JPH07157812A - 金属化組成物 - Google Patents

金属化組成物

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JPH07157812A
JPH07157812A JP30567393A JP30567393A JPH07157812A JP H07157812 A JPH07157812 A JP H07157812A JP 30567393 A JP30567393 A JP 30567393A JP 30567393 A JP30567393 A JP 30567393A JP H07157812 A JPH07157812 A JP H07157812A
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JP
Japan
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metallized composition
metallized
resistance metal
ceramic substrate
low
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JP30567393A
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English (en)
Inventor
Yoichiro Onishi
洋一郎 大西
Tadao Suzuki
忠男 鈴木
Hiroshi Nishiie
弘 西家
Yasuichi Ikeda
保一 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MIYOSHI DENSHI KK
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
MIYOSHI DENSHI KK
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 抵抗体パターンの抵抗値及び抵抗温度係数の
異常変化を無くすことができ、しかも、セラミック基板
との接着性を長期間安定に保持できる導体パターンの形
成を可能にする金属化化合物を得る。 【構成】 Cu粉を主成分とする金属ペースト中に、C
uOを混入したガラスフリットを分散する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ハイブリッドIC等に
使用されるセラミック基板を金属化する際に使用する金
属化組成物に関し、特に、セラミック基板に対する接着
強度が向上した金属化組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術】セラミック基板の金属化方法としては従
来より薄膜法、厚膜法が知られている。薄膜法は、例え
ばアルミナからなるセラミック基板上へ蒸着或いはスパ
ッタにより導体パターンを形成するものであるが、この
パターン形成時、写真製版技術やエッチング技術を使用
するため、工程が煩雑で生産性に劣るという欠点があ
る。
【0003】一方、厚膜法は、(1) Cu粉を主成分とし
てCuOまたはCu2 Oの粉末を含有させた銅ペースト
を例えばアルミナからなるセラミック基板上に所要のパ
ターンとなるように印刷するか、或いは、Cu粉の一部
を予め酸化しておいた銅ペーストを例えばアルミナから
なるセラミック基板上に所要のパターンとなるように印
刷し、これを900〜1000℃で焼成して、セラミッ
ク基板との界面にスピネル化合物を形成せしめる,ケミ
カルボンディング法や、(2) Cu粉のみを用いて、該C
u粉を焼成する際の酸素濃度を調整することにより、一
挙にセラミック基板との導体パターンとの間に接合層を
得る方法や、(3) 上記銅ペーストにガラスフリットを混
在させて焼成を行って導体パターンを形成する,ガラス
−ケミカルミックスボンディング法等、がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この厚膜法は、上記薄
膜法にくらべて工程数が少なく生産性に優れるものであ
る。しかるに、上記(1) ,(3) の方法においては、銅ペ
ースト内に添加する酸化物の量を厳密に調整しないと以
下に記す問題点が生じてしまう。即ち、セラミック基板
との接着強度を高めるためには、酸化物の添加量を多く
することが好ましいが、酸化物の添加量があるレベルを
越えると、この銅ペーストの印刷,焼成工程後、該工程
により得られた導体パターンに、酸化錫や硼化ランタン
等を含む抵抗体パターンを接合する際、即ち、該導体パ
ターンにその一部が接合するように、上記セラミック基
板上に酸化錫や硼化ランタン等の抵抗体物質とガラス粉
末を含んだペーストを印刷し、焼成して抵抗体パターン
を形成する際、この接合部において、過剰の酸素が酸化
錫や硼化ランタン等の抵抗体物質と反応し、得られる抵
抗体パターンの抵抗値が異常に高くなったり、抵抗温度
係数が異常に大きなマイナスの値を示すようになってし
まう。また、上記抵抗体パターン中のガラス粉末が分解
して、上記接合部に気泡を発生してしまう。尚、上記
(2) の方法においても、焼成時の酸素濃度が過剰になる
と、上記と同様の問題点が生ずる。
【0005】このように、厚膜法でセラミック基板を金
属化する場合も、上記のような問題点を生ずるが、この
厚膜法の最大の問題点は導体パターンの形成後にセラミ
ック基板と導体パターンの接着強度が経時的に劣化して
しまうことである。これは、通常、導体パターンが形成
された金属化部分は外部との接続のため、半田付け加工
が施されるが、半田の主成分である錫(Sn)の拡散に
より、時間とともに接着酸化物層(上記スピネル化合
物)が還元され、その結果、接着強度が極度に低下して
しまうものである。
【0006】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたものであり、抵抗体パターンの抵抗値の
上昇や抵抗温度係数の過剰な増大または減少を阻止する
ことができ、しかも、セラミック基板との接着性を長期
間安定に保持することができる導体パターンの形成を可
能にする金属化組成物を得ることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる金属化組
成物は、低抵抗金属粉を主成分とする金属ペースト中
に、低抵抗金属酸化物を混入してなるガラスフリットを
分散させたものである。
【0008】
【作用】この発明においては、低抵抗金属粉を主成分と
する金属ペースト中に、低抵抗金属酸化物を混入してな
るガラスフリットを分散したから、セラミック基板上に
上記金属ペーストを印刷して焼結すると、上記低抵抗金
属粉が焼結するとともに、上記低抵抗金属酸化物を含む
ガラスフリットがセラミック基板との界面に押し出され
て、セラミック基板との間に有効な接着層を形成し、該
接着層がガラスによって保護される。従って、このよう
にして得られた導体パターンに半田加工が施されても、
上記接着層はガラスで保護されているため、半田の主成
分であるSnがその内部に拡散せず、長期間その接着性
が保持される。また、導体パターンの表面においても、
低抵抗金属酸化物がガラスで覆われているため、該低抵
抗金属酸化物と抵抗体物質との間で反応が起こることが
ない。
【0009】
【実施例】
実施例1.先ず、低抵抗金属酸化物としてCuOを用
い、下記の製造工程により、表1に示す原料組成比でも
って、CuOの含有量が異なるガラスフリットA〜Gを
作成した。尚、表1中のガラス転移点(Tg)は示差熱
分析(Differential thermalanalysis : DTA)法に
より測定したものである。
【0010】
【表1】
【0011】ガラスフリットの製造工程 原料粉体(PbO,ZnO,B2 O3 ,SiO2 ,Cu
O)を所定量秤量し、これらをV型混合機で約30分間
攪拌して均一化する。次いで、白金坩堝にこの混合粉体
を入れ、電気炉にて1500℃で約60分間保持し、溶
融ガラス化させる。次に、この溶融ガラスを純水中に流
入して、粗ガラスフリットを得る。次に、この粗ガラス
フリットをボールミルで48時間微粉砕した後、乾燥さ
せ、これを回収してガラスフリットを得る。
【0012】次に、上記ガラスフリットA〜Gを用い
て、表2に示す組成比からなる10種類のペースト状の
金属化組成物a1 〜a3 ,b〜gを作成した。ここで、
各ペースト状の金属化組成物は、3本ロールミルを用い
て、粘度が25万センチポイズとなるように混練した。
尚、表2中のエチルセルロース溶液とはエチルセルロー
スをブチルセロソルブ等の高沸点溶剤に溶解させたもの
である。
【0013】次に、上記各ペースト状の金属化組成物a
1 〜a3 ,b〜gを用い、以下の工程によりアルミナ基
板を金属化し、得られた金属化基板の必要特性を測定し
た。 (1) 先ず、96%のアルミナ基板上に、スクリーン印刷
機により、ペースト状金属化組成物からなる所要パター
ンを印刷し、これを乾燥し、窒素中900℃で焼成して
導体パターンを形成する。 (2) 上記導体パターンが形成された96%のアルミナ基
板上に、スクリーン印刷機により、硼化ランタン系ペー
ストQP603(Du Pont社製商品名)或いは酸
化錫系ペーストQP614(Du Pont社製商品
名)からなる所要パターンを印刷し、これを乾燥し、窒
素雰囲気中900℃で焼成して抵抗体パターンを形成す
る。 (3) 次に、必要特性〔・導体パターンとアルミナ基板と
の接着強度,・抵抗体パターンの抵抗値及び抵抗温度係
数(The Temperature coefficient of Resistance : T
CR),・抵抗体パターンと導体パターンの接合部の外
観〕を測定し、表2に示す結果を得た。尚、ここで、導
体パターンとアルミナ基板との接着強度は、導体パター
ンを10mm/min引っ張った時の2mm□の領域に
かかる引っ張り強度を測定したものである。また、接合
部の外観は目視により観察して測定したものである。
【0014】
【表2】
【0015】表2に示す結果より、ペースト状の金属化
組成物中に亜酸化銅(Cu2 O)を添加すると、得られ
る導体パターンとアルミナ基板との接着強度を高めるこ
とはできるが、接着強度の経時安定性は乏しく経時後は
接着強度が低下してしまい、更に、添加量が多くなると
(金属化組成物a3 )、導体パターンと抵抗体パターン
との接合部に気泡を発生して異常を生ずることがわか
る。一方、酸化銅(CuO)を含有させたガラスフリッ
トが分散した金属化組成物b〜gにより導体パターンを
形成した場合、導体パターンとアルミナ基板との接着強
度を高めることができ、しかも、導体パターンと抵抗体
パターンの接合部に悪影響を与えないことがわかる。そ
して、特に、酸化銅(CuO)を50mol以上含有さ
せた、即ち、モル分率が0.3以上となるように含有さ
せたガラスフリットを分散してなる金属化組成物d〜g
においては、導体パターンとアルミナ基板との接着強度
を高めることができるとともに、接着強度の経時劣化も
小さくできることがわかる。
【0016】このように本実施例により、酸化銅(Cu
O)を含有するガラスフリットを分散させた金属化組成
物は、従来の亜酸化銅(Cu2 O)を分散させた金属化
組成物に比べて、アルミナ基板を金属化する上で、種々
の特性を改善できることが明らかである。
【0017】実施例2.先ず、低抵抗金属酸化物として
CuOを用い、上記実施例1と同様の製造工程により、
表3に示す原料組成比でもって、CuOの含有量が異な
るガラスフリットH,Iを作成した。尚、表3中のガラ
ス転移点(Tg)は示差熱分析(Differential thermal
analysis : DTA)法により測定したものである。
【0018】
【表3】
【0019】そして、このガラスフリットH,Iを用い
て、表4に示す組成比からなる7種類のペースト状の金
属化組成物h1 〜h4 ,i1 〜i3 を作成した。ここ
で、各ペースト状の金属化組成物は、3本ロールミルを
用いて、粘度が25万センチポイズとなるように混練し
た。
【0020】次に、上記各ペースト状の金属化組成物h
1 〜h4 ,i1 〜i3 の各々について、導体パターンの
焼成温度を980℃とした以外は、上記実施例1と同様
にして金属化したアルミナ基板を得、必要特性〔・導体
パターンとアルミナ基板との接着強度,・抵抗体パター
ンの抵抗値及び抵抗温度係数(The Temperature coeffi
cient of Resistance : TCR),・抵抗体パターンと
導体パターンの接合部の外観,・半田濡れ性〕を測定
し、表4に示す結果を得た。尚、ここで、半田濡れ性以
外は上記実施例1と同様にして測定し、半田濡れ性は2
30℃に加熱した錫−鉛共晶半田中に10秒浸漬し、こ
の時の濡れ性を目視で観察することにより行った。
【0021】
【表4】
【0022】これらの結果から、ガラスフリットを添加
してない金属化組成物(h1 )を用いた場合は、充分な
接着強度は得られないが、ガラスフリットを0.4重量
%〜8.0重量%の範囲で分散させた金属化組成物(h
2 ,h3 ,h4 , i1 , i2)を用いた場合は、良好な
接着強度が得られるとともに、抵抗体パターンとの間に
も全く問題を生じず、かつ、半田濡れ性も良好であるこ
とがわかる。また、ガラスフリットを14重量%より多
く分散させた金属化組成物(i3 )を用いた場合は、接
着強度も抵抗体パターンとの相性も問題ないが、半田濡
れ性が充分では無くなることがわかる。
【0023】このように本実施例より、酸化銅(Cu
O)含有のガラスフリットを分散させた金属化組成物で
もって導体パターンを形成する場合、ガラスフリットを
0.4重量%〜14重量%の範囲で分散させると、アル
ミナ基板に対する接着強度,抵抗体パターンとの相性及
び半田濡れ性の何れの点においても良好な特性が得られ
ることがわかる。
【0024】実施例3.先ず、低抵抗金属酸化物として
CuOを用い、上記実施例1と同様の製造工程により、
pbO:30mol,ZnO:20mol,B2 O3 :
30mol,SiO2 :20mol,CuO:50mo
lの原料組成比で、CuOを含有するガラスフリットJ
を作成した。尚、得られたガラスフリットJのガラス転
移点(Tg)を示差熱分析(Differential thermal ana
lysis : DTA)法で測定したところ465℃であっ
た。
【0025】そして、このガラスフリットJを用いて、
表5に示す組成比からなる7種類のペースト状の金属化
組成物j1 〜j7 を作成した。ここで、各ペースト状の
金属化組成物は、3本ロールミルを用いて、粘度が25
万センチポイズとなるように混練した。
【0026】次に、上記各ペースト状の金属化組成物j
1 〜j7 の各々について、上記実施例1と同様にしてア
ルミナ基板上に導体パターンを形成して金属化されたア
ルミナ基板を得、上記実施例2と同様にして必要特性
(・導体パターンとアルミナ基板との接着強度,・半田
濡れ性)を測定し、表5に示す結果を得た。
【0027】
【表5】
【0028】これらの結果から、金属化組成物中にWO
3 を添加する場合、低抵抗金属粉(Cu粉)100重量
部に対して0.5重量部〜5重量部の割合で添加して導
体パターンを形成すると、アルミナ基板に対する接着強
度に何ら悪影響を与えることなく、その半田濡れ性をよ
り良好にできることがわかる。
【0029】実施例4.先ず、低抵抗金属酸化物として
CuOを用い、上記実施例1と同様の製造工程により、
pbO:30mol,ZnO:20mol,B2 O3 :
30mol,SiO2 :20mol,CuO:100m
olの原料組成比で、CuOを含有するガラスフリット
Kを作成した。尚、得られたガラスフリットKのガラス
転移点(Tg)を示差熱分析(Differential thermal a
nalysis : DTA)法で測定したところ432℃であっ
た。
【0030】そして、このガラスフリットKを用いて、
表6に示す組成比からなる7種類のペースト状の金属化
組成物k1 〜k7 を作成した。ここで、各ペースト状の
金属化組成物は、3本ロールミルを用いて、粘度が25
万センチポイズとなるように混練した。
【0031】次に、上記金属化組成物k1 〜k7 のペー
スト粘度特性を測定し、次いでスクリーン印刷機を用い
て印刷し印刷特性を評価し、表6に示す結果を得た。
尚、ここで、チクソトロピーインデックスは、ブルック
フィールド型粘土計の2回転測定値/20回転測定値の
比であり、印刷性の評価は目視により行った。
【0032】
【表6】
【0033】これらの結果から、オレイン酸の添加量が
同じペースト粘度に調製するためのエチルセルロース溶
液の必要量と、調製した金属化組成物のチクソトロピー
インデックスに大きく影響していることが分かる。即
ち、オレイン酸を金属化組成物中に添加する場合、低抵
抗金属粉(Cu粉)100重量部に対して0.05〜
1.0重量部の割合でオレイン酸を添加すると良好な印
刷性が得られ、オレイン酸の添加量を低抵抗金属粉(銅
粉)100重量部に対して2.0重量部の割合まで増加
させると、レベリング性は良好になるが、細い線の印刷
には流れが大き過ぎ、印刷性を低下させてしまうことが
わかる。
【0034】
【発明の効果】本発明にかかる金属化組成物によれば、
低抵抗金属粉を主成分とする金属ペースト中に、低抵抗
金属酸化物を混入してなるガラスフリットを分散させる
ようにしたので、セラミック基板上に印刷して焼結する
と、上記低抵抗金属酸化物を含むガラスフリットはセラ
ミック基板との界面に押し出されて、セラミック基板と
の間に有効な接着層を形成し、該接着層がガラスによっ
て保護されることになり、その結果、このようにして得
られた導体パターンに半田加工が施されても、上記接着
層はガラスで保護されていることから、半田の主成分で
あるSnがその内部に拡散せず、長期間その接着性を保
持できる効果がある。
【0035】また、導体パターンの表面においても、低
抵抗金属酸化物がガラスで覆われているため、該低抵抗
金属酸化物と抵抗体パターン中の抵抗体物質との間で反
応が起こることがなく、抵抗体パターンの抵抗値の異常
上昇や抵抗温度係数の異常な変化を防止することができ
る効果がある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西家 弘 広島県三次市東酒屋町306 ミヨシ電子株 式会社内 (72)発明者 池田 保一 兵庫県伊丹市瑞原4丁目1番地 三菱電機 株式会社北伊丹製作所内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セラミック基板上に印刷され、焼結され
    ることにより、該セラミック基板を金属化する金属化組
    成物であって、 低抵抗金属粉を主成分とする金属ペースト中に、低抵抗
    金属酸化物を混入してなるガラスフリットを分散させて
    なることを特徴とする金属化組成物。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の金属化組成物におい
    て、 上記セラミック基板がアルミナ基板であり、上記低抵抗
    金属粉がCu粉であり、上記ガラスフリット中に混入し
    た低抵抗金属酸化物がCuOであることを特徴とする金
    属化組成物。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の金属化組成物
    において、 上記ガラスフリットは、上記セラミック基板上で酸化錫
    或いは硼化ランタンからなる抵抗体物質と接触するもの
    であることを特徴とする金属化組成物。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3の何れかに記載の金属
    化組成物において、 上記ガラスフリット中に、上記低抵抗金属酸化物がモル
    分率0.3〜0.6の割合で混入されていることを特徴
    とする金属化組成物。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4の何れかに記載の金属
    化組成物において、 上記ガラスフリットが、上記金属ペースト中に0.4〜
    14.0重量%の割合で分散していることを特徴とする
    金属化組成物。
  6. 【請求項6】 請求項1ないし5の何れかに記載の金属
    化組成物において、 上記ガラスフリットは、硼珪酸鉛系ガラス,または,硼
    珪酸亜鉛系ガラス,または,硼珪酸鉛亜鉛系のガラスか
    らなることを特徴とする金属化組成物。
  7. 【請求項7】 請求項1または2に記載の金属化組成物
    において、 上記低抵抗金属粉100重量部に対してWO3 が0.5
    重量部〜5重量部の割合で添加されていることを特徴と
    する金属化組成物。
  8. 【請求項8】 請求項1または2に記載の金属化組成物
    において、 上記低抵抗金属粉100重量部に対してオレイン酸が
    0.05〜1重量部の割合で添加されていることを特徴
    とする金属化組成物。
JP30567393A 1993-12-07 1993-12-07 金属化組成物 Pending JPH07157812A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2793789A1 (fr) 1999-05-17 2000-11-24 Siemens Ag Procede de fabrication d'un support de circuit en ceramique pour connexion par un automate
JP2003110239A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Hitachi Metals Ltd 多層セラミック基板及びその製造方法
JP2016528134A (ja) * 2013-06-05 2016-09-15 セラムテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングCeramTec GmbH セラミック基材上の金属被覆

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