JPH0714641U - ステージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リテーナがずれたとき、リテーナを変形・破
損させずに、その位置を修正する。 【構成】 リテーナ２の移動を制限するストッパ機構
を、リテーナ２に設けた移動方向に沿う長孔８と、下板
１に設けたピン４とで構成した。最初に設定した上板５
とリテーナ２との相対位置がずれたときに上板５を動か
すと、リテーナ２はピン４に当たって移動が規制される
が、上板５を更に動かすと、上板５がストロークエンド
に達して最初に設定した上板５とリテーナ２との相対位
置に戻る。上板５がストロークエンドに達するまでの
間、ピン４とリテーナ２の長孔８との係合部付近には上
板５の荷重がかかっているので、リテーナ２の変形が抑
制される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案はステージに関し、例えば半導体露光装置や液晶用露光装置等に用い るステージに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のこの種のステージは、下板と、この下板の上面に配置され、複数のニー ドルローラを回転可能に保持するリテーナと、このリテーナを介して前記下板の 上面に載せられ、前記下板に対して相対移動する上板とを備えている。

【０００３】 上板には送りねじが螺合され、送りねじをモータで回転させと、上板はリテー ナを介して下板上を直線運動する。このとき上板の移動距離Ｌに対してリテーナ はＬ／２移動する。しかし、実際には、ステージの加工精度により、上板・下板 とリテーナとの間でごくわずかなすべりが発生し、リテーナは正確にＬ／２移動 しない。ただ、上板の移動方向に拘らずニードルローラのすべりが一定ならば、 上板・下板とリテーナとの相対位置関係は保たれるが、実際にはステージの加工 誤差があるため、長期間の使用によりリテーナがずれ、上板・下板とリテーナと の相対位置関係がくずれ、リテーナの端部が下板からはみ出したりして、ステー ジの精度が保たれなくなる。

【０００４】 このような現象を防ぐステージとして、図２に示すように、下板１０１の端面 １０１ａにリテーナ１０２のストローク量を制限するストッパ１１１を有するも のがある。

【０００５】 このステージでは、上板１０５の通常使用時のストロークを制限しておき、通 常使用時にはリテーナ１０２がストッパ１１１に当たらないようにして使用し、 リテーナ１０２がずれた場合には、そのリテーナ１０２の位置を修正するために 、上板１０５のストロークを通常使用時のストロークよりも増やし、リテーナ１ ０２をストッパに当て、更に上板１０５を動かし、ニードルローラ１０３と上板 １０５との間で滑らせ（ニードルローラ１０３が回転した場合はニードルローラ １０３と下板１０１との間で滑りが発生する。）、リテーナ１０２の位置を修正 していた。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、近年、半導体露光装置や液晶用露光装置において、基板の大型化に 伴なってステージも大きくなり、ステージの上板が大きくなって重量が増えるた め、上板１０５・下板１０１とニードルローラ１０３との間の滑りを起こさせる 力を大きくしなければならず（上板の重量ｗ，摩擦係数μとすると、ｗμよりも 大きな力を発生させなければ滑りは生じない。）、その力によりリテーナ１０２ が変形したり、破損したりすることがあった（図２参照）。

【０００７】 また、下板の端面にストッパを有するステージでは、リテーナ１０２の強度を 高くしなければならないので、リテーナ１０２の厚さが増し、その結果径の大き なニードルローラ１０３を使用しなければならず、コストが上昇するという問題 があった。

【０００８】 この考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題はリテーナがず れたときリテーナを変形・破損させずに、その位置を修正することができるステ ージを提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

前述の課題を解決するため請求項１記載の考案のステージは、下板と、この下 板の上面に配置され、複数のローラを回転可能に保持するリテーナと、このリテ ーナの移動を制限するストッパ機構と、前記リテーナを介して前記下板の上面に 載せられ、前記下板に対して相対移動する上板とを有し、前記上板が移動すると 、前記リテーナが前記上板との相対位置を所定の関係で保ちながら前記上板の移 動距離のほぼ半分の距離だけ移動し、前記相対位置の所定の関係がずれたときに 、前記リテーナを前記上板の移動により前記ストッパ機構に押し当てることによ って前記相対位置を修正するステージにおいて、前記ストッパ機構は、前記上板 と前記リテーナとの互いの対向面の間に配置され、前記上板と前記リテーナとの 一方に、前記リテーナの移動方向に沿って所定距離隔てて設けた一対の制限部材 と、前記一対の制限部材に係合可能なように、前記上板と前記リテーナとの他方 に設けた突起部材とを有し、前記リテーナが前記移動方向に沿う前記所定距離の 間を移動する。

【００１０】 また、請求項２記載の考案のステージは、下板と、この下板の上面に配置され 、複数のローラを回転可能に保持するリテーナと、このリテーナの移動を制限す るストッパ機構と、前記リテーナを介して前記下板の上面に載せられ、前記下板 に対して相対移動する上板とを有し、前記上板が移動すると、前記リテーナが前 記上板との相対位置を所定の関係で保ちながら前記上板の移動距離のほぼ半分の 距離だけ移動し、前記相対位置の所定の関係がずれたときに、前記リテーナを前 記上板の移動により前記ストッパ機構に押し当てることによって前記相対位置を 修正するステージにおいて、前記ストッパ機構は、前記下板と前記リテーナとの 互いの対向面の間に配置され、前記下板と前記リテーナとの一方に、前記リテー ナの移動方向に沿って所定距離隔てて設けた一対の制限部材と、前記一対の制限 部材に係合可能なように、前記下板と前記リテーナとの他方に設けた突起部材と を有し、前記リテーナが前記移動方向に沿う前記所定距離の間を移動する。

【００１１】

【作用】

最初に設定した上板とリテーナとの相対位置がずれたときに上板を動かすと、 リテーナは突起部材に当たって移動が規制されるが、上板を更に動かし、上板が ストロークエンドに達して最初に設定した上板とリテーナとの相対位置に戻る。 上板がストロークエンドに達するまでの間、突起部材とリテーナの長溝との係合 部付近には上板の荷重がかかっているので、リテーナの変形が抑制される。

【００１２】

【実施例】 以下この考案の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１３】 図１はこの考案の一実施例に係るステージを示し、同図（ａ）は上板が中立位 置にあるときのステージの断面図、同図（ｂ）はリテーナの平面図、同図（ｃ） はリテーナの位置修正時の状態を示すステージの断面図である。

【００１４】 下板１の一端部にはモータ７が取り付けられ、モータ７の回転軸には送りねじ ６が設けられている。下板１の上面にはリテーナ２を介して上板５が載せられて いる。送りねじ６は上板５の端面のめねじ（図示せず）に螺合し、送りねじ６を 介してモータ７の駆動力が上板５に伝達され、上板５は下板１上を移動する。ま た、下板１の上面にはピン（突起部材）４が固定されている。

【００１５】 前記リテーナ２は、複数のニードルローラ（ローラ）３を回転可能に保持する 。リテーナ２の長手方向の中間位置付近には長孔（長溝）８が設けられ、長孔８ にはピン４が係合している。長孔８の長手方向の長さｄは、上板５のフルストロ ークＬ0 の半分（Ｌ0 ／２）の長さに設定されている。もっとも、通常使用時の 上板５の通常ストロークＬ1 はＬ0 よりも短くしてあるので、長孔８ａの長さｄ は、通常ストロークＬ1 の半分（Ｌ1 ／２）より所定距離だけ長い。したがって 、通常使用時、リテーナ２がピン４に当たることはない。

【００１６】 モータ７を回転させると送りねじ６が回転し、上板５が移動する。上板５は、 図１（ａ）及び（ｂ）に示す中立位置からＬ1 ／２移動したところで停止する。 このときリテーナ２は上板５に追随してＬ1 ／４移動するが、上板５の通常スト ロークＬ1 はＬ0 よりも短いので、リテーナ２が若干ずれたとしても、リテーナ ２はピン４に当たらない。したがって、ステージの精度は保たれる。

【００１７】 モータ７を逆回転させると、上板５は逆方向に移動する。

【００１８】 リテーナ２が大きくずれたとき、又は一定回数以上上板５を動かしたためリテ ーナ２のずれが進行していることが予想されるとき等には、リテーナ２の位置修 正動作を行う。

【００１９】 リテーナ２の位置修正を行うには、図１（ｃ）に示すように、上板５をフルス トローク動かす。リテーナ２がずれていれば、まずリテーナ２の長孔８の端部８ ａがピン４に当たってリテーナ２の動きが規制される。更に、上板５を同方向へ 動かすと、リテーナ２は動かずに、上板５だけがリテーナ２上を滑り、上板５が ストロークエンドに達し、最初に設定した上板５・下板１とリテーナ２との相対 位置に戻る。上板５がストロークエンドに達するまでの間、ピン４とリテーナ２ との係合部には上板５の荷重がかかっているので、上板５の荷重が大きくとも、 リテーナ２の浮き上がりが起きない。したがって、リテーナ２を変形、破損させ ずに、リテーナ２の位置修正を行うことができ、基板の大型化によるステージの 上板５の重量増に対応できる。

【００２０】 上述の実施例で一対の制限部材とは図１（ａ）の長孔８の両端部８ａ，８ｂの ことである。

【００２１】 なお、リテーナ２はどの方向にずれているかは分からないので、リテーナ２の 位置修正時、上板５を往復運動させることになる。

【００２２】 この実施例では、構造が複雑でなく、リテーナ２の強度を高くする必要もない ので径の大きなニードルローラ３を使用する必要がなく、製造コストを抑えるこ とができる。

【００２３】 前述の実施例では、下板１の上面に１本のピン４を設け、リテーナ２に移動方 向に沿う１個の長孔８を設けた場合について述べたが、これに代え、下板１の上 面にニードルローラ３を挟むようにして２本のピンを設け、これらのピンに対応 する２個の長孔をリテーナに設けるようにしてもよい。

【００２４】 また、前述の実施例では、リテーナ２の位置修正をするタイミングを移動回数 で管理する場合について述べたが、これに代え、センサを取り付けてリテーナ２ のずれを検知して位置修正を行うようにしてもよいし、目視によりリテーナ２の ずれを確認したときに行うようにしてもよい。

【００２５】 更に、前述の実施例では、ストッパ機構の長溝としてリテーナ２に移動方向に 沿う長孔８を設けた場合について述べたが、長孔８に代えて、リテーナ２の縁部 に移動方向に沿う切欠きを設けるようにしてもよい。また、リテーナ２に移動方 向に直角方向に突き出す２個の凸部若しくは駒を互いに対向するように設けても よい。この場合は２個の凸部若しくは駒の対向する面が一対の制限部材となる。

【００２６】 また、前述の実施例では、ストッパ機構の突起部材として下板１の上面にピン ４を設けた場合について述べたが、これに代え、上板５の下面にピンを設け、そ のピンをリテーナの長孔に係合させるようにしてもよい。

【００２７】 更に、前述の実施例では、本願考案をいわゆるフラットガイドに適用した場合 について述べたが、Ｖ字溝にＶ字型に配置されたニードルローラを保持するリテ ーナを組み付けたガイドに適用することもできるし、クロスローラガイドなどの ガイド一般に適用することができる。

【００２８】

【考案の効果】

以上説明したようにこの考案のステージによれば、最初に設定した上板とリテ ーナとの相対位置がずれたときに上板を動かすと、リテーナは突起部材に当たっ て移動が規制されるが、上板を更に動かすと、上板がストロークエンドに達して 最初に設定した上板とリテーナとの相対位置に戻る。上板がストロークエンドに 達するまでの間、突起部材とリテーナの長溝との係合部付近には上板の荷重がか かっているので、リテーナの変形が抑制される。

【００２９】 また、構造が複雑でなく、リテーナの強度を高くする必要もないので径の大き なニードルローラを使用する必要がなく、製造コストを抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの考案の一実施例に係るステージを説
明するための図である。

【図２】図２は従来のステージの側面図である。

【符号の説明】

１ 下板 ２ リテーナ ３ ニードルローラ ４ ピン ５ 上板 ８ 長孔

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 8107−3Ｃ Ｂ２３Ｑ 1/26 Ｄ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 下板と、 この下板の上面に配置され、複数のローラを回転可能に
   保持するリテーナと、 このリテーナの移動を制限するストッパ機構と、 前記リテーナを介して前記下板の上面に載せられ、前記
   下板に対して相対移動する上板とを有し、 前記上板が移動すると、前記リテーナが前記上板との相
   対位置を所定の関係で保ちながら前記上板の移動距離の
   ほぼ半分の距離だけ移動し、 前記相対位置の所定の関係がずれたときに、前記リテー
   ナを前記上板の移動により前記ストッパ機構に押し当て
   ることによって前記相対位置を修正するステージにおい
   て、 前記ストッパ機構は、前記上板と前記リテーナとの互い
   の対向面の間に配置され、 前記上板と前記リテーナとの一方に、前記リテーナの移
   動方向に沿って所定距離隔てて設けた一対の制限部材
   と、 前記一対の制限部材に係合可能なように、前記上板と前
   記リテーナとの他方に設けた突起部材とを有し、 前記リテーナが前記移動方向に沿う前記所定距離の間を
   移動することを特徴とするステージ。
2. 【請求項２】 下板と、 この下板の上面に配置され、複数のローラを回転可能に
   保持するリテーナと、 このリテーナの移動を制限するストッパ機構と、 前記リテーナを介して前記下板の上面に載せられ、前記
   下板に対して相対移動する上板とを有し、 前記上板が移動すると、前記リテーナが前記上板との相
   対位置を所定の関係で保ちながら前記上板の移動距離の
   ほぼ半分の距離だけ移動し、 前記相対位置の所定の関係がずれたときに、前記リテー
   ナを前記上板の移動により前記ストッパ機構に押し当て
   ることによって前記相対位置を修正するステージにおい
   て、 前記ストッパ機構は、前記下板と前記リテーナとの互い
   の対向面の間に配置され、 前記下板と前記リテーナとの一方に、前記リテーナの移
   動方向に沿って所定距離隔てて設けた一対の制限部材
   と、 前記一対の制限部材に係合可能なように、前記下板と前
   記リテーナとの他方に設けた突起部材とを有し、 前記リテーナが前記移動方向に沿う前記所定距離の間を
   移動することを特徴とするステージ。