JPH07123753A - 超音波モータの駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 超音波モータの停止時に動作音を発生させな
いようにする。 【構成】 駆動指示回路５１は、超音波モータＭのＯＮ
又はＯＦＦ入力指示に応じて起動信号Ｓ１又は停止信号
Ｓ２を出力する。発振回路４７は、起動信号Ｓ１によっ
て発振開始して発振信号ＣＬを出力し、停止信号Ｓ２に
よって発振信号ＣＬの周波数を高めて２００ｍｓｅｃだ
け出力して発振停止する。位相反転回路４９は、発振信
号ＣＬから互いに位相のずれた第１および第２の駆動信
号Ｓ４を形成してドライブ回路５３へ出力する。ドライ
ブ回路５３はされらの駆動信号で超音波モータＭを駆動
する。そして、駆動停止時には超音波モータＭが高い周
波数の駆動信号で駆動されて進行性振動波の発生が抑え
られ、スローストップする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は超音波モータの駆動装置
の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】超音波モータは、一般的には例えば図７
に示すような構成を有している。すなわち、中央の貫通
孔にラジアル型ベアリング１をはめた基台３に環状の凹
部５を形成し、上端面側（図７中の上側）に一体的に突
出する凸環部７を有する金属製の導電性弾性体９をその
基台３に固定し、図８のようにこの弾性体９の凸環部７
に放射状方向の切込み７ａ（図７では省略）を形成して
凸環部７を周方向に多数分割し、その弾性体９の他方の
端面（図７中下側）であって凸環部７と重合う位置にリ
ング板状の圧電振動板１１を貼付け、この圧電振動板１
１に可撓性プリント基板１３を接続して外部へ導出し、
基台３にカップ状の金属製ケース１５を被せ、ケース１
５の中央突出部内に軸受１７とスラスト型ベアリング１
９を固定し、ベアリング１、軸受１７およびベアリング
１９でシャフト２１を軸支し、シャフト２１には移動体
としての円盤状回転体２３を固定し、シャフト２１に取
付けられたフランジ２５によって皿ばね２７を介してそ
の回転体２３の周縁部を弾性体９の凸環部７に圧接させ
て超音波モータを構成している。

【０００３】そして、圧電振動板１１は、図９に示すよ
うに、圧電セラミック板からなる圧電振動板素子２９に
分極方向を交互に変えて厚み方向分極を施した円弧状の
第１の分極領域３１と、分極方向を交互に変えて厚み方
向分極を施し第１の分極領域３１とλ／４ずれた円弧状
の第２の分極領域３３とを有し、圧電振動板素子２９の
片面にてそれら第１および第２の分極領域３１、３３に
円弧状の駆動電極３５、３７を形成し、かつそれら駆動
電極３５、３７の間にセンサ電極３９を設けている。セ
ンサ電極３９部分にも厚み方向の分極が施されており、
上述した可撓性プリント基板１３は、駆動電極３５、３
７およびセンサ電極３９に接続されている。圧電振動板
素子２９の他方の面には、図１０のように各分極領域毎
に個別電極４１が独立して形成されており、それら個別
電極４１は共通電極として図７の導電性弾性体９を介し
てプリント基板１３に共通して導出されている。

【０００４】このような超音波モータでは、第１１図に
示すように、導電性弾性体９側を共通電極とし、圧電振
動板１１の第１の分極領域３１には交流電源４３から第
１の駆動信号としての第１の周波数信号（電圧）Ｖ〔Ｖ
＝Ｖ0 ｓｉｎωｔ〕を、第２の領域３３には移相器４５
を介してλ／４位相のずれた同じく第２の駆動信号とし
て第２の周波数信号（電圧）Ｖ’〔Ｖ’＝Ｖ0 ｓｉｎ
（ωｔ±π／２）〕を印加することにより、圧電振動板
１１が振動して導電性弾性体９の上面には進行性振動波
が生じる。この進行性振動波は縦波と横波を伴ってお
り、導電性弾性体９の上面の質点Ａに着目すると、質点
Ａは縦振幅ｕと横振幅ｗで反時計方向の楕円運動をする
から、導電性弾性体９に回転体２３を圧接させると、回
転体２３が導電性弾性体９の質点Ａ、Ａ’．．．の楕円
運動の縦振幅ｕの成分によって矢符Ｘ方向に移動する。

【０００５】もっとも、このような超音波モータは、図
１２に示すように、主に周波数ｆ0、ｆ1 、ｆ2 の３つ
の共振点を有し、駆動効率の面から最もＱの高い中間の
主たる共振点ｆ0 で起動することが行われているうえ、
安定した起動を確保する観点から周波数ｆ0 より若干高
い周波数ｆ3 で駆動することが好ましいとされている。
そこで、起動時には、周波数ｆ3 より更に高い周波数ｆ
4 例えば４４ＫＨｚの駆動信号を駆動電極３５、３７に
加え、その駆動信号を低い周波数方向へスイープさせて
周波数ｆ3 で超音波モータを安定起動させている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般的
な超音波モータでは、導電性弾性体９に生じた進行性振
動波によって回転体２３を回転させるために、この回転
体２３を導電性弾性体９の凸環部７にある程度の摩擦力
をもって圧接させる必要があり、回転体２３の回転を停
止させるために圧電振動板１１へ印加する駆動信号の供
給を停止すると、回転体２３が急激に導電性弾性体９に
圧接され、例えば「キュー」と言うような接触音が発生
し易い。そのため、停止時に超音波モータの動作に異常
が発生したかの如き状況を使用者に与えることとになる
し、停止時にケース１５やこれを支持する機器の筐体が
振動するおそれがあり、好ましくない。

【０００７】特に、この回転体２３を導電性弾性体９の
凸環部７に適切かつ確実な摩擦力をもって圧接させる目
的から、例えば図７中の導電性弾性体９の凸環部７に摩
擦発生部材としてのシート（図示せず）を固定して回転
体２３を圧接させる構成では、接触音の発生頻度が高く
て耳障りとなり、改善が望まれていた。本発明はこのよ
うな従来の欠点を解決するためになされたもので、超音
波モータの停止時の動作音を小さく抑えることができる
超音波モータの駆動装置の提供を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために本発明は、導電性弾性体と、これに重ねるよう
に接続され互いに位相の異なる駆動信号としての第１お
よび第２の周波数信号によって振動してその導電性弾性
体に進行性振動波を発生させる圧電振動板と、その導電
性弾性体に圧接された移動体とを有する超音波モータに
対し、その駆動信号を供給するとともに、駆動停止指示
に基づきその駆動信号を進行性振動波の発生を抑える特
定信号にして所定期間出力することを特徴としている。
そして、その特定信号は、上記駆動停止指示前よりも高
い周波数にシフトさせた信号、上記駆動停止指示前より
もレベルを低下させた信号、更には定在波を発生させる
駆動信号にすることができる。

【０００９】

【作用】このような手段を備えた本発明では、駆動停止
指示が入力されると、進行性振動波の発生を抑える特定
信号が超音波モータに加えられるから、駆動停止指示が
入力されても、その特定信号によって超音波モータの移
動体が導電性弾性体に対して所定期間だけ移動し易くな
り、移動体が急激に停止しない。そして、その特定信号
として、上記駆動停止指示前よりも高い周波数にシフト
させた信号、レベルを低下させた信号、又は定在波を発
生させる駆動信号を用いる構成では、通常の駆動時の駆
動信号から簡単に特定信号が得られる。

【００１０】

【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。なお、超音波モータの構成例は上述した構成と変更
がないので、上述した図７〜図１２のモータ構成を引用
して説明する。図１は本発明に係る超音波モータの駆動
装置の一実施例を示すブロック図である。図１におい
て、発振回路４７は、例えば４０ＫＨｚより若干高く安
定した周波数ｆ0 の発振信号ＣＬを発振出力する公知の
可変発振構成を有するもので（図１２参照）、位相反転
回路４９に接続されている。

【００１１】発振回路４７は、後述する超音波モータＭ
の起動時にはやはり後述する起動信号Ｓ１によって安定
周波数ｆ0 よりも更に高い周波数ｆ1 の発振信号ＣＬを
発振し、上述した図９中のセンサ電極３９からのフィー
ドバック信号Ｆ／Ｂに基づき安定駆動周波数ｆ0 までス
イープしながら可変発振するよう形成されている。しか
も、発振回路４７は、後述する停止信号Ｓ２によって若
干例えば２００ｍｓｅｃ程度の期間だけ安定周波数ｆ0
より高い周波数、例えば４４ＫＨｚ付近まで発振スイー
プしてから発振動作を停止する遅延発振機能を有してい
る。駆動指示回路５１は、超音波モータＭの起動（Ｏ
Ｎ）又は停止（ＯＦＦ）を指示する起動停止スイッチＳ
Ｗ１のＯＮ又はＯＦＦに応じて上述した起動信号Ｓ１と
停止信号Ｓ２を出力するとともに、回転方向切換スイッ
チＳＷ２による正転（ＣＷ）又は逆転（ＣＣＷ）の選択
的入力に対応する方向指示信号Ｓ３を位相反転回路４９
へ出力する機能を有している。

【００１２】超音波モータＭの起動や停止の入力指示、
正転（ＣＷ）又は逆転（ＣＣＷ）の入力指示は、上述し
たスイッチＳＷ１、ＳＷ２に限らず、図示しない別の入
力機構部品や電子回路によって実施可能である。位相反
転回路４９は、発振回路４７の発振信号ＣＬから互いに
１／４λ位相のずれた第１および第２の駆動信号Ｓ４を
形成するとともに、駆動指示回路５１からの方向指示信
号Ｓ３によってそれら第１および第２の駆動信号Ｓ４の
位相を逆転させてドライブ回路５３へ出力するものであ
る。

【００１３】ドライブ回路５３は、それら第１および第
２の駆動信号Ｓ４を増幅し、第１および第２の駆動信号
Ｓ５としての周波数電圧Ｖ（ＳＩＮ）およびＶ’（ＣＯ
Ｓ）を超音波モータＭの圧電振動板１１（図１では図示
省略。図９参照）に印加するものである。なお、図１に
おいて符号ＧＮＤおよびＦ／Ｂは共通電位およびフィー
ドバック信号である。整流平滑回路５５は、超音波モー
タＭからのフィードバック信号Ｆ／Ｂを整流平滑してフ
ィードバック信号レベルに応じた直流信号Ｓ６を形成し
て周波数制御回路５７へ出力するものである。周波数制
御回路５７は、所定の回転数に対応した基準レベルとフ
ィードバック信号レベルを比較し、レベル差が例えば小
さくなるように上述した発振回路４７の発振周波数を可
変制御する制御信号Ｓ７を形成出力するものである。

【００１４】次に、上述した本発明の超音波モータの駆
動装置の動作を説明する。図２Ａに示すように駆動指示
回路５１に接続されたスイッチＳＷ１をＯＮ動作する
と、同図Ｂのような起動信号Ｓ１が駆動指示回路５１か
ら発振回路４７へ出力され、発振回路４７は安定周波数
ｆ0 よりも多少高い周波数ｆ1 の発振信号ＣＬを安定周
波数ｆ0 までスイープしながら可変発振し、発振信号Ｃ
Ｌを位相反転回路４９へ出力する。位相反転回路４９
は、駆動指示回路５１からの方向指示信号Ｓ３に基づき
発振信号ＣＬから互いに１／４λ位相のずれた第１およ
び第２の駆動信号Ｓ４を形成してドライブ回路５３へ出
力し、このドライブ回路５３からの図２Ｃのような第１
および第２の駆動信号Ｓ５（周波数信号Ｖ、Ｖ’）によ
り、超音波モータＭが同図Ｄのように回転駆動される。

【００１５】そして、図２ＡのようにスイッチＳＷ１を
ＯＦＦ操作すると、同図Ｂのような停止信号Ｓ２が発振
回路４７へ出力され、発振回路４７は２００ｍｓｅｃ程
度の期間だけ発振周波数を高い方へスイープさせて発振
を停止する。すなわち、停止信号Ｓ２が入力されても発
振回路４７からは２００ｍｓｅｃ期間だけ安定周波数ｆ
0 より高い周波数の発振信号ＣＬが出力される。そのた
め、超音波モータＭは、位相反転回路４９およびドライ
ブ回路５３を介してその高い周波数による駆動信号Ｓ５
によって回転駆動されて停止する。

【００１６】その際、超音波モータＭは、安定周波数ｆ
0 より高い周波数で回転駆動されるから、超音波モータ
内で発生する進行性振動波が抑えられてトルクが小さく
なって減速され、発振信号が停止するときには超音波モ
ータＭの回転がスローストップする。すなわち、超音波
モータＭが急激には停止しない。従って、超音波モータ
Ｍの駆動を停止させても、超音波モータＭ内の回転体２
３（図７参照）が急激に導電性弾性体９（図７参照）に
固定するように圧接しなくなり、接触音が発生し難い。
しかも、超音波モータＭが急激には停止しないからモー
タの構成部品が破損され難いし、停止動作時に単に発振
回路４７の発振周波数を高い方へスイープ発振させれば
よいから、発振回路４７の構成も簡単である。

【００１７】上述した実施例では、超音波モータＭの停
止時に発振周波数をスイープさせずに、単に高い方の発
振周波数へジャップさせて発振させる構成も可能であ
る。もっとも、ジャップさせて発振させる周波数は安定
周波数ｆ0 に対してあまり高くない方が好ましい。ま
た、スイッチＳＷ１がＯＦＦ操作されてから、発振回路
４７の発振動作が停止されるまでの期間は、超音波モー
タＭの使用態様に合わせて任意に設定可能であり、一般
には１００〜２００ｍｓｅｃ程度の範囲で設定すること
が好ましいであろう。以下の実施例でも同様である。こ
のように上述した超音波モータの駆動装置では、駆動停
止指示である超音波モータのＯＦＦ操作によって、発振
回路４７からの発振信号ＣＬを２００ｍｓｅｃ程度だけ
その駆動停止指示前よりも高い周波数にシフトさせて発
振させる構成であったが、本発明では超音波モータで発
生する進行性振動波の発生を抑える特定信号を発振信号
ＣＬとして所定期間出力すれば、超音波モータをスロー
ストップ可能である。

【００１８】次に本発明に係る超音波モータの駆動装置
の他の実施例を説明する。図３および図４は本発明に係
る超音波モータの駆動装置の他の実施例を示すブロック
図および動作説明用の波形図である。この構成は、図１
の構成において発振回路４７を変更するとともに駆動指
示回路５１とドライブ回路５３との間に電圧可変回路６
１を付加したものである。すなわち、発振回路５９は、
起動信号Ｓ１によって発振回路４７と同様に発振開始す
るとともに、停止信号Ｓ２によって例えば２００ｍｓｅ
ｃ程度の期間だけ同じ発振を持続してから動作停止する
ものである。

【００１９】電圧可変回路６１は、駆動指示回路５１か
らの停止信号Ｓ２に基づいてドライブ回路５３から超音
波モータＭへ出力される駆動信号Ｓ５の電圧レベルを所
定期間、例えば上述した２００ｍｓｅｃ低下させて出力
停止させる機能を有している。すなわち、電圧可変回路
６１は、スイッチＳＷ１からのＯＦＦ指示に基づきドラ
イブ回路５３からの駆動信号Ｓ５の電圧レベルを所定期
間で例えば１２Ｖから１０Ｖ程度まで可変低下させるも
のである。なお、図３の構成では、発振回路５９および
電圧可変回路６１以外は図１と同様であるから説明を省
略する。このような構成の超音波モータの駆動装置で
は、図４Ａに示すようにスイッチＳＷ１がＯＮ動作され
ると、同図Ｂのような起動信号Ｓ１によって発振回路５
９が発振動作し、位相反転回路４９およびドライブ回路
５３を介して超音波モータＭが同図Ｅのように回転駆動
される。

【００２０】そして、図４ＡのようにスイッチＳＷ１が
ＯＦＦ操作されると、同図Ｂのような停止信号Ｓ２が発
振回路５９および電圧可変回路６１へ出力され、発振回
路５９は発振を持続する一方、電圧可変回路６１が停止
信号Ｓ２に基づいてドライブ回路５３から超音波モータ
Ｍへ出力される駆動信号Ｓ５の電圧レベルを２００ｍｓ
ｅｃの期間にわたって低下させ、発振回路５９の発振動
作が停止する。そのため、超音波モータＭは、ＯＦＦ操
作されると、駆動信号Ｓ５のレベルが次第に低下するか
ら、超音波モータ内で発生する進行性振動波も低下して
減速し、超音波モータＭの回転がスローストップする。
やはり、超音波モータＭが急激には停止しないので、接
触音が発生し難い。しかも、発振回路５９は、停止動作
時に単に発振動作を遅延させて停止させるものである
し、電圧可変回路６１も単に所定期間だけドライブ回路
５３から駆動信号Ｓ５の電圧レベルを次第に低下させる
ようにすれば良いから、構成が複雑化しない。

【００２１】もっとも、図３の構成において、停止動作
時に単に発振動作を遅延させて停止するよう発振回路５
９を形成した方が、超音波モータＭを確実に停止させら
れるであろうが、発振回路５９の発振動作を継続させた
ままドライブ回路５３から駆動信号Ｓ５の電圧レベルを
低下させだけでも、超音波モータの停止が可能である。
本発明者らの実験によれば、図３に示す構成において、
電圧可変回路６１による駆動信号Ｓ５の電圧レベルの低
下の程度は、上述した期間経過後に超音波モータの駆動
停止指示前より２０％以上である方が好ましいことが分
った。図５および図６は本発明に係る超音波モータの駆
動装置の更に別の実施例を示すブロック図および動作説
明用の波形図である。この構成は、図２の構成におい
て、電圧可変回路６１を省略するととにも、位相反転回
路４９から相選択回路６３を介してドライブ回路５３へ
接続する構成である。なお、相選択回路６３以外の構成
は図１や図２と同様であるから説明を省略する。

【００２２】すなわち、相選択回路６３は、通常は位相
反転回路４９からの互いに１／４λ位相のずれた第１お
よび第２の駆動信号Ｓ４をそのままドライブ回路５３へ
出し、駆動指示回路５１からの停止信号Ｓ２によって例
えば２００ｍｓｅｃ程度の期間だけ第１又は第２の駆動
信号のいずれか一方を選択出力して他方を出力させず、
選択した第１又は第２の駆動信号も期間経過によって出
力停止する機能を有している。このような構成の超音波
モータの駆動装置では、図６Ａに示すようにスイッチＳ
Ｗ１がＯＮ動作されると、同図Ｂのような起動信号Ｓ１
によって発振回路５９が発振動作し、位相反転回路４
９、相選択回路６３およびドライブ回路５３を介して超
音波モータＭが同図Ｄのように回転駆動される。そし
て、図６ＡのようにスイッチＳＷ１がＯＦＦ操作される
と、同図Ｂのような停止信号Ｓ２が発振回路５９および
相選択回路６３へ出力され、発振回路５９は発振を持続
する一方、相選択回路６３が停止信号Ｓ２に基づいて２
００ｍｓｅｃ程度の期間だけ例えば第１の駆動信号をド
ライブ回路５３へ選択出力して第２の駆動信号を出力さ
せず、２００ｍｓｅｃ経過に第１の駆動信号も出力停止
する。

【００２３】そのため、ＯＦＦ操作されると、ドライブ
回路５３からの駆動信号Ｓ５は周波数電圧Ｖ又はＶ’の
一方だけとなって超音波モータＭには進行性振動波の発
生がなくなって定在波が発生し、図７中の回転体２３が
弾性体９に対して滑走状態となり、回転慣性力によって
多少は回転するものの、回転トクルが低下して超音波モ
ータＭがスローストップする。このように、図５の超音
波モータの駆動装置では、回転体２３が弾性体９に対し
て滑走状態となって急激に停止しないから、接触音が発
生し難い。しかも、相選択回路６３は、超音波モータＭ
の駆動停止指示に基づいて単に一方の駆動信号の選択
し、他方の駆動信号の出力を停止するよう形成すれば良
いから、構成が複雑化しない。

【００２４】図５の構成では、停止動作時に単に発振動
作を遅延させて停止するよう発振回路５９を形成した
が、相選択回路６３が第１又は第２の駆動信号のいずれ
か一方を選択出力して他方を出力させず、選択した第１
又は第２の駆動信号も期間経過によって出力停止するよ
う形成したから、停止動作以降も発振回路５９の発振動
作を継続させたままでも良い。このように上述した本発
明では、駆動停止指示後に所定の期間だけ、安定駆動時
の駆動信号から周波数を高くした特定信号によって超音
波モータを駆動したり、安定駆動時の駆動信号レベルを
低下させた特定信号によって超音波モータを駆動した
り、更には駆動信号から定在波を発生させる特定信号を
形成して超音波モータを駆動する構成であるが、このよ
うな構成以外にも駆動停止指示に基づきその駆動信号を
進行性振動波の発生を抑える特定信号にして所定期間出
力すれば、本発明の目的達成が可能である。なお、本発
明は回転型モータに限らず、往復型モータにも実施可能
である。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように本発明の超音波モー
タの駆動装置は、所定の位相差および周波数を有する第
１および第２の駆動信号の印加による進行性振動波の発
生によって駆動する超音波モータの駆動装置について、
その駆動信号を供給するとともに、駆動停止指示に基づ
きその駆動信号を進行性振動波の発生を抑える特定信号
にして所定期間出力する構成としたから、その特定信号
によって超音波モータの移動体が急激に停止しなくな
り、超音波モータの停止時の動作音を発生させないか、
又は極めて小さく抑えることができる。そして、その特
定信号として、上記駆動停止指示前よりも高い周波数に
シフトさせた信号や、上記駆動停止指示前よりもレベル
を低下させた信号、更には定在波を発生させる駆動信号
を用いる構成では、通常の駆動時の駆動信号から簡単に
特定信号が得られるので、従来の構成を大幅に変更する
必要がなり、構成を複雑化しない利点がある。特に、本
発明は、導電性弾性体に摩擦発生シートを固定して移動
体を圧接させる超音波モータ構成において、大きな効果
を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る超音波モータの駆動装置の一実施
例を示すブロック図である。

【図２】図１の駆動装置の動作を説明する波形図であ
る。

【図３】本発明に係る超音波モータの駆動装置の他の実
施例を示すブロック図である。

【図４】図３の駆動装置の動作を説明する波形図であ
る。

【図５】本発明に係る超音波モータの駆動装置の別の実
施例を示すブロック図である。

【図６】図５の駆動装置の動作を説明する波形図であ
る。

【図７】超音波モータの一例を示す半断面図である。

【図８】図７の超音波モータにおいて圧電振動板に弾性
体を重ねた状態を示す半断面図である。

【図９】図７中の圧電振動板を示す底面図である。

【図１０】図７中の圧電振動板を示す平面図である。

【図１１】図７の超音波モータの動作原理を説明する図
である。

【図１２】図７の超音波モータの駆動信号を説明する図
である。

【符号の説明】

１、１９ ベアリング ３ 基台 ５ 凹部 ７ 凸環部 ９ 導電性弾性体 １１ 圧電振動板 １３ プリント基板 １５ ケース １７ 軸受 ２１ シャフト（移動体） ２３ 回転体（移動体） ２５ フランジ ２７ 皿ばね ２９ 圧電振動板素子 ３１ 第１の分極領域 ３３ 第２の分極領域 ３５、３７ 駆動電極 ３９ センサ電極 ４１ 個別電極 ４３ 交流電源 ４５ 移相器 ４７、５９ 発振回路 ４９ 位相反転回路 ５１ 駆動指示回路 ５３ ドライブ回路 ５５ 整流平滑回路 ５７ 周波数制御回路 ６１ 電圧可変回路 ６３ 相選択回路 Ｍ 超音波モータ ＳＷ１、ＳＷ２ スイッチ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電性弾性体と、これに重ねるように接
   続され互いに位相の異なる駆動信号としての第１および
   第２の周波数信号によって振動して前記導電性弾性体に
   進行性振動波を発生させる圧電振動板と、前記導電性弾
   性体に圧接された移動体とを有する超音波モータに対
   し、 前記駆動信号を供給するとともに、駆動停止指示に基づ
   き前記駆動信号を前記進行性振動波の発生を抑える特定
   信号にして所定期間出力することを特徴とする超音波モ
   ータの駆動装置。
2. 【請求項２】 前記特定信号は、前記駆動停止指示前よ
   りも高い周波数にシフトさせた信号である請求項１記載
   の超音波モータの駆動装置。
3. 【請求項３】 前記特定信号は、前記駆動停止指示前よ
   りもレベルを低下させた信号である請求項１記載の超音
   波モータの駆動装置。
4. 【請求項４】 前記特定信号は、定在波を発生させる信
   号である請求項１記載の超音波モータの駆動装置。