JP2018098377A - 基板搬送装置用のキャリア - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のキャリアCaは板状の枠体2を有し、枠体が、起立姿勢の被処理基板の下辺が当接する基板受け部4と、被処理基板の周縁部がその全周に亘って当接して当該被処理基板に対する処理範囲を区画するマスク部3と、マスク部に対して被処理基板の縁部を局所的に押圧する複数個のクランプ5とを備える。クランプが、被処理基板に対し線状に圧接するブレード部57と、ブレード部が被処理基板に圧接する圧接位置とブレード部が被処理基板から離間した退避位置との間でブレード部を移動自在とする操作部54とを有する。
【選択図】図2
Description
Claims (4)
- 矩形の輪郭を持つ被処理基板を鉛直方向に起立させた姿勢で保持する基板搬送装置用のキャリアであって、板状の枠体を有し、この枠体が、起立姿勢の被処理基板の下辺が当接する基板受け部と、被処理基板の周縁部がその全周に亘って当接して当該被処理基板に対する処理範囲を区画するマスク部と、マスク部に対して被処理基板の縁部を局所的に押圧する複数個のクランプとを備えるものにおいて、
クランプが、被処理基板に対し線状に圧接するブレード部と、ブレード部が被処理基板に圧接する圧接位置とブレード部が被処理基板から離間した退避位置との間でブレード部を移動自在とする操作部とを有することを特徴とする基板搬送装置用のキャリア。 - 前記被処理基板の鉛直方向の両縁部にて、前記ブレード部の各々が鉛直方向の同一線上に位置するように前記クランプの複数個が設けられ、各ブレード部によって被処理基板の鉛直方向の両縁部がその全長に亘ってマスク部に対して押圧されるように構成したことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置用のキャリア。
- 請求項1または請求項2記載の基板搬送装置用のキャリアであって、前記クランプが枠体に支軸を介して揺動自在に連結されるアーム部と、アーム部を押圧方向に付勢する付勢手段とを更に備えるものにおいて、
前記ブレード部がその長手方向の中央で押圧方向に貫通する取付孔を有し、この取付孔に遊挿された軸体を介してアーム部にブレード部が取り付けられることを特徴とする基板搬送装置用のキャリア。 - 前記クランプは、前記ブレード部の長手方向に対する当該ブレード部の傾動を規制する規制部材を更に備えることを特徴とする請求項3記載の基板搬送装置用のキャリア。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108910247A (zh) * | 2018-08-28 | 2018-11-30 | 安徽玻扬节能钢化玻璃有限公司 | 一种新型玻璃放置架 |
JP2020125815A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
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2016
- 2016-12-14 JP JP2016242168A patent/JP6898086B2/ja active Active
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