JP2003275530A - エアフィルタ - Google Patents
エアフィルタInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】イオン性ガスを除去する濾材を含むエアフィル
タにおいて、フィルタ自身で除去性能の状態を識別でき
るエアフィルタを提供する。 【解決手段】イオン性ガスを除去する濾材を含むエアフ
ィルタであって、酸塩基指示薬を含有しているエアフィ
ルタ。
タにおいて、フィルタ自身で除去性能の状態を識別でき
るエアフィルタを提供する。 【解決手段】イオン性ガスを除去する濾材を含むエアフ
ィルタであって、酸塩基指示薬を含有しているエアフィ
ルタ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はイオン性ガスを除去
するエアフィルタに関するものである。
するエアフィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、電気・電子工業分野、バイオケミ
カル分野などでクリーンルーム等、クリーン閉空間での
作業の必要性が急増している。それぞれの製造技術レベ
ルの向上が進むにつれて、そのクリーン度への要求も厳
しいものになってきている。また、それに付随した分析
技術がここ数年で飛躍的に向上したことにより、これま
では問題として顕在化しなかった物質の除去がいかに必
要かということも明かになってきた。特に近年、ＨＥＰ
Ａフィルタ等では除去することが不可能なイオン性ガス
の除去の必要性が強く提言されている。超ＬＳＩ等を製
造する電子工業分野では、その集積度が上がるに従って
イオン性ガスの存在により直接製品の歩留まりを悪化さ
せる現象などが特定されるに至って、ＨＥＰＡフィルタ
とは全く異なるコンセプトによりイオン性ガスを極低濃
度まで吸着・除去するためのエアフィルタが生まれた。
このようなエアフィルタには、イオン交換繊維を用いた
タイプ（例えば特開平６−２４５３４号公報）、活性炭
繊維に各種薬剤を添着したタイプ（例えば、特開平４−
９７９０４号公報）などがある。これらのエアフィルタ
は吸着によりイオン性ガスを除去するため、いずれかの
時期には寿命が訪れる。
カル分野などでクリーンルーム等、クリーン閉空間での
作業の必要性が急増している。それぞれの製造技術レベ
ルの向上が進むにつれて、そのクリーン度への要求も厳
しいものになってきている。また、それに付随した分析
技術がここ数年で飛躍的に向上したことにより、これま
では問題として顕在化しなかった物質の除去がいかに必
要かということも明かになってきた。特に近年、ＨＥＰ
Ａフィルタ等では除去することが不可能なイオン性ガス
の除去の必要性が強く提言されている。超ＬＳＩ等を製
造する電子工業分野では、その集積度が上がるに従って
イオン性ガスの存在により直接製品の歩留まりを悪化さ
せる現象などが特定されるに至って、ＨＥＰＡフィルタ
とは全く異なるコンセプトによりイオン性ガスを極低濃
度まで吸着・除去するためのエアフィルタが生まれた。
このようなエアフィルタには、イオン交換繊維を用いた
タイプ（例えば特開平６−２４５３４号公報）、活性炭
繊維に各種薬剤を添着したタイプ（例えば、特開平４−
９７９０４号公報）などがある。これらのエアフィルタ
は吸着によりイオン性ガスを除去するため、いずれかの
時期には寿命が訪れる。
【０００３】そのため、そのときのエアフィルタの除去
性能を判断するためにエアフィルタ上流の対象ガス濃度
と下流側の対象ガス濃度とを測定することにより除去効
率を計算していた。しかし、この方法は測定のためにイ
ンピンジャーで捕集する等、外部機器の使用が必要であ
り手間やコストがかかる。また、近年、環境中のアンモ
ニアガスを常時測定できるアンモニア自動分析機器なる
ものが出ているが、これでもエアフィルタ以外にその装
置を設置しなくてはならないことは自明である。
性能を判断するためにエアフィルタ上流の対象ガス濃度
と下流側の対象ガス濃度とを測定することにより除去効
率を計算していた。しかし、この方法は測定のためにイ
ンピンジャーで捕集する等、外部機器の使用が必要であ
り手間やコストがかかる。また、近年、環境中のアンモ
ニアガスを常時測定できるアンモニア自動分析機器なる
ものが出ているが、これでもエアフィルタ以外にその装
置を設置しなくてはならないことは自明である。
【０００４】エアフィルタを使用する者にとって、エア
フィルタ自体がエアフィルタの除去性能状態を知らしめ
ることができるエアフィルタがあればそれ以上に越した
ことはない。しかし、実際除去する対象がガスであるエ
アフィルタでは、目に見えて除去性能状態を知らしめる
機能は非常に難しく今までそのようなエアフィルタは存
在しなかった。
フィルタ自体がエアフィルタの除去性能状態を知らしめ
ることができるエアフィルタがあればそれ以上に越した
ことはない。しかし、実際除去する対象がガスであるエ
アフィルタでは、目に見えて除去性能状態を知らしめる
機能は非常に難しく今までそのようなエアフィルタは存
在しなかった。
【０００５】目に見えてエアフィルタ状態を判断する場
合、分かりやすい方法としては色調変化が挙げられる。
このような色調変化をエアフィルタに有する方法として
特開平１０−１７４８３９号公報に金属イオンを担持し
た方法が紹介されている。しかし、この方法では金属イ
オンを使用しているため金属イオンが放出されウエハー
に悪影を及ぼしてしまう。金属イオンは半導体の工程上
微量に存在するだけでも悪影響を及ぼすためppb以下レ
ベルの濃度管理が必要であり上記方法はこのような工程
上に使用されるエアフィルタに使用することはできな
い。また、この方法は最適濃度を調整することが難しい
ため滴下法で濃度勾配を作る必要があると記載されてお
り、エアフィルタ一面が変色するわけでない。そのた
め、変色している所が分かりづらく方法として確立され
ているものの実用にはほど遠い。
合、分かりやすい方法としては色調変化が挙げられる。
このような色調変化をエアフィルタに有する方法として
特開平１０−１７４８３９号公報に金属イオンを担持し
た方法が紹介されている。しかし、この方法では金属イ
オンを使用しているため金属イオンが放出されウエハー
に悪影を及ぼしてしまう。金属イオンは半導体の工程上
微量に存在するだけでも悪影響を及ぼすためppb以下レ
ベルの濃度管理が必要であり上記方法はこのような工程
上に使用されるエアフィルタに使用することはできな
い。また、この方法は最適濃度を調整することが難しい
ため滴下法で濃度勾配を作る必要があると記載されてお
り、エアフィルタ一面が変色するわけでない。そのた
め、変色している所が分かりづらく方法として確立され
ているものの実用にはほど遠い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の問題点を鑑み
て、本発明はイオン性ガスを除去する濾材を含むエアフ
ィルタにおいて、エアフィルタ自身で除去性能の状態を
識別できるエアフィルタを提供することを目的とする。
て、本発明はイオン性ガスを除去する濾材を含むエアフ
ィルタにおいて、エアフィルタ自身で除去性能の状態を
識別できるエアフィルタを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、以下の構成を採用する。
の本発明は、以下の構成を採用する。
【０００８】すなわち、本発明は、（１）イオン性ガス
を除去するための濾材を含むエアフィルタであって、酸
塩基指示薬を含んでいるエアフィルタ、（２）酸塩基指
示薬が非金属系の指示薬である、前記（１）に記載のエ
アフィルタ、（３）酸塩基指示薬が、弱アルカリ性もし
くは弱酸性のｐＨ領域で色調変化するものである、前記
（１）または（２）に記載のエアフィルタ、（４）酸塩
基指示薬が、クロロフェノールレッド、ブロモクレゾー
ルグリーン、ブロモチモールブルーおよびフェノールレ
ッドから選ばれる少なくとも１種を含んでいる、前記
（１）〜（３）のいずれかに記載のエアフィルタ、
（５）酸塩基指示薬を含む部分が吸湿性を有する、前記
（１）〜（４）のいずれかに記載のエアフィルタ、
（６）酸塩基指示薬が、吸湿性の溶媒とともに含まれて
いる、前記（１）〜（５）のいずれかに記載のエアフィ
ルタ、（７）溶媒がグリセリンである、前記（６）に記
載のエアフィルタ、（８）濾材が酸塩基指示薬を含んで
いる、前記（１）〜（７）のいずれかに記載のエアフィ
ルタ、（９）濾材がイオン交換体で形成されている、前
記（１）〜（８）のいずれかに記載のエアフィルタ、
（１０）濾材が空気の流れ方向と直行に配置されてい
る、前記（１）〜（９）のいずれかに記載のエアフィル
タ、（１１）濾材が空気の流れ方向と平行に多列に配置
されている、前記（１）〜（９）のいずれかに記載のエ
アフィルタ、である。
を除去するための濾材を含むエアフィルタであって、酸
塩基指示薬を含んでいるエアフィルタ、（２）酸塩基指
示薬が非金属系の指示薬である、前記（１）に記載のエ
アフィルタ、（３）酸塩基指示薬が、弱アルカリ性もし
くは弱酸性のｐＨ領域で色調変化するものである、前記
（１）または（２）に記載のエアフィルタ、（４）酸塩
基指示薬が、クロロフェノールレッド、ブロモクレゾー
ルグリーン、ブロモチモールブルーおよびフェノールレ
ッドから選ばれる少なくとも１種を含んでいる、前記
（１）〜（３）のいずれかに記載のエアフィルタ、
（５）酸塩基指示薬を含む部分が吸湿性を有する、前記
（１）〜（４）のいずれかに記載のエアフィルタ、
（６）酸塩基指示薬が、吸湿性の溶媒とともに含まれて
いる、前記（１）〜（５）のいずれかに記載のエアフィ
ルタ、（７）溶媒がグリセリンである、前記（６）に記
載のエアフィルタ、（８）濾材が酸塩基指示薬を含んで
いる、前記（１）〜（７）のいずれかに記載のエアフィ
ルタ、（９）濾材がイオン交換体で形成されている、前
記（１）〜（８）のいずれかに記載のエアフィルタ、
（１０）濾材が空気の流れ方向と直行に配置されてい
る、前記（１）〜（９）のいずれかに記載のエアフィル
タ、（１１）濾材が空気の流れ方向と平行に多列に配置
されている、前記（１）〜（９）のいずれかに記載のエ
アフィルタ、である。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明は、イオン性ガスを除去す
るための濾材を含むエアフィルタであって、酸塩基指示
薬を含んでいるエアフィルタであることを特徴とする。
本発明における色調変化の方法は対象イオン性ガスが指
示薬を含有するエアフィルタに吸収されることにより吸
収部分のPH変化により指示薬の色調変化を生じさせるこ
とである。そのため、本発明に使用する指示薬はPH変化
により色調変化を起こすものである事が望ましい。
るための濾材を含むエアフィルタであって、酸塩基指示
薬を含んでいるエアフィルタであることを特徴とする。
本発明における色調変化の方法は対象イオン性ガスが指
示薬を含有するエアフィルタに吸収されることにより吸
収部分のPH変化により指示薬の色調変化を生じさせるこ
とである。そのため、本発明に使用する指示薬はPH変化
により色調変化を起こすものである事が望ましい。
【００１０】たとえば、アンモニアは水と次式のように
反応する。
反応する。
【００１１】
【化１】
【００１２】この式は右に大きく傾いているため大気中
では大気中の水分と反応しＮＨ4 +とアンモニウムイオン
の形でほとんど存在している。アンモニアを除去するフ
ィルタという場合、フィルタが実際除去するのはアンモ
ニウムイオンである。よってアンモニアガスを除去する
場合、その指示薬としては中性からアルカリ性で色調変
化する指示薬が好ましい。もちろん、酸性ガス除去フィ
ルタであれば使用する指示薬としては酸性条件下で色調
変化するものが好ましい。たとえば、中性からアルカリ
性で色調変化する指示薬としてはフェノールフタレイン
がある。フェノールフタレインはその色調変化を起こす
ｐＨが８．２〜１０であるので、アルカリ性イオンガス
の除去用フィルタでの使用が好ましく、酸性ガス除去フ
ィルタに含有する指示薬としては不向きである。しか
し、実際に半導体の製造工程などで発生するアンモニア
ガスは微量であり高ｐＨ域には達しにくいので、高いｐ
Ｈでなければ色調が変化しないフェノールフタレインを
用いた場合、フィルタの除去性能を判断するに際しては
実用的ではない。このような条件で用いる指示薬として
はクロロフェノールレッド（変色領域ｐＨ５．０〜６．
６黄→赤）、ブロモチモールブルー（変色領域ｐＨ６．
０〜７．６黄→青）、ブロモクレゾールグリーン（変色
領域ｐＨ３．８〜５．４黄→青）、フェノールレッド
（ｐＨ６．８〜８．４黄→赤）のような中性領域付近か
ら弱アルカリ性領域付近で色調変化する指示薬が好適で
ある。また、これら４種指示薬は色調変化を起こすｐＨ
が上記のように微妙に異なるので、これらの混合物を用
いることもエアフィルタの除去性能状態を段階的に識別
出来るという点から望ましい。
では大気中の水分と反応しＮＨ4 +とアンモニウムイオン
の形でほとんど存在している。アンモニアを除去するフ
ィルタという場合、フィルタが実際除去するのはアンモ
ニウムイオンである。よってアンモニアガスを除去する
場合、その指示薬としては中性からアルカリ性で色調変
化する指示薬が好ましい。もちろん、酸性ガス除去フィ
ルタであれば使用する指示薬としては酸性条件下で色調
変化するものが好ましい。たとえば、中性からアルカリ
性で色調変化する指示薬としてはフェノールフタレイン
がある。フェノールフタレインはその色調変化を起こす
ｐＨが８．２〜１０であるので、アルカリ性イオンガス
の除去用フィルタでの使用が好ましく、酸性ガス除去フ
ィルタに含有する指示薬としては不向きである。しか
し、実際に半導体の製造工程などで発生するアンモニア
ガスは微量であり高ｐＨ域には達しにくいので、高いｐ
Ｈでなければ色調が変化しないフェノールフタレインを
用いた場合、フィルタの除去性能を判断するに際しては
実用的ではない。このような条件で用いる指示薬として
はクロロフェノールレッド（変色領域ｐＨ５．０〜６．
６黄→赤）、ブロモチモールブルー（変色領域ｐＨ６．
０〜７．６黄→青）、ブロモクレゾールグリーン（変色
領域ｐＨ３．８〜５．４黄→青）、フェノールレッド
（ｐＨ６．８〜８．４黄→赤）のような中性領域付近か
ら弱アルカリ性領域付近で色調変化する指示薬が好適で
ある。また、これら４種指示薬は色調変化を起こすｐＨ
が上記のように微妙に異なるので、これらの混合物を用
いることもエアフィルタの除去性能状態を段階的に識別
出来るという点から望ましい。
【００１３】ところで、一般的にｐＨ変化というのは水
の存在下で起こる変化なのでｐＨ変化を起こさせるため
には水分中に酸塩基指示薬が含まれていることが必要で
ある。エアフィルタに含まれる酸塩基指示薬を効果的に
作用させるため、エアフィルタの一部に吸湿性を持たせ
ることも好ましい。吸湿性を持たせるには、たとえば、
これらの指示薬を溶解させる溶媒として、環境中の水蒸
気を吸収することができるグリセリンなどの吸湿性を有
する溶媒を用いて、指示薬をこの溶媒とともにエアフィ
ルタに付与することは好ましい態様の１つである。指示
薬を含有する材質としては対象ガスが通気する箇所にあ
るフィルタ材のいずれでも構わないしその一部であって
もよい。たとえば、エアフィルタの上流側や下流側に不
織布等を使用する場合、この不織布等の材料に含有して
もよい。しかし、特に好ましいのは対象ガスを吸着する
濾材そのものに指示薬が含有していることである。ケミ
カルフィルタの濾材としては活性炭のような物理的吸着
材やイオン交換体のような化学的吸着材があるが、本発
明はどちらの濾材を使用したエアフィルタに適用でき
る。しかし、本発明は、色調変化により除去性能を判定
できることが特徴であるため、濾材そのものが黒色であ
るなど著しく色調変化の妨げになるものは好ましくな
い。たとえば、イオン交換体で構成された濾材などはそ
の濾材自体に色調変化を妨げるような色のものが少ない
ので好ましい。
の存在下で起こる変化なのでｐＨ変化を起こさせるため
には水分中に酸塩基指示薬が含まれていることが必要で
ある。エアフィルタに含まれる酸塩基指示薬を効果的に
作用させるため、エアフィルタの一部に吸湿性を持たせ
ることも好ましい。吸湿性を持たせるには、たとえば、
これらの指示薬を溶解させる溶媒として、環境中の水蒸
気を吸収することができるグリセリンなどの吸湿性を有
する溶媒を用いて、指示薬をこの溶媒とともにエアフィ
ルタに付与することは好ましい態様の１つである。指示
薬を含有する材質としては対象ガスが通気する箇所にあ
るフィルタ材のいずれでも構わないしその一部であって
もよい。たとえば、エアフィルタの上流側や下流側に不
織布等を使用する場合、この不織布等の材料に含有して
もよい。しかし、特に好ましいのは対象ガスを吸着する
濾材そのものに指示薬が含有していることである。ケミ
カルフィルタの濾材としては活性炭のような物理的吸着
材やイオン交換体のような化学的吸着材があるが、本発
明はどちらの濾材を使用したエアフィルタに適用でき
る。しかし、本発明は、色調変化により除去性能を判定
できることが特徴であるため、濾材そのものが黒色であ
るなど著しく色調変化の妨げになるものは好ましくな
い。たとえば、イオン交換体で構成された濾材などはそ
の濾材自体に色調変化を妨げるような色のものが少ない
ので好ましい。
【００１４】アンモニアガスを除去するフィルタにおい
てよく使用されるイオン交換体の交換基としてスルホン
酸基がある。この場合のアンモニアガスの吸着機構は次
の（Ａ）式の化学反応である。 Ｒ−ＳＯ3 - Ｈ+ ＋ ＮＨ4 + → Ｒ−ＳＯ3 - ＮＨ4 +＋Ｈ+・・・（A) 上記のような機構の化学反応は反応速度が早く、アンモ
ニアガスを除去するためのフィルタ材に捕捉されたアン
モニウムイオンはこの化学反応により化学的に吸着され
る。この反応は、イオン交換基の能力が落ちるまで継続
する。本発明はこの点に着目したものである。すなわ
ち、イオン交換基を有するフィルタ濾材に酸塩基指示薬
を含有させればスルホン酸基の能力があるうちはアンモ
ニウムイオンはスルホン酸基と（A）の式の形で吸着さ
れるので、指示薬の色調は変化しない。しかし、イオン
交換基がその能力を維持できなくなるとアンモニウムイ
オンが吸着されにくくなり、指示薬付近でのｐＨ変化が
起こり指示薬が色調変化する。つまり、濾材の色調は交
換能力が低下し始めると変化することとなり識別でき
る。よって、好ましくはイオン交換基を有する濾材であ
ることが望ましいがもちろんこれに限ったものではな
い。使用されるイオン交換体は例えば単繊維、単繊維の
集合体、それらの加工品である織布、不織布やそれらの
加工品、粒子・粉末などどのような形態が考えられるが
化学反応により吸着させているのであればどんな形態で
も構わない。また、エアフィルタの構造としても濾材を
通気する直行流タイプであれエアフィルタ濾材内部に空
隙を有しエアーがその部分を通過するタイプのエアフィ
ルタであれ構わない。
てよく使用されるイオン交換体の交換基としてスルホン
酸基がある。この場合のアンモニアガスの吸着機構は次
の（Ａ）式の化学反応である。 Ｒ−ＳＯ3 - Ｈ+ ＋ ＮＨ4 + → Ｒ−ＳＯ3 - ＮＨ4 +＋Ｈ+・・・（A) 上記のような機構の化学反応は反応速度が早く、アンモ
ニアガスを除去するためのフィルタ材に捕捉されたアン
モニウムイオンはこの化学反応により化学的に吸着され
る。この反応は、イオン交換基の能力が落ちるまで継続
する。本発明はこの点に着目したものである。すなわ
ち、イオン交換基を有するフィルタ濾材に酸塩基指示薬
を含有させればスルホン酸基の能力があるうちはアンモ
ニウムイオンはスルホン酸基と（A）の式の形で吸着さ
れるので、指示薬の色調は変化しない。しかし、イオン
交換基がその能力を維持できなくなるとアンモニウムイ
オンが吸着されにくくなり、指示薬付近でのｐＨ変化が
起こり指示薬が色調変化する。つまり、濾材の色調は交
換能力が低下し始めると変化することとなり識別でき
る。よって、好ましくはイオン交換基を有する濾材であ
ることが望ましいがもちろんこれに限ったものではな
い。使用されるイオン交換体は例えば単繊維、単繊維の
集合体、それらの加工品である織布、不織布やそれらの
加工品、粒子・粉末などどのような形態が考えられるが
化学反応により吸着させているのであればどんな形態で
も構わない。また、エアフィルタの構造としても濾材を
通気する直行流タイプであれエアフィルタ濾材内部に空
隙を有しエアーがその部分を通過するタイプのエアフィ
ルタであれ構わない。
【００１５】
【実施例１】溶液の調整
（１）クロロフェノールレッド ０．５ｇを秤量する。
秤量したクロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶
解させ１００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整
した。 （２）ブロモクレゾール０．５ｇを秤量する。秤量した
クロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶解させ１
００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整した。 （３）ブロモチモールブルー．５ｇを秤量する。秤量し
たクロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶解させ
１００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整した。 （４）フェノールレッド０．５ｇを秤量する。秤量した
クロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶解させ１
００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整した。 ここで、（１）〜（４）の濃度の単位は試料のweight
(g)/溶媒のvolume(ml)で表示したものである。
秤量したクロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶
解させ１００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整
した。 （２）ブロモクレゾール０．５ｇを秤量する。秤量した
クロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶解させ１
００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整した。 （３）ブロモチモールブルー．５ｇを秤量する。秤量し
たクロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶解させ
１００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整した。 （４）フェノールレッド０．５ｇを秤量する。秤量した
クロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶解させ１
００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整した。 ここで、（１）〜（４）の濃度の単位は試料のweight
(g)/溶媒のvolume(ml)で表示したものである。
【００１６】次いで、（１）〜（４）の液を等量混合し
混合液を調整した。この混合液の色は赤色だった。 濾材への含有 濾材としてイオン交換基を有する不織布（白色）を用
い、上記で調整した混合液に浸し、濾材を染色した。乾
いたタオルの上に一日放置しておくと不織布は黄色に染
色された。 ガス吸着試験 前述の染色された不織布を５ｃｍ×５ｃｍに切り取り、
図１に示すガス吸着試験装置１の試料取りつけ口２に設
置した。上流側から５ｐｐｍに調整したアンモニアガス
を通気し、０．５L／ｓの速度でポンプ５で吸引して上
流サンプリング口３および下流サンプリング口４より検
知管で濾材の上流側、下流側のそれぞれのアンモニア濃
度を確認した。結果を表１に示す。
混合液を調整した。この混合液の色は赤色だった。 濾材への含有 濾材としてイオン交換基を有する不織布（白色）を用
い、上記で調整した混合液に浸し、濾材を染色した。乾
いたタオルの上に一日放置しておくと不織布は黄色に染
色された。 ガス吸着試験 前述の染色された不織布を５ｃｍ×５ｃｍに切り取り、
図１に示すガス吸着試験装置１の試料取りつけ口２に設
置した。上流側から５ｐｐｍに調整したアンモニアガス
を通気し、０．５L／ｓの速度でポンプ５で吸引して上
流サンプリング口３および下流サンプリング口４より検
知管で濾材の上流側、下流側のそれぞれのアンモニア濃
度を確認した。結果を表１に示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１に示すように、最初は濾材に変色はな
いがアンモニア吸着力が濾材から失われ出すのとほぼ同
時に濾材が変色し始め、吸着能力の低下を濾材の色調変
化によって判定することができた。
いがアンモニア吸着力が濾材から失われ出すのとほぼ同
時に濾材が変色し始め、吸着能力の低下を濾材の色調変
化によって判定することができた。
【００１９】
【実施例２】溶液の調整
（１）クロロフェノールレッド ０．５ｇを秤量する。
秤量したクロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶
解させ１００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整
した。
秤量したクロロフェノールレッドにグリセリンを加え溶
解させ１００ｍｌにし、０．５％グリセリン溶液を調整
した。
【００２０】ガーゼへの含有
市販のガーゼ（白色）に上記で調整したクロロフェノー
ルレッド溶液を含有させた。ガーゼの色は黄色に変色し
た。
ルレッド溶液を含有させた。ガーゼの色は黄色に変色し
た。
【００２１】変色試験
前述の染色されたガーゼを５ｃｍ×５ｃｍに切り取り、
図１に示すガス吸着試験装置１の試料取りつけ口２に設
置した。上流側から３２０ｐｐｂに調整したアンモニア
ガスを通気し、２L／ｓの速度でポンプ５で吸引してガ
ーゼの変色を目視で観察した。その結果を表２に示す。
図１に示すガス吸着試験装置１の試料取りつけ口２に設
置した。上流側から３２０ｐｐｂに調整したアンモニア
ガスを通気し、２L／ｓの速度でポンプ５で吸引してガ
ーゼの変色を目視で観察した。その結果を表２に示す。
【００２２】
【表２】
【００２３】上記の結果から、ｐｐｍオーダー以下の実
際のケミカルフィルタの使用条件により近い低濃度領域
においても変色が認められることが分かった。
際のケミカルフィルタの使用条件により近い低濃度領域
においても変色が認められることが分かった。
【００２４】
【発明の効果】本発明は金属系の指示薬を用いることな
く非金属系の指示薬を用い、いままでなしえなかったエ
アフィルタ自身でその除去性能の状態を識別できるエア
フィルタを提供する。本発明により、エアフィルタの交
換時期を目視で容易に知ることが可能となる。
く非金属系の指示薬を用い、いままでなしえなかったエ
アフィルタ自身でその除去性能の状態を識別できるエア
フィルタを提供する。本発明により、エアフィルタの交
換時期を目視で容易に知ることが可能となる。
【図１】本発明の実施例に係るガス吸着試験装置の概略
図である。
図である。
１：ガス吸着試験装置
２：試料取りつけ部
３：上流側サンプリング口
４：下流側サンプリング口
５：ポンプ
６：積算流量計
Claims (11)
- 【請求項１】イオン性ガスを除去するための濾材を含む
エアフィルタであって、酸塩基指示薬を含んでいるエア
フィルタ。 - 【請求項２】酸塩基指示薬が非金属系の指示薬である、
請求項１に記載のエアフィルタ。 - 【請求項３】酸塩基指示薬が、弱アルカリ性もしくは弱
酸性のｐＨ領域で色調変化するものである、請求項１ま
たは２に記載のエアフィルタ。 - 【請求項４】酸塩基指示薬が、クロロフェノールレッ
ド、ブロモクレゾールグリーン、ブロモチモールブルー
およびフェノールレッドから選ばれる少なくとも１種を
含んでいる、請求項１〜３のいずれかに記載のエアフィ
ルタ。 - 【請求項５】酸塩基指示薬を含む部分が吸湿性を有す
る、請求項１〜４のいずれかに記載のエアフィルタ。 - 【請求項６】酸塩基指示薬が、吸湿性の溶媒とともに含
まれている、請求項１〜５のいずれかに記載のエアフィ
ルタ。 - 【請求項７】溶媒がグリセリンである、請求項６に記載
のエアフィルタ。 - 【請求項８】濾材が酸塩基指示薬を含んでいる、請求項
１〜７のいずれかに記載のエアフィルタ。 - 【請求項９】濾材がイオン交換体で形成されている、請
求項１〜８のいずれかに記載のエアフィルタ。 - 【請求項１０】濾材が空気の流れ方向と直行に配置され
ている、請求項１〜９のいずれかに記載のエアフィル
タ。 - 【請求項１１】濾材が空気の流れ方向と平行に多列に配
置されている、請求項１〜９のいずれかに記載のエアフ
ィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002082839A JP2003275530A (ja) | 2002-03-25 | 2002-03-25 | エアフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002082839A JP2003275530A (ja) | 2002-03-25 | 2002-03-25 | エアフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003275530A true JP2003275530A (ja) | 2003-09-30 |
Family
ID=29206782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002082839A Pending JP2003275530A (ja) | 2002-03-25 | 2002-03-25 | エアフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003275530A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006526088A (ja) * | 2003-03-12 | 2006-11-16 | スリーケイ テクノロジーズ インコーポレイテッド | 道路から汚染物質を除去するためのシステムおよび方法 |
| KR200473248Y1 (ko) * | 2013-12-24 | 2014-06-19 | 최성민 | 산 제거 장치의 필터 교환시기 및 산 오염 경고 알림장치 |
| US10639588B2 (en) | 2015-08-28 | 2020-05-05 | Serionix, Inc. | Gas filters for acidic contaminants |
| US10926219B2 (en) | 2015-08-28 | 2021-02-23 | Serionix, Inc. | Gas filters for basic contaminants |
-
2002
- 2002-03-25 JP JP2002082839A patent/JP2003275530A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006526088A (ja) * | 2003-03-12 | 2006-11-16 | スリーケイ テクノロジーズ インコーポレイテッド | 道路から汚染物質を除去するためのシステムおよび方法 |
| KR200473248Y1 (ko) * | 2013-12-24 | 2014-06-19 | 최성민 | 산 제거 장치의 필터 교환시기 및 산 오염 경고 알림장치 |
| US10639588B2 (en) | 2015-08-28 | 2020-05-05 | Serionix, Inc. | Gas filters for acidic contaminants |
| US10926219B2 (en) | 2015-08-28 | 2021-02-23 | Serionix, Inc. | Gas filters for basic contaminants |
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