JPH07153785A - ペレットボンディング装置のウエハステージ - Google Patents

ペレットボンディング装置のウエハステージ

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JPH07153785A
JPH07153785A JP31925993A JP31925993A JPH07153785A JP H07153785 A JPH07153785 A JP H07153785A JP 31925993 A JP31925993 A JP 31925993A JP 31925993 A JP31925993 A JP 31925993A JP H07153785 A JPH07153785 A JP H07153785A
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wafer
ring unit
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Yasushi Takeda
泰 武田
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転体に負荷を与えることなく、回転体と上
押えプレート及び下押えプレートとの間でウエハリング
ユニットをクランプすることができるようにすること。 【構成】 支持台19に対し回転可能に配設され、支持
部24を備えた回転台11と、この回転台の支持部側に
回転台の軸方向に対し移動自在に配設されウエハリング
ユニット1を収容可能とする上押えプレート12及び下
押えプレート13と、回転台と上押えプレート及び下押
えプレートとの間に配設され、上押えプレート及び下押
えプレートを回転台の軸方向内側へ付勢して、ウエハリ
ングユニットをクランプさせるコイルスプリング14
と、支持台に設置され、上押えプレート12及び下押え
プレート13を回転台11の軸方向外側へ押圧可能と
し、ウエハリングユニットの上記クランプを解除する押
圧ロッド15及びエアシリンダ16と、を有するもので
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ウエハリングに粘着
シートを介してウエハを保持したウエハリングユニット
を設置するペレットボンディング装置のウエハステージ
に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体の製造工程の1つにペレットボン
ディング工程がある。この工程では、ウエハから1個ず
つペレットをピックアップし、その後直接、あるいは必
要に応じて位置決めポジションを経由して、上記ペレッ
トをリードフレームへ移送し、このリードフレームの所
定位置にボンディングする作業が行なわれる。
【0003】この作業に用いられるペレットボンディン
グ装置では、例えば、特開昭60-173848 号公報記載の発
明(従来例)のように、ウエハリングに粘着シートを介
してウエハを保持したウエハリングユニットをウエハス
テージに設置し、このウエハステージにてウエハリング
ユニットの粘着シートを引き延ばす作業が実施される。
【0004】つまり、この従来例のウエハステージは、
支持枠台に配設されて、ステッピングモータにより回転
可能に設けられた支持リングと、この支持リングの外周
面に支持リングの軸方向に移動可能に配設され、クラン
パとの間にウエハリングユニットを収容可能とするイン
ナリング及びアウタリングと、上記支持枠台に設置され
たシリンダにより揺動されるとともに、先端部に凸部が
形成されたクランプアームと、を有し、上記クランプア
ームの凸部が、アウタリングの凹部に係合するよう構成
されている。
【0005】この従来のウエハステージでは、ウエハマ
ガジンから搬送されたウエハリングユニットをインナリ
ング及びクランパ間に収容し、シリンダを作動させてク
ランプアームを下方へ揺動させ、このクランプアームの
凸部及びアウタリングの凹部を介してアウタリング、ク
ランプ及びインナリングを下方へ押し下げる。この押し
下げ操作により、ウエハリングユニットの粘着シートが
支持リングの支持部に強く押し付けられて、この粘着シ
ートが引き延ばされ、ウエハがダイシングされて多数形
成されたペレット間に所定寸法の隙間が形成される。
【0006】この状態で、ペレットトランスファやペレ
ットボンディングヘッドのコレットによりペレットがピ
ックアップされるが、ペレットの回転ずれ修正のため
に、あるいはコレットによるペレットのピックアップ領
域を狭めるために、ステッピングモータによって支持リ
ングが所定角度回転される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
な従来のウエハステージでは、アウタリング、クランパ
及びインナリングを押し下げるクランプアームは、支持
枠台に支持されるものであり、アウタリング、クランパ
及びインナリング並びに支持リングとともには回転しな
いものである。このため、上記クランプアームの押し下
げ力は支持リングと支持枠台間にも作用し、この支持リ
ングの回転に対し抵抗力(負荷)となってしまう。この
結果、万一の場合には、ステッピングモータによる支持
リングの回転動作に不都合が生ずる虞れがある。
【0008】この発明は、上述の事情を考慮してなされ
たものであり、回転部材に負荷を与えることなく、回転
部材及び押え部材間でウエハリングユニットをクランプ
できるペレットボンディング装置のウエハステージを提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明は、支持台に対
し回転可能に配設され、先端部に支持部を備えた回転部
材と、上記回転部材の上記支持部側にこの回転部材の軸
方向に対し移動自在に配設されたウエハリングユニット
の押え部材と、上記回転部材及び押え部材間に配設さ
れ、上記押え部材を上記回転部材の軸方向内側へ付勢し
て、ウエハリングユニットをこの押え部材と上記回転部
材の支持部との間でクランプさせる弾性部材と、上記支
持台に設置され、上記押え部材を上記回転部材の軸方向
外側へ押圧可能とし、この押圧により押え部材及び回転
部材による上記ウエハリングユニットのクランプを解除
するクランプ解除手段と、を有するものである。
【0010】
【作用】従って、この発明に係るペレットボンディング
装置のウエハステージによれば、押え部材と回転部材の
支持部との間でウエハリングユニットをクランプする弾
性部材は、上記回転部材と、この回転部材に対し一体回
転される上記押圧部材との間に配設されたことから、ウ
エハリングユニットをクランプするためのクランプ力が
回転部材の回転時における抵抗力(負荷)とならない。
このため、回転部材に負荷を与えることなく、回転部材
及び押圧部材間でウエハリングユニットをクランプする
ことができる。
【0011】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図1は、この発明に係るペレットボンディング
装置のウエハステージの一実施例を示す平面図である。
図2は、図1のII-II 線に沿う断面図である。図3は、
図2のIII-III 線に沿う断面図である。図4は、図2の
ウエハステージにウエハリングユニットが収容される前
の状態を示すウエハステージの断面図である。
【0012】図1、図2及び図4に示すように、ペレッ
トボンディング装置のウエハステージ10は、図示しな
いウエハマガジンから供給されたウエハリングユニット
1を固定(保持)するものである。このウエハリングユ
ニット1は、ウエハリング2に粘着シート3を介してウ
エハ4が粘着されたものであり、ウエハステージ10に
供給される前段階でウエハ4がダイシングされて、多数
のペレット5に分割されている。
【0013】上記ウエハステージ10は、ウエハリング
ユニット1の固定保持に際し、粘着シート3を引き延ば
して、多数のペレット5間に適切な隙間を形成し、ペレ
ット5を取り出し易くするものである。このウエハステ
ージ10は、回転部材としての回転台11、押え部材と
しての上押えプレート12及び下押えプレート13、弾
性部材としてのコイルスプリング14、並びにクランプ
解除手段としての押圧ロッド15及びエアシリンダ16
を有して構成される。
【0014】回転台11は、フランジ11Aを備えた円
筒形状であり、固定台17に対しベアリング18を介し
て回転自在に配設される。固定台17は、支持台19に
支持プレート20を介して固着されている。支持プレー
ト20には、ステッピングモータ21が設置され、この
ステッピングモータ21のモータシャフトにプーリ22
が取り付けられている。このプーリ22と、上記回転台
11との間に、図3にも示すようにベルト23が巻き掛
けられて、回転台11がステッピングモータ21により
回転可能に構成される。更に、図2に示すように、回転
台11の上端部は、支持部24として機能する。
【0015】下押えプレート13はリング形状であり、
回転台11のフランジ11Aに載置される。この下押え
プレート13には、後に詳説する押圧ロッド15が垂下
され、この押圧ロッド15を介して、下押えプレート1
3は、回転台11の軸方向に沿って移動自在にフランジ
11Aに配設される。この下押えプレート13の上面に
は、図1に示すように切欠25が形成され、この切欠2
5が、ウエハリングユニット1を保持してウエハステー
ジ10へ供給する搬送アームの保持部(共に図示せず)
を通過可能とする。
【0016】また、上押えプレート12は、略半リング
形状であり、上記切欠25の両側に固定ボルト26を用
いて下押えプレート13に固定される。この上押えプレ
ート12には、円弧形状の壁面27が形成される。上記
搬送アームにて供給されたウエハリングユニット1は、
図4に示すように、下押えプレート13の上面、上押え
プレート12の下面及び上押えプレート12の壁面27
に囲まれた領域に収容可能とされる。
【0017】上記押圧ロッド15は、図1に示すよう
に、下押えプレート13においてその周方向に沿い略等
間隔位置に垂設される。これらの押圧ロッド15は、回
転台11のフランジ11Aに穿設された挿通孔28(図
2)に挿通され、この押圧ロッド15の下端部と、フラ
ンジ11Aの下面との間に上記コイルスプリング14が
介装される。
【0018】このコイルスプリング14は、図2に示す
ように、上押えプレート12及び下押えプレート13を
回転台11の軸方向に沿って内側(図2では下向き)に
付勢して、上押えプレート12及び下押えプレート13
間に収容されたウエハリングユニット1を、これらの上
押えプレート12及び下押えプレート13と回転台11
の支持部24との間で、図2に示すようにクランプす
る。このウエハリングユニット1のクランプ状態では、
ウエハリングユニット1のウエハリング2が上押えプレ
ート12及び下押えプレート13間に挟持されて押し下
げられ、ウエハリングユニット1の粘着シート3が回転
台11の支持部24に押し付けられる。これにより、粘
着シート3が引き延ばされて、ウエハリングユニット1
の各ペレット5間の隙間が、ペレット5をピックアップ
し易い所定寸法に拡大される。
【0019】前記支持プレート20において、回転台1
1の回転中心を中心とする各押圧ロッド15の回転軌跡
上には、各押圧ロッド15と対応する前記エアシリンダ
16が設置される。このエアシリンダ16は、ピストン
ロッド29を伸長させたときに、対応する押圧ロッド1
5を押し上げるよう設置される。これにより、上押えプ
レート12及び下押えプレート13が、コイルスプリン
グ14の付勢力に抗し、回転台11の軸方向に沿って外
側(図2では上向き)に押し上げられ、図4に示すよう
に、ウエハリングユニット1の上押えプレート12、下
押えプレート13及び回転台11による上記クランプが
解除される。
【0020】次に、作用を説明する。図4に示すよう
に、エアシリンダ16のピストンロッド29を伸長させ
た状態で待機し、搬送アームによってウエハマガジンか
らウエハリングユニット1をウエハステージ10へ搬送
する。ウエハリングユニット1が、下押えプレート13
の上面、上押えプレート12の下面及び壁面27内に収
容された段階で、シリンダ16のピストンロッド29を
収縮させると、コイルスプリング14の付勢力によっ
て、図2に示すように、ウエハリングユニット1が上押
えプレート12、下押えプレート13及び回転台11に
よってクランプされ、ウエハリングユニット1の粘着シ
ート3が引き延ばされる。
【0021】ウエハリングユニット1の粘着シート3が
引き延ばされた状態で、図示しないコレットによりペレ
ット5がピックアップされるが、不図示のカメラを用い
たペレットの回転ずれ修正のために、あるいはコレット
によるペレット5のピックアップ領域を狭めるために、
ステッピングモータ21を作動させて、回転台11を所
定角度回転させる。
【0022】こうして、ウエハリングユニット1のペレ
ット5がすべてピックアップされた段階で、ステッピン
グモータ21の作動により回転台11を回転させて各押
圧ロッド15を対応するエアシリンダ16の直上に位置
付け、その後、エアシリンダ16のピストンロッド29
を図4に示すように再び伸長させ、上押えプレート1
2、下押えプレート13及び回転台11によるウエハリ
ングユニット1のクランプを解除して、搬送アームによ
り、この使用済のウエハリングユニット1を搬出させ、
新たなウエハリングユニット1を搬入する。
【0023】上記実施例によれば、上押えプレート12
及び下押えプレート13と回転台11の支持部24との
間でウエハリングユニット1をクランプするコイルスプ
リング14は、上記回転台11と、この回転台11に対
し一体回転される上押えプレート12及び下押えプレー
ト13との間に、押圧ロッド15を介して介在されたこ
とから、ウエハリングユニット1をクランプするための
クランプ力が回転台11の回転時における抵抗力(負
荷)とならない。このため、回転台11に負荷を与える
ことなく、この回転台11と上押えプレート12及び下
押えプレート13との間でウエハリングユニット1をク
ランプすることができる。
【0024】また、上押えプレート12及び下押えプレ
ート13並びに回転台11間に配設されて、ウエハリン
グユニット1を、上押えプレート12及び下押えプレー
ト13と回転台11の支持部24との間でクランプする
コイルスプリング14は、例えば電動モータやエアシリ
ンダ等の比較的大型の駆動エネルギー源に比べ軽量であ
る。このため、回転体として一体回転する回転台11、
上押えプレート12、下押えプレート13、コイルスプ
リング14の重量が小さいので、回転台11を支持台1
9に対し回転させるステッピングモータ21を小型化さ
せることができ、コストを低減できる。
【0025】尚、上記実施例では、弾性部材がコイルス
プリングの場合を述べたが、板ばねやゴム等の他の弾性
体で構成されても良い。また、クランプ解除手段として
のエアシリンダ16も、油圧シリンダ、あるいは電動モ
ータにより作動するスクリュー軸であっても良い。
【0026】
【発明の効果】以上のように、この発明に係るペレット
ボンディング装置のウエハステージによれば、回転部材
に負荷を与えることなく、回転部材及び押え部材間でウ
エハリングユニットをクランプすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、この発明に係るペレットボンディング
装置のウエハステージの一実施例を示す平面図である。
【図2】図2は、図1のII-II 線に沿う断面図である。
【図3】図3は、図2のIII-III 線に沿う断面図であ
る。
【図4】図4は、図2のウエハステージにウエハリング
ユニットが収容される前の状態を示すウエハステージの
断面図である。
【符号の説明】
1 ウエハリングユニット 3 粘着シート 4 ウエハ 5 ペレット 10 ウエハステージ 11 回転台 12 上押えプレート 13 下押えプレート 14 コイルスプリング 15 押圧ロッド 16 エアシリンダ 18 ベアリング 19 支持台 21 ステッピングモータ 24 支持部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持台に対し回転可能に配設され、先端
    部に支持部を備えた回転部材と、 上記回転部材の上記支持部側にこの回転部材の軸方向に
    対し移動自在に配設されたウエハリングユニットの押え
    部材と、 上記回転部材及び押え部材間に配設され、上記押え部材
    を上記回転部材の軸方向内側へ付勢して、ウエハリング
    ユニットをこの押え部材と上記回転部材の支持部との間
    でクランプさせる弾性部材と、 上記支持台に設置され、上記押え部材を上記回転部材の
    軸方向外側へ押圧可能とし、この押圧により押え部材及
    び回転部材による上記ウエハリングユニットのクランプ
    を解除するクランプ解除手段と、 を有することを特徴とするペレットボンディング装置の
    ウエハステージ。
  2. 【請求項2】 上記弾性部材は、コイルスプリングであ
    る請求項1に記載のペレットボンディング装置のウエハ
    ステージ。
  3. 【請求項3】 上記クランプ解除手段は、押え部材に固
    定された押圧ロッドと、固定台に設置されて上記押圧ロ
    ッドを押圧可能とするエアシリンダと、を備えてなる請
    求項1または2に記載のペレットボンディング装置のウ
    エハステージ。
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