JPH0713211Y2 - スピンチャック洗浄機能付きレジスト塗布装置 - Google Patents
スピンチャック洗浄機能付きレジスト塗布装置Info
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- JPH0713211Y2 JPH0713211Y2 JP1989041636U JP4163689U JPH0713211Y2 JP H0713211 Y2 JPH0713211 Y2 JP H0713211Y2 JP 1989041636 U JP1989041636 U JP 1989041636U JP 4163689 U JP4163689 U JP 4163689U JP H0713211 Y2 JPH0713211 Y2 JP H0713211Y2
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989041636U JPH0713211Y2 (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | スピンチャック洗浄機能付きレジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989041636U JPH0713211Y2 (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | スピンチャック洗浄機能付きレジスト塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02132933U JPH02132933U (US07943777-20110517-C00090.png) | 1990-11-05 |
JPH0713211Y2 true JPH0713211Y2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=31552475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989041636U Expired - Lifetime JPH0713211Y2 (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | スピンチャック洗浄機能付きレジスト塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0713211Y2 (US07943777-20110517-C00090.png) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006066447A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | ワークチャックの洗浄装置、ワークチャックの洗浄方法、及びワークチャックの洗浄装置を備えた研磨装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL172382C (nl) * | 1971-11-20 | 1983-08-16 | Basf Ag | Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van magnetische lagen van magneetplaten. |
-
1989
- 1989-04-11 JP JP1989041636U patent/JPH0713211Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02132933U (US07943777-20110517-C00090.png) | 1990-11-05 |
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