JPH07151833A - Icテスタ用ドライバ回路 - Google Patents

Icテスタ用ドライバ回路

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JPH07151833A
JPH07151833A JP6182089A JP18208994A JPH07151833A JP H07151833 A JPH07151833 A JP H07151833A JP 6182089 A JP6182089 A JP 6182089A JP 18208994 A JP18208994 A JP 18208994A JP H07151833 A JPH07151833 A JP H07151833A
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voltage
driver
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input
dut
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JP6182089A
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Richard F Herlein
エフ. ハーレイン リチャード
Sergio A Sanielevici
エイ. サニエレビチ サージオ
Burnell G West
ジイ. ウエスト バーネル
David K Cheung
ケイ. チァン デイビッド
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Schlumberger Technologies Inc
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31924Voltage or current aspects, e.g. driver, receiver

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ICテスト装置においてターミネーション
(終端)及びクランプとしても作用するドライバ回路を
提供する。 【構成】 DUTのポートを2つの所定電圧レベルの間
で駆動する場合に、本ドライバ回路のI/O端子をドラ
イバ回路とDUTとの間の伝送線に一致する出力インピ
ーダンスで2つの所定電圧レベルの間でスイッチ動作さ
せる。DUTのポートが出力信号を供給すると、ドライ
バ回路は2つのタイプのターミネーション即ち終端のう
ちの1つを与えるべくプログラムすることが可能であ
る。DUTのポートが負荷を駆動することが可能である
ものとして特定されている場合には、ドライバ回路とD
UTとの間の伝送線はドライバ回路のI/O端子をZ0
のインピーダンスを有する所定の電圧レベルへスイッチ
することによって終端される。DUTのポートがこのよ
うな終端負荷を駆動することが可能なものとして特定さ
れていない場合には、本ドライバ回路はZクランプ回路
のように機能する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路の動的テスト
において使用される遠隔自動テスタに関するものであっ
て、更に詳細には、このようなテスタにおいて使用する
ためのドライバ回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えばスイッチング速度や伝播遅延時間
等の集積回路(IC)の動的動作特性は、通常、自動テ
スタを使用して決定される。例えば、テスタは、例えば
IC等のテスト中の装置(DUT)の種々の入力又は入
力/出力(I/O)ポートへ一連のテスト信号を送信し
且つその結果得られるDUTの出力レベル及び応答時間
を測定するためにプログラムすることが可能である。こ
のようなテストは、DUTが適切に機能するか否かを決
定することが可能であり、又そのテストプロセスが完了
した後に、DUTの入力ポート、出力ポート、及びI/
Oポートへ接続される回路の必要とされるタイミング特
性を決定することが可能である。
【0003】テスタはDUT入力信号を発生し且つ±1
00ピコ秒に近い精度でDUTの出力応答信号を測定せ
ねばならないので、該テスタは、DUTの出力信号の波
形に歪を発生させることがないか、又は少なくとも予測
可能であり且つ再現性のある態様でのみこれらの波形に
歪を発生させるように構成されねばならない。
【0004】各DUT出力信号は、DUTポートをテス
タ内の比較器へ接続させる伝送線を介して通過せねばな
らない。この伝送線は、DUTがこのような負荷を駆動
することが可能である場合には、特性インピーダンス
(Z0 )で終端すべきであり、即ち以下に説明するよう
な「Zクランプ」回路によって終端されるべきである。
DUTの各I/Oポートは、テスタ内のドライバ回路へ
接続されねばならない。テスタがDUT出力へ付与する
負荷を最小とさせるために、ドライバ及び比較器は、通
常、単一の伝送線を介してDUTへ接続される。この接
続方法は、ドライバが終端回路に非常に近接して伝送線
の終端部に位置されることを必要とする。ドライバと終
端回路との間に物理的な分離が存在すると、2つの態様
でタイミングエラーを発生させる場合がある。第一に、
ドライバの出力信号経路が伝送線スタブを有する場合が
あり、それが反射を導入し且つドライバの出力波形に歪
を発生させる。第二に、ターンオフされたドライバの出
力容量が、DUT出力信号経路内に反射を発生させるこ
とによって、DUTの出力波形に歪を発生させる場合が
ある。
【0005】典型的な従来のドライバは以下のような問
題を有している。
【0006】(1)それは、それ自身とDUTとの間で
伝送線を終端させるか又はクランプするための別個の回
路を必要とする。この終端装置又はクランプは必然的に
ドライバからある有限の距離離れたものとならねばなら
ず、その結果伝送線スタブを発生する。
【0007】(2)それは適切なる「ターンオフ」状態
を有するものではなく、従って、DUTがドライバの出
力を高又は低へ駆動せんとする場合には、ドライバは遷
移を遅くさせる傾向のある出力電流を発生する。
【0008】(3)デジタル「高」レベルへ駆動する場
合に、それは伝送線反射の結果として入力される電流を
適切にシンク即ち吸込むものではなく、そのことはその
出力を一層正のレベルへ駆動させる傾向となる。
【0009】(4)デジタル「低」レベルへ駆動する場
合に、それは伝送線反射の結果として入力される電流を
適切にシンク即ち吸込むものではなく、そのことはその
出力を一層負のレベルへ駆動する傾向となる。
【0010】テスト環境においての不適切に終端(即ち
成端)された伝送線は、特にテスト中のCMOS装置が
幅の狭いパルスを発生する場合に、時間測定上の著しい
エラーを発生させる場合がある。デジタルCMOS装置
のクロック速度が100MHz以上に増加すると、装置
の相互接続上の伝送線異常によって発生されるI/Oエ
ラーの問題は益々厳しいものとなる。
【0011】エンドユーザは、通常、相互接続距離を減
少させるためにマルチチップモジュールの形態で装置を
パッケージングすることによってこの問題を解消してい
る。然しながら、テスト環境においては伝送線異常は容
易に取除かれるものではない。何故ならば、テスト中の
装置(DUT)とテスタのドライバ及び比較器回路との
間の物理的な分離は、通常、マルチチップモジュールに
おける最小の相互接続距離よりも一桁程度大きなものだ
からである。テストシステムにおける伝送線の不適切な
る終端即ち成端は、テスタの比較器性能のタイミング及
び電圧精度仕様から著しく逸れたものとさせる。
【0012】クランプ技術 テストシステムにおける伝送線を終端させるための公知
の技術としては「ハードクランプ」、「Zクランプ」、
それらの特性インピーダンス(Z0 )でラインを終端さ
せる供給源、それらの特性インピーダンスでラインのテ
スタ端部の終端、及びプログラマブル負荷等がある。B
arber(M.R. Barber著「最近のVLS
Iテストシステムを使用するMOS装置のサブナノ秒タ
イミング測定(Subnanosecond timi
ng measurementson MOS dev
ices using modern VLSI te
st systems)」、国際テスト会議、198
3)及びその他によって提案されている別の技術は、テ
スタの比較器をDUTへ非常に近付けて配置させること
である。このことはテスト環境とエンドユーザ環境との
間の差異を最小とする著しい効果を有している。著しい
不利益は、DUT I/Oピンを取扱うために、テスタ
のドライバはDUTに非常に近付けて配置せねばならな
いということである。今日までのところ、このようなシ
ステムを費用効果的な態様で構築されたものはない。
【0013】DUTの出力インピーダンスが伝送線の特
性インピーダンスよりも小さい場合であって、且つ伝送
線のテスタ端部が開放状態である場合には、テスタにお
ける比較器によって見られる電圧遷移は、DUTによっ
て発生される電圧遷移とは異なるものである。DUTに
よって発生される単一のエッジはオーバーシュートし次
いでリンギングするものとして観察される。その後のエ
ッジは前のエッジによって発生されたリンギング上に重
畳されたものとして観察される。DUT出力エッジが伝
送線の伝播遅延の数倍だけ分離されない場合には、タイ
ミングエラーが発生する。DUT出力エッジレートが充
分に高い場合には、無効データエラーが発生する場合も
ある。
【0014】然しながら、殆どの既存のCMOS出力ド
ライバは終端された伝送線を駆動するように設計されて
はいない。従って、伝送線のリンギング及びその結果発
生するタイミング(及び、多分データ)エラーを最小と
するためにテスト装置において別のアプローチが使用さ
れねばならない。
【0015】「ハードクランプ」 この回路は2つのショットキーダイオードと2つの電圧
源とから構成される。一方のダイオードが入力と正クラ
ンプ電圧との間に接続され、他方のダイオードが入力と
負クランプ電圧との間に接続される。クランプ電圧の大
きさは、通常、DUTの予定された出力電圧の大きさと
等しく(又は数百mV低く)調節されており、従ってD
UTは、通常、その最大及び最小の振れにおいてクラン
プ内に少量の電流を駆動させる。50Ω未満のソースイ
ンピーダンスを有するDUTがこの回路を駆動する場合
には、伝送線の端部における波形はオーバーシュートす
る傾向となる。このオーバーシュートはクランプダイオ
ードのうちの一方によって「ショート」される。伝送線
はダイナミックインピーダンスがZ0 より小さな回路に
よって終端されているので、DUTへ戻る方向に伝播す
る反射は伝送線に対してより大きなエネルギを供給す
る。このサイクルは、伝送線における電流が無視可能な
値へ降下するまで伝送線のラウンドトリップ(往復)遅
延の数倍の間繰返し行なわれる。DUT出力がこの時間
期間中に別のエッジを発生すると、テスタにおける比較
器がリンギング上に重畳されたエッジを見ることとな
る。比較器において観察される出力波形は良好なものの
ように見えるが、比較器によって見られるエッジのタイ
ミングはDUTによって発生されたエッジのタイミング
に正確に対応するものではない。
【0016】「Zクランプ」 「伝送線上の電圧反射を制御する方法及び回路(Met
hod and Circuit for Contr
olling Voltage Reflectio
ns on Transmission Line
s)」という名称の米国特許第5,287,022号
(発明者Kenneth R.Wilsher)では、
別の伝送線終端クランプ回路を記載している。上述した
特許に記載される如く、図1のインピーダンス特性は例
えば図2A及び2Bに示したようなZクランプ回路で近
似されている。これらの回路はハードクランプと類似し
ているが、抵抗がダイオードに直列に配置されており、
従ってダイオードが導通状態にある場合にはそのインピ
ーダンスは50Ωに等しい。このインピーダンス特性の
利点は、終端回路のダイミナックインピーダンスがZ0
に等しいということである。従って、DUT出力遷移に
よって発生される伝送線内の電流は、DUT出力遷移の
後、伝送線のラウンドトリップ遅延時間の2倍(即ち、
2*Td )においてゼロへ降下する。
【0017】Zクランプのタイミングエラーは、伝送線
の伝播時間Td の2倍より小さいパルス幅に対してのハ
ードクランプのタイミングエラーと類似している。2*
dより大きなパルス幅の場合には、Zクランプは無視
可能なタイミングエラーを発生する。何故ならば、第一
エッジによって発生される伝送線内の電流は、第二エッ
ジが発生する時間までに、ゼロへ降下しているからであ
る。
【0018】DUTがECL又はGTL回路であるか、
又は終端された伝送線内へ駆動すべく設計された任意の
回路である場合には、伝送線の端部と適宜の電圧に設定
されている低インピーダンス電圧源との間にZ0 の値を
有する固定した抵抗を接続させることによってDUTと
それと関連するテスタ内の比較器との間の伝送線を終端
させることは理想的である。伝送線の端部へ接続されて
いる実際の回路が理想的なものとは異なった等価な回路
を有する場合には、反射、従ってタイミング測定エラー
が発生する。
【0019】前述した米国特許第5,287,022号
において提案されているクランプ回路は、前のパラグラ
フに記載した条件に対処するものではない。図2A及び
2B(米国特許第5,287,022号の図5A及び5
Bに対応する)に示した回路は、Vt が終端電圧であり
且つVt がダイオード接合電圧降下であるとして、Wi
lsherの電圧(Vcc−Vt )が(Vt −Vd )へ再
プログラムされ且つWilsherの電圧Vd が(Vt
+Vd )へ再プログラムされる場合には、適切に作用す
る。然しながら、電圧(Vt −Vd )及び(Vt +V
d )は注意深く制御されねばならず且つ電圧(Vt +V
d )におけるノードからダイオードD1及びD2を介し
て(Vt −Vd )におけるノードへ過剰な電流が流れる
ことを防止するために支配的な温度においてVd の実際
の値と協調されねばならない。
【0020】供給源−伝送線の終端 このことは、テスタ内の伝送線が事実上の標準であると
思われる50Ωの特性インピーダンスを有するものと仮
定して、2つの方法のうちのいずれかによって達成する
ことが可能である。一方の方法は、高又は低のいずれか
を駆動する場合に、50Ωのソースインピーダンスを有
するようにDUT出力ドライバを設計することである。
他の方法は、高又は低のいずれかを駆動する場合に同一
のインピーダンスであるが50Ωより小さなインピーダ
ンスを有するようにDUT出力ドライバを設計すること
である。後者の場合においては、DUT近くのテスト装
置に抵抗を負荷せねばならず、従って伝送線を駆動する
全インピーダンスは50Ωに等しい。
【0021】特性インピーダンスで伝送線のテスタ端部
を終端 この技術は、テスタの比較器において常に理想的な波形
を発生させる。これらの波形の振幅は次式の如く減衰さ
れる。
【0022】Vout =Vs *Z0 /(Zs +Z0 ) 尚、Vs 及びZs はDUT出力ドライバの夫々電圧及び
インピーダンスである。この減衰は、装置の出力がエン
ドユーズ適用で終端されていない場合には、比較電圧を
計算する場合に考慮に入れられねばならない。
【0023】この技術の欠点は、殆どの既存のCMOS
出力ドライバは終端された伝送線を駆動するように設計
されていないということである。然しながら、終端され
た伝送線を駆動することが出来ない高速出力ドライバを
設計することの思想が問題視されねばならない。装置が
テストされる場合には、それはそのテスト環境のみなら
ずエンドユーズ環境においても満足のいく動作をせねば
ならない。出力インピーダンスZs を有するDUTが長
さTd のテスト環境における終端されていない50Ωの
伝送線を駆動し且つDUTが電圧VohとVolとの間でス
イッチする場合には、DUTの出力は2*Td と等しい
時間期間の間(Voh−Vol)/(Zs +50)と等しい
電流を供給せねばならない。同一の伝送線が(Voh+V
ol)/2で終端されている場合には、最大出力電流は5
0%だけ減少される。テスタの伝送線をその特性インピ
ーダンスで終端させることは、DUTにおける接地バウ
ンス(跳ね返り)を減少させ、且つある出力周波数にお
いては電力散逸をも減少させる。
【0024】プログラマブル負荷 この回路は、DTL装置及びTTL装置がIC市場のか
なりの部分を占めていた時の初期のICテスト以来使用
されている。それは、DTL及びTTL入力を駆動する
装置のテストするために設計されていた。このような入
力はそれらの駆動源からDC電流を引出す。プログラマ
ブル負荷は、典型的には、ショットキーダイオードブリ
ッジと、スイッチ可能な電流源と、抵抗と、終端電圧源
とから構成される。DUTからの入力信号が終端電圧よ
りも一層負である場合には、負荷によってDUTから特
定された電流(Vol)が引出される。同様に、入力信号
が終端電圧よりも一層正である場合には、別の特定され
た電流(Ioh)がDUT内へ駆動される。プログラマブ
ル負荷は、典型的に、ハードクランプ又はZクランプと
結合して使用される。プログラマブル負荷はテスタのタ
イミング精度と妥協を行なう。プログラマブル負荷の入
力容量は、比較器入力において観察されるDUT出力信
号の見掛けの帯域幅を減少させる。又、プログラマブル
負荷が「オン」である場合には、該ブリッジ及び電流源
は伝送線の端部における「ダイオード+コンデンサ」負
荷のように見える。これらのダイオードは、DUT出力
がかなりの時間の間同一の状態にある場合には順方向バ
イアスされるが、それらはDUTから発生する第一エッ
ジによって逆バイアス状態とさせる。第一エッジの後す
ぐに発生するその後のエッジは第一エッジと同じ容量負
荷を駆動するものではない。エッジ毎に負荷が変化する
という事実は、キャリブレート即ち較正することの不可
能なタイミングエラーを発生させる。最大のエラーは該
ブリッジの浮遊容量に依存する(即ち、該ダイオード、
電流源、電流スイッチ、及びそれらが装着されている基
板又はモジュールの容量)。
【0025】このエラーの全て又は幾らか又は非常に小
さな部分が特定のエッジの時間測定に影響を与えるか否
かは、測定中のエッジとその前のエッジとの間の時間、
該ブリッジの浮遊容量の遅延時間(即ち、容量と電圧変
化とをかけたものをプログラム電流(Ioh又はIol)で
割ったもの)、及びキャリブレーション(較正)技術
(即ち、システムキャリブレーションが第一エッジに基
づいたものか又は後のエッジに基づいたものか)に依存
する。更に、最大プログラマブル負荷電流は、入力信号
に対し適切な終端を与えるのに充分でない場合がある。
【0026】CMOS ICがテスタ環境における伝送
線の遅延の二倍(即ち、2*Td )よりも小さい時間だ
け分離された出力遷移を発生する場合には、これらの伝
送線をそれらの特性インピーダンスで終端することのみ
によって良好なタイミング精度を得ることが可能であ
る。このことは、IC出力の駆動インピーダンスをZ0
と等しく設計することによるか、又はテスタの比較器近
くに抵抗性の終端を配置させることによって達成するこ
とが可能である。いずれのアプローチでもIC設計にお
いて著しい条件を課すことになる。CMOS ICが2
*Td よりも大きく且つ4*Td よりも小さい(又は6
*Td よりも小さい)時間分離されている出力遷移を発
生する場合には、ハードクランプの代わりにZクランプ
を使用することによって、タイミング精度における著し
い利点を得ることが可能である。高速装置をテストする
場合にはプログラマブル負荷を使用すべきではない。
【0027】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の点に
鑑みなされたものであって、上述した如き従来技術の欠
点を解消し、集積回路のテスト装置において使用する改
良したドライバ回路及びその動作方法を提供することを
目的とする。
【0028】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ドライ
バとしてのみならず終端及びクランプとしても作用する
回路が提供される。説明の便宜上、本明細書において
は、このような回路をドライバ回路と呼称する。本発明
に基づくドライバ回路は、伝送線によって入力、出力、
又はDUTのI/Oポートへ接続されるI/O端子を有
している。本ドライバ回路は、以下の機能のうちのいず
れかを達成するために動作させることが可能である。
【0029】(1)DUTの入力又はI/Oポートの駆
ドライバ回路のI/O端子は、VH 及びVL に関連した
2つの所定電圧レベルVH'及びVL'の間でDUTポート
を駆動する目的のために、ドライバ回路とDUTとの間
で伝送線とマッチする出力インピーダンス(Z0 )を有
する2つの所定電圧レベルVH 及びVL の間でスイッチ
動作される。伝送線のDUT端が終端されていない場合
には、VH =VH'及びVL =VL'である。伝送線のDU
T端が電圧源Vt へ接続された値Z0 の抵抗によって終
端されている場合には、VH'=VH /2+Vt /2及び
L'=VL /2+Vt /2である。
【0030】(2)DUTの出力又はI/Oポートの終
終端されるべきDUT出力又はI/Oポートの特定した
特性に依存して、2つの終端方法のうちの1つを使用す
ることが可能である。
【0031】(a)DUTの出力又はI/Oポートが終
端された負荷を駆動することが可能であるとして特定さ
れている場合には、ドライバ回路とDUTとの間の伝送
線は、ドライバ回路のI/O端子をZ0 のインピーダン
スを有する所定電圧レベル(Vt )へスイッチングする
ことによって終端される。本ドライバ回路は、ドライバ
回路へ接続されている出力又はI/OポートにおいてD
UTが出力信号を発生するものと予測される場合にこの
ことを行なうようにプログラムされる。
【0032】(b)DUTの出力又はI/Oポートが終
端されている負荷を駆動することが可能であると特定さ
れていない場合には、本ドライバ回路は前述したWil
sher特許に記載されているZクランプ回路のように
機能を行ない、その場合には、本ドライバ回路は、その
I/O端子における電圧が2つの所定電圧(VCH及びV
CL)の間にある場合には、高出力インピーダンスを有し
ている。そのI/O端子における電圧が高クランプ電圧
(VCH)よりも一層正である場合には、本ドライバ回路
は電圧VCHに対して約Z0の出力インピーダンスを有す
る。同様に、本ドライバ回路のI/O端子における電圧
が低クランプ電圧(VCL)よりも一層負である場合に
は、本ドライバ回路は、電圧VCLに対して約Z0 の出力
インピーダンスを有する。2つの所定電圧レベルの間で
のスイッチングの能力は、オプションとして、2つを越
えた所定電圧レベル、又は信号発生器の2つ又はそれ以
上の出力へ拡張可能であり、そのことはアナログ又は混
合信号集積回路又はその他の装置をテストする場合に適
切なものである。
【0033】自動テスタにおいては、比較器回路は、D
UT出力又はI/Oポートへ接続されている各伝送線の
テスタ端部へ接続されねばならない。多くのこのような
比較器回路は公知であり、その他のものも開発中であ
る。比較器回路は、好適には、本発明のドライバ回路に
非常に近接して伝送線のテスタ端部側に位置される。一
方、比較器及び誘導性「パッド」がDUTと本ドライバ
回路との間の伝送線上に位置されている。この誘導性
「パッド」は、そうでなければ比較器の入力容量によっ
て発生される伝送線反射を最小とさせるために、比較器
の入力容量を中和させるために必要なものである。
【0034】本発明に基づくドライバ回路は、従来技術
と比較して、以下の1つ又はそれ以上の効果を提供する
ことが可能である。
【0035】(1)ドライバとクランプとは1つの同一
の回路であるから、それ自身とDUTとの間の伝送線を
終端又はクランプするための別個の回路が必要とされる
ことはない。
【0036】(2)本ドライバの出力電圧が「高クラン
プ電圧」よりも一層正であるか、又は「低クランプ」電
圧よりも一層負でない限り、ターンオフされたドライバ
の出力段においてDUT出力信号遷移が電流の流れを発
生させることはない。
【0037】(3)伝送線反射から発生する電流を適切
にシンク即ち吸込むことが可能である。
【0038】(4)DUT出力が終端されていない環境
において動作するように構成されている場合には、前述
したWilsher特許に記載したZクランプのように
機能すべくプログラムすることが可能であり、又、DU
T出力が終端された環境で動作するように構成されてい
る場合には、低インピーダンス電圧源へ接続した固定抵
抗のように機能すべくプログラムすることが可能であ
る。
【0039】
【実施例】図3は4つのアナログ入力信号(VCLIN,V
HIN ,VLIN ,VCHIN)及び2つのデジタル入力制御信
号(DRIVER_HI及びDRIVER_OFF)を
示している。アナログ入力信号は、テストシステムのプ
ログラム可能な電圧源によって供給することが可能であ
り、且つデジタル入力制御信号はテストシステムの制御
プロセサによって供給することが可能である。2つのデ
ジタル入力制御信号の各々は2ワイヤ接続として示して
ある。何故ならば、それらは、典型的に、差動ECL信
号だからである。
【0040】アナログ入力信号は1組の6個のレベルシ
フタ310,315,320,325,330,335
へ結合される。レベルシフタ310,315,325は
夫々の入力信号VCLIN,VHIN ,VLIN を電圧VBEP
よって正方向にシフトさせる。アナログマルチプレクサ
350はこれらの3つの信号のうちの選択した1つを相
補的バイポーラ出力段370におけるNPNトランジス
タ360のベースへ結合させる。
【0041】レベルシフタ320,330,335は夫
々の入力信号VHIN ,VLIN ,VCHINを電圧VBEN によ
って負の方向へシフトさせる。アナログマルチプレクサ
380はこれらの3つの信号のうちの選択した1つを相
補的バイポーラ出力段370におけるPNPトランジス
タ365のベースへ結合させる。デジタル入力信号は制
御ブロック390へ供給され、該ブロック390はアナ
ログマルチプレクサを制御するのに必要な信号を供給す
る。
【0042】信号DRIVER_OFF及びDRIVE
R_HIが両方とも偽状態である場合には、出力段37
0は出力端子Vout へ接続されているZ0 に等しいソー
スインピーダンスと直列な理想的な電圧源VL と類似し
ている。このことは、電圧VL +VBEN をNPNトラン
ジスタ360のベースへ結合させ、且つ電圧VL −V
BEP をPNPトランジスタ365のベースへ結合させる
ことによって達成され、尚VBEN はNPNトランジスタ
360のベース・エミッタ接合を横断しての電圧シフト
であり、且つVBEP はPNPトランジスタ365のベー
ス・エミッタ接合を横断しての電圧シフトである。零入
力値条件下においては、V+からV−へ出力段370を
介して所定の電流IOSが流れる。従って、出力段370
は出力インピーダンスZOS=(Znpn *Zpnp )/(Z
npn +Zpnp )である。この場合には、Rout の理想的
な値はZ0 −ZOSであり、従ってZOS+Rout =Z0
ある。出力段トランジスタ360及び365はかなり大
きなものとすべきあり、従ってそれらは出力端子へ高電
流を供給することが可能であり、従ってZOSはZO の一
部である。アナログマルチプレクサ350及び380は
dVに等しい小さな電圧オフセットを有するものと仮定
されている。レベルシフタ310,315,325はそ
れらがPNPトランジスタ365と同一の電流密度で動
作しているものと仮定した場合、+VBEP の電圧シフト
を発生させるPNPエミッタホロワから構成されてい
る。レベルシフト320,330,335は、それらが
NPNトランジスタ360と同一の電流密度で動作して
いるものと仮定した場合、−VBENの電圧シフトを発生
するNPNエミッタホロワから構成されている。アナロ
グ入力電圧VLIN は、VLIN −VL +VBEN −VBEP
dVであるように選択されている。
【0043】同様に、DRIVER_OFFが偽状態で
あり且つDRIVER_HIが真状態であり、且つアナ
ログ入力電圧VHIN =VH +VBEN −VBEP −dVであ
る場合には、電圧VH +VBEN はNPNトランジスタ3
60のベースへ結合され、且つ電圧VH −VBEP はPN
Pトランジスタ365のベースへ結合される。従って、
出力段370は出力端子Vout へ接続されたZOS+R
out に等しいソースインピーダンスと直列な電圧VH
類似している。
【0044】同様に、DRIVER_OFFが真状態で
あり、且つDRIVER_HIが真状態又は偽状態のい
ずれかであり、且つVCLIN及びVCHINが両方ともVt
BEN −VBEP −dVに等しく設定されている場合に
は、出力段370はインピーダンスZ0 と直列な電圧源
t と類似している。VCHINがVCLINよりも一層正であ
る場合には、出力段370は前述したWilsher特
許に記載されているZクランプに類似している。VCHIN
がVCH+VBEN −VBEP −dVに設定されており、且つ
CLINがVCL+VBEN −VBEP −dVに設定されている
場合には、出力段370は、出力端子375が外部回路
によってVCHとVCLとの間の任意の電圧へ駆動される場
合に、高インピーダンスを有する。
【0045】出力端子375がVCHよりも一層正へ駆動
される場合には、PNPトランジスタ365は出力端子
からV−へ電流を導通させる。PNPトランジスタ36
5の出力インピーダンスはZpnp、即ち約2*ZOSであ
る。この場合には、Rout に対する理想的な値はZout
−Zpnp 、即ち約Zout −(2*ZOS)である。注意す
べきことであるが、上述した如く、ZOSはZ0 よりもか
なり小さいものであるべきであり、従ってZout はR
out によって支配される。
【0046】同様に、出力端子375はVCLよりも一層
負の状態へ駆動されると、NPNトランジスタ360は
V+から出力端子375へ電流を導通させる。NPNト
ランジスタ360の出力インピーダンスはZnpn 即ち約
2*ZOSである。この場合には、Rout に対する理想的
な値はZout −Znpn 、即ち約Zout −(2*ZOS)で
ある。
【0047】実際上Rout の選択された値はZ0 −(2
*ZOS)の値と上述したZ0 −ZOSの値との間の妥協で
ある。図3には示していないが、オプションとして、熱
的ランナウエイ(即ち、熱暴走)を防止するためにNP
Nトランジスタ360及びPNPトランジスタ365の
エミッタを介しての電流を制限するために抵抗を負荷す
ることが可能である。当業者にとって明らかな如く、こ
のような電流制限用の抵抗を使用する場合には、それら
の値はZ0 の値を低く維持するために可及的に小さなも
のとすべきであり、レベルシフタによって課される電圧
シフトはこのような電流制限用抵抗を横断しての電圧降
下を考慮に入れるべきである。
【0048】別のドライバ回路実施例を図4に示してあ
る。この回路にはアナログ入力信号VCLIN,VHIN ,V
LIN ,VCHINが供給され、且つ差動デジタル入力信号D
RIVER_HI及びDRIVER_OFFが供給され
る。
【0049】該アナログ入力信号は、電圧VBEN によっ
て正の方向へ夫々のアナログ入力信号をシフトさせる1
組の4つのレベルシフタ410,420,430,44
0へ結合される。アナログマルチプレクサスイッチ45
0はこれらの信号のうちの3つのうちの選択した1つ
(VHIN +VBEN ,VLIN +VBEN 又はVCLIN
BEN)をレベルシフタ455へ結合させ、それは−V
BEN +VBEP の電圧シフトを印加し且つそのようにシフ
トされた信号(VHIN +VBEP ,VLIN +VBEP 又はV
CLIN+VBEP )を相補的バイポーラ出力段470におけ
るNPNトランジスタ460のベースへ供給する。
【0050】同様に、アナログマルチプレクサスイッチ
480は、これらの信号のうちの3つのうちの選択した
1つ(VHIN +VBEN ,VLIN +VBEN 又はVCHIN+V
BEN)をレベルシフタ485へ結合させ、レベルシフタ
485は−2VBEN の電圧シフトを与え且つそのように
シフトした信号(VHIN −VBEN,VLIN −VBEN 又は
CHIN−VBEN )を出力段470におけるNPNトラン
ジスタ465のベースへ供給する。
【0051】マルチプレクサスイッチ450及び480
は、好適には、以下に図5及び6を参照して説明する態
様で実現される。理想的には、マルチプレクサスイッチ
450及び480は、電圧シフトを導入すべきではない
が、以下の説明では、実際上、それらの各々は最小の電
圧シフトdVを導入するものと仮定している。デジタル
入力信号は制御ブロック490へ供給され、制御ブロッ
ク490はアナログマルチプレクサスイッチ450及び
480へ制御信号を供給する。
【0052】この場合の動作は図3の実施例の動作と類
似している。信号DRIVER_OFF及びDRIVE
R_HIの両方が偽状態であると、出力段470は出力
端子Vout へ接続されたZ0 と等しいソースインピーダ
ンスと直列な理想的な電圧源VL と類似している。この
ことは、電圧VL +VBEP をNPNトランジスタ460
のベースへ結合させ、且つ電圧VL −VBEN をPNPト
ランジスタ465のベースへ結合させることによって達
成される。零入力値条件下において、所定の電流IOS
V+からV−へ出力段470を介して流れる。従って、
出力段470は出力インピーダンスZOS=(Znpn *Z
pnp )/(Znpn +Zpnp )を有している。この場合に
はRout に対する理想的な値はZ0 −ZOSであり、従っ
て、ZOS+Rout =Z0 である。出力段トランジスタ4
60及び465は大型のものとすべきであり、従ってそ
れらは出力端子に対して高電流を供給することが可能で
あり、従ってZOSはZ0 の一部である。アナログマルチ
プレクサ450及び480は、好適には、図5及び6を
参照して以下に説明するように実現され、従ってそれら
は電圧シフトを導入することはない。レベルシフタ41
0−440は、+VBEN の電圧シフトを発生するNPN
エミッタホロワを有している。レベルシフタ455は−
BEN +VBEP の電圧シフトを発生する。レベルシフタ
485は−2VBEN の電圧シフトを発生する。アナログ
入力電圧VLIN は、VLIN =VL +VBEN −VBEP −d
Vであるように選択されている。
【0053】DRIVER_OFFが偽状態であり且つ
DRIVER_HIが真状態であり、且つアナログ入力
電圧VHIN =VH +VBEN −VBEP −dVである場合に
は、電圧VH +VBEN はNPNトランジスタ460のベ
ースへ結合され、且つ電圧VH −VBEP はPNPトラン
ジスタ465のベースへ結合される。従って、出力段4
70は、出力端子Vout へ接続されたZOS+Rout に等
しいソースインピーダンスと直列した電圧源VH に類似
している。
【0054】DRIVER_OFFが真状態であり且つ
DRIVER_HIが真状態又は偽状態のいずれかであ
り、且つVCLIN=VCHIN=VT +VBEN −VBEP −dV
である場合には、出力段470はインピーダンスZ0
直列した電圧源Vt に類似している。VCHINがVCLIN
りも一層正であると、出力段470は前述したWils
her特許のZクランプに類似している。VCHINがVCH
+VBEN −VBEP −dVに設定され、且つVCLINがVCL
+VBEN −VBEP −dVに設定されると、出力段470
は、出力端子475が外部回路によってVCHとVCLとの
間の任意の電圧へ駆動される場合に、高インピーダンス
を有する。
【0055】出力端子475がVCHよりも一層正へ駆動
されると、PNPトランジスタ465は出力端子からV
−へ電流を導通させる。PNPトランジスタ465の出
力インピーダンスはZpnp ≒2*ZOSである。この場合
には、Rout に対する理想的な値はZout −Zpnp ≒Z
out −(2*ZOS)である。
【0056】出力端子475がVCLよりも一層負へ駆動
されると、NPNトランジスタ460はV+から出力端
子475へ電流を導通させる。NPNトランジスタ46
0の出力インピーダンスはZnpn ≒2*ZOSである。こ
の場合には、Rout に対する理想的な値はZout −Z
npn ≒Zout −(2*ZOS)である。実際上、Rout
選択された値は、Z0 −(2*ZOS)とZ0 −ZOSの値
の間の妥協である。図4には示していないが、熱的ラン
ナウエイ即ち熱暴走を防止するために、NPNトランジ
スタ460及びPNPトランジスタ465のエミッタを
介しての電流を制限するために、オップションとして、
抵抗を付加することが可能である。当業者にとって明ら
かな如く、このような電流制限用抵抗が使用される場合
には、それらの値はZ0 の値を低く維持するために可及
的に小さいものとすべきであり、且つレベルシフタによ
って課される電圧シフトは、これらの電流制限用抵抗を
横断しての電圧降下を考慮に入れるべきである。
【0057】ドライバマルチプレクサ/スイッチ ATE即ち自動テスト装置のピンドライバは、基本的
に、プログラム可能なレベルを有するパルス発生器であ
る。それらは、一般的には、出力バッファ(例えば、バ
ッファ470)と、デジタル制御下で複数個のプログラ
ム可能なDC入力信号のうちの1つを選択する1つ又は
それ以上の電圧スイッチ(例えば、450,480)か
ら構成されている。従来のピンドライバは2つの入力レ
ベルと二方向マルチプレクサ/スイッチを有している。
図3及び4を参照して上述したピンドライバアーキテク
チュアは三方向マルチプレクサ/スイッチを必要とす
る。従来の二方向マルチプレクサ/スイッチ設計は主要
な問題を導入することなしに三方向へ拡張することは不
可能である。以下の説明は、古い構成のものの問題の幾
つかを解消する三方向(又は、所望により、N方向)の
マルチプレクサ/スイッチの新規な構成を示している。
ここに説明するマルチプレクサ/スイッチトポロジィ
は、例えば、集積回路設計において使用することが可能
である。
【0058】図5は三方向マルチプレクサ/スイッチ5
00のブロック図を示しているが、この構成はN方向に
一般化させることが可能である。マルチプレクサ/スイ
ッチ500は、スイッチ入力フィードバック増幅器とし
て説明することが可能である。それは、3つのトランス
コンダクタンス差動入力段510,520,530を有
しており、正の入力線IN1,IN2,IN3の各々
は、入力DC電圧レベルのうちの対応する1つを受取る
べく接続している。更に、それは、電流モードスイッチ
540と例えば単位利得バッファ550等のバッファを
有している。尚、バッファ550は単位利得のものであ
る必要はないが、便宜上そのようにしてある。入力段5
10,520,530の負入力は、全て、単位利得バッ
ファ550の出力線560からスイッチ540の出力信
号を受取るべく接続されている。単位利得バッファの入
力ノード570は高インピーダンスノードである。図5
に示した値Cのコンデンサ580は、活性装置容量と配
線容量との和である。ここにそれが示されている理由
は、マルチプレクサ/スイッチのスリュレートを決定す
る上で重要であり、且つそれは可及的に最小の値に維持
されねばならないものだからである。ここに説明するマ
ルチプレクサスイッチは、高速の相補的バイポーラIC
プロセスを使用して実現することが可能である。このよ
うなプロセスにおいては、良好な電圧スイッチよりも高
速の電流スイッチを実現することの方が容易である。従
って、ここに説明するトポロジィは、電流スイッチを使
用することを基本にした電圧スイッチを実現している。
【0059】マルチプレクサ/スイッチ500の動作は
負のフィードバックループに基づいている。電流スイッ
チ540が異なる入力を選択することに、スイッチイン
された適宜の入力増幅器は、アンバランスであるので、
ある電流をコンデンサ580内へ駆動する。出力ノード
560における電圧は、そのアンバランスをより小さく
するように変化を開始する。安定化した後に、出力ノー
ド560における電圧は入力段のDC入力線における電
圧と等しく、その入力段の出力は電流スイッチ540に
よって選択される(該回路における電圧オフセットを除
いて)。該増幅器はバランスされ且つその出力からコン
デンサ580へ電流が流れることはない。そのマルチプ
レクサ/スイッチの出力ノード560のスリュレートは
コンデンサ580の値C及びトランスコンダクタンス入
力増幅器段510,520,530の出力電流能力に依
存している。
【0060】図5のマルチプレクサ/スイッチの簡単化
した概略図を図6に示してある。説明の便宜上、トラン
ジスタQ25はベースなしで示してあるが、共通ベース
形態で接続されているものと仮定する。DCレベル入力
信号IN1,IN2,IN3を夫々受取る差動入力段5
10,520,530は夫々のトランジスタ対Q1−Q
2,Q3−Q4,Q5−Q6によって形成されている。
各トランジスタ対は、電流源610,620,630の
うちの1つから大きさI1のバイアス電流が供給され
る。スイッチ540はトランジスタQ10乃至Q21か
ら構成される差動電流スイッチであり、一方SEL1,
SEL2,SEL3は該スイッチへのデジタル制御入力
線である。
【0061】選択されなかった2つの入力増幅器の出力
電流はノード540を介して電圧Vccにある電源へ移行
する。選択された入力増幅器の差動出力電流はトランジ
スタQ22乃至Q23から構成されるカレントミラー6
50によってシングルエンドへ変換される。例えば、入
力段510からの出力信号がトランジスタQ11及びQ
13が導通状態であるようにデジタル制御信号SEL1
を設定することによって選択されると仮定し、且つ入力
段520及び530からの出力信号が選択されないもの
と仮定する。この場合には、トランジスタ対Q3−Q4
及びQ5−Q6の差動出力電流は、夫々、トランジスタ
Q14/Q16及びQ18/Q20を介して電源へ進行
する。トランジスタQ2のコレクタ電流は、トランジス
タQ13を介して、トランジスタQ25のエミッタへ供
給され、且つトランジスタQ1のコレクタ電流はトラン
ジスタQ11を介してカレントミラートランジスタQ2
2のコレクタへ供給される。トランジスタQ22のコレ
クタはトランジスタQ22及びQ23のベースへ接続さ
れているので、トランジスタQ22のコレクタへ強制的
に電流を供給すると、トランジスタQ22及びQ23の
コレクタ電流はほぼ等しい大きさで反対の方向のものと
される。
【0062】電流源660はトランジスタQ25を常に
ターンオン状態に維持するのに必要な大きさI2の電流
を供給する。この電流は、低容量ノード570において
大きさI2であり反対の極性の電流源670から供給さ
れる電流から減算される。トランジスタQ25がターン
オンした状態に維持されるためには、電流の大きさI2
は電流の大きさI1よりも大きなものでなければならな
い。その結果トランジスタQ25を介して得られるシン
グルエンド電流はI2+I1乃至I2−I1の範囲内の
値を有している。従って、共通ベーストランジスタQ2
5のエミッタ電流の大きさは、トランジスタQ1及びQ
2のコレクタ電流の差にほぼ等しい。
【0063】トランジスタQ25を介しての電流は本回
路の低容量ノード570へ供給される。低容量ノード5
70は出力バッファ550のトランジスタQ26のベー
スへ接続されている。トランジスタQ26は、好適に
は、図示した如く電流I3でバイアスされるが、例えば
抵抗を使用して負の電圧源へ接続する等その他の適宜の
バイアス技術を使用することも可能である。
【0064】電流スイッチ540の出力は、それに接続
されているトランジスタの数のために比較的高い容量を
有している。このことは、ノード570の容量を低く維
持し且つその際にマルチプレクサ/スイッチ回路のスリ
ュレートを高く維持するためにトランジスタQ25を使
用することを必要としている。ノード570の全容量
は、それに接続したトランジスタの容量の和であり、ト
ランジスタQ25及びQ26及び電流源670の出力ト
ランジスタ(不図示)等のトランジスタの容量の和であ
る。
【0065】本発明に基づくドライバ回路をテスト環境
において接続することの可能な従来のテストシステム要
素、例えばプログラマブル電圧源、デジタル入力制御信
号源、伝送線及びDUT、比較器等は、説明の便宜上図
示していない。然しながら、前述した説明から、本発明
を具現化したドライバ回路をどのようにしてテストシス
テムにおいて使用するかということは当業者にとって自
明なことである。
【0066】以上、本発明の具体的実施の態様について
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ限定
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。例えば、上述した特定の実施例において発生する電
圧シフトを補償するために設けられているレベルシフタ
は、異なった態様で実現することも可能であり、又それ
らの機能は異なる態様で実施することも可能である。温
度変化又はその他の原因によって本ドライバ回路におい
て発生する電圧シフトは、本ドライバ回路をキャリブレ
ーション即ち較正することによって容易に補償すること
が可能であり、例えば、実際の出力電圧をモニタし、所
望の出力電圧と比較し、ついで実際の出力電圧が所望の
出力電圧と一致するまでプログラマブルな入力電圧を変
化させることによって実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来のクランプ回路の電気的特性を示した概
略図。
【図2】 (a)及び(b)は図1のクランプ特性を近
似した従来の回路の2つの例を示した概略図。
【図3】 本発明の好適実施例に基づいて構成したドラ
イバ回路を示した概略図。
【図4】 本発明の好適実施例に基づいて構成された別
のドライバ回路を示した概略図。
【図5】 本発明の好適実施例に基づいて構成されたマ
ルチプレクサ/スイッチを示した概略図。
【図6】 本発明の好適実施例に基づいて構成したマル
チプレクサ/スイッチを示した簡単化した概略図。
【符号の説明】
310,315,320,325,330,335 レ
ベルシフタ 350 アナログマルチプレクサ 360 NPNトランジスタ 365 PNPトランジスタ 370 相補的バイポーラ出力段 380 アナログマルチプレクサ 390 制御ブロック 410,420,430,440,455 レベルシフ
タ 450 アナログマルチプレクサスイッチ 460 NPNトランジスタ 470 相補的バイポーラ出力段 480 アナログマルチプレクサスイッチ 490 制御ブロック
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 サージオ エイ. サニエレビチ アメリカ合衆国, カリフォルニア 94024, ロス アルトス, クレストン ドライブ 22350 (72)発明者 バーネル ジイ. ウエスト アメリカ合衆国, カリフォルニア 94539, フリモント, センチネル ド ライブ 46750 (72)発明者 デイビッド ケイ. チァン アメリカ合衆国, カリフォルニア 95035, ミルピタス, キブンエアー ドライブ 839

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ICテスタにおける伝送線によってDU
    Tへ接続するドライバ回路において、 (a)複数個のアナログ信号を受取るための信号入力線
    を具備すると共にデジタル制御信号に応答し前記アナロ
    グ信号のうちの選択した1つを第一ドライバ入力線へ供
    給し且つ前記アナログ信号のうちの選択した1つを第二
    ドライバ入力線へ供給するスイッチング回路を具備する
    制御可能なスイッチング段、 (b)第一ドライバ入力線と、第二ドライバ入力線と、
    前記第一ドライバ入力線及び前記第二ドライバ入力線へ
    供給されたアナログ信号によって以下のように決定され
    る機能的特性を持ったドライバI/Oポートとを有する
    プシュプルドライバ回路、(i)インピーダンスZ0
    伝送線を介してDUTのポートを駆動するために所定の
    出力インピーダンスZ0 でドライバI/Oポートを2つ
    の所定の電圧レベルVH 及びVL との間でスイッチさせ
    ることが可能、(ii)DUTによって駆動されるインピ
    ーダンスZ0 の伝送線を終端させるために前記ドライバ
    I/OポートをインピーダンスZ0 を有する所定の電圧
    レベルVt へスイッチさせることが可能、(iii )前記
    ドライバI/Oポートへ印加された電圧が高クランプ電
    圧と低クランプ電圧との間である場合には高出力インピ
    ーダンスを提供し、前記ドライバI/Oポートにおける
    電圧が前記高クランプ電圧よりも一層正である場合には
    前記高クランプ電圧に対して約Z0 の出力インピーダン
    スを提供し、且つドライバI/Oポートにおける電圧が
    前記低クランプ電圧よりも一層負である場合には前記低
    クランプ電圧に対して約Z0 の出力インピーダンスを提
    供することによって、前記ドライバI/OポートをDU
    Tによって駆動されるインピーダンスZ0 の伝送線をク
    ランプするためにスイッチさせることが可能、を有する
    ことを特徴とするドライバ回路。
  2. 【請求項2】 請求項1において、出力段がNPNトラ
    ンジスタと、PNPトランジスタと、抵抗ROUT とを有
    しており、前記NPNトランジスタが前記第一ドライバ
    入力線を構成するベースを有しており、前記PNPトラ
    ンジスタが前記第二ドライバ入力線を構成するベースを
    有しており、且つ前記トランジスタのエミッタがプシュ
    プルドライバを形成するための接続部へ結合されてお
    り、且つ前記接続部が前記抵抗を介して前記ドライバI
    /Oポートへ結合していることを特徴とするドライバ回
    路。
  3. 【請求項3】 請求項2において、前記スイッチング回
    路が、夫々のアナログ入力信号を受取るための夫々の第
    一入力線及びスイッチ出力信号を受取るための夫々の第
    二入力線を具備するトランスコンダクタンス差動入力段
    (510,520,530)を具備するスイッチ入力フ
    ィードバック増幅器と、バッファ入力線及びバッファ出
    力線を具備するバッファ(550)と、前記入力段の1
    つからの差動電流信号を前記バッファ入力線へ結合させ
    る電流モードスイッチ(540)と、前記バッファ出力
    線からのスイッチ出力信号を前記第二入力線へ供給する
    フィードバック線とを有することを特徴とするドライバ
    回路。
  4. 【請求項4】 請求項3において、前記バッファ入力線
    における容量が、主に、前記バッファ入力線へ接続され
    ている活性装置の容量及び配線容量の和によって決定さ
    れ、且つ前記容量が3個を超えた活性装置を前記入力バ
    ッファ線へ接続させないことによって最小とされている
    ことを特徴とするドライバ回路。
  5. 【請求項5】 ドライバとして及び終端及びクランプと
    して有用なドライバ回路において、(a)特性インピー
    ダンスZ0 を有する伝送線を介してDUTポートへ接続
    させるためのI/O端子が設けられており、(b)DU
    Tポートを2つの所定電圧レベルVH'及びVL'との間で
    駆動するために出力インピーダンスZ0 を有する所定電
    圧レベルVH 及びVL との間でI/O端子をスイッチン
    グさせる手段が設けられており、前記伝送線がDUTポ
    ートで終端していない場合にはVH'=VH 及びVL'=V
    L であり、且つ前記伝送線が電圧源VT へ接続されてい
    る値Z0 を有する抵抗によって前記DUTにおいて終端
    している場合には、VH'=VH /2+Vt/2及びVL'
    =VL /2+Vt /2であり、(c)前記DUTポート
    が終端された負荷を駆動することが可能であり、且つ出
    力信号を発生することが予定されている場合に、前記I
    /O端子をZ0 のインピーダンスを有する所定電圧レベ
    ルVt へスイッチングさせることによって前記伝送線を
    終端させる手段が設けられており、(d)前記I/O端
    子が終端した負荷を駆動することが不可能なDUTポー
    トによって所定の高クランプ電圧VCHと所定の低クラン
    プ電圧VCLとの間の電圧へ駆動される場合に前記I/O
    端子において高出力インピーダンスを提供し、前記I/
    O端子が電圧VCHよりも一層正の電圧へ駆動される場合
    には約Z0 の出力インピーダンスを電圧VCHへ提供し、
    且つ前記I/O端子がVCLよりも一層負の電圧へ駆動さ
    れる場合には約Z0 の出力インピーダンスを電圧VCL
    提供する手段が設けられている、ことを特徴とするドラ
    イバ回路。
  6. 【請求項6】 ドライバとして及び終端及びクランプと
    してドライバ回路を動作させる方法において、前記ドラ
    イバ回路は特性インピーダンスZ0 を有する伝送線を介
    してDUTポートへ接続させるためのI/O端子を有し
    ており、本方法が、(a)前記DUTポートを2つの所
    定の電圧レベルVH'及びVL'との間で駆動するために出
    力インピーダンスZ0 を有する所定電圧レベルVH 及び
    L との間で前記I/O端子をスイッチングさせ、尚前
    記伝送線が前記DUTポートにおいて終端していない場
    合には、VH'=VH 及びVL'=VL であり、且つ前記伝
    送線が電圧源Vt へ接続されている値Z0 の抵抗によっ
    て前記DUTにおいて終了する場合には、VH'=VH
    2+Vt /2及びVL'=VL /2+Vt /2であり、
    (b)前記DUTポートが終端した負荷を駆動すること
    が可能であり且つ出力信号を発生することが予定される
    場合には前記I/O端子をZ0 のインピーダンスを有す
    る所定電圧レベルVtへスイッチングさせることによっ
    て前記伝送線を終端させ、(c)前記I/O端子が終端
    した負荷を駆動することが不可能なDUTポートによっ
    て所定の高クランプ電圧VCHと所定の低クランプ電圧V
    CLとの間の電圧へ駆動される場合に前記I/O端子にお
    いて高出力インピーダンスを提供し、前記I/O端子が
    電圧VCHよりも一層正の電圧へ駆動される場合には約Z
    0 の出力インピーダンスを電圧VCHへ提供し、且つ前記
    I/O端子が電圧VCLよりも一層負の電圧へ駆動される
    場合には約Z0 の出力インピーダンスを電圧VCLへ提供
    する、上記各ステップを有することを特徴とする方法。
  7. 【請求項7】 N態様多重スイッチ回路において、
    (a)N個の入力チャンネルの各々に対しトランスコン
    ダクタンス差動入力段(510,520,530)が設
    けられており、各入力段は対応する入力電圧を受取るた
    めの入力線(IN1,IN2,IN3)と、フィードバ
    ック信号を受取るためのフィードバック線と、出力線と
    を有しており、(b)バッファ入力線とバッファ出力線
    とを具備するバッファ(550)が設けられており、前
    記バッファ出力線は前記入力段の各々のフィードバック
    線へ接続しており、(c)選択信号(SEL1,SEL
    2,SEL3)に応答し、選択した入力段の出力線を前
    記バッファ入力線へ接続させる制御可能な電流モードス
    イッチ(540)が設けられている、ことを特徴とN態
    様多重スイッチ回路。
JP6182089A 1993-08-03 1994-08-03 Icテスタ用ドライバ回路 Pending JPH07151833A (ja)

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