JPH07134092A - 微粒子計 - Google Patents
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- JPH07134092A JPH07134092A JP5307389A JP30738993A JPH07134092A JP H07134092 A JPH07134092 A JP H07134092A JP 5307389 A JP5307389 A JP 5307389A JP 30738993 A JP30738993 A JP 30738993A JP H07134092 A JPH07134092 A JP H07134092A
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】流路内壁面からの付着粒子の離脱を抑制すると
共に、ロータリポンプ式の微粒子計を使用する場合にお
けるロータリポンプの破損を防止することによつて高精
度で粒子を測定し得るようにした微粒子計を提案しよう
とするものである。 【構成】被検気体Ｒ１を導入し、被検気体Ｒ１に照射光
束を照射し、被検気体Ｒ１の微粒子によつて散乱された
散乱光に基づいて微粒子数を計数する粒子検出手段６を
有する微粒子計３０において、粒子検出手段６の上流側
に設けられ、塩類３６の飽和水溶液３７を貯留してなる
水蒸気供給手段３１を設け、被検気体Ｒ１に水蒸気を供
給することにより、粒子検出手段６の内部に結露を生じ
させることなく、粒子検出手段６における流路内壁面か
らの粒子の発生を抑制すると共に、ロータリポンプ式の
微粒子計を使用する場合におけるロータリポンプの破損
を防止することによつて高精度で粒子を測定し得る。
共に、ロータリポンプ式の微粒子計を使用する場合にお
けるロータリポンプの破損を防止することによつて高精
度で粒子を測定し得るようにした微粒子計を提案しよう
とするものである。 【構成】被検気体Ｒ１を導入し、被検気体Ｒ１に照射光
束を照射し、被検気体Ｒ１の微粒子によつて散乱された
散乱光に基づいて微粒子数を計数する粒子検出手段６を
有する微粒子計３０において、粒子検出手段６の上流側
に設けられ、塩類３６の飽和水溶液３７を貯留してなる
水蒸気供給手段３１を設け、被検気体Ｒ１に水蒸気を供
給することにより、粒子検出手段６の内部に結露を生じ
させることなく、粒子検出手段６における流路内壁面か
らの粒子の発生を抑制すると共に、ロータリポンプ式の
微粒子計を使用する場合におけるロータリポンプの破損
を防止することによつて高精度で粒子を測定し得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微粒子計に関し、例えば
乾燥した気体中の粒子を計測する光散乱式微粒子計に適
用して好適である。
乾燥した気体中の粒子を計測する光散乱式微粒子計に適
用して好適である。
【０００２】
【従来の技術】一般に光散乱式の気中微粒子計は、顕微
鏡を用いた粒子の計数方法と比較して短時間でかつ少な
い労力で被検気体中の微粒子を計数し得ることから、多
くの産業分野において普及している。この被検気体とし
て、例えば市販されているボンベに充填された窒素ガス
や製造設備から排出される大量の気体等が用いられてい
る。
鏡を用いた粒子の計数方法と比較して短時間でかつ少な
い労力で被検気体中の微粒子を計数し得ることから、多
くの産業分野において普及している。この被検気体とし
て、例えば市販されているボンベに充填された窒素ガス
や製造設備から排出される大量の気体等が用いられてい
る。
【０００３】従来、ボンベに充填された窒素ガスに含ま
れる微粒子を測定する場合には、図５に示すような微粒
子計１が用いられており、被検気体としての窒素ガスＮ
１が充填されたガスボンベ２からチユーブ３を介して微
粒子計１の筐体４に設けられた導入端４Ａに接続されて
いる。
れる微粒子を測定する場合には、図５に示すような微粒
子計１が用いられており、被検気体としての窒素ガスＮ
１が充填されたガスボンベ２からチユーブ３を介して微
粒子計１の筐体４に設けられた導入端４Ａに接続されて
いる。
【０００４】この微粒子計１において、導入端４Ａから
取り込まれた窒素ガスＮ１はチユーブ５を介して粒子検
出部６に送出される。粒子検出部６は、窒素ガスＮ１に
含まれる粒子に対して光を照射することにより当該粒子
に散乱光を生じさせ、この散乱光に基づいて粒子を計数
する。
取り込まれた窒素ガスＮ１はチユーブ５を介して粒子検
出部６に送出される。粒子検出部６は、窒素ガスＮ１に
含まれる粒子に対して光を照射することにより当該粒子
に散乱光を生じさせ、この散乱光に基づいて粒子を計数
する。
【０００５】粒子検出部６において計数を終了した後の
窒素ガスＮ１は、チユーブ７を介して流量計８に送出さ
れ、当該流量計８においてこの窒素ガスＮ１の流量が測
定される。また流量計８の下流側にはチユーブ９を介し
て流量調整弁１０が設けられており、当該流量調整弁１
０を操作することによつて粒子検出部６を通過する窒素
ガスＮ１の流量を調整することができるようになされて
いる。
窒素ガスＮ１は、チユーブ７を介して流量計８に送出さ
れ、当該流量計８においてこの窒素ガスＮ１の流量が測
定される。また流量計８の下流側にはチユーブ９を介し
て流量調整弁１０が設けられており、当該流量調整弁１
０を操作することによつて粒子検出部６を通過する窒素
ガスＮ１の流量を調整することができるようになされて
いる。
【０００６】流量計８において流量の測定を終了した後
の窒素ガスＮ１は、流量調整弁１０に送出された後、当
該流量調整弁１０からチユーブ１１を介して微粒子計１
の筐体４に設けられた排出端４Ｂに送出され、当該排出
端４Ｂから微粒子計１の外部に排出される。これによ
り、窒素ガスＮ１は粒子検出部６を通過する際に当該窒
素ガスＮ１中に含まれる粒子数が計数される。
の窒素ガスＮ１は、流量調整弁１０に送出された後、当
該流量調整弁１０からチユーブ１１を介して微粒子計１
の筐体４に設けられた排出端４Ｂに送出され、当該排出
端４Ｂから微粒子計１の外部に排出される。これによ
り、窒素ガスＮ１は粒子検出部６を通過する際に当該窒
素ガスＮ１中に含まれる粒子数が計数される。
【０００７】また従来、製造設備から排出される気体に
含まれる微粒子を測定する場合には、吸引式微粒子計を
用いることにより、被検気体の流量が多い場合に対応し
得るようになされている。この種の吸引式微粒子計内に
設けられた吸引装置としては、比較的小型かつ軽量であ
ると共に吸引流量を多くすることができることから、カ
ーボンベーン式ロータリポンプ（以下ロータリポンプと
いう）が広く用いられている。
含まれる微粒子を測定する場合には、吸引式微粒子計を
用いることにより、被検気体の流量が多い場合に対応し
得るようになされている。この種の吸引式微粒子計内に
設けられた吸引装置としては、比較的小型かつ軽量であ
ると共に吸引流量を多くすることができることから、カ
ーボンベーン式ロータリポンプ（以下ロータリポンプと
いう）が広く用いられている。
【０００８】ここで図５との対応部分に同一符号を付し
た図６に示すように、ロータリポンプ式の微粒子計２０
において、大流量の排気が行われる工場の製造設備の排
気端（図示せず）から送出された被検気体Ｒ１がチユー
ブ３を介して導入端４Ａに取り込まれるようになされて
いる。さらに粒子検出部６及び流量計８間にはロータリ
ポンプ２１が介在して設けられており、被検気体Ｒ１を
吸引するようになされている。
た図６に示すように、ロータリポンプ式の微粒子計２０
において、大流量の排気が行われる工場の製造設備の排
気端（図示せず）から送出された被検気体Ｒ１がチユー
ブ３を介して導入端４Ａに取り込まれるようになされて
いる。さらに粒子検出部６及び流量計８間にはロータリ
ポンプ２１が介在して設けられており、被検気体Ｒ１を
吸引するようになされている。
【０００９】この場合、粒子検出部６及びロータリポン
プ２１間とロータリポンプ２１及び流量計８間はそれぞ
れチユーブ２２及び２３によつて接続されており、また
図５における流量計８の下流側に設けられた流量調整弁
１０が除去され、流量計８からチユーブ２４を介して排
気端４Ｂに接続されている。これにより、被検気体Ｒ１
はロータリポンプ２１によつて吸引導入され、粒子検出
部６において当該被検気体Ｒ１に含まれる粒子数が計数
されるようになされている。
プ２１間とロータリポンプ２１及び流量計８間はそれぞ
れチユーブ２２及び２３によつて接続されており、また
図５における流量計８の下流側に設けられた流量調整弁
１０が除去され、流量計８からチユーブ２４を介して排
気端４Ｂに接続されている。これにより、被検気体Ｒ１
はロータリポンプ２１によつて吸引導入され、粒子検出
部６において当該被検気体Ｒ１に含まれる粒子数が計数
されるようになされている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところが図５におい
て、ガスボンベ２内の窒素ガスＮ１中の粒子数を計数す
る場合には、窒素ガスＮ１は乾燥気体であつて当該窒素
ガスＮ１中には水分が含まれていないことから、窒素ガ
スＮ１が粒子検出部６を通過する際に、当該粒子検出部
６の上流側の配管内壁面（図示せず）及び粒子検出部６
の光学セル（図示せず）の流路内壁面は水分を奪われて
乾燥状態になる。
て、ガスボンベ２内の窒素ガスＮ１中の粒子数を計数す
る場合には、窒素ガスＮ１は乾燥気体であつて当該窒素
ガスＮ１中には水分が含まれていないことから、窒素ガ
スＮ１が粒子検出部６を通過する際に、当該粒子検出部
６の上流側の配管内壁面（図示せず）及び粒子検出部６
の光学セル（図示せず）の流路内壁面は水分を奪われて
乾燥状態になる。
【００１１】このため、これらの内壁面に異物（図示せ
ず）が付着している場合には、当該異物は粘着力を失い
これらの内壁面から脱離し、測定対象である窒素ガスＮ
１中に混入するおそれがある。この混入した異物は窒素
ガスＮ１中に含まれていた粒子と共に粒子検出部６内に
設けられた粒子計数器（図示せず）によつて計数される
ため、窒素ガスＮ１中の粒子数が誤つて計数されること
になり、測定精度が低下するという問題があつた。
ず）が付着している場合には、当該異物は粘着力を失い
これらの内壁面から脱離し、測定対象である窒素ガスＮ
１中に混入するおそれがある。この混入した異物は窒素
ガスＮ１中に含まれていた粒子と共に粒子検出部６内に
設けられた粒子計数器（図示せず）によつて計数される
ため、窒素ガスＮ１中の粒子数が誤つて計数されること
になり、測定精度が低下するという問題があつた。
【００１２】一方図６において、製造設備から排出され
る被検気体Ｒ１が乾燥気体からなり、当該被検気体Ｒ１
に含まれる粒子をロータリポンプ式の微粒子計２０を用
いて計数する場合には、上述の問題に加えて、被検気体
Ｒ１がロータリポンプ２１のカーボンベーン（図示せ
ず）部分を通過する際、カーボンベーン本体を乾燥させ
ることにより、カーボンベーンからカーボンベーンを形
成している材料が剥離するおそれがある。
る被検気体Ｒ１が乾燥気体からなり、当該被検気体Ｒ１
に含まれる粒子をロータリポンプ式の微粒子計２０を用
いて計数する場合には、上述の問題に加えて、被検気体
Ｒ１がロータリポンプ２１のカーボンベーン（図示せ
ず）部分を通過する際、カーボンベーン本体を乾燥させ
ることにより、カーボンベーンからカーボンベーンを形
成している材料が剥離するおそれがある。
【００１３】このため、この剥離したカーボンベーンの
破片がカーボンベーン及びロータリポンプ２１のケーシ
ング（図示せず）間に嵌まり込み、ロータリポンプ２１
を破損させてしまうという問題があつた。
破片がカーボンベーン及びロータリポンプ２１のケーシ
ング（図示せず）間に嵌まり込み、ロータリポンプ２１
を破損させてしまうという問題があつた。
【００１４】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、流路内壁面からの付着粒子の離脱を抑制すると共
に、ロータリポンプ式の微粒子計を使用する場合におけ
るロータリポンプの破損を防止することによつて高精度
で粒子を測定し得るようにした微粒子計を提案しようと
するものである。
で、流路内壁面からの付着粒子の離脱を抑制すると共
に、ロータリポンプ式の微粒子計を使用する場合におけ
るロータリポンプの破損を防止することによつて高精度
で粒子を測定し得るようにした微粒子計を提案しようと
するものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、被検気体Ｒ１を導入し、被検気体
Ｒ１に照射光束を照射し、被検気体Ｒ１中の微粒子によ
つて散乱された散乱光に基づいて微粒子数を計数する粒
子検出手段６を有する微粒子計３０、４０、６０におい
て、粒子検出手段６の上流側に設けられ、塩類３６の飽
和水溶液３７を貯留してなる水蒸気供給手段３１、５０
を備え、被検気体Ｒ１に水蒸気を供給するようにする。
め本発明においては、被検気体Ｒ１を導入し、被検気体
Ｒ１に照射光束を照射し、被検気体Ｒ１中の微粒子によ
つて散乱された散乱光に基づいて微粒子数を計数する粒
子検出手段６を有する微粒子計３０、４０、６０におい
て、粒子検出手段６の上流側に設けられ、塩類３６の飽
和水溶液３７を貯留してなる水蒸気供給手段３１、５０
を備え、被検気体Ｒ１に水蒸気を供給するようにする。
【００１６】
【作用】粒子検出手段６の上流側に塩類３６の飽和水溶
液３７が貯留された水蒸気供給手段３１、５０を設け、
当該水蒸気供給手段３１、５０に導入された被検気体Ｒ
１に対して水蒸気を供給することにより、粒子検出手段
６の流路内壁面に付着している異物の剥離を防止し得、
一段と高精度に粒子を測定し得る。
液３７が貯留された水蒸気供給手段３１、５０を設け、
当該水蒸気供給手段３１、５０に導入された被検気体Ｒ
１に対して水蒸気を供給することにより、粒子検出手段
６の流路内壁面に付着している異物の剥離を防止し得、
一段と高精度に粒子を測定し得る。
【００１７】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１８】（１）第１実施例 図５との対応部分に同一符号を付して示す図１におい
て、３０は全体として微粒子計を示し、導入端４Ａ及び
粒子検出部６間に水蒸気供給部３１が介在して設けら
れ、導入端４Ａ及び水蒸気供給部３１間がチユーブ３２
によつて接続され、さらに水蒸気供給部３１及び粒子検
出部６間がチユーブ３３によつて接続されていることを
除いて、図５と同一の構成を有する。
て、３０は全体として微粒子計を示し、導入端４Ａ及び
粒子検出部６間に水蒸気供給部３１が介在して設けら
れ、導入端４Ａ及び水蒸気供給部３１間がチユーブ３２
によつて接続され、さらに水蒸気供給部３１及び粒子検
出部６間がチユーブ３３によつて接続されていることを
除いて、図５と同一の構成を有する。
【００１９】ここで水蒸気供給部３１には、蓋３４で閉
塞された容器３５内に塩化ナトリウム（NaCl）３６及び
水からなる飽和水溶液３７が溜められており、当該飽和
水溶液３７の液面と蓋３４の対向面との間には空隙３８
が設けられている。また導入端４Ａ及び容器３５間を接
続するチユーブ３２と、容器３５及び粒子検出部６間を
接続するチユーブ３３は共に蓋３４によつて貫通保持さ
れており、チユーブ３２、３３の先端部３２Ａ、３３Ａ
は双方共に飽和水溶液３７に浸たることなく空隙３８内
に存在するようになされている。
塞された容器３５内に塩化ナトリウム（NaCl）３６及び
水からなる飽和水溶液３７が溜められており、当該飽和
水溶液３７の液面と蓋３４の対向面との間には空隙３８
が設けられている。また導入端４Ａ及び容器３５間を接
続するチユーブ３２と、容器３５及び粒子検出部６間を
接続するチユーブ３３は共に蓋３４によつて貫通保持さ
れており、チユーブ３２、３３の先端部３２Ａ、３３Ａ
は双方共に飽和水溶液３７に浸たることなく空隙３８内
に存在するようになされている。
【００２０】これにより、導入端４Ａから取り込まれた
窒素ガスＮ１はチユーブ３２を介して水蒸気供給部３１
における容器３５内の空隙３８に当該チユーブ３２の先
端部３２Ａから送出され、当該空隙３８において所定の
水蒸気が供給された後チユーブ３３の先端部３３Ａに取
り込まれ、当該チユーブ３３を介して粒子検出部６に送
出される。
窒素ガスＮ１はチユーブ３２を介して水蒸気供給部３１
における容器３５内の空隙３８に当該チユーブ３２の先
端部３２Ａから送出され、当該空隙３８において所定の
水蒸気が供給された後チユーブ３３の先端部３３Ａに取
り込まれ、当該チユーブ３３を介して粒子検出部６に送
出される。
【００２１】以上の構成において、導入端４Ａから水蒸
気供給部３１に取り込まれた窒素ガスＮ１は、当該水蒸
気供給部３１における空隙３８内において所定量の水蒸
気が供給される。このとき飽和水溶液３７の水位が窒素
ガスＮ１に水分を吸収されて低下することになるが、水
溶液を飽和水溶液３７としたことにより、飽和水溶液３
７の濃度変化を生じることなく空隙３８内の水蒸気圧は
一定に保たれる。
気供給部３１に取り込まれた窒素ガスＮ１は、当該水蒸
気供給部３１における空隙３８内において所定量の水蒸
気が供給される。このとき飽和水溶液３７の水位が窒素
ガスＮ１に水分を吸収されて低下することになるが、水
溶液を飽和水溶液３７としたことにより、飽和水溶液３
７の濃度変化を生じることなく空隙３８内の水蒸気圧は
一定に保たれる。
【００２２】この状態において、窒素ガスＮ１を一定の
流量で送出した場合には、窒素ガスＮ１に常に一定量の
水蒸気を供給することができる。さらに測定者は流量調
整弁１０を操作し流量を調整することにより、窒素ガス
Ｎ１に対して所望の量の水蒸気を供給することができ
る。すなわち窒素ガスＮ１の流量を多く調整すると当該
窒素ガスＮ１には少量の水蒸気が供給され、これに対し
て窒素ガスＮ１の流量を少なく調整すると当該窒素ガス
Ｎ１には多量の水蒸気が供給される。
流量で送出した場合には、窒素ガスＮ１に常に一定量の
水蒸気を供給することができる。さらに測定者は流量調
整弁１０を操作し流量を調整することにより、窒素ガス
Ｎ１に対して所望の量の水蒸気を供給することができ
る。すなわち窒素ガスＮ１の流量を多く調整すると当該
窒素ガスＮ１には少量の水蒸気が供給され、これに対し
て窒素ガスＮ１の流量を少なく調整すると当該窒素ガス
Ｎ１には多量の水蒸気が供給される。
【００２３】このようにして水蒸気が供給された窒素ガ
スＮ１は、チユーブ３３を経て粒子検出部６を通過する
際に、当該チユーブ３３内壁面及び粒子検出部６に設け
られた光学セル（図示せず）の流路内壁面に所定量の水
分を供給する。
スＮ１は、チユーブ３３を経て粒子検出部６を通過する
際に、当該チユーブ３３内壁面及び粒子検出部６に設け
られた光学セル（図示せず）の流路内壁面に所定量の水
分を供給する。
【００２４】このためチユーブ３３内壁面及び当該内壁
面に付着している異物（図示せず）間と、粒子検出部６
の光学セルの流路内壁面及び当該内壁面に付着している
異物（図示せず）間とには適度な粘着力が与えられるこ
とになり、チユーブ３３内壁面及び粒子検出部６の光学
セルの流路内壁面からそれぞれ異物が剥離し、窒素ガス
Ｎ１に混入することを防止し得る。
面に付着している異物（図示せず）間と、粒子検出部６
の光学セルの流路内壁面及び当該内壁面に付着している
異物（図示せず）間とには適度な粘着力が与えられるこ
とになり、チユーブ３３内壁面及び粒子検出部６の光学
セルの流路内壁面からそれぞれ異物が剥離し、窒素ガス
Ｎ１に混入することを防止し得る。
【００２５】また測定者が乾燥した窒素ガスＮ１の導入
を停止させた場合、空隙３８内の飽和水溶液３７の水蒸
気圧は塩化ナトリウム３６による蒸気圧降下に基づいて
抑制されることにより、空隙３８内の水蒸気圧は水の飽
和水蒸気圧よりも低い状態になる。例えば容器３５内に
水を溜めた場合の空隙３８内の湿度を 100〔％〕とする
と、実施例における空隙３８内の湿度は75〔％〕程度で
ある。これにより室温の変化のように若干の温度変化が
あつた場合にも、粒子検出部６の光学セルの流路内壁面
に結露が生じることを防止し得る。
を停止させた場合、空隙３８内の飽和水溶液３７の水蒸
気圧は塩化ナトリウム３６による蒸気圧降下に基づいて
抑制されることにより、空隙３８内の水蒸気圧は水の飽
和水蒸気圧よりも低い状態になる。例えば容器３５内に
水を溜めた場合の空隙３８内の湿度を 100〔％〕とする
と、実施例における空隙３８内の湿度は75〔％〕程度で
ある。これにより室温の変化のように若干の温度変化が
あつた場合にも、粒子検出部６の光学セルの流路内壁面
に結露が生じることを防止し得る。
【００２６】以上の構成によれば、粒子検出部６の上流
側に塩化ナトリウム３６と水とでなる飽和水溶液３７が
貯留された水蒸気供給部３１を設け、当該水蒸気供給部
３１に導入された窒素ガスＮ１に対して水蒸気を供給し
たことにより、粒子検出部６の光学セルの流路内壁面に
付着している異物の剥離を防止し得、一段と高精度に粒
子を計数することができると共に、窒素ガスＮ１の導入
を停止した場合においても粒子検出部６の光学セルの流
路内壁面の結露を防止し得る。
側に塩化ナトリウム３６と水とでなる飽和水溶液３７が
貯留された水蒸気供給部３１を設け、当該水蒸気供給部
３１に導入された窒素ガスＮ１に対して水蒸気を供給し
たことにより、粒子検出部６の光学セルの流路内壁面に
付着している異物の剥離を防止し得、一段と高精度に粒
子を計数することができると共に、窒素ガスＮ１の導入
を停止した場合においても粒子検出部６の光学セルの流
路内壁面の結露を防止し得る。
【００２７】（２）第２実施例 図６との対応部分に同一符号を付して示す図２におい
て、４０は全体としてロータリポンプ式の微粒子計を示
し、図１と同様に導入端４Ａ及び粒子検出部６間に水蒸
気供給部３１が介在して設けられ、導入端４Ａ及び水蒸
気供給部３１間がチユーブ３２によつて接続され、さら
に水蒸気供給部３１及び粒子検出部６間がチユーブ３３
によつて接続されていることを除いて、図６と同一の構
成を有する。
て、４０は全体としてロータリポンプ式の微粒子計を示
し、図１と同様に導入端４Ａ及び粒子検出部６間に水蒸
気供給部３１が介在して設けられ、導入端４Ａ及び水蒸
気供給部３１間がチユーブ３２によつて接続され、さら
に水蒸気供給部３１及び粒子検出部６間がチユーブ３３
によつて接続されていることを除いて、図６と同一の構
成を有する。
【００２８】以上の構成において、ロータリポンプ２１
の吸引力によつて導入端４Ａから水蒸気供給部６に取り
込まれた乾燥した被検気体Ｒ１は、当該水蒸気供給部６
における空隙３８内において所定量の水蒸気が供給され
た後、粒子検出部６を経てロータリポンプ２１に送出さ
れることにより、当該ロータリポンプ２１内部に設けら
れたカーボンベーン（図示せず）に水蒸気を含む被検気
体Ｒ１が接触する。
の吸引力によつて導入端４Ａから水蒸気供給部６に取り
込まれた乾燥した被検気体Ｒ１は、当該水蒸気供給部６
における空隙３８内において所定量の水蒸気が供給され
た後、粒子検出部６を経てロータリポンプ２１に送出さ
れることにより、当該ロータリポンプ２１内部に設けら
れたカーボンベーン（図示せず）に水蒸気を含む被検気
体Ｒ１が接触する。
【００２９】これにより、カーボンベーンにも所定量の
水分が供給されることになり、カーボンベーンからカー
ボンベーンを形成している材料の破片が剥離することを
防止し得、さらに剥離したカーボンベーンの破片が当該
カーボンベーン及びロータリポンプ２１のケーシング
（図示せず）間に嵌まり込むことによつて生じるロータ
リポンプ２１の破損を防止できる。
水分が供給されることになり、カーボンベーンからカー
ボンベーンを形成している材料の破片が剥離することを
防止し得、さらに剥離したカーボンベーンの破片が当該
カーボンベーン及びロータリポンプ２１のケーシング
（図示せず）間に嵌まり込むことによつて生じるロータ
リポンプ２１の破損を防止できる。
【００３０】以上の構成によれば、粒子検出部６の上流
側に塩化ナトリウム３６と水とでなる飽和水溶液３７が
溜められた容器３５を設け、当該容器３５に導入された
被検気体Ｒ１に対して水蒸気を供給したことにより、ロ
ータリポンプ２１の破損を防止し得る。
側に塩化ナトリウム３６と水とでなる飽和水溶液３７が
溜められた容器３５を設け、当該容器３５に導入された
被検気体Ｒ１に対して水蒸気を供給したことにより、ロ
ータリポンプ２１の破損を防止し得る。
【００３１】（３）他の実施例 なお上述の実施例においては、蓋３４で閉塞された容器
３５内に塩化ナトリウム３６及び水からなる飽和水溶液
３７が溜められており、当該飽和水溶液３７の液面と蓋
３４の対向面との間には空隙３８が設けられた構成を有
する水蒸気供給部３１を用いた場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、図３に示すような二重円筒形状
の容器からなる水蒸気供給部５０を用いるようにしても
良く、要は被検気体Ｒ１に所定量の水蒸気を供給し得る
ようなものであれば良い。
３５内に塩化ナトリウム３６及び水からなる飽和水溶液
３７が溜められており、当該飽和水溶液３７の液面と蓋
３４の対向面との間には空隙３８が設けられた構成を有
する水蒸気供給部３１を用いた場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、図３に示すような二重円筒形状
の容器からなる水蒸気供給部５０を用いるようにしても
良く、要は被検気体Ｒ１に所定量の水蒸気を供給し得る
ようなものであれば良い。
【００３２】ここで、水蒸気供給部５０は水分の透過を
防止する部材、例えばガラスからなる外筒５１内の同軸
状に水透過性を有する多孔質のセラミツクからなる内筒
５２が挿通された構成を有し、外筒５１及び内筒５２間
に形成された空隙５３を輪状の板部材５４、５５によつ
て両側から閉塞すると共に、空隙５３内に塩化ナトリウ
ムの飽和水溶液（図示せず）を吸水保持している綿５６
を充填するようになされている。また外筒５１の外側に
は飽和水溶液を供給する供給口５７が取り付けられてい
る。
防止する部材、例えばガラスからなる外筒５１内の同軸
状に水透過性を有する多孔質のセラミツクからなる内筒
５２が挿通された構成を有し、外筒５１及び内筒５２間
に形成された空隙５３を輪状の板部材５４、５５によつ
て両側から閉塞すると共に、空隙５３内に塩化ナトリウ
ムの飽和水溶液（図示せず）を吸水保持している綿５６
を充填するようになされている。また外筒５１の外側に
は飽和水溶液を供給する供給口５７が取り付けられてい
る。
【００３３】この状態において、綿５６に吸水保持され
ている飽和水溶液が内筒５２を透過することにより、当
該内筒５２の内周表面は湿潤した状態に保たれる。従つ
て内筒５２の内側の空隙５８は常時一定の水蒸気が存在
する状態に維持され、この空隙５８を通過する被検気体
Ｒ１には所定の水蒸気が供給されることになる。
ている飽和水溶液が内筒５２を透過することにより、当
該内筒５２の内周表面は湿潤した状態に保たれる。従つ
て内筒５２の内側の空隙５８は常時一定の水蒸気が存在
する状態に維持され、この空隙５８を通過する被検気体
Ｒ１には所定の水蒸気が供給されることになる。
【００３４】またこの場合窒素ガスＮ１又はその他の乾
燥した被検気体Ｒ１は内筒５２の内壁に沿つて流れるこ
とにより、上述の実施例における水蒸気供給部３１と比
較して水蒸気供給部５０での被検気体Ｒ１の乱れや滞り
を少なくすることができ、この結果高い精度で粒子を計
数することができる。さらに水蒸気供給部５０換言すれ
ば微粒子計全体が傾けられた場合にも飽和水溶液が滴下
することがないことにより、上述の実施例における水蒸
気供給部３１と比較して一段と取扱いを容易にすること
ができる。
燥した被検気体Ｒ１は内筒５２の内壁に沿つて流れるこ
とにより、上述の実施例における水蒸気供給部３１と比
較して水蒸気供給部５０での被検気体Ｒ１の乱れや滞り
を少なくすることができ、この結果高い精度で粒子を計
数することができる。さらに水蒸気供給部５０換言すれ
ば微粒子計全体が傾けられた場合にも飽和水溶液が滴下
することがないことにより、上述の実施例における水蒸
気供給部３１と比較して一段と取扱いを容易にすること
ができる。
【００３５】また上述の実施例においては、飽和水溶液
を構成する化学物質として塩化ナトリウム（NaCl）を使
用しているが、本発明はこれに限らず、要は塩類の飽和
水溶液であれば良く、その他種々の塩類、例えば硫酸カ
リウム（K2SO4 ）、硝酸カリウム（KNO3）、硫酸アンモ
ニウム（(NH4)2SO4 ）、硝酸マグネシウム（Mg(N
O3)2）、塩化マグネシウム（MgCl2 ）、塩化リチウム
（LiCl）等を使用するようにしても良い。
を構成する化学物質として塩化ナトリウム（NaCl）を使
用しているが、本発明はこれに限らず、要は塩類の飽和
水溶液であれば良く、その他種々の塩類、例えば硫酸カ
リウム（K2SO4 ）、硝酸カリウム（KNO3）、硫酸アンモ
ニウム（(NH4)2SO4 ）、硝酸マグネシウム（Mg(N
O3)2）、塩化マグネシウム（MgCl2 ）、塩化リチウム
（LiCl）等を使用するようにしても良い。
【００３６】この場合、上述した各塩類の飽和水溶液と
水との相対湿度（ＲＨ）の値は、硫酸カリウムでは97
〔％〕、硝酸カリウムでは93〔％〕、硫酸アンモニウム
では80〔％〕、塩化ナトリウムでは75〔％〕、硝酸マグ
ネシウムでは55〔％〕、塩化マグネシウムでは33
〔％〕、塩化リチウムでは12〔％〕であり、導入する被
検気体Ｒ１の流量等に応じてこれらの塩類の中から適切
なものを選択するようにすれば良い。例えば被検気体Ｒ
１の流量が大きい場合には相対湿度の高い塩類の飽和水
溶液を用い、これに対して流量が小さい場合には相対湿
度の低い塩類の飽和水溶液を用いるようにすれば、被検
気体Ｒ１の流量にかかわらず流路内壁面に所望の量の水
分を供給することができる。
水との相対湿度（ＲＨ）の値は、硫酸カリウムでは97
〔％〕、硝酸カリウムでは93〔％〕、硫酸アンモニウム
では80〔％〕、塩化ナトリウムでは75〔％〕、硝酸マグ
ネシウムでは55〔％〕、塩化マグネシウムでは33
〔％〕、塩化リチウムでは12〔％〕であり、導入する被
検気体Ｒ１の流量等に応じてこれらの塩類の中から適切
なものを選択するようにすれば良い。例えば被検気体Ｒ
１の流量が大きい場合には相対湿度の高い塩類の飽和水
溶液を用い、これに対して流量が小さい場合には相対湿
度の低い塩類の飽和水溶液を用いるようにすれば、被検
気体Ｒ１の流量にかかわらず流路内壁面に所望の量の水
分を供給することができる。
【００３７】また上述の実施例においては、水蒸気供給
部３１、５０を微粒子計３０、４０の筐体４内に収める
ようにしたが、本発明はこれに限らず、水蒸気供給部と
微粒子計本体をそれぞれ別体として設けるようにしても
良い。例えば図１との対応部分に同一符号を付して示す
図４において、６０は全体として微粒子計を示し、微粒
子計本体６１の筐体４に設けられた導入端４Ａ及び水蒸
気供給部６２の筐体６３に設けられた排出端６３Ｂ間は
チユーブ６４を介して接続されている。
部３１、５０を微粒子計３０、４０の筐体４内に収める
ようにしたが、本発明はこれに限らず、水蒸気供給部と
微粒子計本体をそれぞれ別体として設けるようにしても
良い。例えば図１との対応部分に同一符号を付して示す
図４において、６０は全体として微粒子計を示し、微粒
子計本体６１の筐体４に設けられた導入端４Ａ及び水蒸
気供給部６２の筐体６３に設けられた排出端６３Ｂ間は
チユーブ６４を介して接続されている。
【００３８】さらに微粒子計本体６１の導入端４Ａ及び
粒子検出部６間はチユーブ６５を介して接続されてお
り、また水蒸気供給部６２の排出端６３Ｂ及び容器３５
間と、水蒸気供給部６２の導入端６３Ａ及び容器３５間
はそれぞれチユーブ６６、６７を介して接続されてい
る。このように既存の微粒子計本体６１に別体として水
蒸気供給部６２を設けるようにすれば、上述の実施例と
同様の効果を得ることができる。
粒子検出部６間はチユーブ６５を介して接続されてお
り、また水蒸気供給部６２の排出端６３Ｂ及び容器３５
間と、水蒸気供給部６２の導入端６３Ａ及び容器３５間
はそれぞれチユーブ６６、６７を介して接続されてい
る。このように既存の微粒子計本体６１に別体として水
蒸気供給部６２を設けるようにすれば、上述の実施例と
同様の効果を得ることができる。
【００３９】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、被検気体
を導入し、被検気体に照射光束を照射し、被検気体中の
微粒子によつて散乱された散乱光に基づいて微粒子数を
計数する粒子検出手段を有する微粒子計において、粒子
検出手段の上流側に設けられ、塩類の飽和水溶液を貯留
してなる水蒸気供給手段を設け、被検気体に水蒸気を供
給することにより、粒子検出手段の内部に結露を生じさ
せることなく、粒子検出手段における流路内壁面からの
付着粒子の離脱を抑制すると共に、ロータリポンプ式の
微粒子計を使用する場合におけるロータリポンプの破損
を防止することによつて高精度で粒子を測定し得る。
を導入し、被検気体に照射光束を照射し、被検気体中の
微粒子によつて散乱された散乱光に基づいて微粒子数を
計数する粒子検出手段を有する微粒子計において、粒子
検出手段の上流側に設けられ、塩類の飽和水溶液を貯留
してなる水蒸気供給手段を設け、被検気体に水蒸気を供
給することにより、粒子検出手段の内部に結露を生じさ
せることなく、粒子検出手段における流路内壁面からの
付着粒子の離脱を抑制すると共に、ロータリポンプ式の
微粒子計を使用する場合におけるロータリポンプの破損
を防止することによつて高精度で粒子を測定し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による微粒子計の一実施例を示す略線的
断面図である。
断面図である。
【図２】第２実施例による微粒子計を示す略線的断面図
である。
である。
【図３】他の実施例による水蒸気供給部を示す部分的断
面図である。
面図である。
【図４】他の実施例による微粒子計を示す略線的断面図
である。
である。
【図５】従来の微粒子計を示す略線的断面図である。
【図６】従来の微粒子計を示す略線的断面図である。
１、２０、３０、４０、６０……微粒子計、Ｎ１……窒
素ガス、Ｒ１……被検気体、６……粒子検出部、３１、
５０……水蒸気供給部、３６……塩化ナトリウム、３７
……飽和水溶液。
素ガス、Ｒ１……被検気体、６……粒子検出部、３１、
５０……水蒸気供給部、３６……塩化ナトリウム、３７
……飽和水溶液。
Claims (1)
- 【請求項１】被検気体を導入し、上記被検気体に照射光
束を照射し、上記被検気体中の微粒子によつて散乱され
た散乱光に基づいて上記微粒子数を計数する粒子検出手
段を有する微粒子計において、 上記粒子検出手段の上流側に設けられ、塩類の飽和水溶
液を貯留してなる水蒸気供給手段を具え、上記被検気体
に水蒸気を供給することを特徴とする微粒子計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5307389A JPH07134092A (ja) | 1993-11-11 | 1993-11-11 | 微粒子計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5307389A JPH07134092A (ja) | 1993-11-11 | 1993-11-11 | 微粒子計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07134092A true JPH07134092A (ja) | 1995-05-23 |
Family
ID=17968467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5307389A Pending JPH07134092A (ja) | 1993-11-11 | 1993-11-11 | 微粒子計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07134092A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001519528A (ja) * | 1997-10-06 | 2001-10-23 | パシフィック サイエンティフィック インストゥールメンツ カンパニー | 粒子カウンタのためのマルチローブ形ポンプ |
-
1993
- 1993-11-11 JP JP5307389A patent/JPH07134092A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001519528A (ja) * | 1997-10-06 | 2001-10-23 | パシフィック サイエンティフィック インストゥールメンツ カンパニー | 粒子カウンタのためのマルチローブ形ポンプ |
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