ部１８に記憶された検知データ及びウエハ切断デ
ータが一定量以上ストックされているか否かを判断する
（ステップ５２）。
【００１８】これらのデータのストック量が一定量に達
していない場合、ステップ５０にフィードバックして、
上述した工程を繰り返す。一方、ステップ５２でデータ
のストック量が一定量に達していると判断された場合、
流量センサ１６Ａで切削水の流量値を検出し（ステップ
５４）、監視用ＣＰＵ２４が、検出部４０から伝達され
たデータに基づいてウエハ３２の切断状況を求め、ウエ
ハ３２の汚れが多いか否かを判断する（ステップ５
６）。ウエハ３２の汚れが多くない場合、ステップ５４
で検出された切削水の流量を最適値としてメモリ部１８
に記憶する（ステップ５８）。
していない場合、ステップ５０にフィードバックして、
上述した工程を繰り返す。一方、ステップ５２でデータ
のストック量が一定量に達していると判断された場合、
流量センサ１６Ａで切削水の流量値を検出し（ステップ
５４）、監視用ＣＰＵ２４が、検出部４０から伝達され
たデータに基づいてウエハ３２の切断状況を求め、ウエ
ハ３２の汚れが多いか否かを判断する（ステップ５
６）。ウエハ３２の汚れが多くない場合、ステップ５４
で検出された切削水の流量を最適値としてメモリ部１８
に記憶する（ステップ５８）。
【００１９】一方、ステップ５６でウエハ３２の汚れが
多いと判断された場合、制御用ＣＰＵ２２で切削水の流
量値が適正か否かを判断する（ステップ６０）。ステッ
プ６０で切削水の流量値が不適正と判断された場合、制
御用ＣＰＵ２２から流量制御弁２０Ａに流量変更信号を
伝達する。これにより、流量制御弁２０Ａが作動して切
削水の流量が変更される（ステップ６２）。次に、変更
された切削水の流量を流量センサ１６Ａで検知し（ステ
ップ６４）、ステップ５６にフィードバックして、上述
した工程を順次繰り返す。また、ステップ６０で切削水
の流量が適正と判断された場合、温度センサ１６Ｃで切
削水の水温を検出する（ステップ６４）。
多いと判断された場合、制御用ＣＰＵ２２で切削水の流
量値が適正か否かを判断する（ステップ６０）。ステッ
プ６０で切削水の流量値が不適正と判断された場合、制
御用ＣＰＵ２２から流量制御弁２０Ａに流量変更信号を
伝達する。これにより、流量制御弁２０Ａが作動して切
削水の流量が変更される（ステップ６２）。次に、変更
された切削水の流量を流量センサ１６Ａで検知し（ステ
ップ６４）、ステップ５６にフィードバックして、上述
した工程を順次繰り返す。また、ステップ６０で切削水
の流量が適正と判断された場合、温度センサ１６Ｃで切
削水の水温を検出する（ステップ６４）。
【００２０】次いで、ステップ６４で検出した切削水の
水温が適正か否かを判断し（ステップ６６）、切削水の
水温が不適正と判断された場合、制御用ＣＰＵ２２から
温度調節部２０Ｃに水温変更信号を伝達する。これによ
り、温度調節部２０Ｃが作動して切削水の温度が調節さ
れる（ステップ６８）。続いて、調節された切削水の水
温を温度センサ１６Ｃで検知した後（ステップ６４）、
ステップ５６にフィードバックして、上述した工程を順
次繰り返す。
水温が適正か否かを判断し（ステップ６６）、切削水の
水温が不適正と判断された場合、制御用ＣＰＵ２２から
温度調節部２０Ｃに水温変更信号を伝達する。これによ
り、温度調節部２０Ｃが作動して切削水の温度が調節さ
れる（ステップ６８）。続いて、調節された切削水の水
温を温度センサ１６Ｃで検知した後（ステップ６４）、
ステップ５６にフィードバックして、上述した工程を順
次繰り返す。
【００２１】一方、ステップ６６で切削水の水温が適正
と判断された場合、水圧センサ１６Ｂで切削水の水圧を
検出する（ステップ７０）。次に、ステップ７０で検出
した切削水の水圧が適正か否かを判断し（ステップ７
２）、切削水の水圧が不適正と判断された場合、制御用
ＣＰＵ２２から水圧制御弁２０Ｂに水圧変更信号を伝達
する。これにより、水圧制御弁２０Ｂが作動して切削水
の水圧が変更される（ステップ７４）。次いで、変更さ
れた切削水の水圧を水圧センサ１６Ｂで検知した後（ス
テップ６４）、ステップ５６にフィードバックして上述
した工程を順次繰り返す。
と判断された場合、水圧センサ１６Ｂで切削水の水圧を
検出する（ステップ７０）。次に、ステップ７０で検出
した切削水の水圧が適正か否かを判断し（ステップ７
２）、切削水の水圧が不適正と判断された場合、制御用
ＣＰＵ２２から水圧制御弁２０Ｂに水圧変更信号を伝達
する。これにより、水圧制御弁２０Ｂが作動して切削水
の水圧が変更される（ステップ７４）。次いで、変更さ
れた切削水の水圧を水圧センサ１６Ｂで検知した後（ス
テップ６４）、ステップ５６にフィードバックして上述
した工程を順次繰り返す。
【００２２】また、ステップ７２で切削水の水圧が適正
と判断された場合、監視用ＣＰＵ２４が、検出部４０か
ら伝達されたデータに基づいてウエハ３２の切断状況を
求め、ウエハ３２の汚れが多いか否かを判断する（ステ
ップ７６）。ウエハ３２の汚れが多くない場合、ステッ
プ６４で検出された切削水の流量値、水温、水圧の各デ
ータをメモリ部１８に記憶する（ステップ７８）。
と判断された場合、監視用ＣＰＵ２４が、検出部４０か
ら伝達されたデータに基づいてウエハ３２の切断状況を
求め、ウエハ３２の汚れが多いか否かを判断する（ステ
ップ７６）。ウエハ３２の汚れが多くない場合、ステッ
プ６４で検出された切削水の流量値、水温、水圧の各デ
ータをメモリ部１８に記憶する（ステップ７８）。
【００２３】一方、ステップ７６でウエハ３２の汚れが
多いと判断された場合、制御用ＣＰＵ２２は流量制御弁
２０Ａ、水圧制御弁２０Ｂ、温度調節部２０Ｃの各々に
制御信号を伝達して、切削水の流量、水温、水圧が最適
値（後述する）になるように、流量制御弁２０Ａ、水圧
制御弁２０Ｂ、温度調節部２０Ｃを制御した後（ステッ
プ８０）、ステップ５４にフィードバックして上述した
工程を順次繰り返す。ここで、最適値について説明す
る。メモリ部１８には切削水の流量、水圧及び水温の夫
々のデータと、検知データを記憶したタイミングに対応
して、監視用ＣＰＵ２４が求めたウエハ３２の切断状況
のデータとが記憶されていて、制御用ＣＰＵ２２は、こ
れらのデータに基づいてウエハ３２の切断状況が最良に
なる場合の検知データを求め、この求められた検知デー
タが最適値となる。
多いと判断された場合、制御用ＣＰＵ２２は流量制御弁
２０Ａ、水圧制御弁２０Ｂ、温度調節部２０Ｃの各々に
制御信号を伝達して、切削水の流量、水温、水圧が最適
値（後述する）になるように、流量制御弁２０Ａ、水圧
制御弁２０Ｂ、温度調節部２０Ｃを制御した後（ステッ
プ８０）、ステップ５４にフィードバックして上述した
工程を順次繰り返す。ここで、最適値について説明す
る。メモリ部１８には切削水の流量、水圧及び水温の夫
々のデータと、検知データを記憶したタイミングに対応
して、監視用ＣＰＵ２４が求めたウエハ３２の切断状況
のデータとが記憶されていて、制御用ＣＰＵ２２は、こ
れらのデータに基づいてウエハ３２の切断状況が最良に
なる場合の検知データを求め、この求められた検知デー
タが最適値となる。
【００２４】このように、本願発明のダイシング装置に
よれば、切削水の流量、水温、水圧の各データの関連性
をチェックすることができる。また、ダイシング装置に
よれば、切削水の流量、水温、水圧の中から変動要因を
ピックアップすることができ、さらに、ピックアップさ
れた要因の変動データの影響を判定して、切削水の流
量、水温、水圧を最適値に変更することができる。
よれば、切削水の流量、水温、水圧の各データの関連性
をチェックすることができる。また、ダイシング装置に
よれば、切削水の流量、水温、水圧の中から変動要因を
ピックアップすることができ、さらに、ピックアップさ
れた要因の変動データの影響を判定して、切削水の流
量、水温、水圧を最適値に変更することができる。
【００２５】前記実施例では、切削水の流量、水温、水
圧を監視する場合について説明したが、これに限らず、
切削水の流量、水温、水圧の他にｐＨ値を監視してもよ
く、また、切削水の他に圧縮空気、冷却水、窒素、スピ
ンドルの回転数等を監視するようにしてもよい。そし
て、圧縮空気、冷却水、窒素、スピンドルの回転数を監
視する場合は、ウエハ３２の切断状況を最適に設定する
と共に切断部１２の稼動状況を最適に設定することが可
能になる。尚、圧縮空気、冷却水、窒素、スピンドルの
回転数等を監視する場合の作動は、図４のフローチャー
トに示す切削水の作動状態と略同様である。
圧を監視する場合について説明したが、これに限らず、
切削水の流量、水温、水圧の他にｐＨ値を監視してもよ
く、また、切削水の他に圧縮空気、冷却水、窒素、スピ
ンドルの回転数等を監視するようにしてもよい。そし
て、圧縮空気、冷却水、窒素、スピンドルの回転数を監
視する場合は、ウエハ３２の切断状況を最適に設定する
と共に切断部１２の稼動状況を最適に設定することが可
能になる。尚、圧縮空気、冷却水、窒素、スピンドルの
回転数等を監視する場合の作動は、図４のフローチャー
トに示す切削水の作動状態と略同様である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るダイシ
ング装置によれば、検知部は切削水や冷却水の流量、温
度、圧力、及び切断刃のスピンドル回転数等のデータを
検知し、監視用ＣＰＵは被加工物の切断データを求め
る。メモリ部は検知データを記憶すると共に、検知デー
タを記憶したタイミングに対応する切断データを記憶す
る。そして、制御用ＣＰＵはメモリ部に記憶された切断
データが最適値になる場合の検知データを求め、この求
められた検知データと同じ値になるように切削水や冷却
水の流量、温度、圧力、及び切断刃のスピンドル回転数
等を制御する。従って、操作者に負担をかけることなく
必要なデータを得ることができ、かつ、このデータに基
づいてダイシング装置を最良の状態で作動することがで
きる。
ング装置によれば、検知部は切削水や冷却水の流量、温
度、圧力、及び切断刃のスピンドル回転数等のデータを
検知し、監視用ＣＰＵは被加工物の切断データを求め
る。メモリ部は検知データを記憶すると共に、検知デー
タを記憶したタイミングに対応する切断データを記憶す
る。そして、制御用ＣＰＵはメモリ部に記憶された切断
データが最適値になる場合の検知データを求め、この求
められた検知データと同じ値になるように切削水や冷却
水の流量、温度、圧力、及び切断刃のスピンドル回転数
等を制御する。従って、操作者に負担をかけることなく
必要なデータを得ることができ、かつ、このデータに基
づいてダイシング装置を最良の状態で作動することがで
きる。
【図１】本発明に係る本発明に係るダイシング装置のブ
ロック図
ロック図
【図２】メモリ部に記憶されたデータを示すブラフ
【図３】メモリ部に記憶されたデータを示すブラフ
【図４】本発明に係るダイシング装置の作動を説明する
フローチャート
フローチャート
１０…ダイシング装置 １４…切削水供給手段 １６…検知部 １８…メモリ部 ２２…制御用ＣＰＵ ２４…監視用ＣＰＵ ２６…カッタ ３２…ウエハ
Claims (2)
- 【請求項１】 切断刃に切削水を供給すると共に切断刃
で被加工物を切断するダイシング装置において、 前記被加工物を切断中の前記切削水の流量、温度、圧
力、ＰＨ値等のデータを検知する検知部と、 前記被加工物を切断中の切断データを求める監視手段
と、 前記検知部で得られた検知データと、該検知データに対
応する前記切断データを記憶するメモリ部と、 該メモリ部に記憶された前記切断データが最適値になる
場合の前記検知データを求め、該求められた検知データ
と同じ値になるように前記切削水の流量、温度、圧力等
を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とするダイシング装置。 - 【請求項２】 切断刃のスピンドルに冷却水を供給する
と共に切断刃で被加工物を切断するダイシング装置にお
いて、 前記被加工物を切断中の前記冷却水の流量、温度、圧力
等のデータを検知する検知部と、 前記被加工物を切断中の切断データを求める監視手段
と、 前記検知部で得られた検知データと、該検知データに対
応する前記切断データを記憶するメモリ部と、 該メモリ部に記憶された前記切断データが最適値になる
場合の前記検知データを求め、該求められた検知データ
と同じ値になるように前記冷却水の流量、温度、圧力等
を制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とするダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31676093A JP2893641B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31676093A JP2893641B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | ダイシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169717A true JPH07169717A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2893641B2 JP2893641B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=18080621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31676093A Expired - Fee Related JP2893641B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2893641B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6752688B2 (en) | 2001-04-19 | 2004-06-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Cutting solution supplying and controlling apparatus for dicing machine |
| JP2010167504A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレードの管理方法 |
| WO2013054577A1 (ja) * | 2011-10-12 | 2013-04-18 | 株式会社村田製作所 | 加工廃液循環装置及び加工廃液循環方法 |
| KR20160010309A (ko) * | 2014-07-18 | 2016-01-27 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치 및 절단 방법 |
| JP2017170569A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 株式会社ナカヤ | ハイブリッド制御方式循環液温度制御方法 |
| US20190255672A1 (en) * | 2018-02-20 | 2019-08-22 | Disco Corporation | Water temperature setting method for processing apparatus |
| WO2023135862A1 (ja) * | 2022-01-11 | 2023-07-20 | Ｔｏｗａ株式会社 | 切断装置、及び切断品の製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4192135B2 (ja) | 2004-09-29 | 2008-12-03 | 株式会社東芝 | 加工装置及び加工方法 |
-
1993
- 1993-12-16 JP JP31676093A patent/JP2893641B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6752688B2 (en) | 2001-04-19 | 2004-06-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Cutting solution supplying and controlling apparatus for dicing machine |
| JP2010167504A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレードの管理方法 |
| WO2013054577A1 (ja) * | 2011-10-12 | 2013-04-18 | 株式会社村田製作所 | 加工廃液循環装置及び加工廃液循環方法 |
| JPWO2013054577A1 (ja) * | 2011-10-12 | 2015-03-30 | 株式会社村田製作所 | 加工廃液循環装置及び加工廃液循環方法 |
| KR20160010309A (ko) * | 2014-07-18 | 2016-01-27 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치 및 절단 방법 |
| CN105280526A (zh) * | 2014-07-18 | 2016-01-27 | 东和株式会社 | 切断装置以及切断方法 |
| JP2017170569A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 株式会社ナカヤ | ハイブリッド制御方式循環液温度制御方法 |
| US20190255672A1 (en) * | 2018-02-20 | 2019-08-22 | Disco Corporation | Water temperature setting method for processing apparatus |
| JP2019145643A (ja) * | 2018-02-20 | 2019-08-29 | 株式会社ディスコ | 水温設定方法 |
| WO2023135862A1 (ja) * | 2022-01-11 | 2023-07-20 | Ｔｏｗａ株式会社 | 切断装置、及び切断品の製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2893641B2 (ja) | 1999-05-24 |
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