JPH0714412U - 落射照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 フレアを確実に防止するとともに、ごみを発
生させず、試料像のコントラストを向上させて良好な観
察像を得、しかも小型化を図る。 【構成】 光源１と、光源１の光Ｌ₁ を集光する照明レ
ンズ２と、試料像を拡大する対物レンズ４と、光源１か
らの光Ｌ₁ を対物レンズ４を介して試料６へ反射させる
ハーフミラー３と、ハーフミラー３を透過した光Ｌ₃ を
減衰させる遮光板５とを備え、遮光板５の受光面５ａ
を、ハーフミラー３からの透過光Ｌ₃ をハーフミラー面
の傾きと略平行又は直角に反射させる鋸歯状に形成し
た。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は落射照明装置に関し、特にフレア防止機能を有する顕微鏡の落射照 明装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図８は従来の顕微鏡の落射照明装置の光学系を示す図である。

【０００３】 図示しない光源からの光Ｌ₁ はハーフミラー１０３で反射され、対物レンズ１ ０４を介して試料面に照射される。光源からの光Ｌ₁ の一部はハーフミラー１０ ３を透過し、その光Ｌ₃ が壁面１０８で反射される。この反射光Ｌ₅ がハーフミ ラー１０３で反射されると、その光Ｌ₈ が観察光学系の光路に混入してフレアの 原因になる。そこで、従来は、図８に示すように、反射防止部材として特殊な紙 や布に短繊維を植毛してなる植毛紙１０５を壁面１０８に貼着し、ハーフミラー １０３を透過した光Ｌ₃ を乱反射させて観察光学系の光路への混入を減らすよう にしていた。

【０００４】 図９は従来の他の顕微鏡の落射照明装置の光学系を示す図である。

【０００５】 この顕微鏡の落射照明装置では、図９に示すように、反射防止部材としてＮＤ フィルタ１４５を採用し、そのＮＤフィルタ１４５を壁面１０８に対して角度θ だけ傾けて配置した。ハーフミラー１０３を透過した光Ｌ₃ は壁面１０８で反射 され、再びハーフミラー１０３に戻る光Ｌ₅ についてはＮＤフィルタ１４５を２ 度透過することで十分に減光される。また、ハーフミラー１０３を透過した光Ｌ ₃ の一部はＮＤフィルタ１４５の表面で反射されるが、その光Ｌ₇ はＮＤフィル タ１４５が壁面１０８に対して角度θだけ傾いているのでハーフミラー１０３へ は反射されない。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、図８の落射照明装置には、ハーフミラー１０３を透過した光Ｌ₃ の 観察光学系への混入を十分に防ぐことができないとともに、植毛紙１０５の短繊 維が脱落し、その短繊維が光路中に入り込むおそれがあるという問題があった。

【０００７】 また、図９の落射照明装置には、ＮＤフィルタ１４５を壁面１０８に対して角 度θだけ傾けて配置したので、その分寸法ａ₁ （図９参照）だけ装置が大きくな るという問題があった。

【０００８】 この考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題はフレアを確実 に防止することができるとともに、ごみの発生のおそれもなく、しかも小型化を 図り得る落射照明装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

前述の課題を解決するため請求項１記載の考案の落射照明装置は、試料面に光 を照射するための光源と、試料像を拡大する対物レンズと、前記光源からの光を 前記対物レンズを介して試料面へ反射させるハーフミラー又はダイクロイックミ ラーと、このハーフミラー又はダイクロイックミラーを透過した前記光源からの 光を減衰させる反射防止部材とを備えた落射照明装置において、前記反射防止部 材の受光面が、前記ハーフミラー又はダイクロイックミラーからの透過光を前記 ハーフミラー面又はダイクロイックミラー面の傾きと略平行又は直角に反射させ る複数の傾斜面を鋸歯状又は山形状あるいはこれらの組合せ状態に配置した。

【００１０】 また、請求項２記載の考案の落射照明装置は、前記反射防止部材が遮光板であ る。

【００１１】 更に、請求項３記載の考案の落射照明装置は、前記反射防止部材がＮＤフィル タである。

【００１２】 また、請求項４記載の考案の落射照明装置は、前記反射防止部材は、前記ハー フミラー又はダイワロイックミラーを保持するホルダの側面に形成されている。

【００１３】

【作用】

ハーフミラー又はダイクロイックミラーからの透過光を、反射防止部材の受光 面がハーフミラー面又はダイクロイックミラー面の傾きと略平行又は直角に反射 させるので、余剰光の観察光学系の光路への混入を少なくすることができ、試料 像のコントラストが向上し、良好な観察像を得ることができる。

【００１４】

【実施例】

以下この考案の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１５】 図１はこの考案の第１実施例に係る落射照明装置の光学系を示す図、図２は図 １の落射照明装置の遮光板を示し、同図（ａ）は遮光板の平面図、同図（ｂ）は 同図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。

【００１６】 この第１実施例の落射照明装置は、光源１と、光源１の光Ｌ₁ を集光する照明 レンズ２と、試料像を拡大する対物レンズ４と、光源１からの光Ｌ₁ を対物レン ズ４を介して試料６へ反射させるハーフミラー３と、ハーフミラー３を透過した 光Ｌ₃ を減衰させる遮光板（反射防止部材）５とを備えている。

【００１７】 ハーフミラー３は図１に示すように、照明光軸に対して４５゜傾いており、光 源１の光Ｌ₁ を直角に反射させる。

【００１８】 図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、遮光板５の受光面５ａは鋸歯状に形成さ れ、透過光Ｌ₃ に対して直角な基準面５ｂに対してほぼ２２．５゜に形成されて いる。

【００１９】 光源１からの光Ｌ₁ は照明レンズ２で集光され、集光された照明光はハーフミ ラー３で直角に反射され、対物レンズ４を介して試料６に照射される。試料６で 反射した光Ｌ₂ は対物レンズ４、ハーフミラー３を透過し、図示しない接眼レン ズに至る。

【００２０】 一方、照明レンズ２で集光された照明光の一部はハーフミラー３を透過し、透 過光Ｌ₃ は遮光板５の受光面５ａで反射される。前述のように遮光板５の受光面 ５ａは基準面５ｂに対してほぼ２２．５゜に形成されているので、受光面５ａで 反射された光Ｌ₄ は図１及び図２に示すように透過光Ｌ₃ に対して４５゜の方向 、すなわち図１に示すようにハーフミラー３に対して平行に進む。したがって、 ハーフミラー３を透過した余剰光Ｌ₄ が再び観察光学系の光路に混入することは なく、良好な試料像を得ることができる。

【００２１】 図３は図１の実施例の第１の変形例を示す遮光板１５の断面図である。この変 形例の遮光板１５は図１の実施例の遮光板５を１８０゜回転させたものであり、 遮光板１５の受光面１５ａで反射された光Ｌ₅ は図３に示すように透過光Ｌ₃ に 対して斜め下４５゜の方向、すなわちハーフミラー３に対して垂直に入射するの で、図１の実施例と同様の効果を得ることができる。

【００２２】 図４は図１の実施例の第２の変形例を示す遮光板２５の断面図である。この変 形例では、図４に示すように遮光板２５の受光面が傾斜面２５ａと傾斜面２５ｃ とを有する山形に形成され、各傾斜面２５ａ，２５ｃが遮光板２５の基準面２５ ｂに対してそれぞれほぼ２２．５゜傾いている。

【００２３】 第２の変形例によれば、遮光板２５で反射された光をハーフミラーの透過光に 対して上４５゜の方向と下４５゜の方向、すなわちハーフミラーに対して平行及 び垂直に反射させることができるので、図１の第１の実施例と図４の第１の変形 例と同様の効果を得ることができる。

【００２４】 図５はこの考案の第２の実施例に係る落射照明装置のハーフミラーを保持する ホルダの断面図である。

【００２５】 この第２実施例では、ホルダ７の内壁面７ａを鋸歯状に形成し、その内壁面７ ａに黒色塗料を塗布して遮光板３５を形成するようにした。

【００２６】 この第２実施例によれば、第１の実施例と同様の効果を得ることができるとと もに、部品点数の削減と落射照明装置の小型化とを図ることができる。

【００２７】 図６はこの考案の第３の実施例に係る落射照明装置の光学系を示す図である。 前述の実施例と共通する部分には同一符号を付して説明を省略する。第１の実施 例では反射防止部材として遮光板５を用いた場合について述べたが、この実施例 では、図６に示すように、反射防止部材としてのＮＤフィルタ４５を用い、壁面 ８に貼着するＮＤフィルタ４５の受光面４５ａを、ハーフミラー３の透過光Ｌ₃ をハーフミラー３の傾きと略平行に反射させる鋸歯状に形成するようにした。

【００２８】 ハーフミラー３の透過光Ｌ₃ の一部は壁面８で反射され、再びハーフミラー３ に戻るが、その光Ｌ₅ はハーフミラー３に戻るまでにＮＤフィルタ４５を２度透 過することで十分に減光され、また、ハーフミラー３を透過した光Ｌ₃ の一部は ＮＤフィルタ４５の表面で反射されるが、その光Ｌ₆ はＮＤフィルタ受光面４５ ａが鋸歯状に形成されているのでハーフミラー３側へは進まない。したがって、 第３の実施例の落射照明装置によれば、第１の実施例と同様の効果を得ることが できる。

【００２９】 また、図９の落射照明装置の場合、ＮＤフィルタ１４５の背面を壁面１０８に 対して角度θだけ傾けて配置したので寸法ａ₁ の広いスペースを必要とするのに 較べ、この実施例のＮＤフィルタ４５の背面は壁面８に対して傾いていないので ＮＤフィルタ４５の厚み分の寸法ａ₂ だけを考慮すれば足り、省スペ−ス化を図 ることができる。

【００３０】 なお、第３の実施例の第１の変形例として、ＮＤフィルタ４５を１８０゜回転 させ使用してもよく、このようにすればＮＤフィルタ４５で反射させた光をハー フミラー３に対してほぼ垂直に入射させることができる。

【００３１】 図７は図６の実施例の第２の変形例を示すＮＤフィルタ５５の断面図である。

【００３２】 この第２の変形例では、図７に示すように、ＮＤフィルタ５５の両面５５ａ， ５５ｂが鋸歯状に形成されている。

【００３３】 この第２の変形例によれば、ハーフミラー３の透過光Ｌ₃ をＮＤフィルタ５５ の前面５５ａでハーフミラー３に対してほぼ平行に反射させることができるとと もに、ＮＤフィルタ５５の裏面５５ｂでもハーフミラー３に対してほぼ平行に反 射させることができ、有害光の観察光学系の光路への侵入を一層少なくすること ができる。

【００３４】 前述の各実施例及び各変形例では、ハーフミラー３を用いた場合について述べ たが、これに代え、ダイクロイックミラーを用いるようにしてもよい。

【００３５】

【考案の効果】

以上説明したようにこの考案の落射照明装置によれば、フレアを確実に防止す ることができるとともに、ごみの発生のおそれもなくなるので、試料像のコント ラストも向上し、良好な観察像を得ることができ、しかも小型化を図り得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの考案の第１実施例に係る落射照明装
置の光学系を示す図である。

【図２】図２は図１の落射照明装置の遮光板を説明する
ための図である。

【図３】図３は図１の実施例の第１の変形例を示す遮光
板の断面図である。

【図４】図４は図１の実施例の第２の変形例を示す遮光
板の断面図である。

【図５】図５はこの考案の第２の実施例に係る落射照明
装置のハーフミラーを保持するホルダの断面図である。

【図６】図６はこの考案の第３の実施例に係る落射照明
装置の光学系を示す図である。

【図７】図７は図６の実施例の第２の変形例を示すＮＤ
フィルタの断面図である。

【図８】図８は従来の顕微鏡の落射照明装置の光学系を
示す図である。

【図９】図９は従来の他の顕微鏡の落射照明装置の光学
系を示す図である。

【符号の説明】

１ 光源 ３ ハーフミラー ４ 対物レンズ ５ 遮光板 ６ 試料

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料面に光を照射するための光源と、 試料像を拡大する対物レンズと、 前記光源からの光を前記対物レンズを介して試料面へ反
   射させるハーフミラー又はダイクロイックミラーと、 このハーフミラー又はダイクロイックミラーを透過した
   前記光源からの光を減衰させる反射防止部材とを備えた
   落射照明装置において、 前記反射防止部材の受光面が、前記ハーフミラー又はダ
   イクロイックミラーからの透過光を前記ハーフミラー面
   又はダイクロイックミラー面の傾きと略平行又は直角に
   反射させる複数の傾斜面を鋸歯状又は山形状あるいはこ
   れらの組合せ状態に配置したことを特徴とする落射照明
   装置。
2. 【請求項２】 前記反射防止部材が遮光板であることを
   特徴とする請求項１記載の落射照明装置。
3. 【請求項３】 前記反射防止部材がＮＤフィルタである
   ことを特徴とする請求項１記載の落射照明装置。
4. 【請求項４】 前記反射防止部材は、前記ハーフミラー
   又はダイワロイックミラーを保持するホルダの側面に形
   成されていることを特徴とする請求項１記載の落射照明
   装置。